本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造，具體涉及一種光掩模保護(hù)膜拆卸裝置及拆卸方法。

背景技術(shù)：

1、光掩模版的保護(hù)膜是保證光掩模版免受污染和損傷的關(guān)鍵部件。然而，在拆除保護(hù)膜時(shí)，傳統(tǒng)方法通常存在以下問(wèn)題：加熱法拆除：利用加熱板加熱保護(hù)膜，使膠粘劑軟化或液化來(lái)實(shí)現(xiàn)拆除，然而，這種方法容易導(dǎo)致膠粘劑噴濺，污染光掩模版表面，并在清洗時(shí)可能引起霧斑，影響光掩模版的清潔度和精度；直接工具拆除：直接使用工具拆除保護(hù)膜，但由于光掩模版結(jié)構(gòu)精細(xì)且易損，直接施力拆除極易造成損壞，導(dǎo)致成本增加、光掩模版壽命縮短。

2、因此，現(xiàn)有技術(shù)存在缺陷，有待改進(jìn)與發(fā)展。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明實(shí)施例提供一種光掩模保護(hù)膜拆卸裝置及拆卸方法，用于解決現(xiàn)有技術(shù)中使用加熱法拆除容易導(dǎo)致膠粘劑噴濺，污染光掩模版表面，并在清洗時(shí)可能引起霧斑，影響光掩模版的清潔度和精度；直接工具拆除極易造成損壞，導(dǎo)致成本增加、光掩模版壽命縮短的問(wèn)題。

2、本發(fā)明實(shí)施例第一方面，提供一種光掩模保護(hù)膜拆卸裝置，包括置物臺(tái)，所述置物臺(tái)的上表面固定有限位件，所述限位件用于將光掩模版固定在所述置物臺(tái)的上表面；所述置物臺(tái)的上表面上涂覆有鐵氟龍涂層；所述置物臺(tái)的上表面還固定有拆卸組件，當(dāng)所述光掩模版固定在所述置物臺(tái)上時(shí)所述拆卸組件用于分離粘接于所述光掩模版上表面的光掩模保護(hù)膜；所述置物臺(tái)的上表面還固定有第一溫度傳感器；所述置物臺(tái)內(nèi)安裝有冷卻裝置，所述冷卻裝置包括水管，當(dāng)所述水管通水后用于將所述置物臺(tái)的上表面的溫度維持在5℃～10℃；所述水管的進(jìn)水口位于所述置物臺(tái)的一側(cè)，所述水管的出水口位于與所述進(jìn)水口相對(duì)的另一側(cè)；所述水管靠近所述進(jìn)水口的一端氣密性連接有第一流量電控閥，所述水管靠近所述出水口的一端氣密性連接有第二流量電控閥。

3、進(jìn)一步的，所述限位件包括固定在所述置物臺(tái)的上表面的固定端，所述限位件還包括轉(zhuǎn)動(dòng)連接于所述固定端的轉(zhuǎn)動(dòng)端，所述轉(zhuǎn)動(dòng)端上固定有擋片，當(dāng)光掩模版置于所述置物臺(tái)上時(shí)所述轉(zhuǎn)動(dòng)端用于將所述擋片轉(zhuǎn)動(dòng)遮擋在所述光掩模版的上表面。

4、進(jìn)一步的，所述拆卸組件包括固定在所述置物臺(tái)的上表面的4根立柱，按照逆時(shí)針?lè)较蚨x4根所述立柱分別為第一立柱、第二立柱、第三立柱和第四立柱；

5、所述第一立柱與所述第二立柱之間連接有第一滑桿，所述第一滑桿上靠近所述第一立柱的一端滑動(dòng)連接有第一固定桿，所述第一固定桿遠(yuǎn)離所述第一滑桿的一端固定有第一轉(zhuǎn)動(dòng)件，所述第一滑桿上靠近所述第二立柱的一端滑動(dòng)連接有第二固定桿，所述第二固定桿遠(yuǎn)離所述第一滑桿的一端固定有第二轉(zhuǎn)動(dòng)件；

6、所述第三立柱與所述第四立柱之間連接有第二滑桿，所述第二滑桿上靠近所述第三立柱的一端滑動(dòng)連接有第三固定桿，所述第三固定桿遠(yuǎn)離所述第二滑桿的一端固定有第三轉(zhuǎn)動(dòng)件，所述第二滑桿上靠近所述第四立柱的一端滑動(dòng)連接有第四固定桿，所述第四固定桿遠(yuǎn)離所述第二滑桿的一端固定有第四轉(zhuǎn)動(dòng)件；

7、所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)件與所述第四轉(zhuǎn)動(dòng)件之間轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第一撬件，所述第一撬件包括旋轉(zhuǎn)桿、把手和頂針，所述旋轉(zhuǎn)桿的一端轉(zhuǎn)動(dòng)連接于所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)件，所述旋轉(zhuǎn)桿的另一端轉(zhuǎn)動(dòng)連接于所述第二轉(zhuǎn)動(dòng)件；所述頂針有2個(gè)且都固定在所述旋轉(zhuǎn)桿上，所述頂針的針頭朝向所述光掩模保護(hù)膜，所述頂針的布置位置與所述光掩模保護(hù)膜的外框插孔一一對(duì)應(yīng)；所述把手固定在所述旋轉(zhuǎn)桿上且背向所述頂針的針頭，當(dāng)所述頂針的針頭插入所述光掩模保護(hù)膜的外框插孔時(shí)所述把手用于在按壓后從所述光掩模版上分離所述光掩模保護(hù)膜；所述第二轉(zhuǎn)動(dòng)件與所述第三轉(zhuǎn)動(dòng)件之間轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第二撬件，所述第一撬件與所述第二撬件結(jié)構(gòu)相同。

8、進(jìn)一步的，所述第一滑桿上固定有2個(gè)限位塊，其中一個(gè)所述限位塊介于第一立柱與所述第一固定桿之間，另一個(gè)所述限位塊介于所述第二立柱與所述第二固定桿之間；所述第二滑桿上也固定有2個(gè)所述限位塊，其中一個(gè)所述限位塊介于第三立柱與所述第三固定桿之間，另一個(gè)所述限位塊介于所述第四立柱與所述第四固定桿之間。

9、進(jìn)一步的，所述第一立柱、所述第二立柱、所述第三立柱和所述第四立柱為帶有外螺紋的立柱，所述第一立柱、所述第二立柱、所述第三立柱和所述第四立柱上分別螺紋連接有2個(gè)螺栓，所述第一滑桿的一端滑動(dòng)連接于所述第一立柱上且介于2個(gè)所述螺栓之間，所述第一滑桿的另一端滑動(dòng)連接于所述第二立柱且介于2個(gè)所述螺栓之間；所述第二滑桿的一端滑動(dòng)連接于所述第三立柱上且介于2個(gè)所述螺栓之間，所述第二滑桿的另一端滑動(dòng)連接于所述第四立柱且介于2個(gè)所述螺栓之間。

10、進(jìn)一步的，所述水管均勻鋪設(shè)于所述置物臺(tái)內(nèi)，所述水管介于所述第一流量電控閥與所述第二流量電控閥之間固定有至少固定有3個(gè)溫度傳感器，按照進(jìn)水先后順序依次定義為第二溫度傳感器、第三溫度傳感器和第四溫度傳感器，所述第二溫度傳感器靠近所述第一流量電控閥，所述第三溫度傳感器位于所述水管的管長(zhǎng)中點(diǎn)，所述第四溫度傳感器靠近所述第二流量電控閥。

11、進(jìn)一步的，所述鐵氟龍涂層的涂覆面積至少等于所述光掩模版的下表面面積，且所述鐵氟龍涂層的厚度在10μ?m～15μ?m。

12、進(jìn)一步的，所述置物臺(tái)內(nèi)除所述置物臺(tái)的上內(nèi)表面外的其余內(nèi)表面上都粘貼有保溫層，所述保溫層至少為巖棉保溫層、玻璃棉保溫層、聚氨酯泡沫保溫層中的一種。

13、本發(fā)明實(shí)施例第二方面，提供一種用于所述的一種光掩模保護(hù)膜拆卸裝置的拆卸方法，包括：

14、步驟一：將帶有光掩模保護(hù)膜的光掩模版置于置物臺(tái)上，用限位件將所述光掩模版固定在所述置物臺(tái)上；

15、步驟二：轉(zhuǎn)動(dòng)第一立柱、第二立柱、第三立柱和第四立柱上的螺栓，調(diào)整第一滑桿與第二滑桿的高度，使得位于旋轉(zhuǎn)桿上的頂針的針頭能夠插入所述光掩模保護(hù)膜的外框插孔內(nèi)；

16、步驟三：向水管內(nèi)通入水，保持第一流量電控閥和第二流量電控閥的開(kāi)度，保持所述第一溫度傳感器所檢測(cè)到的溫度數(shù)值介于5℃～10℃：

17、步驟四：當(dāng)所述第一溫度傳感器所檢測(cè)到的溫度數(shù)值介于5℃～10℃且保持至少1min時(shí)，雙手分別握住兩個(gè)把手，滑動(dòng)所述旋轉(zhuǎn)桿接近所述光掩模保護(hù)膜，直至所述頂針頂住所述光掩模保護(hù)膜的外框插孔；

18、步驟五：按壓兩個(gè)把手使得所述頂針撬動(dòng)所述光掩模保護(hù)膜的外框插孔，進(jìn)而帶動(dòng)所述光掩模保護(hù)膜從所述光掩模版的上表面分離。

19、進(jìn)一步的，所述保持所述第一溫度傳感器所檢測(cè)到的溫度數(shù)值介于5℃～10℃的方法包括：

20、若所述第一溫度傳感器所檢測(cè)到的溫度數(shù)值不在5℃～10℃，提取第二溫度傳感器、第三溫度傳感器和第四溫度傳感器的溫度數(shù)值；

21、若所述第二溫度傳感器、所述第四溫度傳感器所檢測(cè)到的溫度數(shù)值都大于10℃，則減小所述第一流量電控閥的開(kāi)度并增大第二流量電控閥的開(kāi)度，當(dāng)所述第三溫度傳感器所檢測(cè)到的溫度數(shù)值介于5℃～10℃且保持至少1min，則將所述第二流量電控閥的開(kāi)度調(diào)整至與所述第一流量電控閥的開(kāi)度相同；

22、若所述第二溫度傳感器、所述第四溫度傳感器所檢測(cè)到的溫度數(shù)值都小于5℃，則增大所述第一流量電控閥的開(kāi)度并減小第二流量電控閥的開(kāi)度，當(dāng)所述第三溫度傳感器所檢測(cè)到的溫度數(shù)值介于5℃～10℃且保持至少1min，則將所述第一流量電控閥的開(kāi)度調(diào)整至與所述第二流量電控閥的開(kāi)度相同；

23、若所述第二溫度傳感器所檢測(cè)到的溫度數(shù)值大于10℃、所述第四溫度傳感器所檢測(cè)到的溫度數(shù)值小于5℃，則根據(jù)所述第三溫度傳感器所檢測(cè)到的溫度數(shù)值調(diào)整所述第一流量電控閥和所述第二流量電控閥的開(kāi)度；若所述第三溫度傳感器所檢測(cè)到的溫度數(shù)值大于10℃，則減小所述第一流量電控閥的開(kāi)度并增大第二流量電控閥的開(kāi)度，當(dāng)所述第三溫度傳感器所檢測(cè)到的溫度數(shù)值介于5℃～10℃且保持至少1min，則將所述第二流量電控閥的開(kāi)度調(diào)整至與所述第一流量電控閥的開(kāi)度相同：若所述第三溫度傳感器所檢測(cè)到的溫度數(shù)值小于10℃，則增大所述第一流量電控閥的開(kāi)度并減小第二流量電控閥的開(kāi)度，當(dāng)所述第三溫度傳感器所檢測(cè)到的溫度數(shù)值介于5℃～10℃且保持至少1min，則將所述第一流量電控閥的開(kāi)度調(diào)整至與所述第二流量電控閥的開(kāi)度相同。

24、有益效果：

25、由以上技術(shù)方案可知，本發(fā)明提供了一種光掩模保護(hù)膜拆卸裝置及拆卸方法，通過(guò)冷卻裝置使膠粘劑低溫固化，從而有效降低粘附力，并結(jié)合精確的機(jī)械拆卸組件設(shè)計(jì)，使光掩模保護(hù)膜可在低溫環(huán)境下輕松、安全地剝離，不僅避免了加熱拆除時(shí)的污染問(wèn)題，也大幅降低對(duì)光掩模版的損害風(fēng)險(xiǎn)。這種設(shè)計(jì)提供了溫度控制精確、拆卸便捷、保護(hù)光掩模版的優(yōu)異效果。

26、應(yīng)當(dāng)理解，前述構(gòu)思以及在下面更加詳細(xì)地描述的額外構(gòu)思的所有組合只要在這樣的構(gòu)思不相互矛盾的情況下都可以被視為本公開(kāi)的發(fā)明主題的一部分。

27、結(jié)合附圖從下面的描述中可以更加全面地理解本發(fā)明教導(dǎo)的前述和其他方面、實(shí)施例和特征。本發(fā)明的其他附加方面例如示例性實(shí)施方式的特征和/或有益效果將在下面的描述中顯見(jiàn)，或通過(guò)根據(jù)本發(fā)明教導(dǎo)的具體實(shí)施方式的實(shí)踐中得知。