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機械手系統(tǒng)的制作方法

文檔序號:2384452閱讀:263來源:國知局
專利名稱:機械手系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種機械手系統(tǒng),尤其涉及一種用于單晶硅自動粘接機的機械手系統(tǒng)。
背景技術(shù)
在生產(chǎn)制造硅片時,通常需要將用來固定單晶硅的晶硅夾具、樹酯以及單晶硅通過膠水按序粘接在一起。在國內(nèi),將所述晶硅夾具、樹酯以及單晶硅粘接起來是通過手工來實現(xiàn)的,這樣使得硅片的生產(chǎn)效率低下、生產(chǎn)成本較高,不利于實現(xiàn)硅片的大規(guī)模生產(chǎn)。為了能夠?qū)崿F(xiàn)硅片的大規(guī)模生產(chǎn),則必須先解決樹酯、單晶硅等在工作臺上的移動問題。鑒于上述問題,有必要提供一種機械手系統(tǒng),以解決上述問題。

發(fā)明內(nèi)容

針對現(xiàn)有技術(shù)的不足,本發(fā)明解決的技術(shù)問題是提供一種機械手系統(tǒng),該機械手系統(tǒng)能夠快速、方便地移動樹酯、單晶硅等。為解決上述技術(shù)問題,本發(fā)明的技術(shù)方案是這樣實現(xiàn)的:
一種機械手系統(tǒng),包括軌道模塊、與所述軌道模塊相配合的滑塊、安裝在所述滑塊上機械手以及動力系統(tǒng),所述動力系統(tǒng)包括第二氣缸、安裝在所述第二氣缸上的絲杠以及安裝在所述絲杠上的傳動塊,所述滑塊與所述傳動塊固定在一起。進一步地,所述機械手通過安裝架安裝在所述滑塊上,所述安裝架包括用來安裝所述機械手的安裝板以及用來將所述安裝板安裝在所述滑塊上的安裝腳。進一步地,所述滑塊上設(shè)置有第一通孔,所述安裝板上設(shè)置有第二通孔。進一步地,所述機械手包括第一氣缸、安裝在所述第一氣缸上的傳動桿以及安裝在所述傳動桿上的用來抓取物件的抓取模塊。進一步地,所述抓取模塊的底部設(shè)置有用來吸取物件的吸盤。進一步地,所述軌道模塊包括相對平行設(shè)置的第一滑軌和第二滑軌。進一步地,所述機械手系統(tǒng)還包括支撐架,所述軌道模塊安裝在所述支撐架上。進一步地,所述支撐架包括架體以及用來支撐所述架體的支撐腳。本發(fā)明的有益效果是:相較于現(xiàn)有技術(shù),本發(fā)明機械手系統(tǒng)能夠快速方便地實現(xiàn)樹酯或者單晶硅在工作臺上的移動。


圖1為本發(fā)明機械手系統(tǒng)的立體示意圖。圖2為圖1所示機械手系統(tǒng)的另一角度的立體示意圖。
具體實施例方式為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚,下面結(jié)合附圖和具體實施例對本發(fā)明進行詳細描述。請參閱圖1所示,本發(fā)明機械手系統(tǒng)100用于單晶硅自動粘接機,包括安裝在工作臺上的支撐架10、安裝在所述支撐架10上的軌道模塊20、與所述軌道模塊20相配合的滑塊30、安裝在所述滑塊30上的安裝架40、安裝在所述安裝架40上的機械手50以及安裝在所述支撐架10上的動力系統(tǒng)60。請參閱圖1并結(jié)合圖2所示,所述支撐架10包括呈矩形狀的架體11以及用來支撐所述架體11的支撐腳12。所述軌道模塊20安裝在所述架體11上,包括相對平行設(shè)置的第一滑軌21和第二滑軌22。所述滑塊30與所述第一滑軌21、第二滑軌22相配合,從而使得所述滑塊30可以在所述第一滑軌21、第二滑軌22上自由滑動。所述滑塊30上設(shè)置有第一通孔31。所述安裝架40安裝在所述滑塊30上,包括安裝板41、用來支撐所述安裝板41的安裝腳42,所述安裝板41上設(shè)置有第二通孔43。所述機械手50安裝在所述安裝板41上,用來抓取樹酯或者單晶娃,包括第一氣缸51、安裝在所述第一氣缸51上的傳動桿52以及安裝在所述傳動桿52上抓取模塊53,所述傳動桿52穿過所述第一通孔31、第二通孔43,所述第一氣缸51和所述抓取模塊53分別位于所述軌道模塊20的兩側(cè)。所述第一氣缸51驅(qū)動所述傳動桿52運動,所述抓取模塊53在所述傳動桿52作用下沿著所述傳動桿52的軸向進行運動。所述抓取模塊53的底部設(shè)置有吸盤54,所述吸盤54用來吸取樹酯或者單晶硅。所述動力系統(tǒng)60安裝在所述架體11上,包括第二氣缸61、安裝在所述第二氣缸61上的絲杠62以及安裝在所述絲杠62上的傳動塊63,所述傳動塊63可以在所述絲杠62的作用下沿著所述絲杠62進行滑動。所述傳動塊63與所述滑塊30固定在一起,從而使得所述滑塊30在所述絲杠62的作用下沿著所述軌道模塊20進行滑動。又由于所述機械手50安裝在所述滑塊30上,從而使得所述機械手50可以沿著所述軌道模塊20進行自由滑動。當使用本發(fā)明機械手系統(tǒng)100時,首先控制所述動力系統(tǒng)60,使得所述機械手50在所述絲杠62的作用下移動到待取物品的正上方;然后,控制所述第一氣缸51,使得所述抓取模塊53在所述傳動桿52的 作用下向下運動;然后設(shè)置在所述抓取模塊53上的吸盤54將會將樹酯或者單晶硅緊緊吸住,接著所述機械手50再沿原路返回,從而實現(xiàn)了樹酯或者單晶硅的移動。相較于現(xiàn)有技術(shù),本發(fā)明機械手系統(tǒng)100能夠快速方便地實現(xiàn)樹酯或者單晶硅在工作臺上的移動。特別需要指出,對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說,在本發(fā)明的教導下所作的針對本發(fā)明的等效變化,仍應包含在本發(fā)明申請專利范圍所主張的范圍中。
權(quán)利要求
1.一種機械手系統(tǒng),其特征在于:所述機械手系統(tǒng)包括軌道模塊、與所述軌道模塊相配合的滑塊、安裝在所述滑塊上機械手以及動力系統(tǒng),所述動力系統(tǒng)包括第二氣缸、安裝在所述第二氣缸上的絲杠以及安裝在所述絲杠上的傳動塊,所述滑塊與所述傳動塊固定在一起。
2.如權(quán)利要求1所述的機械手系統(tǒng),其特征在于:所述機械手通過安裝架安裝在所述滑塊上,所述安裝架包括用來安裝所述機械手的安裝板以及用來將所述安裝板安裝在所述滑塊上的安裝腳。
3.如權(quán)利要求2所述的機械手系統(tǒng),其特征在于:所述滑塊上設(shè)置有第一通孔,所述安裝板上設(shè)置有第二通孔。
4.如權(quán)利要求2所述的機械手系統(tǒng),其特征在于:所述機械手包括第一氣缸、安裝在所述第一氣缸上的傳動桿以及安裝在所述傳動桿上的用來抓取物件的抓取模塊。
5.如權(quán)利要去4所述的機械手系統(tǒng),其特征在于:所述抓取模塊的底部設(shè)置有用來吸取物件的吸盤。
6.如權(quán)利要求5所述的機械手系統(tǒng),其特征在于:所述軌道模塊包括相對平行設(shè)置的第一滑軌和第二滑軌。
7.如權(quán)利要求6所述的機械手系統(tǒng),其特征在于:所述機械手系統(tǒng)還包括支撐架,所述軌道模塊安裝在所述支撐架上。
8.如權(quán)利要求7所述的機械手系統(tǒng),其特征在于:所述支撐架包括架體以及用來支撐所述架體的 支撐腳。
全文摘要
本發(fā)明揭示了一種機械手系統(tǒng),包括軌道模塊、與所述軌道模塊相配合的滑塊、安裝在所述滑塊上機械手以及動力系統(tǒng),所述動力系統(tǒng)包括第二氣缸、安裝在所述第二氣缸上的絲杠以及安裝在所述絲杠上的傳動塊,所述滑塊與所述傳動塊固定在一起。與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明機械手系統(tǒng)能夠快速方便地實現(xiàn)樹酯或者單晶硅在工作臺上的移動。
文檔編號B25J11/00GK103231378SQ20131015481
公開日2013年8月7日 申請日期2013年4月28日 優(yōu)先權(quán)日2013年4月28日
發(fā)明者李佳 申請人:蘇州工業(yè)園區(qū)高登威科技有限公司
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