本實(shí)用新型涉及多晶硅片清洗領(lǐng)域，是一種新型的多晶硅片清洗供水系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

目前，多晶硅片的清洗是多晶硅片加工的過程中重要的工序，微量污染會(huì)導(dǎo)致器件的失效，多晶硅片的清洗是采用物理或者化學(xué)的方法出去硅片表面的污染物和自身氧化物，使操作人員能夠得到符合清潔度要求的硅片的過程?，F(xiàn)有的多晶硅片清洗設(shè)備有七個(gè)槽，其中一槽為浸泡溢流槽、二~四槽為藥洗槽、五~七槽為溢流槽，每個(gè)槽均進(jìn)行單獨(dú)加熱，一、五~七槽進(jìn)行單獨(dú)供水和溢流，溢流水直接排放，因此對(duì)純水的需求過大，會(huì)造成水資源的浪費(fèi)，且加熱電量較高，浪費(fèi)電能。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

針對(duì)上述問題，本實(shí)用新型提出一種新型的多晶硅片清洗供水系統(tǒng)，即七槽單獨(dú)進(jìn)水，然后溢流的供水輸送至六槽，六槽溢流的供水輸送至五槽，五槽溢流的供水存儲(chǔ)至儲(chǔ)水箱，再通過儲(chǔ)水箱供應(yīng)給一槽。

為解決以上技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供的技術(shù)方案是:

一種新型的多晶硅片清洗供水系統(tǒng)，其特征在于，包括水源、在線加熱器、第一管道、第二管道、第三管道、第四管道、第五管道、一槽、二槽、三槽、四槽、五槽、六槽、七槽、閥門和儲(chǔ)水箱，所述一槽、二槽、三槽、四槽、五槽、六槽和七槽自左向右等間隔排列，且形狀完全相同，所述水源通過第一管道與一槽相連，所述閥門設(shè)置在第一管道上，所述第二管道一端與第一管道相連，另一端與在線加熱器相連，所述在線加熱器包括保溫套、外殼、加熱管道、加熱器、第一進(jìn)水管和第一出水管，所述外殼呈長(zhǎng)方體、所述保溫套呈長(zhǎng)方體，保溫套設(shè)置在外殼上，所述加熱管道設(shè)置在外殼內(nèi)，且設(shè)置在外殼中部，所述進(jìn)水管一端與第二管道相連，另一端與加熱管道一端相連，所述出水管一端與加熱管道相連，另一端與七槽相連，所述加熱器有多個(gè)，加熱器設(shè)置在外殼內(nèi)，加熱器對(duì)稱設(shè)置在外殼上下兩端，且與外殼固定連接，所述第三管道一端與儲(chǔ)水箱相連，另一端與第一管道相連，所述第四管道一端與五槽相連，另一端與儲(chǔ)水箱相連，所述儲(chǔ)水箱包括保溫殼、儲(chǔ)水箱本體、第二進(jìn)水管、第二出水管和浮球液位開關(guān)，所述儲(chǔ)水箱本體呈長(zhǎng)方體、所述保溫殼設(shè)置在儲(chǔ)水箱上，所述液位開關(guān)設(shè)置在儲(chǔ)水箱本體內(nèi)，且設(shè)置在儲(chǔ)水箱本體一側(cè)，所述第二出水管設(shè)置在儲(chǔ)水箱下端，第二出水管一端與第三管道相連，另一端與儲(chǔ)水箱本體相連，所述第二進(jìn)水管設(shè)置在第二出水管上方，第二出水管一端與第四管道相連，另一端與儲(chǔ)水箱本體相連，所述七槽、六槽和五槽之間通過第五管道連接；

進(jìn)一步的所述，第一管道、第二管道、第三管道、第四管道和第五管道采用聚乙烯泡沫塑料材料制成；

進(jìn)一步的所述，保溫套和保溫殼內(nèi)均設(shè)有保溫海綿；

進(jìn)一步的所述，浮球液位開關(guān)控制閥門的開啟與關(guān)閉；

進(jìn)一步的所述，每個(gè)槽上底部設(shè)有加熱裝和溫度感應(yīng)器，溫度感應(yīng)器與加熱裝置之間通過線路連接。

本實(shí)用新型的有益效果為：

一種新型的多晶硅片清洗供水系統(tǒng)，將原來的每個(gè)槽單獨(dú)供水供水改為給七槽單獨(dú)進(jìn)水，然后七槽溢流的供水輸送至六槽，六槽溢流的供水輸送至五槽，五槽溢流的供水存儲(chǔ)至儲(chǔ)水箱，再通過儲(chǔ)水箱供應(yīng)給一槽，當(dāng)儲(chǔ)水箱睡不足時(shí)，一槽供水給儲(chǔ)水箱，降低了每個(gè)槽的供水量，節(jié)約了水源，將原來的每個(gè)槽單獨(dú)加熱改為由在線加熱器加熱供水，供水溫度太低才會(huì)觸發(fā)槽內(nèi)的加熱裝置進(jìn)行加熱，節(jié)約了電能，節(jié)約了制造成本，在線加熱器上設(shè)有保溫套，能夠很好地減少在線加熱器內(nèi)熱量的流失，使加熱器能夠最大程度加熱供水，儲(chǔ)水箱上設(shè)有保溫殼，減少儲(chǔ)水箱內(nèi)的熱量流失，第一管道、第二管道、第三管道、第四管道和第五管道采用聚乙烯泡沫塑料材料制成，隔熱性能好，能夠減少供水在輸送過程中熱量的損耗。

附圖說明

圖1多晶硅片清洗供水系統(tǒng)結(jié)構(gòu)框圖。

圖2加熱器剖視圖。

圖3儲(chǔ)水箱剖視圖。

圖4一槽剖視圖。

具體實(shí)施方式

一種新型的多晶硅片清洗供水系統(tǒng)，其特征在于，包括水源1、在線加熱器2、第一管道3、第二管道4、第三管道5、第四管道6、第五管道7、一槽8、二槽9、三槽10、四槽11、五槽12、六槽13、七槽14、閥門15和儲(chǔ)水箱16，所述一槽8、二槽9、三槽10、四槽11、五槽12、六槽13和七槽14自左向右等間隔排列，且形狀完全相同，所述水源1通過第一管道3與一槽8相連，所述閥門15設(shè)置在第一管道3上，所述第二管道4一端與第一管道3相連，另一端與在線加熱器2相連，所述在線加熱器2包括保溫套17、外殼18、加熱管道19、加熱器20、第一進(jìn)水管21和第一出水管22，所述外殼18呈長(zhǎng)方體、所述保溫套17呈長(zhǎng)方體，保溫套17設(shè)置在外殼18上，所述加熱管道19設(shè)置在外殼18內(nèi)，且設(shè)置在外殼18中部，所述第一進(jìn)水管21一端與第二管道4相連，另一端與加熱管道19一端相連，所述第一出水管22一端與加熱管道19相連，另一端與七槽14相連，所述加熱器20有多個(gè)，加熱器20設(shè)置在外殼18內(nèi)，加熱器20對(duì)稱設(shè)置在外殼18上下兩端，且與外殼18固定連接，所述第三管道5一端與儲(chǔ)水箱16相連，另一端與第一管道3相連，所述第四管道6一端與五槽12相連，另一端與儲(chǔ)水箱16相連，所述儲(chǔ)水箱16包括保溫殼23、儲(chǔ)水箱本體24、第二進(jìn)水管25、第二出水管26和浮球液位開關(guān)27，所述儲(chǔ)水箱本體24呈長(zhǎng)方體、所述保溫殼23設(shè)置在儲(chǔ)水箱16上，所述浮球液位開關(guān)27設(shè)置在儲(chǔ)水箱本體24內(nèi)，且設(shè)置在儲(chǔ)水箱本體24一側(cè)，所述第二出水管26設(shè)置在儲(chǔ)水箱16下端，第二出水管26一端與第三管道5相連，另一端與儲(chǔ)水箱本體24相連，所述第二進(jìn)水管25設(shè)置在第二出水管26上方，第二出水管26一端與第四管道6相連，另一端與儲(chǔ)水箱本體24相連，所述七槽14、六槽13和五槽12之間通過第五管道7連接；

進(jìn)一步的所述，第一管道3、第二管道4、第三管道5、第四管道6和第五管道7采用聚乙烯泡沫塑料材料制成；

進(jìn)一步的所述，保溫套17和保溫殼23內(nèi)均設(shè)有保溫海綿28；

進(jìn)一步的所述，浮球液位開關(guān)27控制閥門15的開啟與關(guān)閉；

進(jìn)一步的所述，每個(gè)槽上底部設(shè)有加熱裝置29和溫度感應(yīng)器30，溫度感應(yīng)器30與加熱裝置29之間通過電路連接。

工作原理：

參見附圖1，本實(shí)用新型一種新型的多晶硅片清洗供水系統(tǒng)，其特征在于，包括水源1、在線加熱器、第一管道、第二管道、第三管道、第四管道、第五管道、一槽、二槽、三槽、四槽、五槽、六槽、七槽、閥門和儲(chǔ)水箱，供水從水源流入第一管道，再由第一管道經(jīng)過第二管道，進(jìn)入在線加熱器中進(jìn)行加熱，加熱好的供水流入七槽，等到七槽裝滿之后多出的供水通過第五管道溢流到六槽內(nèi)，六槽滿了之后多出的供水通過第五管道溢流到五槽內(nèi)，五槽多出的供水通過第四管道流入儲(chǔ)水箱內(nèi)，儲(chǔ)水箱內(nèi)的供水通過第三管道輸送到一槽內(nèi)，當(dāng)儲(chǔ)水箱內(nèi)的水低于一定高度時(shí)，觸發(fā)浮球液位開關(guān)，浮球液位開關(guān)發(fā)出信號(hào)給閥門，閥門打開，使水源的供水直接輸送到一槽，一槽溢流出的供水通過第四管道輸送到儲(chǔ)水箱內(nèi)，當(dāng)槽內(nèi)的水溫度低于一定程度，溫度感應(yīng)器發(fā)出信號(hào)給加熱裝置，使加熱裝置進(jìn)行加熱，加熱裝置加熱到一定溫度，溫度感應(yīng)器發(fā)出信號(hào)給加熱裝置，加熱裝置停止工作。

以上所述，僅為本實(shí)用新型較佳的具體實(shí)施方式，但本實(shí)用新型的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實(shí)用新型揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到的變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。因此，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍應(yīng)該以權(quán)利要求書的保護(hù)范圍為準(zhǔn)。