專利名稱：具有多個獨立移動有節(jié)機(jī)械臂的基片傳送裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
此處說明的實施方案是關(guān)于一種基片傳送裝置，特別是一種具有多個可移動臂的
基片傳輸裝置。
2. 相關(guān)研究的簡要說明 數(shù)家公司出售常規(guī)的非同軸并排雙側(cè)SCARA型臂，如韓國MECS公司出售的UTW和UTV系列機(jī)器人，Rorze自動化公司出售的RR系列機(jī)器人，以及JEL公司出售的LTHR， STHR系列機(jī)器人。在美國專利號5， 765， 444可找到一種并排雙臂SCARA傳送設(shè)備的一個示例。


圖1及1A示意了一種常規(guī)的非同軸并排雙臂機(jī)器人的一種示意性配置。此種機(jī)器人圍繞一種旋轉(zhuǎn)中心構(gòu)建，這個旋轉(zhuǎn)中心帶有兩個SCARA臂或連桿機(jī)構(gòu)。左側(cè)的連桿機(jī)構(gòu)具有一種上臂，一種前臂和一種通過轉(zhuǎn)動關(guān)節(jié)串聯(lián)耦合的終端受動器。采用一種皮帶和滑輪的布局用來約束左臂的移動，這樣上臂相對中心的轉(zhuǎn)動引起前臂向相反方向的運動(如，上臂的順時針旋轉(zhuǎn)引起前臂的逆時針旋轉(zhuǎn))。采用另一皮帶和滑輪用來保持此終端受動器的徑向。此右側(cè)的連桿機(jī)構(gòu)可以是此左臂的一種鏡像。左臂和右臂的終端受動器在不同的水平平面移動，這樣就允許機(jī)器人的這兩個連桿機(jī)構(gòu)不受限制地移動。如圖IB-ID所示，通過旋轉(zhuǎn)左側(cè)和右側(cè)的上臂，相應(yīng)的連桿機(jī)構(gòu)可以獨立地在相對此中心樞轉(zhuǎn)點的一種共同的徑向方向上延伸。 在如圖IA-D所示的常規(guī)并排機(jī)器人中，此機(jī)器人臂或連桿機(jī)構(gòu)是由一種復(fù)雜的三個電機(jī)制動的，例如，這三個電機(jī)的布局可以是一種同軸方式布局，通過空心軸與機(jī)器人耦合。典型得，最外面的軸直接與這個中心相耦合而兩個內(nèi)軸通過獨立的皮帶和滑輪配置與左側(cè)和右側(cè)的連桿機(jī)構(gòu)的上臂相耦合。可能注意到，用來影響機(jī)器人臂移動的電機(jī)數(shù)目越多，控制機(jī)器人運動的控制系統(tǒng)的負(fù)擔(dān)就越重。并且，采用的電機(jī)越多，電機(jī)故障的機(jī)率也越大，同時也會增加機(jī)器人的成本。 —種具有獨立移動臂的機(jī)器人操作器是有利的，這種裝置降低了機(jī)器人系統(tǒng)的復(fù)雜度，提高了系統(tǒng)的可靠性，并具有更好的潔凈性。 —個實施方案提供了一種傳送系統(tǒng)。此裝置包含一種具有至少一個傳動軸的傳動部分以及至少兩個SCARA臂，該臂操作性得與至少一個的傳動軸相耦合，此至少一個的傳動軸是至少兩個的SCARA臂的共用傳動軸，影響至少兩個的SCARA臂的延伸和收縮，其中這至少兩個的SCARA臂相互耦合，因此，與至少兩個的SCARA臂耦合的至少一個傳動軸的旋轉(zhuǎn)能影響至少兩個的SCARA臂其中一臂的延伸和收縮而基本上與至少兩個的SCARA臂中另一臂的運動無關(guān)。 另一種實施方案提供了一種傳送裝置。此裝置包含一種具有一種傳動軸的傳動
4部分，兩個有節(jié)機(jī)械臂以及一種聯(lián)接系統(tǒng)，為了每個臂的延伸和收縮，每個臂都與傳動軸相連，并且每個臂都具有一種終端受動器用于承載以及傳送一種基片，聯(lián)接系統(tǒng)具有一種空轉(zhuǎn)系統(tǒng)，空轉(zhuǎn)系統(tǒng)操作性得將兩個有節(jié)機(jī)械臂與傳動軸相耦合?？辙D(zhuǎn)系統(tǒng)的布局安排使空轉(zhuǎn)系統(tǒng)在傳動軸轉(zhuǎn)動的時候可以影響兩個有節(jié)機(jī)械臂之中的一個臂的延伸和收縮而基本不會移動兩個有節(jié)機(jī)械臂中的另外一個臂。 另一種實施方案提供了一種傳送裝置。此裝置包含一種具有一種傳動軸的傳動部分，多個連接到此傳動部分的有節(jié)機(jī)械臂，一種聯(lián)接系統(tǒng)。其中，每個有節(jié)機(jī)械臂都具有一種終端受動器用于承載基片，臂能夠延伸和收縮來線性地傳送基片；此聯(lián)接系統(tǒng)具有一種基本剛性的基層組件，該組件將每個臂與傳動軸相耦合，此基層組件相對傳動部分可移動，并且基層組件通過可移動的關(guān)節(jié)與多個有節(jié)機(jī)械臂可移動地相連，這樣就允許在每個臂與此基層組件之間的相對移動。此可移動關(guān)節(jié)的布局使基層組件相對傳動部分的移動產(chǎn)生在每個可移動關(guān)節(jié)上基層組件與多個有節(jié)機(jī)械臂之間的相對移動，引起多個有節(jié)機(jī)械臂中至少一個臂的延伸和收縮，而基本無需多個有節(jié)機(jī)械臂中至少一個的其它臂的接合。
附圖簡介 以下的說明書與相聯(lián)系的圖表解釋了說明的實施方案的前述特點以及其它特征，其中 圖8A-E為圖6A-6C中基片傳送裝置的部分示意圖，分別為此基片傳送裝置在五個不同的位置上。 圖9為依據(jù)本發(fā)明一實施方案中的 種基片傳送裝置移動的圖形表示。
圖10A為圖6A-6C中的依照本發(fā)明一實施方案的基片傳送裝置的部分示意圖。
圖10B為圖6A-6C中依照本發(fā)明一實施方案的基片傳送裝置的部分示意圖。
圖11A為圖6A-6C中依照本發(fā)明一實施方案的基片傳送裝置的部分示意圖。
圖11A-E為圖6A-6C中基片傳送裝置的部分示意圖，它們分別為依照本發(fā)明一實施方案的基片傳送裝置在不同位置上的示意圖。 圖12A-C為圖6A-6C中基片傳送裝置的部分示意圖。它們分別示意了在不同位置上的依照本發(fā)明一實施方案的基片傳送裝置。實施方案的詳細(xì)說明 圖2A和2B示意了依照本發(fā)明一實施方案中的一種加工裝置的示意圖。盡管將參考圖中的實施方案對本發(fā)明的各個方面進(jìn)行說明，需要指出的是發(fā)明的這些方面可用許多其它的實施方案形式具體化。此外，本發(fā)明可以采用任何適當(dāng)尺寸，形狀或任何適當(dāng)種類的元件或材料實現(xiàn)。 參照圖2A和2B，一種加工裝置，例如所示的一種依照本發(fā)明一個實施方案的半導(dǎo)體工具臺190。雖然圖表示了一種半導(dǎo)體工具，此處說明的發(fā)明方案仍可用于任何工具臺或者采用機(jī)械手的應(yīng)用。在這個示例中，所示的工具190是一種組合設(shè)備工具，然而本發(fā)明實施方案可用于任何適宜的工具臺，例如，一種線性工具臺。此工具臺190 —般包含一種大氣前端100，一種真空負(fù)載鎖110以及一種真空后端120。在其它實施方案中，此工具臺可具有任何適當(dāng)?shù)呐渲谩Ｇ岸?00，負(fù)載鎖110以及后端120的元件可以連接到一種控制器200上，控制器200可以是任何適當(dāng)?shù)目刂萍軜?gòu)的一部分，適當(dāng)?shù)目刂萍軜?gòu)如一種集群架構(gòu)控制。此控制系統(tǒng)可以是一種閉環(huán)控制器，它具有一個主控制器，群控制器以及自治遙控控制器。在本發(fā)明其它實施方案中，可使用任何適當(dāng)?shù)目刂破鳌?在示例性的實施方案中，此前端100 —般包括裝載模塊105以及一種迷你環(huán)境160，例如，一種前端模組設(shè)備(EFEM)。此裝載模塊105可以是到工裝標(biāo)準(zhǔn)(BOLTS)界面的開箱器/裝載器，模塊符合300mm裝載端口 (load ports)，前開式或底部開口式晶圓盒/艙以及晶舟的SEMI標(biāo)準(zhǔn)E15. 1， E47. 1， E62， E19. 5或El. 9。在其它實施方案中，裝載模塊可配置為200mm晶圓端口或者其它任何適當(dāng)?shù)幕涌谠O(shè)置，例如更大或更小的晶圓或平板顯示器的平板。雖然圖2A顯示了兩個裝載模塊，但在應(yīng)用本發(fā)明的其它實施方案中，前端100可納入任何適當(dāng)數(shù)目的裝載模塊?？梢耘渲醚b載模塊105從一種高架傳送系統(tǒng)，自動導(dǎo)引車，人導(dǎo)引車，軌道導(dǎo)引車或任何其它適當(dāng)?shù)膫魉头绞缴辖邮栈d具或晶舟150。此裝載模塊105可以通過裝載端口 140與迷你環(huán)境160相接口。裝載端口 140可允許基片在基片晶舟150與迷你環(huán)境160之間的穿行。迷你環(huán)境160 —般包括一種搬運機(jī)器人210，后面將詳細(xì)說明搬運機(jī)器人210。該迷你環(huán)境160可為在多個裝載模塊之間的基片傳送提供一種可控、潔凈的區(qū)域。 此真空裝載鎖110可以位于此迷你環(huán)境160與此后端120之間，并與迷你環(huán)境160以及此后端120相連。此裝載鎖110—般包括大氣和真空槽閥門。這種槽閥門可提供環(huán)境隔離，這種環(huán)境隔離是從大氣前端裝載一個基片后打開裝載鎖所需的，在向裝載鎖通入惰性氣體如氮氣時，這種環(huán)境隔離也可維持運送壓力艙的真空。此裝載鎖110也可包括一種對準(zhǔn)設(shè)備310，用于將基片的對準(zhǔn)標(biāo)記向加工所需的位置對準(zhǔn)。在本發(fā)明其它實施方案中，此真空裝載鎖可以位于加工裝置任何適當(dāng)?shù)奈恢蒙?，并可具有任何適當(dāng)?shù)呐渲谩?br> 此真空后端120 —般包括一個傳送壓力艙125， 一個或多個加工站130以及一個搬運機(jī)器人220。此搬運機(jī)器人220將會在下面說明，并且該機(jī)器人可以位于傳送壓力艙125之中在裝載鎖110與各種加工站130之間傳送基片。此加工站130可通過淀積，刻蝕，或其它類型的加工在基片上操作在基片上形成電路或任何所需的結(jié)構(gòu)。典型的工藝包括但不限于刻蝕，化學(xué)氣相淀積(CVD)，物理氣相淀積(PVD)，離子注入，計量，快速高溫處理(RTP)，干法去膠。加工站130可以與傳送壓力艙125相連使基片可從傳送壓力艙125向加工站130傳送或從加工站130向傳送壓力艙傳送。
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現(xiàn)參照圖3A-C以及4A-C，下面將描述依照本發(fā)明一示例實施方案中的一種基片傳送。此基片傳送可包括一種傳動部分，一種聯(lián)接系統(tǒng)499，臂裝配或連桿機(jī)構(gòu)491L，491R。在這個示例中，所示的基片傳送具有兩個SCARA(選擇順應(yīng)性關(guān)節(jié)型機(jī)器臂)類型臂裝配，但是在本發(fā)明其它實施方案，基片傳送可具有任何適當(dāng)數(shù)目或適當(dāng)配置的臂裝配。此聯(lián)接系統(tǒng)499可包括或由這里所指的一種機(jī)械開關(guān)或一種空轉(zhuǎn)系統(tǒng)構(gòu)成，后面將會詳細(xì)說明，這使得此傳動部分的一個驅(qū)動電機(jī)能夠影響多于一個的SCARA臂的延伸或收縮而基本相互獨立。 此傳動部分例如可以是一種同軸驅(qū)動裝配。本發(fā)明的其它實施方案可使用任何適當(dāng)?shù)尿?qū)動單元，例如一種非同軸驅(qū)動裝配或一種磁力驅(qū)動裝配。此傳動部分可安置在基片傳送的外殼內(nèi)來防止對基片的污染或損傷，這些微?？赡苁且苿觽鲃硬糠至慵a(chǎn)生的。在這個示例中，同軸驅(qū)動裝配可具有一種內(nèi)和外的傳動軸。此同軸驅(qū)動可基本上類似于，例如，美國專利號5， 720， 590和6， 485， 250和/或?qū)＠_號2003/0223853中描述的驅(qū)動，在此以引用的方式全部并入本文。此外傳動軸可以與基片傳送的一種外殼相連，因此，當(dāng)此外傳動軸旋轉(zhuǎn)時，此基片傳送300的臂491L，491R則圍繞外傳動軸的旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)?？赡茏⒁獾?，此內(nèi)傳動軸也可以與外傳動軸相同的速度在相同的轉(zhuǎn)動方向上轉(zhuǎn)動，來防止在傳送300轉(zhuǎn)動時傳送300的機(jī)器臂的延伸和收縮。此內(nèi)傳動軸可在旋轉(zhuǎn)點400與聯(lián)接系統(tǒng)相連，因此，當(dāng)內(nèi)傳動軸旋轉(zhuǎn)時，此聯(lián)接系統(tǒng)將轉(zhuǎn)動或以內(nèi)傳動軸的一旋轉(zhuǎn)軸(如，旋轉(zhuǎn)點400)為中心旋轉(zhuǎn)，下面將會對這一點作出說明。 參見圖4A-C，在此本發(fā)明的示例實施方案中，此聯(lián)接系統(tǒng)499可包括基本剛性的聯(lián)軸器元件421，422L，422R，423L and 423R。為了方便，在這里將基層元件421稱為一種平臺，元件422L，422R會被稱為構(gòu)件(例如，能夠圍繞兩個縱向偏移中樞樞轉(zhuǎn))。元件423L，423R可分別為上臂490L，490R的組成部分，或嚴(yán)格依賴于上臂的組件。在本發(fā)明的其它實施方案中，元件423L， 423R可以是具有任何適合傳輸至上臂490L， 490R運動配置的任何適當(dāng)?shù)脑?。在此示例實施方案中，并且為了解釋說明，圖3A-C以及圖4A-C顯示此元件423L，423R為一種樞轉(zhuǎn)構(gòu)件。圖3A-C和圖4A-C所示的實施方案中的平臺421具有一種示例性配置。在其它實施方案中，此平臺元件可具有任何所需的形狀。此示例實施方案中的構(gòu)件422L，422R可通過樞轉(zhuǎn)釋放關(guān)節(jié)可移動得連接，下面將進(jìn)一步說明這種配置。在本發(fā)明其它實施方案中，構(gòu)件可通過任何其它所希望的可移動關(guān)節(jié)(例如，可轉(zhuǎn)換釋放的關(guān)節(jié)，來代替樞轉(zhuǎn)釋放關(guān)節(jié)，或與樞轉(zhuǎn)釋放關(guān)節(jié)共同使用)與毗鄰的元件結(jié)合。此聯(lián)軸器元件可具有任何適當(dāng)?shù)呐渲?，并且可由任何適當(dāng)?shù)牟牧侠缃饘?、塑料、陶瓷、碳纖維、復(fù)合材料等等制成，只要能夠允許基片傳送300可以在一種大氣或真空環(huán)境中操作并可攜帶任何適當(dāng)?shù)念A(yù)先確定的負(fù)載。在這個示例中，此平臺421可在轉(zhuǎn)動關(guān)節(jié)400處移動得安裝在傳動部分，并由例如內(nèi)傳動軸驅(qū)動。圖4A可能是最為清楚的顯示說明，構(gòu)件422L可在轉(zhuǎn)動關(guān)節(jié)403處樞轉(zhuǎn)得連接到平臺421。此轉(zhuǎn)動關(guān)節(jié)可以具有限制或減少微粒產(chǎn)生的配置，以阻止傳送300傳送基片時產(chǎn)生的污染。在本發(fā)明其它實施方案中，可以使用任何適當(dāng)?shù)霓D(zhuǎn)動關(guān)節(jié)或樞轉(zhuǎn)連接。樞轉(zhuǎn)構(gòu)件423L可在轉(zhuǎn)動關(guān)節(jié)404以類似上面描述過的方法樞轉(zhuǎn)得結(jié)合到構(gòu)件422L。在此，這里使用的術(shù)語構(gòu)件只是為了方便，它們指元件423L， 423R，這些元件相對上臂可能不是一種構(gòu)件，下面將會對此說明。構(gòu)件422R和423R通過轉(zhuǎn)動關(guān)節(jié)405及406樞轉(zhuǎn)得與平臺及相互之間相連，連接的方式與上述相對構(gòu)件422L及423L的方式基本相似。由圖3A和4A可見，構(gòu)件423L，423R的終端可通過轉(zhuǎn)動關(guān)節(jié)402,401樞轉(zhuǎn)得安裝在一個固定位置。例如，可配置關(guān)節(jié)402,401使其分別保持與中樞400的位置關(guān)系不變。轉(zhuǎn)動關(guān)節(jié)402,401可分別視為其相應(yīng)的SCARA臂491L，491R各自的肩關(guān)節(jié)。此平臺421可以轉(zhuǎn)動如圖4A-4C所示，轉(zhuǎn)動關(guān)節(jié)404，406圍繞一個各自的關(guān)節(jié)402，401轉(zhuǎn)動，下面將詳細(xì)說明這一點。平臺421以及構(gòu)件422L，422R，423L以及423R形成一對三桿機(jī)構(gòu)，通過樞轉(zhuǎn)平臺421耦合。
如圖4A所示，當(dāng)平臺421在一中立位置時(由圖3A可見一種中立位置的示例，其相對于兩個臂491L， 491R均被收縮的位置)，對構(gòu)件423L， 423R可視其在它們的初始位置。可選擇聯(lián)軸器元件421， 422L， 422R， 423L， 423R的幾何尺寸使平臺421從中立位置上順時針方向的轉(zhuǎn)動對構(gòu)件423L產(chǎn)生一個角度方向的變化而構(gòu)件423R基本保持在初始位置不動，反之亦然，如圖4B和4C所示(如，一種空轉(zhuǎn)系統(tǒng))。在這個示例中，此聯(lián)軸器元件的配置使平臺421大約90度的順時針或逆時針方向旋轉(zhuǎn)引起構(gòu)件423L，423R 180度的旋轉(zhuǎn)。聯(lián)接器499連桿機(jī)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)只是示例性的，在本發(fā)明其它實施方案中，可以讓連桿機(jī)構(gòu)提供或經(jīng)歷任何所需范圍的運動從驅(qū)動一個臂而獨立于另一臂轉(zhuǎn)換。 在這個示例實施方案中，構(gòu)件423L，423R的角度方向在與平臺421相同的轉(zhuǎn)動方向上變化或轉(zhuǎn)動(例如平臺的順時針轉(zhuǎn)動引起構(gòu)件順時針的轉(zhuǎn)動)。在本發(fā)明其它實施方案中，此聯(lián)接系統(tǒng)可以配置為構(gòu)件423L，423R在與平臺轉(zhuǎn)動方向相反的方向上轉(zhuǎn)動(如，平臺順時針的轉(zhuǎn)動引起構(gòu)件逆時針的轉(zhuǎn)動)。例如，構(gòu)件422L，422R可在一個共同轉(zhuǎn)動關(guān)節(jié)上與平臺相連，這樣，構(gòu)件423L，423R與平臺421的轉(zhuǎn)動方向相反。在本發(fā)明的其它實施方案中，聯(lián)接系統(tǒng)可以具有任何適宜構(gòu)件423L，423R轉(zhuǎn)動的配置。在本發(fā)明另外一些實施方案中，聯(lián)接系統(tǒng)的配置可以用一種轉(zhuǎn)換或滑行運動或滑行與旋轉(zhuǎn)運動的結(jié)合來代替構(gòu)件423L， 423R的轉(zhuǎn)動運動。此滑行運動可以直接制動傳送臂或者將滑行運動轉(zhuǎn)換為旋轉(zhuǎn)運動來制動臂。在本發(fā)明其它實施方案中，可用任何適當(dāng)?shù)姆绞街苿颖邸?再次參見圖3A-3C，在這個示例實施方案中，此傳送300的臂491L， 491R包括一種上臂成員490L，490R，一種前臂成員460L，460R以及一種終端受動器430L， 430R，終端受動器通過各自的旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)492， 493， 494， 495相互連接。在本發(fā)明其它方案中，此臂可具有更多或更少的鉸接。此處，上臂490L，490R以轉(zhuǎn)動關(guān)節(jié)402,401 (如肩關(guān)節(jié))樞轉(zhuǎn)。如前所述，上臂490L， 490R的最近端通過轉(zhuǎn)動關(guān)節(jié)404， 406與聯(lián)接系統(tǒng)的構(gòu)件422L， 422R樞轉(zhuǎn)得相連。上臂490L， 490R的末端可例如在轉(zhuǎn)動關(guān)節(jié)492， 493分別與前臂460L， 460R的最近端樞轉(zhuǎn)得結(jié)合。在示例方案中，前臂460L，460R的末端可在轉(zhuǎn)動關(guān)節(jié)494,495與終端受動器460L， 460R樞轉(zhuǎn)得結(jié)合。此終端受動器460L， 460R可具有一種從終端受動器前部到終端受動器后部的縱向軸。終端受動器的縱軸如下所述可與臂延伸和收縮的路徑P對齊。在其它實施方案中，在臂相對于延伸和收縮軸P的關(guān)系上可有任何所需的配置。
在此示例方案中，聯(lián)接系統(tǒng)的構(gòu)件423L，423R可分別被納入或成為上臂490L，490R的一部分，從而使構(gòu)件423L，423R如前所述形成它們各自臂的延伸或各自臂的一部分。在其它方案中，可以配置臂以任何適宜的方式包含上臂部分423L，423R。如前面所提到的，靜止的轉(zhuǎn)動關(guān)節(jié)402,401可以分別為上臂490L，490R的樞轉(zhuǎn)點。圖3A-3C所示的上臂490L，490R的形狀只是一種示例，在本發(fā)明的其它實施方案中，上臂可具有任何適當(dāng)?shù)男螤?，例如，上臂可以是筆直的或者具有L形或彎曲的形狀。在其它實施方案中，此上臂部分423L， 423R可與一種滑輪或盤相連，盤安裝在上臂，因此當(dāng)上臂部分423L， 423R圍繞點402，401旋轉(zhuǎn)時，各自的盤圍繞點402， 401旋轉(zhuǎn)，從而旋轉(zhuǎn)各自的上臂491L， 491R。在本發(fā)明的 另一些方案中，此上臂部分可從臂的任何部分施加力矩到上臂?？赡茏⒁獾剑瑘D3A-3C所示 的上臂部分423L，423R相對上臂其余部分的關(guān)系或方向僅僅是示例性的，上臂部分423L， 423R相對上臂可具有任何適當(dāng)?shù)年P(guān)系/方向。 圖5為上臂部分423L，423R的角方向作為平臺421角位置的函數(shù)的圖形表示。在 圖5中，e 1表示此平臺421的角度位置，并且9 3L， 03R分別是上臂部分432L，432R的角 方向。如圖4A所示，角方向9 1， e3L，03R是相對于平臺421的初始位置以弧度測量的，其 中平臺421的初始位置相應(yīng)為O弧度。9 1，03R逆時針方向為正，93L則順時針方向為正。 在此示例實施方案中，可配置聯(lián)接系統(tǒng)使平臺421 —個90度角的轉(zhuǎn)動引起上臂部分423L， 423R受制于驅(qū)動產(chǎn)生一個180度角的移動。在本發(fā)明的其它實施方案中，通過相應(yīng)地選擇 聯(lián)接系統(tǒng)元件的尺寸可實現(xiàn)任何適當(dāng)范圍的移動。 由圖5可見，當(dāng)平臺421轉(zhuǎn)動以驅(qū)使例如上臂部分423L時，靜止的上臂部分423R 可能會有某些較小的殘余移動。當(dāng)其它上臂部分423L移動時，靜止上臂部分423R殘余移動 量可由12比ll的比值決定，其中11是平臺421樞轉(zhuǎn)點400與旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)403,405之間的距 離，旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)403， 405將上臂部分423L， 423R與平臺421耦合。12是上臂部分422L， 422R 的長度。如圖5所示，靜止上臂部分，在此示例中為423R，其殘余移動量隨著12/11接近至 1而減小。因此，由圖5可注意到，此聯(lián)接系統(tǒng)有一種空轉(zhuǎn)特性，該特性機(jī)械地轉(zhuǎn)換驅(qū)動產(chǎn)生 基本獨立的移動(例如，由一個共同驅(qū)動馬達(dá)或傳動軸產(chǎn)生的延伸/收縮)。
此臂491L， 491R也包括一種皮帶和滑輪系統(tǒng)用來驅(qū)動前臂。例如，滑輪435L， 435R 可在關(guān)節(jié)402， 401與一種靜止制具或中心相耦合，這樣，隨著上臂的轉(zhuǎn)動，它們各自的滑輪 相對于裝置框架435L，435R保持靜止(例如，上臂的移動影響上臂與相應(yīng)滑輪間的相對移 動)。 一種第二 (空轉(zhuǎn))滑輪450L，450R可與前臂460L，460R在支點492，493耦合。此滑輪 435L， 450L以及435R， 450R可通過任何適當(dāng)?shù)钠Щ驇?40L， 440R連接，因此當(dāng)上臂490L， 490R旋轉(zhuǎn)，435L，435R的相對移動使滑輪445L， 445R通過皮帶被驅(qū)動旋轉(zhuǎn)。在本發(fā)明其它 實施方案中，此滑輪可以通過一個或多個金屬帶連接，金屬帶可以釘在或以其它方式固定 在滑輪上。在本發(fā)明其它方案中，可以任何適當(dāng)?shù)膹椥詭磉B接滑輪。在本發(fā)明的另一些 實施方案中，可以任何適當(dāng)?shù)姆绞竭B接滑輪，或者采用任何其它適當(dāng)?shù)膫魉拖到y(tǒng)?？膳渲没?輪435L， 435R， 450L， 450R來限制臂成員的移動，這樣上臂490L， 490R繞關(guān)節(jié)402， 401的旋 轉(zhuǎn)引起各自前臂460L，460R所需的在相反方向上的旋轉(zhuǎn)。例如，為了獲得這種轉(zhuǎn)動關(guān)系，滑 輪450L，450R的半徑與滑輪445L，445R的比值可以是2 : 1。 在此示例方案中，可用一個包含滑輪445L， 445R， 465L， 465R以及皮帶455L， 455R 的次皮帶和滑輪布局驅(qū)動終端受動器430L， 430R，因此當(dāng)臂491L， 491R被延伸或收縮時，終 端受動器430L， 430R沿著共同行駛路徑P的徑向或縱向軸維持不變。此滑輪445L， 445R可 與其各自的上臂490L， 490R在關(guān)節(jié)492， 493耦合，滑輪465L， 465R可在關(guān)節(jié)494， 495與其 各自的終端受動器430L， 430R耦合。在此示例中，滑輪445L， 445R與滑輪465L， 465R的比 值可為1 : 2。由圖3A-C可見滑輪，在此示例方案中的450L，450R在關(guān)節(jié)492，493點相對 各自的滑輪445L， 445R安裝在一條直線上，因此當(dāng)滑輪450L， 450R與前臂460L， 460R旋轉(zhuǎn) 時，滑輪445L， 445R相對于其各自的上臂490L， 490R保持靜止。任何適當(dāng)?shù)钠?55L， 455R 可與各自的滑輪組相連，這樣，當(dāng)前臂460L， 460R轉(zhuǎn)動時，滑輪465L， 465R不驅(qū)動旋轉(zhuǎn)。在
9本發(fā)明其它實施方案中，此滑輪可以通過一個或多個金屬帶連接，金屬帶可以釘在或以其 它方式固定在滑輪上。在本發(fā)明其它方案中，可以任何適當(dāng)?shù)膹椥詭磉B接滑輪。在本發(fā) 明另外一些實施方案中，可用任何適當(dāng)?shù)姆绞竭B接滑輪。 終端受動器430L，430R可在轉(zhuǎn)動關(guān)節(jié)494，495與各自的前臂耦合。終端受動器 430L，430R可驅(qū)動得與各自滑輪465L，465R耦合，這樣，當(dāng)臂延伸或收縮時，終端受動器 430L，430R在縱向與行駛路徑P保持對齊，如圖3B，3C所示?？赡茏⒁獾?，此處描述的皮帶 和滑輪系統(tǒng)可安放在臂裝配491L，491R之內(nèi)，因此所產(chǎn)生的微粒都會包含在臂裝配之內(nèi)。 在臂裝配內(nèi)可采用一種適當(dāng)?shù)呐棚L(fēng)/真空系統(tǒng)來進(jìn)一步阻止微粒對基片的污染。在其它實 施方案中，此同步系統(tǒng)可以位于臂裝配之外。在本發(fā)明其它實施方案中，同步系統(tǒng)可在任何 適當(dāng)?shù)奈恢谩?仍然參見圖3A-C，現(xiàn)將描述相對于臂491L，描述基片傳送300的操作。由圖3A可 見，基片傳送300在其初始或中立位置，雙臂491L，491R在一種收縮的位置。這些臂的聯(lián)接 系統(tǒng)和其部分可位于一種殼之中，這種殼被適當(dāng)?shù)门渲糜糜谧柚挂苿踊瑐魉土慵r產(chǎn)生 的微粒污染基片。例如，在殼中可以具有槽，在臂通過的地方，任何槽與臂之間的開口都被 一種彈性密封密封。在本發(fā)明其它方案中，此外殼可具有任何適當(dāng)?shù)呐渲脕碜柚挂苿觽魉?零件產(chǎn)生的微粒污染基片。在本發(fā)明其它方案中，此聯(lián)接系統(tǒng)可不在一種殼之中。
為了延伸臂491L，平臺421經(jīng)由驅(qū)動系統(tǒng)以順時針方向繞轉(zhuǎn)動關(guān)節(jié)400旋轉(zhuǎn)，平臺 421的旋轉(zhuǎn)引起構(gòu)件422L在角方向上的變化，這又會引起構(gòu)件423L和上臂490L繞靜止轉(zhuǎn) 動關(guān)節(jié)402旋轉(zhuǎn)。上臂490L的轉(zhuǎn)動又會引起靜止滑輪435L經(jīng)由皮帶440L驅(qū)動滑輪445L， 因此，當(dāng)此臂被延伸，前臂460L會繞轉(zhuǎn)動關(guān)節(jié)492在相反方向轉(zhuǎn)動相同的量。前臂460L的 轉(zhuǎn)動反過來又會引起滑輪450L經(jīng)由皮帶455L驅(qū)動滑輪465L，因此當(dāng)臂延伸時，終端受動器 430L沿行駛的路徑P的徑向或縱軸維持不變。這樣，前臂460L的轉(zhuǎn)動是上臂490繞點402 轉(zhuǎn)動的從動并且終端受動器430L的轉(zhuǎn)動時前臂460繞點492轉(zhuǎn)動的從動。由此，臂491L相 對于平臺421的樞轉(zhuǎn)點400在徑向方向上被延伸，而臂491R基本在其收縮位置保持不動。 臂491L以一種基本相反的方式被收縮。除了平臺以逆時針方向轉(zhuǎn)動來延伸臂491R，臂491R 延伸的方式基本類似于上述臂491L的延伸方式。可能注意到，由于終端受動器430L，430R 沿著共同的行駛路徑P運動，可設(shè)置此終端受動器在不同平面沿行駛路徑P行駛。在本發(fā) 明其它實施方案中，可配置臂491L，491R在不同的高度位置上，這樣終端受動器就能沿著 共同路徑P行駛。在本發(fā)明其它實施方案中，此終端受動器和臂可具有任何適當(dāng)?shù)呐渲檬?終端受動器可在相同的方向上沿著共同的行駛路徑行駛。在本發(fā)明另一些實施方案中，可 安排此SCARA臂和轉(zhuǎn)換連桿機(jī)構(gòu)產(chǎn)生終端受動器在不同方向上的獨立運動，不同方向例如 在相反方向上，或終端受動器行駛的方向相互之間成一定角度。 由于聯(lián)接系統(tǒng)499，此上臂490L，490R繞關(guān)節(jié)402,401的旋轉(zhuǎn)相對于其相應(yīng)的驅(qū) 動系統(tǒng)的傳動軸在每一個臂491L，491R的延伸和收縮上是變化的。此控制器200可通過適 當(dāng)?shù)乃惴ㄅ渲帽?91L，491R在延伸和收縮過程中維持一種基本穩(wěn)態(tài)的移動。例如，此控制 器可引起平臺421的驅(qū)動系統(tǒng)根據(jù)臂延伸或收縮的位置在任何給定時間內(nèi)引起不同速度 的轉(zhuǎn)動，這樣臂的延伸和收縮是一種基本統(tǒng)一的移動。在本發(fā)明其它實施方案中，可以任何 適當(dāng)?shù)姆绞娇刂票鄣囊苿印Ｓ糜谔綔y和跟蹤臂延伸和收縮的傳感器或編碼器可以在沿著臂 491L， 491R上的任何適當(dāng)點，例如， 一個傳感器在關(guān)節(jié)400上(可能注意到，這個傳感器足可以成為一個共同傳感器來探測和控制兩個獨立移動的臂491L，491R)，或者在本發(fā)明其它實 施方案中，傳感器或編碼器位于轉(zhuǎn)動關(guān)節(jié)402,401,492和/或493上。可采用任何適當(dāng)數(shù) 目和類型的傳感器。例如，此傳感器可以為無線傳感器或有線傳感器?？刂破?00可以利 用傳感器上的反饋來調(diào)節(jié)傳動軸的轉(zhuǎn)動速度。 現(xiàn)參照圖6-8，顯示了依照本發(fā)明另一實施方案中的一種基片傳送700。在此示例 方案中，此基片傳送700的操作使臂650L，650R可通過傳動部分的一部分的一種搖擺運動 來制動，下面會詳細(xì)地說明這一點。此基片傳送700可包括一個傳動部分，一個聯(lián)接系統(tǒng) 800，機(jī)械手臂裝配或連桿機(jī)構(gòu)650L， 650R。除非特別說明，臂裝配650L， 650R基本上分別與 臂裝配491L和491R類似，并且類似的特征用類似的編號標(biāo)識。在這個示例中，此所示的基 片傳送具有兩個臂裝配，但是在本發(fā)明其它實施方案中，基片傳送可具有任何適當(dāng)數(shù)目或 適當(dāng)配置的臂裝配。此聯(lián)接系統(tǒng)800可包括或由這里所指的一個機(jī)械開關(guān)或一個空轉(zhuǎn)系統(tǒng) 構(gòu)成，后面將會詳細(xì)說明，因此，此傳動部分的一個驅(qū)動電機(jī)能夠影響多于一個的SCARA手 臂的延伸或收縮而基本相互獨立。 此示例實施方案中的聯(lián)接系統(tǒng)，如圖7A-F和8A-E所示，可包括基本剛性的聯(lián)軸 器元件731，730L，730R，732L，732R，733L和733R?；?31在這里為方便起見被稱為一 種平臺并且聯(lián)軸器元件730L，730R，732L和732R在這里為方便起見被稱為構(gòu)件，盡管元件 730L，730R，732L和732R可能不是構(gòu)件，但是它們可具有任何適當(dāng)?shù)呐渲帽挥米鰳?gòu)件。元 件733L，733R可以分別是上臂610L，610R的組成部分或嚴(yán)格依賴于上臂的組件，在這里為 方便起見元件733L，733R將被稱為上臂部分。在本發(fā)明的其它實施方案中，上臂部分733L， 733R可以是具有任何適合向上臂6IOL， 610R傳輸運動配置的任何適當(dāng)組件。在此示例實施 方案中，并且為了解釋說明，圖7E-F以及圖8A-E基本上顯示此上臂部分733L，733R為一種 樞轉(zhuǎn)構(gòu)件。 圖6A-C和圖7A-F以及8A-E所示的實施方案中的平臺731具有一種示例性配置。 在其它實施方案中，此平臺元件可具有任何所需的形狀。此示例實施方案中的構(gòu)件732L， 732R可通過樞轉(zhuǎn)釋放關(guān)節(jié)可移動得結(jié)合，下面將進(jìn)一步說明這種配置。在本發(fā)明其它實施 方案中，構(gòu)件可由任何其它適當(dāng)?shù)目梢苿雨P(guān)節(jié)(例如，可轉(zhuǎn)換釋放的關(guān)節(jié)，來代替樞轉(zhuǎn)釋放 關(guān)節(jié)，或與樞轉(zhuǎn)釋放共同使用)與毗鄰的元件結(jié)合。此聯(lián)軸器元件可由任何適當(dāng)?shù)牟牧侠?如金屬、塑料、陶瓷、碳纖維、復(fù)合材料等等制成，只要能夠允許基片傳送300可以在一種大 氣或真空環(huán)境中操作并可攜帶任何適當(dāng)?shù)念A(yù)先確定的負(fù)載。 如下所描述，構(gòu)件730L和730R可分別相應(yīng)于驅(qū)動元件1060和1050，如圖11所 示。由圖7A-B以及7E最為清楚得可見，此構(gòu)件730L，730R可分別在轉(zhuǎn)動關(guān)節(jié)B和A樞轉(zhuǎn) 得與平臺731耦合。在此示例實施方案中，構(gòu)件730L， 730R的長度基本上等于轉(zhuǎn)動關(guān)節(jié)A 與B之間的距離。在本發(fā)明其它實施方案中，構(gòu)件可具有任何適當(dāng)?shù)拈L度。構(gòu)件730L，730R 的另一端可分別樞轉(zhuǎn)得與靜止(相對于臂裝配中心)轉(zhuǎn)動關(guān)節(jié)C與D耦合。在此示例方案 中，關(guān)節(jié)C與D之間的距離基本上等于構(gòu)件730L， 730R的長度。在本發(fā)明其它實施方案中， 關(guān)節(jié)C與D之間可具有任何適當(dāng)?shù)木嚯x。當(dāng)平臺在可稱之為例如一種中立位置時，轉(zhuǎn)動關(guān) 節(jié)A與C可基本相互沿一條直線對準(zhǔn)而轉(zhuǎn)動關(guān)節(jié)B和D可基本在一條直線上(例如，相互 之間具有一條基本上共同的轉(zhuǎn)動軸，由圖7B和7E可見)。 由圖7E和7F可見，平臺731也可包含轉(zhuǎn)動關(guān)節(jié)E。構(gòu)件732L， 732R的一端在關(guān)節(jié)
11E與平臺樞轉(zhuǎn)得連接。在此示例實施方案中，此構(gòu)件732L， 732R轉(zhuǎn)動關(guān)節(jié)的長度分別基本上 等于關(guān)節(jié)A與E之間和關(guān)節(jié)B與E的距離。構(gòu)件732L， 732R的另一端大約在轉(zhuǎn)動關(guān)節(jié)F及 C與上臂部分733L，733R的一端樞轉(zhuǎn)得連接。上臂部分733L， 733R的另一端與靜止(相對 于臂裝配中心)轉(zhuǎn)動關(guān)節(jié)或中樞H與I樞轉(zhuǎn)得連接。在此示例方案中，選擇上臂部分733L， 733R的尺寸和靜止中樞的位置H， I以便關(guān)節(jié)F和C的旋轉(zhuǎn)軌跡Rl， R2可分別通過點C和 D(參見圖7E)。此示例配置在平臺731旋轉(zhuǎn)時可以限制關(guān)節(jié)A， B的移動，這將在下面詳細(xì) 說明。在本發(fā)明其它實施方案中，此上臂部分733L，733R可具有任何適當(dāng)?shù)某叽?，靜止中樞 H， I可位于任何適當(dāng)?shù)奈恢?。由圖7F可見，當(dāng)此聯(lián)接系統(tǒng)在一種中立位置，此轉(zhuǎn)動關(guān)節(jié)A， C，F(xiàn)相互之間基本在一條直線上，轉(zhuǎn)動關(guān)節(jié)B，D，G相互之間基本在一條直線上。如圖6A所 示，當(dāng)聯(lián)接系統(tǒng)在其中立位置，基片傳送的手臂也處于一種收縮的位置。所示的聯(lián)接系統(tǒng)連 桿機(jī)構(gòu)的移動只是示例性的，在本發(fā)明其它實施方案中，可以安排連桿機(jī)構(gòu)提供或經(jīng)歷任 何所需范圍的運動在驅(qū)動手臂上轉(zhuǎn)換，手臂的驅(qū)動相互獨立。 圖9為元件733L，733R的角度方向作為平臺731角位置函數(shù)的圖形表示。在圖9 中，9 l'表示此平臺731的角度位置，并且9 3L'，03R'分別是元件733L，733R的角度方向。 如圖8A所示，角方向ei'， 9 3L'，03R'是相對于平臺731初始位置以弧度測量的，其中平 臺731的初始位置相應(yīng)為0弧度。e l'， 03R'以逆時針方向為正，9 3L'則以順時針方向 為正?？赏ㄟ^13對11'的比值來控制此平臺731的移動范圍，其中11'是平臺731樞轉(zhuǎn)點 C， D與轉(zhuǎn)動關(guān)節(jié)E之間的距離，轉(zhuǎn)動關(guān)節(jié)E將構(gòu)件732L，732R與平臺731耦合。13是構(gòu)件 732L，732R的長度。如圖9所示，隨著聯(lián)接系統(tǒng)800的轉(zhuǎn)動，基本沒有靜止構(gòu)件的殘留移動。
現(xiàn)參照圖11A-11E，下面將說明基片傳送的一種傳動部分的一個示例方案。此傳動 部分可是任何適當(dāng)?shù)膫鲃硬糠郑纾?一種磁傳動裝配， 一種同軸傳動裝配， 一種非同軸傳 動裝配或它們的結(jié)合。圖11A-11E所示的傳動部分可包括一個第一傳動軸1190來改變搬運 機(jī)器人的方向(如角度方向)，以及一個第二傳動軸1120來驅(qū)動旋轉(zhuǎn)元件1150， 1160 (如， 影響臂的延伸/收縮而獨立于相互)。如上所述，旋轉(zhuǎn)元件1150， 1160可分別相應(yīng)于構(gòu)件 730R和730L。再次，即使旋轉(zhuǎn)元件1150， 1160相應(yīng)于構(gòu)件730R， 730L，這些元件可僅僅作為 一種構(gòu)件使用，這種構(gòu)件或者釋放或具有允許組件731在一個終端對著其轉(zhuǎn)動軸旋轉(zhuǎn)，下 面將對此說明。在其它方案中，此元件1150， 1160可具有任何適當(dāng)?shù)呐渲?。如上所述，此?動部分也可包括一種具有一個平臺731的聯(lián)接系統(tǒng)800。此傳動部分可以向平臺731施加 力矩引起平臺以點D從中立位置以順時針的方向轉(zhuǎn)動或者從此中立位置以點C以順時針方 向轉(zhuǎn)動(如點C與D的搖擺運動)。 在此示例實施方案，第一傳動軸1190可耦合至一種殼，如基片傳送的殼1100，這 樣，當(dāng)?shù)谝粋魉洼S1190旋轉(zhuǎn)時，臂裝配650L，650R沿傳動軸1190的軸旋轉(zhuǎn)?？梢匀魏芜m當(dāng) 的方式驅(qū)動第二傳動軸，例如通過一種單獨安裝的電機(jī)，這個電機(jī)與傳動軸1120在一條直 線上；或者通過一種由傳動軸驅(qū)動的傳送系統(tǒng)(例如，滑輪系統(tǒng))，此傳動軸與傳動軸1190 同軸。盡管圖中所示的第二傳動軸沿著軸C的方向，在本發(fā)明其它實施方案中，第二傳動軸 可與軸1140顛倒。在本發(fā)明另一些實施方案中，第二傳動軸可在任何適當(dāng)?shù)奈恢谩?
傳動軸1120可與旋轉(zhuǎn)元件1160固定得耦合，這樣傳動軸1120就可旋轉(zhuǎn)元件 1160。在此示例實施方案中，由圖IIA可見，此所示的傳動軸1120具有一種力矩傳輸臂因 此傳動軸不會干擾元件1150。在本發(fā)明其它實施方案中，此傳動軸1120和元件1150可具有任何適當(dāng)?shù)呐渲谩?在此示例方案中，元件1160包括一種第一和第二滑輪1160A, 1160B和一種傳動帶 1160C。此傳動帶可以是任何適當(dāng)?shù)钠?，例如一種釘在或固定在滑輪上的金屬帶。傳送帶 1160C可具有一種適當(dāng)?shù)慕孛媸乖?160可基本作為一種能夠攜帶一種懸臂負(fù)載的剛性 成員，懸臂負(fù)載例如平臺731。在其它實施方案中，此元件1160可以是一種桿，軸或任何其 它適宜旋轉(zhuǎn)平臺731的配置。 此元件1160可與平臺731的嚙合組件1170相耦合，這樣當(dāng)滑輪1160A沿軸C旋 轉(zhuǎn)時，平臺731可沿軸D旋轉(zhuǎn)，這將在以下說明。此嚙合組件1170可在例如滑輪1160B與 元件1160耦合。嚙合組件可以是任何適當(dāng)?shù)膰Ш辖M件。此嚙合組件1170可基本沿軸D并 適當(dāng)?shù)帽慌渲脜f(xié)同元件1160及軸1120支持平臺731。在本發(fā)明其他實施方案中，傳動部分
可具有任何適當(dāng)?shù)囊鹑邕@里所述的基片傳送操作的配置。
此軸1140可以轉(zhuǎn)動軸D為中心被旋轉(zhuǎn)得安裝并適當(dāng)?shù)帽恢危@樣軸1140以軸D 旋轉(zhuǎn)時就不會有任何偏心或擺動。在本發(fā)明其它實施方案中，軸可能不可旋轉(zhuǎn)。軸1140可 固定得與旋轉(zhuǎn)元件1150耦合，這樣當(dāng)旋轉(zhuǎn)元件1150旋轉(zhuǎn)時軸1150也會旋轉(zhuǎn)。在這個示例 中，元件1150可以是釘在軸1140 —端或釘在組件1180另一端的一種帶。在軸1140不可 轉(zhuǎn)的實施方案中，當(dāng)平臺旋轉(zhuǎn)時，帶1150可環(huán)繞軸1140。在其它實施方案中，元件1150可 以任何適當(dāng)?shù)姆绞脚c軸1140及組件1180耦合。元件1150可具有一種適當(dāng)?shù)慕孛媸乖?1150可基本能作為一種能夠攜帶一種懸臂負(fù)載，例如平臺731的剛性成員。在其它實施方 案中，此元件1150可以是一種桿，軸或任何其它適宜旋轉(zhuǎn)平臺731的配置。如上所述，此元 件1150可與平臺731的一種嚙合組件1180耦合，嚙合組件1180如上所示基本上沿C軸。 這樣當(dāng)平臺731以D軸為中心旋轉(zhuǎn)時，元件1150也可以D軸為中心旋轉(zhuǎn)，下面將對此說明。 嚙合組件1180可在C軸旋轉(zhuǎn)式得與平臺731耦合并對其適當(dāng)?shù)门渲靡员苊飧蓴_元件1160 與軸1120。在本發(fā)明其它實施方案中，嚙合組件1180可固定到平臺731，這樣當(dāng)平臺旋轉(zhuǎn)， 帶1150則環(huán)繞組件1180。也可配置此嚙合組件協(xié)同元件1150及軸1140支持平臺731。可 能注意到，元件1150， 1160有一種適當(dāng)?shù)呐渲脕肀苊庠?150， 1160與傳動軸和嚙合組件 之間的干擾。也可能注意到，圖IIA-E所示的傳動部分只是一種示例性的并且傳動部分可 具有任何適當(dāng)?shù)呐渲谩?參考圖6A-C，8A-E和11A-E，將對基片傳送的操作加以說明。如上所述，上臂部分 733L形成左臂650L的一部分因此左臂在點H周圍樞轉(zhuǎn)。同樣地，上臂部分733R形成右臂 650R的一部分，因此右臂在點I周圍樞轉(zhuǎn)。圖8A與6A中所示的此聯(lián)接系統(tǒng)800以及臂裝 配在它們的中立位置。圖6A-6C所示的上臂形狀只是一種示例性的，上臂可具有任何適當(dāng) 的形狀，例如，上臂可以是筆直的或者具有L形或彎曲的形狀。在其它實施方案中，此上臂 部分733L，733R可與一種滑輪或磁盤相連，磁盤或滑輪安裝在上臂，因此當(dāng)上臂部分733L， 733R圍繞點H， I旋轉(zhuǎn)時，各自的磁盤圍繞點H， I旋轉(zhuǎn)，從而旋轉(zhuǎn)各自的上臂650L， 650R。在 本發(fā)明的另一些方案中，此上臂部分可從臂的任何部分施加力矩到上臂。可能注意到，圖 6A-6C所示的上臂部分733L， 733R相對上臂其余部分的關(guān)系或方向僅僅是示例性的，上臂 部分733L，733R相對上臂可具有任何適當(dāng)?shù)年P(guān)系/方向。 將對如圖IIA-E所示左臂相對此驅(qū)動的操作加以說明。為了將左臂從中立位置或收縮位置延伸，此平臺731需要以軸或點D為中心逆時針旋轉(zhuǎn)，如圖6B，11D以及8B-C所 示。在逆時針旋轉(zhuǎn)過程中，此平臺可在幾個位置被支撐。例如，此平臺731可在點D通過元 件1060或任何適當(dāng)?shù)鸟詈现伪恢苯又?。適當(dāng)?shù)鸟詈侠缫环N軸或如圖IIA所示的，通 過嚙合組件1170以及傳動軸1120A。此平臺可以在點H通過構(gòu)件733L，732L，在點I通過 構(gòu)件733R，732R被間接支撐。在其它實施方案中，平臺731可被多于或少于3個支撐點支 撐。 為了影響平臺731以D軸為中心的逆時針旋轉(zhuǎn)，此軸1120可逆時針旋轉(zhuǎn)在滑輪 1160A上施加力矩。力矩通過帶1160C轉(zhuǎn)換到滑輪1160B上?；?160B通過嚙合組件 1170傳送力矩到平臺731，這樣平臺731就繞軸或點D逆時針旋轉(zhuǎn)?？赡茏⒁獾?，此聯(lián)接系 統(tǒng)被約束以便傳動軸1120的逆時針旋轉(zhuǎn)以及由此而來的平臺731所受的逆時針力矩引起 平臺以D軸為中心的旋轉(zhuǎn)。當(dāng)平臺731被旋轉(zhuǎn)，它可能在點A經(jīng)由嚙合組件1180以及此旋 轉(zhuǎn)組件1150被支撐。由圖IID可最為清楚地看出，隨著平臺731的逆時針旋轉(zhuǎn)，旋轉(zhuǎn)組件 1150繞D點旋轉(zhuǎn)。 此平臺731的點B與點D在一條直線上(圖7B， 7E-7F所示的初始位置上)，點B 可能受轉(zhuǎn)移約束，這樣在平臺731旋轉(zhuǎn)過程中，點B保持與點C在一條直線上。在此示例實 施方案中，當(dāng)對點B施加逆時針力矩時，由于構(gòu)件732R， 733R與關(guān)節(jié)I， D， E之間的關(guān)系，點 B被約束。由圖7E可最為清楚地看出，在此示例方案中，允許關(guān)節(jié)G沿著旋轉(zhuǎn)路徑R2， R3 經(jīng)過，允許關(guān)節(jié)F沿著旋轉(zhuǎn)路徑R1， R3經(jīng)過。當(dāng)平臺旋轉(zhuǎn)，構(gòu)件732L，733L的角方向改變， 這樣構(gòu)件732L， 733L分別繞關(guān)節(jié)E和H旋轉(zhuǎn)，從而旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)F沿著路徑R繞點H旋轉(zhuǎn)，如圖 8B-C所示。當(dāng)構(gòu)件733L是臂650L上臂610L的部分時，引起上臂繞點H旋轉(zhuǎn)。在其它實施 方案中，構(gòu)件733L可以在點H被驅(qū)動得連接到一種軸來旋轉(zhuǎn)上臂610L。在本發(fā)明其它方案 中，此構(gòu)件733L可以任何適當(dāng)?shù)姆绞揭鹕媳坌D(zhuǎn)。注意到，當(dāng)平臺731逆時針旋轉(zhuǎn)時，構(gòu) 件733L順時針旋轉(zhuǎn)，而構(gòu)件733R保持靜止(也就是說，旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)G與中樞D保持在一條直 線上)，這樣臂650R不會移動創(chuàng)建一種空轉(zhuǎn)系統(tǒng)。 上臂610L的旋轉(zhuǎn)引起靜止滑輪650L經(jīng)由皮帶615L驅(qū)動滑輪630L，這樣當(dāng)臂被 延伸，前臂655L繞旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)625L以相反的方向旋轉(zhuǎn)相同的量。前臂655L的旋轉(zhuǎn)反過來又 會引起620L經(jīng)由皮帶635L驅(qū)動滑輪645L，這樣終端受動器繞點640L旋轉(zhuǎn)。終端受動器 繞點640L的旋轉(zhuǎn)是這樣的，當(dāng)650L被延伸或收縮時，終端受動器600L的徑向或縱軸維持 在沿行駛的共同路徑P上。這樣，如上所述，相對于圖3A-C，前臂655L的旋轉(zhuǎn)是上臂610L 繞點H旋轉(zhuǎn)的從動，終端受動器600L的旋轉(zhuǎn)是前臂655L繞點625L旋轉(zhuǎn)的從動。因此，臂 650L被徑向延伸時，臂650R基本保持在其收縮位置上靜止。臂650L以一種基本相反的方 式被收縮。 為了將右臂650R從中立位置或收縮位置延伸，此平臺731需要繞點C順時針旋 轉(zhuǎn)，如圖6C，11E以及8D-E所示。在逆時針旋轉(zhuǎn)過程中，此平臺可在幾個位置被支撐。例 如，可以通過元件1150或者以其它適當(dāng)?shù)鸟詈现卧邳cC直接支撐平臺，適當(dāng)?shù)鸟詈侠?一種軸或如圖IIA所示，通過嚙合組件1180以及軸1140。并且此平臺可以在點H通過構(gòu)件 733L，732L以及點I通過構(gòu)件733R， 732R被間接支撐。此平臺也可被組件1170，元件1160 以及軸1120支撐。在其它實施方案中，此平臺可以被多于或少于3個支撐點支撐。
為了影響平臺731的順時針旋轉(zhuǎn)，此軸1120可順時針旋轉(zhuǎn)向滑輪1160A上施加力
14矩。力矩經(jīng)由帶1160C轉(zhuǎn)換到滑輪1160B上。滑輪1160B經(jīng)由嚙合組件1170傳送順時針 力矩到平臺731，由于約束，平臺731繞軸或點C順時針旋轉(zhuǎn)。在此示例方案中，由于構(gòu)件 733L，732L以及關(guān)節(jié)H， F， E之間的關(guān)系，當(dāng)軸1120施加順時針力矩時，平臺731點C可能 被轉(zhuǎn)移限制通過中立方向移動。由圖7E可最為清楚地看出，允許關(guān)節(jié)F沿旋轉(zhuǎn)路徑R1，R3 通過，允許點G允許沿旋轉(zhuǎn)路徑R2，R3通過。當(dāng)經(jīng)由嚙合組件1170對平臺點B施加順時針 力矩時，點F不能沿路徑Rl或R3 (也就是約束點A)通過，這就會迫使點G沿著路徑R2通 過。再次，點A經(jīng)由組件1180，旋轉(zhuǎn)組件1150以及軸1140被支撐。 當(dāng)平臺旋轉(zhuǎn)，構(gòu)件732R，733R的角方向改變，這樣構(gòu)件732R， 733R分別繞點E和I 旋轉(zhuǎn)，從而旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)G繞點I旋轉(zhuǎn)。當(dāng)構(gòu)件733R是臂650R上臂610R的部分時，引起上臂 繞點I旋轉(zhuǎn)。在其它實施方案中，構(gòu)件733R可以在點I被驅(qū)動得連接到一種軸來旋轉(zhuǎn)上臂 610R。在本發(fā)明其它方案中，此構(gòu)件733R可以任何適當(dāng)?shù)姆绞揭鹕媳坌D(zhuǎn)。
在此示例方案中，當(dāng)平臺731順時針旋轉(zhuǎn)時，構(gòu)件733R可能逆時針旋轉(zhuǎn)而構(gòu)件 733L保持靜止(也就是旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)F與中樞C保持在一條直線上)，這樣比750L不動。在其 它實施方案中，可配置聯(lián)接系統(tǒng)使構(gòu)件733R，733L以與平臺轉(zhuǎn)動相同的方向轉(zhuǎn)動，例如，通 過一種非同位方式將構(gòu)件732L，732R與平臺731耦合。在其它實施方案中，可配置此聯(lián)接 系統(tǒng)用一種滑行運動代替構(gòu)件733L，733R的旋轉(zhuǎn)運動，這種滑行運動可被直接使用來旋轉(zhuǎn) 上臂或轉(zhuǎn)化為用于旋轉(zhuǎn)上臂的旋轉(zhuǎn)運動。在本發(fā)明另外一些實施方案中，可用任何適當(dāng)?shù)?方式來旋轉(zhuǎn)上臂。 上臂610R的旋轉(zhuǎn)引起靜止滑輪605R經(jīng)由皮帶615R驅(qū)動滑輪630R，這樣當(dāng)臂被延 伸，前臂655R繞旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)625R在相反的方向旋轉(zhuǎn)相同的量。前臂655R的旋轉(zhuǎn)反過來又會 引起滑輪620R經(jīng)由皮帶635R驅(qū)動滑輪645R，這樣終端受動器600R繞點640R旋轉(zhuǎn)。終端 受動器600R繞點640R的旋轉(zhuǎn)是這樣的，當(dāng)650R被延伸或收縮時，終端受動器600R的徑向 或縱軸維持在沿行駛的共同路徑P上。這樣，如上所述，相對于臂650L，前臂655R的旋轉(zhuǎn)是 上臂610R繞點I旋轉(zhuǎn)的從動，終端受動器600R的旋轉(zhuǎn)是前臂655R繞點625R旋轉(zhuǎn)的從動。 因此，臂650L被徑向延伸時，臂650R基本保持在其收縮位置上靜止。臂650R以一種基本 相反的方式被收縮。 可能注意到，由于終端受動器600L，600R沿著共同的行駛路徑P運動，可設(shè)置此終 端受動器在不同平面沿行使路徑P行駛。在本發(fā)明其它實施方案中，可配置臂650L，650R 在不同的高度位置，這樣終端受動器就能沿著共同路徑P行駛。在本發(fā)明其它實施方案中， 傳送可具有任何適當(dāng)?shù)呐渲脕碓试S多個終端受動器沿共同的行駛路徑行進(jìn)。所示的聯(lián)接系 統(tǒng)連桿機(jī)構(gòu)的移動只是示例性的，在本發(fā)明其它實施方案中，可以安排連桿機(jī)構(gòu)提供或經(jīng) 歷任何所需范圍的運動變換從而驅(qū)動手臂而獨立于相互之間。 現(xiàn)參照圖IOA，該圖顯示了一種傳動部分的另一個示例實施方案。在圖10A中，為 了清楚，圖中只顯示了聯(lián)接系統(tǒng)的最少元件。圖IOA所示的傳動部分可包括一種第一磁定 子IOOI，一種第二磁定子1002以及一種磁體或磁陣列平臺1010。該磁平臺可以是任何適 當(dāng)?shù)挠来朋w或磁體陣列，并且該此平臺可具有任何適合無刷直流或交流電機(jī)的配置。在其 它實施方案中，該平臺可由磁性材料形成，或者具有用于一種馬達(dá)的適當(dāng)?shù)木€圈。所示的平 臺1010安裝在杠桿1003上。在圖10A中，杠桿1003延伸超過了平臺731的周長，這只是 為了示意表示力矩應(yīng)用，但在本發(fā)明其它實施方案中，杠桿可具有任何適當(dāng)?shù)某叽绾团渲谩Ｐ枰⒁獾?，圖10所示的平臺1010的定位僅僅是一種示例，并且平臺可以被放置在點C與 D之間的任何適當(dāng)?shù)奈恢脕硐蚱脚_施加力矩，這樣平臺可以或者繞轉(zhuǎn)動關(guān)節(jié)C或者D旋轉(zhuǎn)。 磁定子1002， 1001可以是任何適當(dāng)?shù)亩ㄗ?，配置它們來?qū)動磁體1010沿弧線使平臺731繞 點C或D旋轉(zhuǎn)。由圖IOA可見，磁定子1002例如可以以點C為中心，此定子1001則以點D 為中心。在其它實施方案中，此定子可具有任何適宜影響平臺轉(zhuǎn)動的配置。磁定子可以任 何適當(dāng)?shù)姆绞脚c控制其相連從而產(chǎn)生一如上所述的驅(qū)動磁體的磁場?？稍谄脚_上使用一種 共同的傳感器如霍爾效應(yīng)傳感器來控制雙臂獨立于相互的移動。 為了使平臺繞點C順時針旋轉(zhuǎn)，對磁定子1002供電以向平臺1010施加以磁力矩， 這樣平臺731的點B在箭頭1030的方向上旋轉(zhuǎn)，如圖8A-E所示。為了使平臺繞點D逆時 針旋轉(zhuǎn)，對磁定子1012供電以向磁體IOIO施加以磁力矩，這樣平臺的點A在箭頭1040的 方向上旋轉(zhuǎn)，如圖8A-C所示?？赡茏⒁獾?，如圖A所示，為了對磁體施加一個相反的力矩以 旋轉(zhuǎn)點A和B回到他們的起始位置，此定子的極性可能被反轉(zhuǎn)。 參照圖IOB，該圖顯示了依照本發(fā)明一個示例實施方案中的另一傳動部分。再次， 為了清楚，圖IOB只顯示了最少的聯(lián)接系統(tǒng)元件。在這個示例實施方案中，此傳動部分可包 括一種第一磁定子1002'，一種第二磁定子1001'以及一種第一磁體或磁陣列平臺1020以 及一種第二磁陣列平臺1015。在此示例方案中，所示的平臺1020，1015分別安裝在平臺731 的點A和B上。在其它實施方案中，此平臺可以安裝在平臺任何適當(dāng)?shù)奈恢蒙稀４舜哦ㄗ?1002'和1001'可基本上與上述圖IOA描述的類似。 為了使平臺繞點C順時針旋轉(zhuǎn)，對磁定子1002'供電以向平臺1015施加一種磁力 矩，這樣平臺731的點B在箭頭1030的方向上旋轉(zhuǎn)，如圖8A-E所示。為了使平臺繞點D逆 時針旋轉(zhuǎn)，對磁定子1001'供電以向磁體平臺1020施加一種磁力矩，這樣平臺的點A在箭 頭1040的方向上旋轉(zhuǎn)，如圖8A-C所示?？赡茏⒁獾?，如圖A所示，為了對磁體施加一個相 反的力矩以旋轉(zhuǎn)點A和B回到他們的起始位置，此定子的極性可能被反轉(zhuǎn)。
現(xiàn)參照圖12A-12C，該圖顯示了一種傳動部分的另一示例實施方案。由圖12A-12C 可見，此傳動部分可包括一種傳動軸1200，一種與傳動軸1200耦合的曲柄組件1210以及 一種與曲柄組件1210 —端耦合的一種連接構(gòu)件1220，是一種滑動-旋轉(zhuǎn)的布局方式。此 滑動-旋轉(zhuǎn)布局可包含槽1225和銷1226。此銷1226可在曲柄1210中的一個孔以及此槽 1225延伸。此銷可具有任何適當(dāng)?shù)慕K端(例如，蘑燕型終端，蓋帽型，等等)來阻止曲柄 1210和連接構(gòu)件1220分離。連接構(gòu)件1220的另一端可與平臺731旋轉(zhuǎn)耦合。如圖12B所 示，為了以順時針方向1240旋轉(zhuǎn)平臺，傳動軸1200以順時針方向1250旋轉(zhuǎn)，這樣曲柄組件 1210也以順時針方向1250旋轉(zhuǎn)。當(dāng)曲柄組件以順時針方向旋轉(zhuǎn)，銷1226在連接構(gòu)件1220 的槽1225中滑動，這樣與曲柄1210耦合的連接構(gòu)件的一端就在箭頭1245'的方向上移動。 當(dāng)曲柄1210旋轉(zhuǎn)，銷1226咬合槽1225的一種第一末端1227，因此，當(dāng)曲柄1210進(jìn)一步轉(zhuǎn) 動，曲柄1210的轉(zhuǎn)動引起連接構(gòu)件在箭頭1246'的方向上拉動平臺731，這個拉動又會引起 731在箭頭1240的方向旋轉(zhuǎn)。 類似地，如圖12C所示，為了以逆時針方向1270旋轉(zhuǎn)平臺，傳動軸在逆時針方向 1270旋轉(zhuǎn)，這樣曲柄組件1210也在一逆時針方向1260上旋轉(zhuǎn)。當(dāng)曲柄組件逆時針方向旋 轉(zhuǎn)，銷1226在連接構(gòu)件1220的槽1225中滑動，這樣與曲柄1210耦合的連接構(gòu)件的一端在 箭頭1245"的方向上移動。當(dāng)曲柄1210旋轉(zhuǎn)，銷1226咬合槽1225的一種第一末端1227，因此隨著曲柄1210的進(jìn)一步轉(zhuǎn)動，曲柄1210的轉(zhuǎn)動會引起連接構(gòu)件1220在箭頭1246"的 方向上拉動平臺，這又會引起平臺731在箭頭1270的方向上轉(zhuǎn)動。有可能注意到，可適宜 的配置及間隔連接構(gòu)件1220中的槽1225，連接構(gòu)件1210，曲柄1210以及傳動軸1200以便 當(dāng)曲柄組件1210回到圖12A所示的中立位置時，在箭頭1270方向上有適宜的運動路徑讓 平臺731返回到圖12A所示的中立位置上。例如，當(dāng)曲柄1210返回到中立位置，銷1226咬 合槽的一第二末端1228引起中樞點1230在箭頭1270的方向上移動，這樣平臺731就回到 此中立位置。 有可能注意到，傳送700的操作基本類似于上述對應(yīng)圖11當(dāng)采用圖10A-B的磁驅(qū) 動或圖11A-C的曲柄時的操作。 由于聯(lián)接系統(tǒng)800，此上臂610L，610R沿關(guān)節(jié)H， I的旋轉(zhuǎn)相對于其相應(yīng)的驅(qū)動系 統(tǒng)的傳動軸在每一個臂650L，650R的延伸和收縮上是變化的。此控制器200可通過適當(dāng)?shù)?算法配置臂650L，650R在延伸和收縮過程中維持一種基本穩(wěn)態(tài)的移動。例如，此控制器可 引起平臺731的傳動軸根據(jù)臂延伸或收縮的位置在給定時間內(nèi)引起不同速度的轉(zhuǎn)動，這樣 臂的延伸和收縮是一種基本一致的移動。在本發(fā)明其它實施方案中，可以任何適當(dāng)?shù)姆绞?控制臂的移動。用于探測臂延伸和收縮的傳感器可以位于沿著臂650L，650R上的任何適當(dāng) 的位置，例如位于旋轉(zhuǎn)關(guān)節(jié)H， 1，625L和/或625R?？墒褂眠m當(dāng)數(shù)目或種類的傳感器。例 如，此傳感器可以為無線傳感器或有線傳感器?？刂破?00可以使用傳感器上的反饋來調(diào) 節(jié)傳動軸的轉(zhuǎn)動速度。 需要注意的是這里描述的聯(lián)接系統(tǒng)不會增加基片傳送300的機(jī)械復(fù)雜度，因為此 平臺421和構(gòu)件422L，422R代替了一對皮帶傳動，而每一個皮帶傳動都包括兩個滑輪，一個 皮帶和一個皮帶漲緊輪。并且，由于皮帶傳動伴隨著微粒產(chǎn)生和可靠性問題，因此這里描述 的聯(lián)接系統(tǒng)代表著一種更潔凈和更可靠的傳動系統(tǒng)。并且，通過使用聯(lián)接系統(tǒng)基片傳送的 總體難度下降，這是由于雙臂491L，491R的徑向移動由一種單電機(jī)控制，因此消除了常規(guī) 基片傳送中的一個電機(jī)并且其電子線路進(jìn)一步改善了基片傳送系統(tǒng)的可靠性并降低了成 本。 需要理解的是上述描述只是本發(fā)明例證方案的示意說明。應(yīng)用本發(fā)明中的技術(shù)思 想可以提出各種替代和修改方案。相應(yīng)得，現(xiàn)有的方案旨在包含所有屬于附加權(quán)利條款范 圍內(nèi)的替代，修改和變化方案。
所要求的權(quán)利要求是。
1權(quán)利要求
一種基片傳送裝置包括一種具有至少一個傳動軸的傳動部分；并且至少兩個SCARA臂操作性得與此至少一個的傳動軸耦合，此至少一個的傳動軸是至少兩個的SCARA手臂的共同傳動軸影響此至少兩個的SCARA臂的延伸和收縮，其中這至少兩個的SCARA手臂相互耦合，并且這至少一個的傳動軸與這至少兩個的SCARA臂耦合，此傳動軸的旋轉(zhuǎn)影響此至少兩個SCARA臂之一個的延伸和收縮而基本獨立于至少兩個SCARA臂中另一臂的移動。
2. 權(quán)利1的裝置，其中的SCARA臂包括至少兩個構(gòu)件，它們可移動得相互連接，構(gòu)件中至少一個具有一種承載其上基片的終端受動器。
3. 權(quán)利1的裝置，其中至少兩個SCARA臂的每一個有一種終端受動器，來承載其中的基片并可沿一共同傳送路徑移動。
4. 權(quán)利1的裝置，進(jìn)一步包含一種聯(lián)接系統(tǒng)將至少兩個SCARA臂耦合到此共同傳動軸。
5. 權(quán)利4的裝置，其中的聯(lián)接系統(tǒng)包含基本剛性的聯(lián)軸器元件，該元件可移動得相互 結(jié)合并與至少兩個的SCARA臂中的每一個結(jié)合。
6. 權(quán)利5的裝置，其中的聯(lián)軸器元件至少有一個與傳動部分可移動得耦合并且由傳動 軸驅(qū)動。
7. 權(quán)利6的裝置，其中此至少一個的聯(lián)軸器元件樞轉(zhuǎn)得安裝到傳動部分并且傳動軸的 旋轉(zhuǎn)引起此至少一個的聯(lián)軸器元件相對此傳動部分樞轉(zhuǎn)得旋轉(zhuǎn)。
8. 權(quán)利6的裝置，其中傳動軸的旋轉(zhuǎn)引起此至少一個的聯(lián)軸器元件相對傳動部分以兩個旋轉(zhuǎn)軸為中心樞轉(zhuǎn)。
9. 權(quán)利8的裝置，其中的兩個軸錯開并且基本相互平行，并且其中的傳動部分有另一個旋轉(zhuǎn)軸，該軸與兩個旋轉(zhuǎn)軸的至少一個錯開。
10. 權(quán)利5的裝置，其中的聯(lián)接系統(tǒng)有基本剛性的構(gòu)件，當(dāng)傳動軸旋轉(zhuǎn)時，該剛性構(gòu)件 與此至少兩個SCARA臂的每一個可移動得耦合并且向每一個此SCARA臂傳授移動。
11. 權(quán)利1的裝置，其中SCARA臂移動與傳動軸旋轉(zhuǎn)之間的關(guān)系在每一SCARA臂的延伸 和收縮上是變化的。
12. 權(quán)利11的裝置，進(jìn)一步包含一種被編程的控制器，用程序控制此至少兩個SCARA臂 的移動來維持延伸和收縮過程中基本穩(wěn)定狀態(tài)的移動。
13. —種基片傳送裝置包括 有一種驅(qū)動電機(jī)的一種傳動部分；兩個有節(jié)機(jī)械手臂，每一個都被可操作得連接到此用于延伸和收縮每一個臂的驅(qū)動電 機(jī)，并且每一個臂都具有一種終端受動器來承載和傳送一種基片；并且一種具有一種空轉(zhuǎn)系統(tǒng)的聯(lián)接系統(tǒng)可操作性得將兩個有節(jié)機(jī)械手臂都耦合到此驅(qū)動 電機(jī)，此空轉(zhuǎn)系統(tǒng)的安排使當(dāng)驅(qū)動電機(jī)向聯(lián)接系統(tǒng)施加一種力矩，此空轉(zhuǎn)系統(tǒng)影響兩有節(jié) 臂中的一個的延伸和收縮而基本不會移動兩個有節(jié)機(jī)械臂的另一個臂。
14. 權(quán)利13的裝置，其中的聯(lián)接系統(tǒng)包含基本剛性的聯(lián)軸器元件，該元件可移動得相 互結(jié)合并與至少兩個的SCARA臂中的每一個結(jié)合。
15. 權(quán)利14的裝置，其中的驅(qū)動電機(jī)咬合到一種傳動軸，并且聯(lián)軸器元件中的至少一 個可移動得耦合到此傳動軸并被傳動軸驅(qū)動。
16. 權(quán)利15的裝置，其中此至少一個的聯(lián)軸器元件樞轉(zhuǎn)得安裝到傳動軸并且傳動軸的 旋轉(zhuǎn)引起此至少一個的聯(lián)軸器元件相對此傳動部分樞轉(zhuǎn)得旋轉(zhuǎn)。
17. 權(quán)利15的裝置，其中的傳動軸的旋轉(zhuǎn)引起此至少一個聯(lián)軸器元件相對傳動部分繞 兩個旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，此兩個旋轉(zhuǎn)軸錯開并且基本相互平行，其中的傳動部分具有另一個旋轉(zhuǎn) 軸與這兩個旋轉(zhuǎn)軸的至少一個錯開。
18. 權(quán)利13的裝置，其中SCARA臂移動與傳動電機(jī)位置之間的關(guān)系在每一SCARA臂的 延伸和收縮上是變化的。
19. 權(quán)利18的裝置，進(jìn)一步包含一種被編程的控制器，用程序控制此至少兩個SCARA臂 的移動來維持延伸和收縮過程中基本穩(wěn)定狀態(tài)的移動。
20. —種基片傳送裝置包括 有一種驅(qū)動電機(jī)的一種傳動部分；連接到傳動部分的多個有節(jié)機(jī)械手臂，每一個手臂都具有一個終端受動器用來承載一 種基片，并且手臂能夠延伸和收縮以線性得傳送基片；并且一種聯(lián)接系統(tǒng)具有一種基本剛性的基組件將每一臂耦合到傳動軸，基組件相對于傳動 部分是可動的并且通過可動的關(guān)節(jié)被可動地連接到此多個有節(jié)機(jī)械手臂，這樣允許在每個 手臂與此基組件之間的移動。其中的可移動關(guān)節(jié)的布局使基組件相對傳動部分的移動產(chǎn)生在每個可移動關(guān)節(jié)上基 組件與多個有節(jié)機(jī)械手臂之間的相對移動，引起多個有節(jié)機(jī)械手臂中至少一個手臂的延伸 和收縮，而無需多個有節(jié)機(jī)械手臂的至少一個的其它手臂的大量接合。
全文摘要
一種基片傳送裝置包含一種具有至少一個傳動軸的傳動部分以及至少兩個SCARA手臂，該手臂可操作性得與至少一個傳動軸相耦合，此至少一個的傳動軸是至少兩個的SCARA手臂的一種共用傳動軸，影響至少兩個的SCARA手臂的延伸和收縮，其中這至少兩個的SCARA手臂相互耦合，因此，至少一個的傳動軸與至少兩個的SCARA手臂耦合，此傳動軸的旋轉(zhuǎn)能影響至少兩個的SCARA手臂其中一個的延伸和收縮而基本上獨立于至少兩個SCARA手臂中另一的移動。
文檔編號B25J9/02GK101711429SQ200880019066
公開日2010年5月19日 申請日期2008年4月7日 優(yōu)先權(quán)日2007年4月6日
發(fā)明者M·霍塞克, U·吉爾克里斯特 申請人:布魯克斯自動化公司