專利名稱:晶粒分揀搬運(yùn)機(jī)械臂的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實(shí)用新型涉及一種搬運(yùn)機(jī)械臂,尤其是涉及一種使用在晶粒分揀機(jī)或固晶機(jī)中的可以調(diào)節(jié)對(duì)晶粒的下壓力、并可以方便測(cè)量下壓力何時(shí)滿足要求的晶粒搬運(yùn)機(jī)械臂。
背景技術(shù):
在發(fā)光二極管晶粒生產(chǎn)過(guò)程中,首先生產(chǎn)出整片的晶片,晶片經(jīng)過(guò)切割后分割為 互相完全分離的獨(dú)立的晶粒,并獨(dú)立粘附于具有粘性的藍(lán)膜上。在后續(xù)晶片分類工藝中,晶 粒分揀機(jī)需要使用一真空吸嘴裝置將晶粒從藍(lán)膜上吸取起來(lái),并放置到規(guī)定的位置;或者 在后續(xù)固晶工藝中,固晶機(jī)需要使用一真空吸嘴裝置將晶粒從藍(lán)膜上吸取起來(lái),并放置到 規(guī)定的位置;此動(dòng)作均需要使用晶粒搬運(yùn)機(jī)械臂機(jī)構(gòu)來(lái)完成。中國(guó)專利文獻(xiàn)在2005年9月 28日公開(kāi)了一種名稱為“晶粒挑選機(jī)之晶粒取放臂結(jié)構(gòu)”的專利文獻(xiàn),該專利的公告開(kāi)號(hào) 是CN2728728Y,其公開(kāi)的技術(shù)要點(diǎn)是,在晶粒挑選機(jī)10上設(shè)一作動(dòng)取放臂機(jī)構(gòu)20,該作動(dòng) 取放機(jī)構(gòu)20包含有一可驅(qū)動(dòng)之作動(dòng)臂30及一連接座40,其中該作動(dòng)臂30之前端處設(shè)置一 吸嘴真空接頭快拆裝置,其系含有一吸嘴真空接頭32及一可吸附晶粒之吸嘴33,并于上方 面處螺固一彈簧片34,而其作動(dòng)臂30于后端延伸出一連接塊35,并借此連接塊35與一連 接于挑選機(jī)10上之連接座40以軸承36互相連接,此連接塊35底面并借一固定座37相結(jié) 合,另者,在連接座40之前端面上則分別軸向設(shè)一壓力調(diào)整組41及一水平調(diào)整組42,并有 桿體43容伸入一彈簧44內(nèi)且整體固設(shè)于壓力調(diào)整組41上有一調(diào)節(jié)鈕可以調(diào)節(jié)接觸壓力, 另該水平調(diào)整組42則有一螺絲45螺入可以調(diào)節(jié)手臂水平。所述的晶粒取放臂結(jié)構(gòu)具有一 定實(shí)用價(jià)值及調(diào)節(jié)能力,但組件復(fù)雜,調(diào)節(jié)不方便,故障率高。故傳統(tǒng)晶粒搬運(yùn)機(jī)械臂對(duì)其 所搬運(yùn)晶粒下壓力無(wú)法簡(jiǎn)便調(diào)節(jié),也無(wú)法簡(jiǎn)便感知機(jī)械臂對(duì)其所操作晶粒的下壓力是否達(dá) 到操作要求。
實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型目的是為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)的不足,提出一種可以方便調(diào)節(jié)對(duì)晶粒 的預(yù)定下壓力、且可以方便測(cè)量下壓力何時(shí)滿足要求的機(jī)械臂機(jī)構(gòu)。本實(shí)用新型目的實(shí)現(xiàn)由以下技術(shù)方案完成本實(shí)用新型由后臂301、支撐板304、絕緣環(huán)312、后臂電極螺釘302、電極螺釘螺母 311、彈性片310、前臂308、前臂電極315、壓力調(diào)節(jié)桿305、壓力調(diào)節(jié)螺母306、彈簧307、真 空吸嘴314和真空吸嘴接頭313組成,在后臂301前端固定一彈性片310,彈性片310前端 與前臂308固定在一起,在前臂308前端有一真空吸嘴快拆結(jié)構(gòu),包含一個(gè)真空吸嘴314和 一個(gè)真空吸嘴接頭313,在后臂301前端有一中空結(jié)構(gòu)317,前臂后部延伸316從后臂的前 端中空結(jié)構(gòu)317中穿過(guò)且不與后臂301接觸,在前臂后部延伸316連接固定有一壓力調(diào)節(jié) 桿305,另在前臂后部延伸316連接緊固有一前臂電極315,在后臂301上方固定一支撐板 304,支撐板304上有一孔,前臂壓力調(diào)節(jié)桿305從此孔中穿出并可以在孔中自由滑動(dòng),該壓 力調(diào)節(jié)桿305上螺紋連接有一壓力調(diào)節(jié)螺母306,同時(shí)在壓力調(diào)節(jié)螺母306下方有一彈簧307穿在壓力調(diào)節(jié)桿305上,該彈簧307可以與壓力調(diào)節(jié)螺母306及支撐板304接觸,支撐板304上另有一孔,孔中緊固一絕緣環(huán)312,該絕緣環(huán)312上有一個(gè)螺紋孔,螺紋連接有一后 臂電極螺釘302,該電極螺釘302上螺紋連接有一螺母311,安裝完成后,后臂電極螺釘302 與前臂電極315接觸,前臂308與后臂電極螺釘302電流可以導(dǎo)通。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)潔,調(diào)節(jié)方便,運(yùn)動(dòng)順暢,符合經(jīng)濟(jì)效益,具有工業(yè)生 產(chǎn)價(jià)值。
圖1本實(shí)用新型的立體組合外觀示意圖;圖2本實(shí)用新型的立體分解示意圖;圖3本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)實(shí)施示意圖;圖4本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)實(shí)施示意圖;圖5本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)實(shí)施示意圖;圖6本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)實(shí)施示意圖;圖7本實(shí)用新型的實(shí)施狀態(tài)示意圖。
具體實(shí)施方式
參閱附圖1 7所示,圖中標(biāo)號(hào)301_后臂、302-后臂電極螺釘、303-支撐板固定 螺釘、304-支撐板、305-壓力調(diào)節(jié)桿、306-壓力調(diào)節(jié)螺母、307-彈簧、308-前臂、309-彈性 片固定螺釘、310-彈性片、311-電極螺釘螺母、312-絕緣環(huán)、313-真空吸嘴接頭、314-真空 吸嘴、315-前臂電極、316-前臂后部延伸、317-后臂前端中空、318-機(jī)架。本實(shí)用新型所述的可調(diào)壓力并帶有力傳感器的機(jī)械臂機(jī)構(gòu)是在晶粒分揀機(jī)或固 晶機(jī)機(jī)架318上安裝一機(jī)械臂,該機(jī)械臂由后臂301、支撐板304、絕緣環(huán)312、后臂電極螺釘 302、電極螺釘螺母311、彈性片310、前臂308、前臂電極315、壓力調(diào)節(jié)桿305、壓力調(diào)節(jié)螺母 306、彈簧307、真空吸嘴314和真空吸嘴接頭313組成,在后臂301前端固定一彈性片310, 彈性片310前端與前臂308固定在一起,在前臂308前端有一真空吸嘴快拆結(jié)構(gòu),包含一個(gè) 真空吸嘴314和一個(gè)真空吸嘴接頭313,在后臂301前端有一中空結(jié)構(gòu)317,前臂后部延伸 316從后臂的前端中空結(jié)構(gòu)317中穿過(guò)且不與后臂301接觸,在前臂后部延伸316連接固定 有一壓力調(diào)節(jié)桿305,另在前臂后部延伸316連接緊固有一前臂電極315,在后臂301上方 固定一支撐板304,支撐板304上有一孔,前臂壓力調(diào)節(jié)桿305從此孔中穿出并可以在孔中 自由滑動(dòng),該壓力調(diào)節(jié)桿305上螺紋連接有一壓力調(diào)節(jié)螺母306,同時(shí)在壓力調(diào)節(jié)螺母306 下方有一彈簧307穿在壓力調(diào)節(jié)桿305上,該彈簧307可以與壓力調(diào)節(jié)螺母306及支撐板 304接觸,支撐板304上另有一孔,孔中緊固一絕緣環(huán)312,該絕緣環(huán)312上有一個(gè)螺紋孔, 螺紋連接有一后臂電極螺釘302,該電極螺釘302上螺紋連接有一螺母311,安裝完成后,后 臂電極螺釘302與前臂電極315接觸,前臂308與后臂電極螺釘302電流可以導(dǎo)通。使用時(shí),驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)可以驅(qū)動(dòng)后臂301進(jìn)行旋轉(zhuǎn)擺動(dòng)或者上升、下降運(yùn)動(dòng),前臂308 前端安裝的真空吸嘴314可以對(duì)晶粒進(jìn)行搬運(yùn)操作。當(dāng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)后臂301旋轉(zhuǎn)時(shí),后 臂301可以通過(guò)彈性片310帶動(dòng)前臂308旋轉(zhuǎn)擺動(dòng)。當(dāng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)后臂301做上下運(yùn)動(dòng) 時(shí),后臂301通過(guò)彈性片310和支撐板304、絕緣環(huán)312、彈簧307、壓力調(diào)節(jié)桿305帶動(dòng)前臂308上下運(yùn)動(dòng)。通過(guò)旋轉(zhuǎn)壓力調(diào)節(jié)桿305上螺紋連接的壓力調(diào)節(jié)螺母306,可以使壓力調(diào)節(jié) 螺母306在壓力調(diào)節(jié)桿305上,上下移動(dòng),進(jìn)而可以調(diào)節(jié)壓力調(diào)節(jié)螺母306與支撐板304之 間的彈簧307的壓緊程度。如圖4所示,當(dāng)后臂301帶動(dòng)前臂308做下壓運(yùn)動(dòng)并使前臂308 前端安裝的真空吸嘴314未接觸工件時(shí),或者使前臂308前端安裝的真空吸嘴314接觸晶 粒、但下壓力未超過(guò)設(shè)定值時(shí),后臂電極螺釘302與前臂電極315接觸,前臂308與后臂電 極螺釘302電流可以導(dǎo)通。當(dāng)后臂301帶動(dòng)前臂308做下壓運(yùn)動(dòng)并使前臂308前端安裝的 真空吸嘴314接觸晶粒且下壓力超過(guò)設(shè)定值時(shí),后臂電極螺釘302與前臂電極315脫離接 觸,前臂308與后臂電極螺釘302電流不可導(dǎo)通,如圖5所示。通過(guò)測(cè)量前臂308與后臂電 極螺釘302電流是否導(dǎo)通即可知道前臂308前端安裝的真空吸嘴314對(duì)晶粒的下壓力是否 滿足要求。通過(guò)調(diào)節(jié)彈簧307的壓緊程度可以調(diào)節(jié)前臂308前端安裝的真空吸嘴314接觸 晶粒的預(yù)定下壓力。當(dāng)壓力調(diào)節(jié)螺母306壓縮彈簧307時(shí),彈簧力增加,則前臂308前端安 裝的真空吸嘴314對(duì)晶粒的預(yù)定下壓力也增加;當(dāng)壓力調(diào)節(jié)螺母306放松彈簧307時(shí),彈簧 力減小,則前臂308前端安裝的真空吸嘴314對(duì)晶粒的預(yù)定下壓力也減小。如圖6所示,本 實(shí)用新型的機(jī)械臂可以擺動(dòng)90°,如圖7所示,其最大可以擺動(dòng)180°。 雖然以上已經(jīng)參照附圖對(duì)按照本實(shí)用新型目的的構(gòu)思和實(shí)施例作了詳盡說(shuō)明,但 本領(lǐng)域普通技術(shù)人員可以認(rèn)識(shí)到,在沒(méi)有脫離權(quán)利要求限定范圍的前提條件下,仍然可以 對(duì)本實(shí)用新型作出各種改進(jìn)和變換,而這種改進(jìn)和變換仍然應(yīng)當(dāng)屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求晶粒分揀搬運(yùn)機(jī)械臂,其特征在于,由后臂(301)、支撐板(304)、絕緣環(huán)(312)、后臂電極螺釘(302)、電極螺釘螺母(311)、彈性片(310)、前臂(308)、前臂電極(315)、壓力調(diào)節(jié)桿(305)、壓力調(diào)節(jié)螺母(306)、彈簧(307)、真空吸嘴(314)和真空吸嘴接頭(313)組成,在后臂(301)前端固定一彈性片(310),彈性片(310)前端與前臂(308)固定在一起,在前臂(308)前端有一真空吸嘴快拆結(jié)構(gòu),包含一個(gè)真空吸嘴(314)和一個(gè)真空吸嘴接頭(313),在后臂(301)前端有一中空結(jié)構(gòu)(317),前臂后部延伸(316)從后臂的前端中空結(jié)構(gòu)(317)中穿過(guò)且不與后臂 (301)接觸,在前臂后部延伸 (316)連接固定有一壓力調(diào)節(jié)桿(305), 另在前臂后部延伸(316)連接緊固有一前臂電極(315), 在后臂(301)上方固定一支撐板(304),支撐板(304)上有一孔,前臂壓力調(diào)節(jié)桿(305)從此孔中穿出并可以在孔中自由滑動(dòng),該壓力調(diào)節(jié)桿(305)上螺紋連接有一壓力調(diào)節(jié)螺母(306),同時(shí)在壓力調(diào)節(jié)螺母(306)下方有一彈簧(307)穿在壓力調(diào)節(jié)桿(305)上,該彈簧(307)可以與壓力調(diào)節(jié)螺母(306)及支撐板(304)接觸,支撐板(304)上另有一孔,孔中緊固一絕緣環(huán)(312),該絕緣環(huán)(312)上有一個(gè)螺紋孔,螺紋連接有一后臂電極螺釘(302),該電極螺釘(302)上螺紋連接有一螺母(311)。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種搬運(yùn)機(jī)械臂,尤其是涉及一種使用在晶粒分揀機(jī)或固晶機(jī)中的可以調(diào)節(jié)對(duì)晶粒的下壓力、并可以方便測(cè)量下壓力何時(shí)滿足要求的晶粒搬運(yùn)機(jī)械臂。本實(shí)用新型由后臂301、支撐板304、絕緣環(huán)312、后臂電極螺釘302、電極螺釘螺母311、彈性片310、前臂308、前臂電極315、壓力調(diào)節(jié)桿305、壓力調(diào)節(jié)螺母306、彈簧307、真空吸嘴314和真空吸嘴接頭313組成,本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)潔,調(diào)節(jié)方便,運(yùn)動(dòng)順暢,具有工業(yè)生產(chǎn)價(jià)值。
文檔編號(hào)B25J15/06GK201552582SQ200920311289
公開(kāi)日2010年8月18日 申請(qǐng)日期2009年9月24日 優(yōu)先權(quán)日2009年9月24日
發(fā)明者伊文君, 劉鴻飛, 孫梁, 孫紅三, 徐杰, 田建明, 肖堯, 董占民, 賈偵華,, 郭金源 申請(qǐng)人:清華大學(xué);北京中拓機(jī)械有限責(zé)任公司