本發(fā)明涉及夾具領域，尤其涉及一種半導體柔性夾具。

背景技術：

1、半導體柔性夾具是隨著半導體制造技術的不斷發(fā)展和對生產效率、精度要求的提升而逐漸發(fā)展起來的。在半導體制造過程中，由于晶圓、芯片等產品的尺寸小、精度高、形狀復雜，傳統(tǒng)的硬性夾具往往難以滿足生產需求。因此，柔性夾具應運而生，以其高靈活性、高精度和高適應性成為半導體制造中的重要工具。

2、但本申請發(fā)明人在實現本申請實施例中發(fā)明技術方案的過程中，發(fā)現上述技術至少存在如下技術問題：

3、1.由于半導體晶體形狀各異，對于普通半導體夾具，靈活性差，適用范圍較低。

4、2.由于半導體晶體易碎，對于普通的半導體剛體夾具，容易將半導體晶體毀壞。

5、3.普通剛性半導體夾具在重復使用后可能會出現彈性疲勞，導致夾持力不穩(wěn)定。

技術實現思路

1、本申請實施例通過提供一種半導體柔性夾具，解決了現有技術中普通半導體夾具，靈活性差，適用范圍較低、易將半導體晶體毀壞、重復使用后可能會出現彈性疲勞，導致夾持力不穩(wěn)定的問題，實現了半導體精準、穩(wěn)定的夾持。

2、本申請實施例提供了一種半導體夾具，包括：

3、一種柔性夾具，其特征在于，所述夾具包括：

4、真空泵，其中，所述真空泵包括：

5、氣壓裝置一，所述氣壓裝置一鑲嵌于所述真空泵中；

6、氣壓裝置二，所述氣壓裝置二鑲嵌于所述真空泵中；

7、氣壓裝置三，所述氣壓裝置三鑲嵌于所述真空泵中；

8、氣壓裝置四，所述氣壓裝置三鑲嵌于所述真空泵中

9、螺紋柱，所述螺紋柱安裝在所述真空泵的下部中央；

10、集成裝置，所述集成裝置通過所述螺紋柱與所述真空泵連接，其中，所述集成裝置包括，

11、縱向螺栓，所述縱向螺栓通過安裝在所述集成裝置內部的齒輪控制所述螺紋柱縱向移動，

12、橫向螺栓，所述橫向螺栓通過安裝在所述集成裝置內部的齒輪控制所述柔觸臂橫向移動，

13、左柔觸臂，所述左柔觸臂安裝在所述集成裝置下部，其中，所述左柔觸臂包括，

14、左上腔體，所述左上腔體內嵌于所述左柔觸臂中；

15、左下腔體，所述左下腔體內嵌于所述左柔觸臂中；

16、右柔觸臂，所述右柔觸臂安裝在所述集成裝置下部，其中，所述右柔觸臂包括，

17、右上腔體，所述右上腔體內嵌于所述右柔觸臂中；

18、右下腔體，所述右上腔體內嵌于所述右柔觸臂中；

19、進一步地，所述氣壓裝置一與氣壓裝置二安裝在所述左柔觸臂一側，所述氣壓裝置三與所述氣壓裝置四安裝在所述右柔觸臂的一側；

20、進一步地，所述集成裝置在所述螺紋柱上通過所述縱向螺栓的轉動進行縱向移動，

21、進一步地，所述縱向螺栓順時針轉動，所述集成裝置向上移動，所述縱向螺栓逆時針轉動，所述集成裝置向下移動，

22、更進一步，所述左柔觸臂與所述右柔觸臂在所述集成裝置上通過所述橫向螺栓的轉動進行橫向轉動，

23、更進一步，所述橫向螺栓順時針轉動，所述左柔觸臂與所述右柔觸臂收緊，橫向螺栓逆時針轉動，所述左柔觸臂與所述右柔觸臂放松，

24、更進一步，所述左柔觸臂與所述右柔觸臂中的腔體通過所述真空泵上的氣壓裝置一、氣壓裝置二、氣壓裝置三、氣壓裝置四進行抽充真空，

25、再進一步，所述左上腔體與所述右上腔體通過所述氣壓裝置二與所述氣壓裝置三進行抽真空后，所述左柔觸臂上部與所述右柔觸臂上部向外側翻轉，

26、再進一步，所述左下腔體與所述右下腔體通過所述氣壓裝置一與所述氣壓裝置四進行抽真空后，所述左柔觸臂下部與所述右柔觸臂下部向內側翻轉，

27、再進一步，所述左柔觸臂與所述右柔觸臂的內側均有防滑橡膠顆粒。

28、本申請實施例中提供的一個或多個技術方案，至少具有如下技術效果或優(yōu)點：

29、1、由于將夾頭設為柔觸臂，所以，有效解決了普通半導體夾具靈活性差、適用范圍較低的技術問題，進而實現了一種夾頭可應對多種半導體的技術效果。

30、2、由于設有氣動裝置和柔觸臂，所以，有效解決了普通的半導體剛體夾具容易將半導體晶體毀壞的技術問題，進而實現了無損夾持半導體晶體的技術效果。

31、3、由于柔觸臂采用橡膠材質，所以，有效解決了普通剛性半導體夾具在重復使用后可能會出現彈性疲勞導致夾持力不穩(wěn)定的技術問題，進而實現了夾具使用年限的提高。

技術特征：

1.一種半導體柔性夾具(1)，其特征在于，

2.根據權利要求一所述的半導體柔性夾具(1)，其特征在于，所述氣壓裝置一(21)與氣壓裝置二(22)安裝在所述左柔觸臂(91)一側，所述氣壓裝置三(23)與所述氣壓裝置四(24)安裝在所述右柔觸臂(92)的一側。

3.根據權利要求1所述半導體柔性夾具(1)，其特征在于，所述集成裝置(13)在所述螺紋柱(5)上通過所述縱向螺栓(6)的轉動進行縱向移動。

4.根據權利要求3所述的縱向螺栓(6)，其特征在于，所述縱向螺栓(6)順時針轉動，所述集成裝置(13)向上移動，所述縱向螺栓(6)逆時針轉動，所述集成裝置(13)向下移動。

5.根據權利要求1所述的半導體柔性夾具(1)，其特征在于，所述左柔觸臂(91)與所述右柔觸臂(92)在所述集成裝置(13)上通過所述橫向螺栓(7)的轉動進行橫向轉動。

6.根據權利要求5所述的橫向螺栓(7)，其特征在于，所述橫向螺栓(7)順時針轉動，所述左柔觸臂(91)與所述右柔觸臂(92)收緊，橫向螺栓(7)逆時針轉動，所述左柔觸臂(91)與所述右柔觸臂(92)放松。

7.根據權利要求1所述的半導體柔性夾具(1)，其特征在于，所述左柔觸臂(91)與所述右柔觸臂(92)中的腔體通過所述真空泵(3)上的氣壓裝置一(21)、氣壓裝置二(22)、氣壓裝置三(23)、氣壓裝置四(24)進行抽充真空。

8.根據權利要求7所述腔體，其特征在于，所述左上腔體(81)與所述右上腔體(82)通過所述氣壓裝置二(22)與所述氣壓裝置三(23)進行抽真空后，所述左柔觸臂(91)上部與所述右柔觸臂(92)上部向外側翻轉。

9.根據權利要求7所述腔體，其特征在于，所述左下腔體(121)與所述右下腔體(122)通過所述氣壓裝置一(21)與所述氣壓裝置四(24)進行抽真空后，所述左柔觸臂(91)下部與所述右柔觸臂(92)下部向內側翻轉。

10.根據權利要求1所述半導體柔性夾具(1)，其特征在于，所述左柔觸臂(91)與所述右柔觸臂(92)的內側均有防滑橡膠顆粒。

技術總結
本發(fā)明公開了一種半導體柔性夾具，其特征在于，所述夾具包括：真空泵、螺紋柱、集成裝置、左柔觸臂、右柔觸臂、其中，所述真空泵包括：四個氣壓裝置，所述氣壓裝置均鑲嵌于所述真空泵中，同時，螺紋柱安裝在所述真空泵的下部中央；集成裝置通過螺紋柱與真空泵連接，其中，集成裝置包括縱向螺栓、橫向螺栓，縱向螺栓與橫向螺栓通過安裝在所述集成裝置內部的齒輪控制所述螺紋柱與柔觸臂移動；此外左柔觸臂安裝在集成裝置下部，其中，左柔觸臂包括，左上腔體、左下腔體，腔體內嵌于柔觸臂中；右柔觸臂，右柔觸臂安裝在所述集成裝置下部，其中，右柔觸臂包括，右上腔體、右下腔體，腔體內嵌于所述柔觸臂中。

技術研發(fā)人員：許建松,吳玉
受保護的技術使用者：上海雙舜科技發(fā)展有限公司
技術研發(fā)日：
技術公布日：2024/12/19