一種固定裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種固定裝置，屬于制造領(lǐng)域。所述實用新型包括承載平臺，在承載平臺的邊緣，設(shè)置有至少兩個定位臺，定位臺上設(shè)置有可移動的擋卡，擋卡通過螺栓與定位臺連接。本實用新型通過使用固定在定位臺上的擋卡，采用擠壓的方式將基片固定在承載平臺上上，避免了由于基片與承載平臺間存在空隙時，使用真空吸附失敗的發(fā)生，提高了固定的成功率。
【專利說明】—種固定裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本實用新型涉及制造領(lǐng)域，特別涉及一種固定裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]隨著技術(shù)的發(fā)展，為了將待加工部件(即基片)固定在工作臺(也稱為承載平臺)上，常使用真空吸附的方式。
[0003]上述真空吸附方式，是將基片置于承載平臺上，同時開啟空氣抽取設(shè)備，從通孔中將待加工的部件與基片間的空氣抽除，直至形成真空，這樣可以利用大氣壓將基片固定在承載平臺上，從而達(dá)到固定基片的目的。
[0004]在實現(xiàn)本實用新型的過程中，發(fā)明人發(fā)現(xiàn)現(xiàn)有技術(shù)至少存在以下問題:
[0005]當(dāng)基片上帶有孔洞或者基片不能與承載平臺平整接觸時，由于空隙的存在使得基片與承載平臺間存在空氣的原因不能形成真空，在基片旋轉(zhuǎn)時，基片容易與承載平臺發(fā)生相對滑動，導(dǎo)致固定失敗。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]為了解決現(xiàn)有技術(shù)的問題，本實用新型提供了一種固定裝置，所述固定裝置，包括承載平臺，在所述承載平臺的邊緣，設(shè)置有至少兩個定位臺，所述定位臺上設(shè)置有可移動的擋卡，所述擋卡通過螺栓與所述定位臺連接。
[0007]可選的，所述擋卡至少包括定位座、定位端、通孔。
[0008]可選的，所述定位座的橫截面為凹形結(jié)構(gòu)，所述凹形結(jié)構(gòu)的內(nèi)部寬度與所述定位臺橫截面的寬度相同。
[0009]可選的，在所述承載平臺正面設(shè)置有刻度線。
[0010]可選的，所述定位臺上設(shè)有第一槽口，所述擋卡上的螺栓通過所述第一槽口與所述定位臺連接。
[0011]可選的，在所述基片的背面延伸有內(nèi)空的環(huán)形體，所述環(huán)形體的中軸線與所述承載平臺的中軸線重合。
[0012]可選的，在所述環(huán)形體遠(yuǎn)離所述承載平臺的一端，設(shè)置有至少一個第二槽口。
[0013]可選的，所述第二槽口的開口方向與所述承載平臺所處的平面在空間上平行。
[0014]本實用新型提供的技術(shù)方案帶來的有益效果是:
[0015]通過使用固定在定位臺上的擋卡，采用擠壓的方式將基片固定在承載平臺上，避免了由于基片與平臺間存在空隙時，使用真空吸附導(dǎo)致失敗的發(fā)生，從而提高了固定的成功率。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0016]為了更清楚地說明本實用新型的技術(shù)方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0017]圖1是本實用新型提供的一種固定裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0018]圖2是本實用新型提供的一種固定裝置的部件的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖3是本實用新型提供的一種固定裝置的部件的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖4是本實用新型提供的甩膠機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實施方式】
[0021]為使本實用新型的結(jié)構(gòu)和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合附圖對本實用新型的結(jié)構(gòu)作進(jìn)一步地描述。
[0022]實施例一
[0023]本實用新型提供了一種固定裝置，如圖1所示，該裝置包括:
[0024]承載平臺1，在承載平臺I的邊緣，設(shè)置有至少兩個定位臺2，定位臺2上設(shè)置有可移動的擋卡3,所述擋卡3通過螺栓4與所述定位臺2連接。
[0025]其中，如圖2所示,擋卡3至少包括定位座6、定位端7、通孔8,定位座6的橫截面為凹形結(jié)構(gòu)，該凹形結(jié)構(gòu)的內(nèi)部寬度與定位臺橫截面的寬度相同。
[0026]可選的，上述凹形結(jié)構(gòu)的內(nèi)部寬度與定位臺2橫截面的寬度相同，使得擋卡3能夠與定位臺2在結(jié)構(gòu)上完全契合，提高了擋卡與定位臺連接的可靠性。
[0027]值得一提的是，上述定位臺2可以在承片平臺I的邊緣對稱設(shè)置，也可以根據(jù)基片的形狀進(jìn)行設(shè)置，此處對定位臺2的具體布局不予限制。
[0028]其中，在承片平臺I的正面設(shè)置有刻度線。
[0029]可選的，在圖1中，該刻度線5可以是以承片平臺I的中心為圓心、以不同數(shù)值為半徑的同心圓的布局，也可以為以承載平臺I的中心點(diǎn)和每個定位臺2上距該中心較近端的的端點(diǎn)所確定的線段，還可以為上述同心圓和線段組合的布局。在擋卡3安裝到定位臺2上時，定位端7在刻度線上指示的數(shù)值即為當(dāng)前擋卡3距離承載平臺I中心點(diǎn)的距離。
[0030]其中,在定位臺2上設(shè)有第一槽口 9,擋卡3上的螺栓4通過第一槽口 9與定位臺2連接。
[0031]可選的，在圖1中，該第一槽口位于定位臺2上，其長度略小于定位臺2的長度。在擋卡3通過螺栓4固定在定位臺2上之后，擋卡3可以通過螺栓4在定位臺2上沿第一槽口 9作直線滑動，在滑動時，定位端7與承載平臺I的中心點(diǎn)的距離隨之改變。
[0032]上述結(jié)構(gòu)均位于承載平臺I的一個平面，為便于敘述，將該平面稱為正面，在承載平臺I的另一個平面即背面上，還設(shè)置有其他結(jié)構(gòu)，具體的如下所示:
[0033]其中，在承載平臺I的背面延伸有內(nèi)空的環(huán)形體10，該環(huán)形體10的中軸線與承載平臺I的中軸線重合。
[0034]可選的，如圖3所示，環(huán)形體10的形狀為圓柱體，且其中軸線與承載平臺I的中軸線重合，從而保證在環(huán)形體10和承載平臺I能夠做同軸轉(zhuǎn)動。
[0035]進(jìn)一步的，該環(huán)形體10為內(nèi)空結(jié)構(gòu)，該結(jié)構(gòu)內(nèi)徑的數(shù)值與需要固定的電機(jī)的轉(zhuǎn)軸直徑相關(guān)，以便于該環(huán)形體10能夠在電機(jī)的帶動下，可以穩(wěn)定轉(zhuǎn)動。
[0036]其中，在環(huán)形體10遠(yuǎn)離承載平臺I的一端，設(shè)置有至少一個第二槽口 11。
[0037]可選的，在圖3中，該第二槽口 11位于環(huán)形體10遠(yuǎn)離承載平臺I的一端，以便于與電機(jī)轉(zhuǎn)軸固定，從而在電機(jī)的帶動下，可以穩(wěn)定轉(zhuǎn)動。
[0038]其中，第二槽口 n的開口方向與承載平臺I所處的平面在空間上平行。
[0039]可選的，由于第二槽口 11的開口方向與承載平臺I所處的平面平行，承載平臺I與環(huán)形體10的中軸線重合，并且該中軸線又是承載平臺I與環(huán)形體10的旋轉(zhuǎn)軸線，因此，第二槽口 11的開口方向與該旋轉(zhuǎn)軸線垂直，也就是與電機(jī)轉(zhuǎn)軸垂直，因此，在電機(jī)轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)時，處于與電機(jī)轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)方向垂直方向的第二槽口可以保持穩(wěn)定狀態(tài)。
[0040]本實施例中提出的固定裝置，通過使用固定在定位臺上的擋卡，采用擠壓的方式將基片固定在承載平臺上，避免了由于基片與承載平臺間存在空隙時，使用真空吸附失敗的發(fā)生，提聞了固定的成功率。
[0041]實施例二
[0042]本實用新型提供一種固定裝置的安裝及使用方法，具體如下文所示:
[0043]安裝方法:
[0044](I)令定位端指向承載平臺的中心點(diǎn),將定位座的凹形結(jié)構(gòu)扣入定位臺，并向承載平臺中心的方向推動擋卡，直至擋卡可以在定位臺上順利滑動。
[0045](2)將螺栓依次通過擋卡上的通孔和第一槽口，并在旋緊后通過摩擦力使得擋卡固定在定位臺上，按此方法依次固定所有擋卡。
[0046](3)將環(huán)形結(jié)構(gòu)套于電機(jī)轉(zhuǎn)軸上，并通過第二槽口將電機(jī)轉(zhuǎn)軸和環(huán)形體固定。其中，可以使用額外的固定裝置通過第二槽口固定電機(jī)轉(zhuǎn)軸和環(huán)形體。
[0047](4)將基片置于承載平臺上，逐個調(diào)整擋卡與承載平臺中心點(diǎn)的距離，當(dāng)所有擋卡可以把基片恰好卡住時，旋緊所有螺栓。
[0048]通過上述安裝方法，使得該固定裝置能夠?qū)⒒卫喂潭ㄔ诔休d平臺上，下邊結(jié)合具體的使用場景，對該固定裝置的使用作進(jìn)一步的描述。
[0049]甩膠機(jī)，又稱為勻膠機(jī)，是利用旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的離心力，將膠液均勻甩開，從而均勻涂覆在基片表面的一種設(shè)備，適用于各類對材料表面涂覆的均勻性有嚴(yán)格要求的實驗或制造領(lǐng)域，例如半導(dǎo)體材料研發(fā)和制備、生物材料物性分析、化工材料薄膜的制備工藝等。
[0050]下面即以甩膠機(jī)對一種對基片進(jìn)行膠液涂覆為應(yīng)用場景，具體如圖4所示。
[0051]首先，將基片21置于甩膠機(jī)的承載平臺22上，并通過擋卡將基片21固定。這里可以根據(jù)基片21的實際尺寸，結(jié)合承載平臺22上的刻度線進(jìn)行預(yù)先調(diào)整，以便節(jié)省固定基片21的時間。
[0052]這里使用了四個定位臺23、四個擋卡24以及四個螺栓25用于固定基片21。
[0053]其次，將膠液噴頭26的位置初始化，即置于承載平臺22中心點(diǎn)的正上方。
[0054]接著，打開電機(jī)開關(guān)，在電機(jī)轉(zhuǎn)軸27的帶動下，環(huán)形體28、承載平臺22、基片21開始轉(zhuǎn)動，此時，膠液噴頭根據(jù)需要涂覆的位置向基片21滴落膠液，隨著涂覆過程的進(jìn)行，膠液噴頭26沿承載平臺22的徑向方向同步向承載平臺22的邊緣移動，以使基片21的表面上涂覆有膠液，最終實現(xiàn)完整的膠液涂覆。
[0055]最后，膠液噴頭回歸初始位置，電機(jī)開關(guān)關(guān)閉，電機(jī)轉(zhuǎn)軸停止轉(zhuǎn)動，膠液涂覆完成。
[0056]通過使用上述固定裝置，使得在進(jìn)行膠液涂覆的過程中，能夠保證基片的固定，不僅提高了固定的成功率，還由于減少了由于固定失敗需要重復(fù)固定的時間，進(jìn)而在一定程度上提高膠液涂覆的效率。
[0057]需要說明的是:上述實施例提供的固定裝置進(jìn)行膠液涂覆的實施例，僅作為該固定裝置中在具體應(yīng)用中的說明，還可以根據(jù)實際需要而將上述固定裝置在其他應(yīng)用場景中使用，其具體實現(xiàn)過程類似于上述實施例，這里不再贅述。
[0058]上述實施例中的各個序號僅僅為了描述，不代表各部件的組裝或使用過程中得先后順序。
[0059]以上所述僅為本實用新型的實施例，并不用以限制本實用新型，凡在本實用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種固定裝置，包括承載平臺，其特征在于，在所述承載平臺的邊緣，設(shè)置有至少兩個定位臺，所述定位臺上設(shè)置有可移動的擋卡，所述擋卡通過螺栓與所述定位臺連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固定裝置，其特征在于，所述擋卡至少包括定位座、定位端、通孔。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的固定裝置，其特征在于，所述定位座的橫截面為凹形結(jié)構(gòu)，所述凹形結(jié)構(gòu)的內(nèi)部寬度與所述定位臺橫截面的寬度相同。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固定裝置，其特征在于，在所述承載平臺正面設(shè)置有刻度線。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固定裝置，其特征在于，所述定位臺上設(shè)有第一槽口，所述擋卡上的螺栓通過所述第一槽口與所述定位臺連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固定裝置，其特征在于，在所述承載平臺的背面延伸有內(nèi)空的環(huán)形體，所述環(huán)形體的中軸線與所述承載平臺的中軸線重合。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的固定裝置，其特征在于，在所述環(huán)形體遠(yuǎn)離所述承載平臺的一端，設(shè)置有至少一個第二槽口。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的固定裝置，其特征在于，所述第二槽口的開口方向與所述承載平臺所處的平面在空間上平行。
【文檔編號】B25B11/00GK204160358SQ201420574802
【公開日】2015年2月18日 申請日期:2014年9月30日 優(yōu)先權(quán)日:2014年9月30日
【發(fā)明者】張志勇, 廖付友, 阮雄飛, 王登, 王瑜豪, 劉成 申請人:西北大學(xué)