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硅棒自動(dòng)裝卸結(jié)構(gòu)的制作方法

文檔序號(hào):12369509閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種硅棒自動(dòng)裝卸結(jié)構(gòu),其特征在于:包括懸臂和置于其上的第二滑動(dòng)機(jī)構(gòu),所述懸臂(6)兩側(cè)還設(shè)有對(duì)稱的夾緊機(jī)構(gòu)(4),所述懸臂(6)為底部開(kāi)口的U形架,所述懸臂(6)的兩側(cè)壁對(duì)稱設(shè)有多個(gè)均勻分布的第一導(dǎo)向凸輪(601)和第二導(dǎo)向凸輪(602),所述第一導(dǎo)向凸輪(601)的軸線與所述第二導(dǎo)向凸輪(602)的軸線相互垂直,所述第二滑動(dòng)機(jī)構(gòu)(19)包括第二電動(dòng)機(jī)(1901)和與其同軸心配合的第二減速器(1902),所述第二減速器(1902)的輸出端通過(guò)同步帶輪(1905)轉(zhuǎn)動(dòng)連接第二絲杠螺母副(1906),所述第二絲杠螺母副(1906)的第二螺母(1907)底部固定卡爪(1909),所述懸臂上還設(shè)有轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu),所述轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)(5)分為第一轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)和第二轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅棒自動(dòng)裝卸結(jié)構(gòu),其特征在于:所述第二絲杠螺母副(1906)的絲杠通過(guò)第二固定架(1903)設(shè)有同步編碼器(1904),所述第一導(dǎo)向凸輪(601)的軸線水平且與與所述第二螺母(1907)的滑動(dòng)方向垂直,所述卡爪(1909)靠近支架(9)的一側(cè)設(shè)有水平放置的雙向電缸(1908),所述雙向電缸(1908)的軸線垂直于所述第二螺母(1907)的滑動(dòng)方向。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅棒自動(dòng)裝卸結(jié)構(gòu),其特征在于:所述懸臂(6)上設(shè)有水平儀(20),所述水平儀(20)置于所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)和所述第二轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)之間。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅棒自動(dòng)裝卸結(jié)構(gòu),其特征在于:所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括固定在所述懸臂(6)上的第一支座(501),所述第一支座(501)上鉸接有轉(zhuǎn)動(dòng)環(huán)(502),機(jī)械手(8)底部固定有吊環(huán)(503),所述吊環(huán)(503)置于所述轉(zhuǎn)動(dòng)環(huán)(502)內(nèi),所述第二轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括固定在所述懸臂(6)上的第二支座(508),所述第二支座(508)上鉸接有轉(zhuǎn)動(dòng)塊(507),所述轉(zhuǎn)動(dòng)塊(507)的另一端通過(guò)第三滑動(dòng)機(jī)構(gòu)與所述機(jī)械手(8)滑動(dòng)連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的硅棒自動(dòng)裝卸結(jié)構(gòu),其特征在于:所述第一支座(501)和所述轉(zhuǎn)動(dòng)環(huán)(502)通過(guò)第一銷(xiāo)軸(514)鉸接,所述第一銷(xiāo)軸(514)的軸線垂直于所述懸臂(6),所述第二支座(508)與所述轉(zhuǎn)動(dòng)塊(507)通過(guò)第二銷(xiāo)軸(504)鉸接,所述第二銷(xiāo)軸(504)的軸線與所述第一銷(xiāo)軸(514)的軸線相互垂直。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的硅棒自動(dòng)裝卸結(jié)構(gòu),其特征在于:所述第三滑動(dòng)機(jī)構(gòu)包括固定在機(jī)械手(8)底部的固定板(505),所述固定板(505)上設(shè)有兩條相互平行的第三導(dǎo)軌(509),所述第三導(dǎo)軌(509)上設(shè)有與其配合的第三滑塊(511),兩條所述第三導(dǎo)軌(509)之間還設(shè)有第三絲杠螺母副(510),所述第三絲杠螺母副(510)的第三螺母和所述第三滑塊上共同固定有支板(506),所述轉(zhuǎn)動(dòng)塊(507)固定在所述支板(506)上,所述第三絲杠螺母副(510)的軸線與所述第三滑塊(511)的滑動(dòng)方向平行,所述第二銷(xiāo)軸(504)的軸線與所述第三滑塊(511)的滑動(dòng)方向垂直,所述第三絲杠螺母副(510)通過(guò)第三電動(dòng)機(jī)(513)驅(qū)動(dòng),所述第三電動(dòng)機(jī)(513)的輸出軸和所述第三絲杠螺母副(510)的第三絲杠通過(guò)第三皮帶輪(512)轉(zhuǎn)動(dòng)連接,所述第三電動(dòng)機(jī)(513)的輸出軸的軸線與所述第三絲杠的軸線平行。

7.根據(jù)權(quán)利要求7所述的硅棒自動(dòng)裝卸結(jié)構(gòu),其特征在于:所述第二電動(dòng)機(jī)(1901)、所述第三電動(dòng)機(jī)(513)所述水平儀(20)和所述雙向電缸(1908)分別與控制單元電連接。

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