機器人臂和機器人的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種機器人臂和機器人。所述機器人臂包括：第一臂，該第一臂的基端部以可旋轉(zhuǎn)的方式連接至臂基部；第二臂，該第二臂的基端部以可旋轉(zhuǎn)的方式連接至所述第一臂的末端部，并且該第二臂的末端部供機器人手以可旋轉(zhuǎn)的方式連接。此外，所述機器人臂包括連桿單元，該連桿單元的基端部相對于所述臂基部以可旋轉(zhuǎn)的方式被支撐，并且該連桿單元的末端部在所述第一臂的中間部處插入所述第一臂中并且被支撐為能相對于所述第一臂進行相對旋轉(zhuǎn)。所述連桿單元通過向所述第二臂的所述基端部傳遞相對旋轉(zhuǎn)而使所述第二臂相對于所述第一臂旋轉(zhuǎn)。
【專利說明】機器人臂和機器人
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本文所公開的實施方式涉及機器人臂和機器人。
【背景技術(shù)】
[0002]傳統(tǒng)上，已知將水平多關(guān)節(jié)機器人作為用于運送諸如玻璃基板和半導體晶片的工件的機器人。水平多關(guān)節(jié)機器人是包括有可伸展臂的機器人，在該可伸展臂中，兩個臂部通過關(guān)節(jié)連接。在水平多關(guān)節(jié)機器人中，設(shè)置在可伸展臂的末端部中的末端執(zhí)行器通過旋轉(zhuǎn)地操作相應(yīng)的臂部而被線性移動。水平多關(guān)節(jié)機器人被構(gòu)造成使得支撐可伸展臂的基部單元能繞作為豎直軸線的回轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)。
[0003]在水平多關(guān)節(jié)機器人中，要求附接至可伸展臂的末端部的末端執(zhí)行器的取向不因臂部的旋轉(zhuǎn)操作而改變。在這點上，在例如JP2005-66718A中已提出一種多關(guān)節(jié)機器人，在該機器人中，末端執(zhí)行器的旋轉(zhuǎn)受順隨單獨的臂部的旋轉(zhuǎn)操作而操作的連桿機構(gòu)的限制。
[0004]更具體而言，JP2005-66718A中所公開的多關(guān)節(jié)機器人通過使用平行連桿機構(gòu)來限制末端執(zhí)行器的旋轉(zhuǎn)，該平行連桿機構(gòu)包括多個輔助連桿，這些輔助連桿中的至少一個連桿被樞接到使基端臂部(第一臂)和末端臂部(第二臂)互連的關(guān)節(jié)上，并且與該第二臂處于同軸關(guān)系。
[0005]在第一臂和第二臂的基端處分別設(shè)置減速器。作為驅(qū)動動力源的馬達的動力經(jīng)由減速器和皮帶輪機構(gòu)被傳遞到第一臂和第二臂，從而使第一臂和第二臂旋轉(zhuǎn)。
[0006]然而，在上面描述的相關(guān)技術(shù)中，在減小工作空間方面存在改善的余地。例如，長度與第一臂或第二臂相同的輔助連桿被包括在平行連桿機構(gòu)中。在水平多關(guān)節(jié)機器人繞基部單元的旋轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)且可伸展臂保持收回的情況下，輔助連桿最大程度地向外突出，從而增大最小回轉(zhuǎn)半徑。
[0007]如早前所述，至少一個輔助連桿樞接到使第一臂和第二臂互連的關(guān)節(jié)上，且與第二臂處于同軸關(guān)系。而且需要采用減速器。為此，可伸展臂的總厚度變得較大。
[0008]在這點上，通過僅用簡單的皮帶輪機構(gòu)來形成動力傳遞機構(gòu)能減小可伸展臂的總厚度。然而，該構(gòu)造的缺點在于，動力傳遞剛性被顯著降低。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0009]本文所公開的實施方式提供了一種能夠在減小工作空間的同時確保動力傳遞剛性的機器人臂和機器人。
[0010]根據(jù)實施方式的一方面，提供了一種機器人臂，該機器人臂包括:第一臂，該第一臂的基端部以可旋轉(zhuǎn)的方式連接至臂基部；第二臂，該第二臂的基端部以可旋轉(zhuǎn)的方式連接至所述第一臂的末端部，并且該第二臂的末端部供機器人手以可旋轉(zhuǎn)的方式連接；以及連桿單元，該連桿單元的基端部相對于所述臂基部以可旋轉(zhuǎn)的方式被支撐，并且該連桿單元的末端部在所述第一臂的中間部處插入所述第一臂中并且被支撐為能相對于所述第一臂進行相對旋轉(zhuǎn)，所述連桿單元通過向所述第二臂的基端部傳遞相對旋轉(zhuǎn)而使所述第二臂相對于所述第一臂旋轉(zhuǎn)。
[0011]有益效果
[0012]通過本文公開的實施方式，可以在減小工作空間的同時確保動力傳遞剛性。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0013]圖1是示出根據(jù)實施方式的機器人的構(gòu)造的示意性剖視圖。
[0014]圖2A是示出處于最大收回狀態(tài)的機器人臂的示意性平面圖。
[0015]圖2B是示出處于伸展狀態(tài)的機器人臂的示意性平面圖。
[0016]圖3A是示出采用與現(xiàn)有技術(shù)中相同的平行連桿機構(gòu)的機器人的構(gòu)造的示意性剖視圖。
[0017]圖3B是示出采用與現(xiàn)有技術(shù)中相同的平行連桿機構(gòu)的機器人的最小回轉(zhuǎn)半徑的示意性平面圖。
[0018]圖4是示出采用與現(xiàn)有技術(shù)中相同的皮帶輪機構(gòu)的機器人的構(gòu)造的示意性剖視圖。
【具體實施方式】
[0019]現(xiàn)在將參照附圖詳細地描述在當前申請中所公開的機器人臂和機器人的實施方式。本公開內(nèi)容不受下文所公開的實施方式的限制。
[0020]在下面的說明中，將說明以下示例，在該示例中，機器人是安裝在真空室內(nèi)并且構(gòu)造成運送作為待被運送的物體的半導體晶片或玻璃基板的運送機器人。待被運送的物體將被稱為“工件”。而且，作為末端執(zhí)行器的機器人手將被稱為“手”。
[0021]首先，將參照圖1來描述根據(jù)本實施方式的機器人I的構(gòu)造。
[0022]為了更容易地理解說明，圖1中顯示了三維直角坐標系，該坐標系包括Z軸，該Z軸的正向是豎直向上方向并且其負向是豎直向下方向。沿著XY平面延伸的方向是指“水平方向”。在用于下面的說明的其他附圖中有時也將顯示該直角坐標系。
[0023]參看圖1，機器人I是水平多關(guān)節(jié)機器人，其設(shè)置有能沿水平方向伸展和收回的可伸展臂。更具體而言，機器人I包括主體10和機器人臂20。
[0024]主體10設(shè)置在機器人臂20的下方。主體10包括殼體11、凸緣12和支撐件13。殼體11形成為大體上管狀形狀。在殼體11內(nèi)，設(shè)置有用于使第一臂22旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動動力源(例如馬達)。
[0025]凸緣12形成在殼體11的上部中。通過將凸緣12固定到真空室30，機器人臂20安裝在真空室30內(nèi)。支撐旋轉(zhuǎn)部26支撐機器人臂20的基端部(稍后描述的第一臂22的基端部)。支撐旋轉(zhuǎn)部26借助上述驅(qū)動動力源而旋轉(zhuǎn)并且構(gòu)造成使第一臂22繞軸線Pl旋轉(zhuǎn)。
[0026]機器人臂20借助支撐件13連接至主體10。更具體而言，機器人臂20包括臂基部21、支撐旋轉(zhuǎn)部26、第一臂22、第二臂23、手24和連桿單元(稍后描述)。
[0027]臂基部21是機器人臂20的固定至支撐件13的上表面的基部。臂基部21隨著支撐件13的旋轉(zhuǎn)在凸緣12的上方回轉(zhuǎn)。第一臂22的基端部連接至支撐旋轉(zhuǎn)部26，從而第一臂22能相對于臂基部21而繞軸線Pl旋轉(zhuǎn)。[0028]第二臂23的基端部連接至第一臂22的末端部的上部，從而第二臂23能繞軸線P2旋轉(zhuǎn)。手24的基端部連接至第二臂23的末端部的上部，從而手24能繞軸線P3旋轉(zhuǎn)。
[0029]機器人臂20包括構(gòu)成連桿單元的支撐柱25a、第一連桿25b以及第二連桿25c。
[0030]支撐柱25a豎立地安裝在臂基部21上。第一連桿25b的基端部樞接到支撐柱25a，從而第一連桿25b能繞軸線P4旋轉(zhuǎn)。
[0031]第二連桿25c的基端部在比第一連桿25b和第一臂22的下表面低的一側(cè)(更靠近臂基部21的一側(cè))連接至第一連桿25b的末端部，從而第二連桿25c能繞軸線P5旋轉(zhuǎn)。
[0032]第二連桿25c的末端部從第一臂22的下表面插入第一臂22中。在這點上，第二連桿25c的末端部在第一臂22的基端部和末端部之間的中間部中插入該第一臂22中。
[0033]優(yōu)選地，第一臂22的中間部定位在第二臂23的基端部附近。稍后將參照圖2A和其它附圖更詳細地描述上述內(nèi)容。
[0034]第二連桿25c的在第一臂22的中間部中插入該第一臂22中的末端部相對于第一臂22繞軸線P6以可旋轉(zhuǎn)的方式被支撐。第二連桿25c的末端部設(shè)置有固定帶輪22a。因此，如果第一臂22繞軸線Pl旋轉(zhuǎn)，則固定帶輪22a響應(yīng)于第一臂22進行相對旋轉(zhuǎn)。
[0035]與此相反，第一臂22的末端部設(shè)置有與固定帶輪22a處于相同高度位置的固定帶輪23b。固定帶輪23b借助柱22b直接連接至第二臂23的基端部。柱22b在延伸穿過固定帶輪23b的中央部的同時豎立地安裝在第一臂22的末端部內(nèi)。
[0036]固定帶輪23b和22a構(gòu)造成具有預(yù)定帶輪比并且由正時皮帶TBl互連。稍后將參照圖2A和其他附圖對預(yù)定帶輪比進行說明。氯丁橡膠等能適當?shù)赜米髦圃煺龝r皮帶TBl的材料。
[0037]固定帶輪22a和固定帶輪23b的厚度可以彼此不同。因此，固定帶輪22a和固定帶輪23b設(shè)置在相同的高度位置的事實意味著:正時皮帶TBl大體上平行于第一臂22的主表面布置。
[0038]在該構(gòu)造中，如果第一臂22繞軸線Pl旋轉(zhuǎn)，則固定帶輪22a響應(yīng)于此進行相對旋轉(zhuǎn)。固定帶輪22a的相對旋轉(zhuǎn)借助正時皮帶TBl被傳遞到固定帶輪23b，從而使第二臂23相對于第一臂22沿相反方向繞軸線P2旋轉(zhuǎn)。
[0039]柱22b的末端部固定有帶輪23c。帶輪24a直接連接至手24的基端部。帶輪23c和帶輪24a借助正時皮帶TB2互連。
[0040]因此，如果第一臂22繞軸線Pl旋轉(zhuǎn)，則帶輪23c響應(yīng)于此相對于第二臂23進行相對旋轉(zhuǎn)。帶輪23c的相對旋轉(zhuǎn)借助正時皮帶TB2被傳遞到帶輪24a，從而使手24相對于第二臂23沿相反方向繞軸線P3旋轉(zhuǎn)。
[0041]接下來，將參照圖2A和圖2B描述在平面圖中所看的機器人臂20。
[0042]圖2A中所顯示的圓Rl表示在機器人臂20在最大收回狀態(tài)下繞軸線Pl旋轉(zhuǎn)時由第二臂23的末端部或手24的基端部所繪出的軌跡，并且該圓Rl具有“最小回轉(zhuǎn)半徑”。由附圖標記W表示的構(gòu)件是“工件”。
[0043]如圖2A所示，包括第一連桿25b和第二連桿25c的連桿單元構(gòu)成臂基部21和第一臂22之間的所謂的平行連桿機構(gòu)。
[0044]在本實施方式中，平行連桿機構(gòu)中的第一連桿25b的軸線P4和P5之間或者第二連桿25c的軸線P5和P6之間的長度L2設(shè)定成短于第一臂22的軸線Pl和P2之間的長度LI。
[0045]更具體而言，第一連桿25b和第二連桿25c的軸間長度L2 (或者第一連桿25b和第二連桿25c的長度)、第一連桿25b的基端部的所形成的配設(shè)位置以及第二連桿25c的末端部的所形成的配設(shè)位置(即，第一臂22的中間部的位置)被設(shè)定為使得該平行連桿機構(gòu)在機器人臂20采取最大收回的最小回轉(zhuǎn)姿勢時位于圓Rl內(nèi)。
[0046]這時，優(yōu)選地是，第一臂22的中間部定位在第二臂23的基端部附近。這使得可以縮短正時皮帶TBl的長度(參見圖1)。因此可以限制動力傳遞剛度因正時皮帶TBl而被降低。
[0047]如圖2B所示，當從最小回轉(zhuǎn)姿勢伸展機器人臂20時，需要將手24的運動方向和取向限制到預(yù)定的方向和取向(限制到圖2B中的X軸方向)。
[0048]在本實施方式中，手24的運動方向和取向由上述的“預(yù)定帶輪比”限制。更具體而言，第一臂22和第二臂23旋轉(zhuǎn)而使得第二臂23相對于第一臂22的旋轉(zhuǎn)量能變成第一臂22相對于臂基部21的旋轉(zhuǎn)量的兩倍那樣大。
[0049]例如，如果第一臂22相對于臂基部21旋轉(zhuǎn)了 α度，則第二臂23相對于第一臂22旋轉(zhuǎn)2α度。這能通過將固定帶輪22a和固定帶輪23b的帶輪比設(shè)定成“2:1”來實現(xiàn)。
[0050]在前述情況下，期望使手24相對于第二臂23旋轉(zhuǎn)α度。因此，如果帶輪23c和帶輪24a的帶輪比設(shè)定成“ 1:2”，則可以使手24以與第一臂22的旋轉(zhuǎn)量相同的旋轉(zhuǎn)量并且沿與第二臂23的旋轉(zhuǎn)方向相反的旋轉(zhuǎn)方向旋轉(zhuǎn)。
[0051]因此，即使當伸出和收回機器人臂20時，也可以將手24的運動方向和取向限制到預(yù)定方向和取向。
[0052]現(xiàn)在將參照圖3A、圖3B和圖4描述能由上面闡述的本實施方式實現(xiàn)的效果，圖3A、圖3B和圖4示出了采用傳統(tǒng)構(gòu)造的機器人。
[0053]圖3A是示出采用傳統(tǒng)的平行連桿機構(gòu)的機器人I’的構(gòu)造的示意性剖視圖。圖3B是示出采用傳統(tǒng)的平行連桿機構(gòu)的機器人I’的最小回轉(zhuǎn)半徑的示意性剖視圖。圖4是示出采用另一傳統(tǒng)的皮帶輪機構(gòu)的機器人I’’的構(gòu)造的示意性剖視圖。
[0054]對于機器人I’和機器人I’’，將僅描述待與根據(jù)本實施方式的機器人I的部件進行比較的那些部件。其他部件將不被示出和描述。
[0055]如圖3A所示，機器人I’的機器人臂20’包括第一臂22’、第二臂23’以及由第一連桿25b’和第二連桿25c’構(gòu)成的連桿單元。
[0056]在機器人I’中，第二臂23’響應(yīng)于第一臂22’的旋轉(zhuǎn)操作通過利用第二連桿25c’直接驅(qū)動關(guān)節(jié)部Ml的齒輪系來旋轉(zhuǎn)。為此，需要以上級和下級兩級來布置齒輪，從而提高速度。因此，第一臂22’并且因此機器人臂20’趨于沿厚度方向尺寸變大。
[0057]而且，第二連桿25c’在第一臂22’的上表面的一側(cè)連接。這變成機器人臂20’的總體厚度增大的原因。因此難以減小工作空間。
[0058]在機器人I’的機器人臂20’中，如圖3B所示，平行連桿機構(gòu)通過使第一連桿25b’或第二連桿25c’的軸間長度等于第一臂22’的軸間長度LI而形成。
[0059]因此，最小回轉(zhuǎn)半徑大于由第二臂23’的末端部所繪的圓Rl的半徑并且等于由肘部所繪的圓R2的半徑，所述肘部由第一連桿25b’和第二連桿25c’形成。因此難以減小工作空間。[0060]如圖4所示，機器人I”的機器人臂20，，包括帶輪22a’、23b’、23c’和24a，以及正時皮帶TBim TB2’。機器人臂20’ ’采用通過僅僅結(jié)合帶輪22a’、23b’、23c’和24a’以及正時皮帶ΤΒ1'和TB2’所形成的皮帶輪機構(gòu)。
[0061]在該情況下，動力傳遞剛性因正時皮帶ΤΒ1'和TB2’的拉伸、偏轉(zhuǎn)和扭轉(zhuǎn)而被顯著降低。這在沿預(yù)定取向保持工件W的同時線性移動工件W方面可能變得更困難。[0062]在這點上，在根據(jù)本實施方式的機器人I的情況下，第二臂23通過經(jīng)由單級皮帶輪機構(gòu)傳遞響應(yīng)于第一臂22的旋轉(zhuǎn)的相對旋轉(zhuǎn)而能夠旋轉(zhuǎn)。這使得可以減小機器人臂20的厚度。換言之，可以減小工作空間。
[0063]因為第二連桿25c在第一臂22的下側(cè)連接至第一臂22，因此可以減小機器人臂20的厚度。這使得可以使工作空間變窄。
[0064]由于第一連桿25b或第二連桿25c的軸間長度L2被設(shè)定成比第一臂22的軸間長度LI短，因此可以減小最小回轉(zhuǎn)半徑。這使得可以使工作空間變窄。
[0065]因為平行連桿機構(gòu)在使第二臂23旋轉(zhuǎn)中被采用，因此可以確保動力傳遞剛性。為了將第一臂22的相對旋轉(zhuǎn)借助第二連桿25c傳遞到第二臂23，而將第二連桿25c的末端部布置在第二臂23的基端部附近。這使得可以使用短正時皮帶TB1。因此可以通過使用皮帶輪機構(gòu)來確保動力傳遞剛性。
[0066]在根據(jù)本實施方式的機器人臂20和設(shè)置有該機器人臂20的機器人I的情況下，可以在確保動力傳遞剛性的同時減小工作空間。
[0067]再次參看圖1，在根據(jù)本實施方式的機器人I中，作為驅(qū)動動力源的馬達被容納在保持于大氣壓下的殼體11內(nèi)。第一臂22和第二臂23被容納在保持于減壓環(huán)境下的真空室30內(nèi)。
[0068]換言之，第一臂22和第二臂23的內(nèi)部處于真空狀態(tài)。因此，可以限制真空室30的內(nèi)部受到因驅(qū)動動力源的操作而產(chǎn)生的顆粒的污染。另外，可以防止在顆粒的影響下在第一臂22和第二臂23的內(nèi)部機構(gòu)中出現(xiàn)故障。
[0069]如上所述，根據(jù)本實施方式的機器人臂包括第一臂、第二臂和連桿單元。第一臂的基端部以可旋轉(zhuǎn)的方式連接至臂基部。第二臂的基端部以可旋轉(zhuǎn)的方式連接至第一臂的末端部。機器人手以可旋轉(zhuǎn)的方式連接至第二臂的末端部。連桿單元的基端部相對于臂基部以可旋轉(zhuǎn)的方式被支撐。連桿單元形成臂基部和第一臂之間的平行連桿機構(gòu)。連桿單元使第二臂相對于第一臂旋轉(zhuǎn)。連桿單元的末端部在第一臂的中間部中插入該第一臂中并且相對于第一臂以可旋轉(zhuǎn)的方式被支撐。連桿單元將相對旋轉(zhuǎn)傳遞到第二臂的基端部，從而使第二臂旋轉(zhuǎn)。
[0070]因此，對于本實施方式的機器人臂可以在確保動力傳遞剛性的同時減小工作空間。
[0071]在前述實施方式中，已經(jīng)描述了機器人是用于運送工件的運送機器人的示例。另選地，機器人可以是用于執(zhí)行除工件運送工作之外的工作的機器人。
[0072]在前述實施方式中，已經(jīng)描述了機器人安裝在真空室內(nèi)的示例。另選地，機器人可以安裝在除真空室以外的室中。
[0073]在前述實施方式中，已經(jīng)描述了將正時皮帶用作用于將帶輪互連的構(gòu)件的示例。然而，本公開內(nèi)容不限于此。例如，可以使用鋼帶來代替正時皮帶。而且，帶的不與帶輪接觸的部分可以由鋼帶局部地加強。齒輪系可以代替帶來使用。
[0074]在前述實施方式中，已經(jīng)描述了機器人具有單個臂的示例。然而，臂的數(shù)量不限于此。本公開內(nèi)容可以應(yīng)用于具有兩個以上的臂的機器人。
[0075]在前述實施方式中，已經(jīng)描述了待被運送的物體是晶片或玻璃基板的示例。然而，這并不旨在限制待被運送的物體的種類。
[0076]本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該理解的是，可以根據(jù)設(shè)計要求和其他因素形成各種修改、組合、子組合和變更，只要它們在所附的權(quán)利要求或其等同要求的范圍內(nèi)即可。
【權(quán)利要求】
1.一種機器人臂，該機器人臂包括: 第一臂，該第一臂的基端部以可旋轉(zhuǎn)的方式連接至臂基部； 第二臂，該第二臂的基端部以可旋轉(zhuǎn)的方式連接至所述第一臂的末端部，并且該第二臂的末端部供機器人手以可旋轉(zhuǎn)的方式連接；以及 連桿單元，該連桿單元的基端部相對于所述臂基部以可旋轉(zhuǎn)的方式被支撐，并且該連桿單元的末端部在所述第一臂的中間部處插入所述第一臂中并且被支撐為能相對于所述第一臂進行相對旋轉(zhuǎn)，所述連桿單元通過向所述第二臂的基端部傳遞相對旋轉(zhuǎn)而使所述第二臂相對于所述第一臂旋轉(zhuǎn)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的機器人臂，其中，固定帶輪分別借助柱固定至所述連桿單元的末端部和所述第二臂的基端部，并且用于將那些固定帶輪互連的帶布置成大體上平行于所述第一臂的主表面延伸。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的機器人臂，其中，所述連桿單元的末端部從所述第一臂的下側(cè)插入所述第一臂中。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的機器人臂，其中，所述連桿單元包括:豎立地安裝在所述臂基部上的支撐柱；第一連桿，該第一連桿的基端部由所述支撐柱樞轉(zhuǎn)地支撐；以及第二連桿，該第二連桿的基端部在與所述第一臂和所述第一連桿相比更靠近所述臂基部的位置處以可旋轉(zhuǎn)的方式連接至所述第一連桿的末端部，并且該第二連桿的末端部從所述第一臂的下側(cè)插入所述第一臂中。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的機器人臂，其中，所述第一臂的所述中間部定位在所述第二臂的基端部附近。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的機器人臂，其中，所述第一連桿的長度、所述第一連桿的基端部的配設(shè)位置、所述第二連桿的長度以及所述第一臂的所述中間部的位置被設(shè)定成使得:當供安裝所述機器人臂的機器人在所述機器人臂的最大收回狀態(tài)下繞平行于豎直方向的回轉(zhuǎn)軸線回轉(zhuǎn)時，所述連桿單元位于由所述第二臂的末端部或者所述機器人手的基端部所繪的圓內(nèi)。
7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的機器人臂，其中，帶輪分別固定至所述柱的末端部和所述機器人手的基端部；所述柱插入所述第二臂中并且豎立地安裝在所述第一臂的末端部內(nèi)；并且所述機器人手的取向在固定至所述機器人手的基端部和所述柱的末端部的那些帶輪由帶互連時被限制到預(yù)定取向。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的機器人臂，其中，所述柱延伸穿過固定至所述第二臂的基端部的所述固定帶輪的中央部。
9.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的機器人臂，其中，所述第一臂的內(nèi)部和所述第二臂的內(nèi)部處于真空狀態(tài)。
10.一種設(shè)置有權(quán)利要求1或2所述的機器人臂的機器人。
【文檔編號】B25J18/00GK103707320SQ201310459346
【公開日】2014年4月9日 申請日期:2013年9月25日 優(yōu)先權(quán)日:2012年9月28日
【發(fā)明者】今井一利, 古川伸征, 野口忠隆 申請人:株式會社安川電機