專利名稱：切割裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及陶瓷層壓板或半導(dǎo)體晶圓等工件的切割裝置。
日本專利特開昭60-214911號公報中揭示了一種將半導(dǎo)體晶圓或集成電路晶圓切割為各個芯片的切割裝置。
此切割裝置具有；將所供應(yīng)的晶圓預(yù)先對準(zhǔn)位置的第1位置，在加工臺上載放晶圓的第2位置，洗凈切割后的晶圓的第3位置，保管洗凈后的晶圓的第4位置，在從第2位置離開的切割區(qū)域中將加工臺上的晶圓切割為各個芯片的切割機(jī)構(gòu)。上述第1位置～第4位置配置于正方形的頂點(diǎn)上。又，相鄰位置間的晶圓運(yùn)送系由在上述正方形中心具有旋轉(zhuǎn)軸的十字狀旋轉(zhuǎn)臂所進(jìn)行。因在十字狀的旋轉(zhuǎn)臂的4個先端部分別裝設(shè)有固持晶圓用的吸引夾具。
但是，在此切割裝置中，其機(jī)能上只能進(jìn)行從第1位置到第2位置的晶圓運(yùn)送、從第2位置到第3位置的晶圓運(yùn)送、以及從第3位置到第4位置的晶圓運(yùn)送，所以，換言之，由于不進(jìn)行從第4位置到第1位置的晶圓運(yùn)送，同時運(yùn)送最多晶圓狀態(tài)下僅使用3個吸引夾具，不會同時使用所有4個吸引夾具。也就是說，由于4個吸引夾具的1個并不需要，并無使用十字狀旋轉(zhuǎn)臂的必要，因采用不需要的吸引夾具在成本上不僅增加負(fù)擔(dān)，而且由于結(jié)構(gòu)復(fù)雜化，并會增加維修的負(fù)擔(dān)。
本發(fā)明的目的是提供一種不降低晶圓等工件等的運(yùn)送效率而可簡化結(jié)構(gòu)并減輕成本及維修上的負(fù)擔(dān)的新穎切割裝置。
為了實(shí)現(xiàn)此目的，本發(fā)明的切割裝置具有；供應(yīng)切割前的工件所需的第1位置，能固持工件的可移動加工臺，在加工臺上載放切割前的工件所需的第2位置，洗凈切割后的工件所需的第3位置，保管洗凈后的所需的第4位置，將從第2位置離開的切割區(qū)域?qū)⒓庸づ_上的工件切割所需的切割機(jī)構(gòu)，可將從第1位置將工件運(yùn)送至第2位置、將從第2位置將工件運(yùn)送至第3位置、以及從第3位置將工件運(yùn)送至第4位置的工件運(yùn)送機(jī)構(gòu)，其特點(diǎn)是，上述第1位置～第4位置的位置是在同一圓周上以90度間隔配置，上述工件運(yùn)送機(jī)構(gòu)是在上述圓周的中心具有旋轉(zhuǎn)軸，并具有將3個吸附頭沿著上述圓周以90度間隔的旋轉(zhuǎn)臂。
該切割裝置是由上述的工件運(yùn)送機(jī)構(gòu)從第1位置運(yùn)送工件至第2位置，從第2位置運(yùn)送工件至第3位置，從第3位置運(yùn)送工件至第4位置，能以個別2個同時或3個同時進(jìn)行。也就是說，在該裝置中，因未將工件從第4位置運(yùn)送至第1位置，故利用3個工件吸附頭實(shí)現(xiàn)最有效的工件運(yùn)送。又，因省略不需要的吸附頭就可確保最適當(dāng)?shù)谋劢Y(jié)構(gòu)。故可簡化結(jié)構(gòu)成以減輕成本上的負(fù)擔(dān)或維修的負(fù)擔(dān)。
由下面的說明與附圖可更加清楚地理解本發(fā)明的上述目的特征與優(yōu)點(diǎn)。
附圖簡單說明

圖1是表示本發(fā)明的一實(shí)施形態(tài)的切割裝置概況的俯視圖。
圖2(A)是表示使旋轉(zhuǎn)臂往復(fù)回轉(zhuǎn)所用機(jī)構(gòu)的圖。
圖2(B)是圖2(A)所示穖構(gòu)的動作說明圖。
圖3(A)是表示使吸附頭升降及回轉(zhuǎn)所用機(jī)構(gòu)的圖。
圖3(B)是表示圖3(A)所示機(jī)構(gòu)變形例的圖。
圖4(A)是工件供應(yīng)器的說明圖。
圖4(B)是工件保管器的說明圖。
圖5是表示將加工臺向X方向移動所用的機(jī)構(gòu)以及將切割頭向Y、Z方向移動的機(jī)構(gòu)的圖。
圖6是圖5的部分側(cè)面圖。
圖7是工件洗凈器的詳細(xì)圖。
圖8是圖1所示切割裝置的動作說明圖。
圖9是圖1所示切割裝置的動作說明圖。
圖10是圖1所示切割裝置的動作說明圖。
圖11是圖1所示切割裝置的動作說明圖。
圖12是圖1所示切割裝置的動作說明圖。
圖13是圖1所示切割裝置的動作說明圖。
圖14是圖1所示切割裝置的動作說明圖。
圖15是圖1所示切割裝置的動作說明圖。
圖16是表示防止冷卻液濺入于加工臺移動機(jī)構(gòu)所用結(jié)結(jié)構(gòu)的圖。
圖17是圖16的A-A線剖面圖。
圖18是表示圖16所示結(jié)構(gòu)的變形例的圖。
圖19是表示圖16所示結(jié)構(gòu)的其它變形例的圖。
圖20是表示圖16所示結(jié)構(gòu)的其它變形例的圖。
圖21是表示圖16所示結(jié)構(gòu)的其它變形例的圖。
圖22是表示圖16所示結(jié)構(gòu)的其它變形例的圖。
圖23是表示圖16所示結(jié)構(gòu)的其它變形例的圖。
圖24是表示用來防止冷卻液的飛濺物濺入照相機(jī)所用結(jié)構(gòu)的圖。
圖25是表示圖24所示結(jié)構(gòu)的變形例的圖。
圖26是表示圖24所示結(jié)構(gòu)的其它變形例的圖。
圖27是表示圖24所示結(jié)構(gòu)的其它變形例的圖。
圖28是表示圖24所示結(jié)構(gòu)的其它變形例的圖。
圖29是表示圖24所示結(jié)構(gòu)的其它變形例的圖。
圖30是表示圖24所示結(jié)構(gòu)的其它變形例的圖。
圖31是表示用來防止由包含在冷卻液的飛濺物的加工渣產(chǎn)生軸咬住所用結(jié)構(gòu)的圖。
圖32是表示圖31所示結(jié)構(gòu)的變形例的圖。
圖33是表示用來防止由吸附頭取出2片以上的工件所作結(jié)構(gòu)的圖。
圖34是表示圖33所示結(jié)構(gòu)的變形例的圖。
圖35是表示由吸附頭取出2片以上工件進(jìn)行檢測所用結(jié)構(gòu)的圖。
現(xiàn)參照圖1～圖14就本發(fā)明的一實(shí)施形態(tài)說明如下。
圖1是表示切割裝置概況的俯視圖。圖1中符號P1是供應(yīng)切割前的工件W所用的第1位置，符號P2是在加工臺上載放切割前的工件W所用的第2位置，符號P3是洗爭切割后的工件W所用的第3位置，符號P4是保管洗凈后的工件W所用的第4位置。又，圖1中的符號1是運(yùn)送工件的旋轉(zhuǎn)臂，符號11是工件供應(yīng)器，符號21是工件保管器，符號31是加工臺，符號51是切割頭，符號91是工件洗凈器。
即，在圖中所示裝置中，作為上述工作W的矩形陶瓷層壓板為層壓電容器或?qū)訅弘姼衅骰驅(qū)訅簭?fù)合零件等的層壓型電子零件的陶瓷層壓板。該陶瓷層壓板是在具有粘著層的樹脂薄膜上層壓多個陶瓷薄膜加以壓緊，通過切割分開為各個芯片后，將所分開的芯片從樹脂薄膜取出加以烘烤，并通過在烘烤后的芯片上形成外部電極就可變成所需的層壓型電子零件。
第1位置P1～P4的位置P4是在同一圓周上向順時針方向以90度間隔加以配置，在此圓周的中心裝設(shè)有旋轉(zhuǎn)臂1的軸1b。旋轉(zhuǎn)臂1是將長度相等的3個臂部1a以軸1b作為中心沿上述圓周成為具有90度間隔的T字狀。在各臂部1a前端部分別設(shè)有工件固持用的吸附頭2。
如圖2(A)所示，在旋轉(zhuǎn)臂1的軸1b上連接有連桿1c的一端，在連桿1c另一端連接有旋轉(zhuǎn)臂驅(qū)動用的壓缸3的桿3a。旋轉(zhuǎn)臂1由壓缸3的桿伸縮可回轉(zhuǎn)90度，并由于該回轉(zhuǎn)而往復(fù)回轉(zhuǎn)于如圖2(A)所示與圖2(B)所示位置之間。在圖2(A)所示位置有3個吸附頭2分別對峙于第1位置P1～第3位置P3，在圖2(B)所示位置有3個吸附頭2分別對峙于第2位置P2～第4位置P4。當(dāng)然，也可以在旋轉(zhuǎn)臂1的軸1b連接馬達(dá)，藉此馬達(dá)的動作而使旋轉(zhuǎn)臂1往復(fù)回轉(zhuǎn)。
吸附頭2的下面形狀呈矩形狀，其下面具有由軟質(zhì)樹脂或合成橡膠等所構(gòu)成的彈性墊2a。雖然省略了圖標(biāo)，但在此彈性墊2a中形成有十字形溝或平行溝，在溝內(nèi)面設(shè)有吸引孔。又，此吸引孔連接于具有真空泵及閥等的空氣回路。也就是說，對于吸引孔作用負(fù)壓以接觸于彈性墊2a的狀態(tài)加以吸附保持，并通過解除負(fù)壓來解除其保持。另外，3個吸附頭2也可以為具有上述以外的結(jié)構(gòu)。另外，也可采用分別將切割前的工件W從工件供應(yīng)器11在運(yùn)送至加工臺31所用的吸附頭2、將切割后的工件W從加工臺31運(yùn)送至工件洗凈器91所用的吸附頭2、將洗凈后的工件W從工件洗凈器91運(yùn)送至工件保管器21所用的吸附頭2配合被運(yùn)送的工件W表面形狀的結(jié)構(gòu)。
又，如圖3(A)所示，各吸附頭2是在上面中央具有升降軸2b，設(shè)于各臂部1a前端部的襯套1d將升降軸2b插通成可上下移動。在各臂部1a前端部，使用托架4將馬達(dá)5配置成向下，上述升降軸2b的上端部插入于形成為中空的馬達(dá)軸5a內(nèi)。又，在托架4向下配置有壓缸6，此壓缸6的桿6a在設(shè)于上述升降軸2b的軸承2c中經(jīng)構(gòu)件7連接。由二吸附頭2的升降軸2b對于馬達(dá)軸5a只能上下移動，所以吸附頭2是通過馬達(dá)5的動作而回轉(zhuǎn)，并通過壓缸6的動作而升降。
使吸附頭2產(chǎn)生回轉(zhuǎn)與升降動作的機(jī)構(gòu)可采用圖3(A)所示以外的機(jī)構(gòu)，圖3B表示其一例，吸附頭2的升降軸2b上連接有馬達(dá)5的軸5a，豎設(shè)于臂部1a的壓缸6的桿6a經(jīng)由構(gòu)件7連接于馬達(dá)5。
如圖4(A)所示，在上述第1位置P1處配置有工件供應(yīng)器11。該工件供應(yīng)器11具有；切割前的工件W多個重疊的升降板12，連接于升降板12的導(dǎo)板13，支承2個支導(dǎo)桿14與球螺旋15的支承板16，在滾珠絲桿15的一端具有連接其軸17a的馬達(dá)17。在導(dǎo)板13上設(shè)有插通導(dǎo)桿14的2個襯套13a，與螺合于滾珠絲桿15的螺母13b。該工件供應(yīng)器11是由馬達(dá)17轉(zhuǎn)動滾珠絲桿15并通過將升降板12間歇性地上升而將最高位的工件W的供應(yīng)高度調(diào)整為一定，可從取出口18取出工件。雖然省略了圖標(biāo)，但在升降板12周圍配置有使重疊于升降板12上的工件W上升時或待機(jī)狀態(tài)下防止產(chǎn)生崩落或位置偏移的多個導(dǎo)桿。
在上述第4位置P4處配置有如圖4(B)的工件保管器21。此工件保管器21具有與上述工件供應(yīng)器11相同的結(jié)構(gòu)，具有；重疊洗凈后的工件W的升降板22，連接于升降板22的導(dǎo)板23，支承2支導(dǎo)桿24的滾珠絲桿25的支承板26，與在滾珠絲桿25一端連接其軸27a的馬達(dá)27。在導(dǎo)板23上設(shè)有插通有導(dǎo)桿24的2個襯套23a，與螺合于滾珠絲桿25的螺母23b。該工件保管器21是將洗凈后的工件W通過保管口28并由升降板22承接，第2個以后的工件W可在其上依次重疊加以保管。又，使升降板22藉由馬達(dá)27轉(zhuǎn)動滾珠絲桿25而間歇性地下降，可將升降板22的承接高度調(diào)整為一定。雖然省略了圖標(biāo)，但在升降板22周圍配置有防止重疊于升降板22上的工件W在下降時或待機(jī)狀態(tài)下發(fā)生崩落或偏移所需的多個導(dǎo)桿。
在上述第2位置P2處配置有加工臺31。如圖5及圖6所示，具有；可向θ方向回轉(zhuǎn)的矩形工件支承板32，對工件支承板32回轉(zhuǎn)自如地加以支承的滑動加工臺33，將工件支承板32向θ方向回轉(zhuǎn)驅(qū)動的馬達(dá)(省略圖標(biāo))。雖然省略了圖標(biāo)，但在工件支承板32設(shè)有多個吸引孔，這些吸引孔連接于具有真空泵及閥等的空氣回路。亦即，工件W是藉對于吸引孔作用負(fù)壓成為接觸于工件支承板32狀態(tài)而吸附固持，并通過解除負(fù)壓作用來解除其固持。
該加工臺31可為從第2位置P2向離開X方向(參照圖1)的切割區(qū)域移動，以及從此切割區(qū)域向第2位置P2移動。將加工臺31向X方向(參照圖1)移動的機(jī)構(gòu)如圖5及圖6所示，具有；加工臺板41，支承于加工臺板41上的X方向的一對導(dǎo)板42，在加工臺板41上回轉(zhuǎn)自如地支承的X方向的滾珠絲桿43，在滾珠絲桿43一端連接其軸44a的馬達(dá)44，卡合于可移動于一對導(dǎo)板42地設(shè)于上述加工臺31下面的二對滑動導(dǎo)件45，設(shè)于上述加工臺31下面而螺合滾珠絲桿43的螺母46。亦即，上述加工臺31是通過由馬達(dá)44轉(zhuǎn)動滾珠絲桿43而沿著導(dǎo)板42向X方向移動。
在上述切割區(qū)域中配置有切割頭51。此切割頭51如圖5及圖6所示，具有；圓筒形的主軸馬達(dá)52，與裝卸自如地固定于主軸馬達(dá)52的軸52a的金剛石刀片等的刀片53，使刀片53下部露出覆蓋其外側(cè)的刀片蓋板54，從刀片蓋板54內(nèi)面向刀片53供應(yīng)水等冷卻液的冷卻液噴射口(省略圖標(biāo))。主軸馬達(dá)52的方向與上述加工臺31的工件支承板32表面平行，并與加工臺31的移動方向成直交，刀片53的方向與加工臺31的移動方向平行。
此切割頭51可在X方向直交的Y方向(參照圖1)和上下方向的Z方向(參照圖1)移動。使切割頭51向Y方向與Z方向移動的機(jī)構(gòu)如圖5及圖6所示，具有；支柱61，與，支承于支柱61側(cè)面的Y方向的一對導(dǎo)軌62，在支承61側(cè)面支承成回轉(zhuǎn)自如的滾珠絲桿63，在滾珠絲桿63一端連接其軸的馬達(dá)64，對于一對導(dǎo)軌62卡合成可移動的二對滑動導(dǎo)件65，螺合于滾珠絲桿63的螺母66，連接有滑動導(dǎo)件65及螺母66的第1滑動板67，支承于第1滑動板67側(cè)面的Z方向的一對導(dǎo)軌68，回轉(zhuǎn)自如地支承于第1滑動板67側(cè)面的滾珠絲桿69，在滾珠絲桿69一端連接其軸的馬達(dá)70，卡合成可移動于一對導(dǎo)軌68的二對滑動導(dǎo)件72，螺合于滾珠絲桿69的螺母72，連接滑動導(dǎo)件71及螺母72的第二滑動板73，在第二滑動板73下部連接上述切割頭51的主軸馬達(dá)52前部及后部所用的2個連接構(gòu)件74。亦即，上述切割頭51是由馬達(dá)64回轉(zhuǎn)滾珠絲桿63將第一滑動板67沿著導(dǎo)軌62移動而向Y方向移動。又，由馬達(dá)70回轉(zhuǎn)滾珠絲桿69將第二滑動板73沿著導(dǎo)軌68移動而向Z方向移動。
又，在上述第一滑動板67的加工臺側(cè)沿Y方向配置有內(nèi)藏CCD等2維攝像組件的2個照相機(jī)81、82。此2個照相機(jī)81、82是用于對攝像加工臺31上的工件W進(jìn)行攝像并對工件W進(jìn)行位置檢測，在圖示例子中，作為靠近第一滑動板67的照相機(jī)81采用高倍率，作為另一方的照相機(jī)82采用低倍率。
如圖7所示，在上述第3位置P3中，配置有工件洗凈器91。此工件洗凈器91具有；上端開口的固定筒92，配置于固定筒92內(nèi)的轉(zhuǎn)盤93，回轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤93所用的馬達(dá)94，向馬達(dá)94供應(yīng)水等洗凈液所用的洗凈噴射口95，向轉(zhuǎn)盤93供應(yīng)空氣等干燥用氣體所用的氣體噴射口96，防止洗凈液浸入于馬達(dá)94側(cè)所用的防水蓋97。雖然省略了圖標(biāo)，但是在轉(zhuǎn)盤93設(shè)有多個吸引孔，這些吸引孔連接于備有真空泵及閥等的空氣回路。亦即，工件W是藉對于吸引孔作用負(fù)壓成為接觸于工件支承板32的狀態(tài)而被吸附保持，并通過解除負(fù)壓作用解除其保持。
現(xiàn)就上述的切割裝置的動作說明如下。
開始動作前，旋轉(zhuǎn)臂1位于第1圖所示位置，此旋轉(zhuǎn)臂1的3個吸附頭2分別對峙于第1位置P1～第3位置P3。
動作開始后，首先，以第1狀態(tài)下降旋轉(zhuǎn)臂1的圖中右下的吸附頭2，藉此吸附頭2吸附保持工件供應(yīng)器11中的第1片工件W，在工件保持后將此吸附頭2上升復(fù)原。
接著，如圖8所示，使旋轉(zhuǎn)臂1向圖中順時針方向回轉(zhuǎn)90度，在此，使保持第1片的工件W吸附頭2下降并將此工件W載放于加工臺31上。載放后解除工件保持并將此吸附頭2上升復(fù)原。載放于加工臺31上的工件W被吸附保持于工件支承板32上。
接著，如圖9所示，將旋轉(zhuǎn)臂1向圖中向逆時針方向回轉(zhuǎn)90度。大致與此同時，將載放工件W的加工臺31從第2位置P3移動至切割區(qū)域。
當(dāng)加工臺31移動到切割區(qū)域時，藉低倍率的照相機(jī)82(參照圖6)對加工臺31上的工件W進(jìn)行攝像，依據(jù)此攝像數(shù)據(jù)縮小檢測區(qū)域。并且，藉由高倍率的照相機(jī)81(參照圖6)對工件W的檢測區(qū)域進(jìn)行攝像，依據(jù)此攝像就可檢出工件W的正確位置。檢出此位置后，就依據(jù)檢測信息對加工臺31上的工件W實(shí)施切割。
具體地說，首先，使可沿X方向移動的加工臺31與可自Y、Z方向移動的切割頭51作適當(dāng)移動，并決定對于工件W的刀片53的起始位置。并一邊轉(zhuǎn)動切割頭51的刀片53一邊將加工臺31沿X方向以一定速度移動，對于工件W實(shí)施第一線的切斷。結(jié)束第一線的切斷之后，使切割頭51沿Z方向上側(cè)移動一定距離，并將刀片53從工件W離開，并使加工臺31與上述相反方向移動，同時使切割頭51沿Y方向移動一定距離并進(jìn)行換行。并使切割頭51沿Z方向移動一定距離以對準(zhǔn)高度位置，與上述同樣地使加工臺31沿X方向以一定速度移動，對于工件W實(shí)施第二線的切斷。此后反復(fù)與上述同樣的動作，并反復(fù)相同方向的切斷所需線數(shù)。接著，使加工臺31沿θ方向轉(zhuǎn)動90度以改變工件W的方向之后，與上述同樣反復(fù)與先前所形成的線成直交方向的切斷所需線數(shù)的切斷。當(dāng)然，也可在結(jié)束一條線的切斷之后，在使加工臺31沿相反方向移動時進(jìn)行下一條線的切斷。藉此，加工臺31上的工件W就被切斷成格子狀而切斷成各個芯片。如上所述，在工件W下面經(jīng)由粘著層張貼樹脂薄膜，故被切斷的芯片將維持張貼于樹脂薄膜的狀態(tài)。另外，在上述切割時，從設(shè)于刀片蓋板54的冷卻液噴射口向刀片53供應(yīng)冷卻液，藉此去除由刀片53的冷卻與切斷所產(chǎn)生的加工渣(陶瓷微細(xì)粉等)。
切割結(jié)束后，如圖10所示，將加工臺31返回第2位置P2。而后，降下旋轉(zhuǎn)臂1的圖中左下方的吸附頭2，吸附保持由此吸附頭2切割完畢時加工臺31上的工件W，并在固持工件后將此吸附頭2復(fù)原為上升位置。并且，下降旋轉(zhuǎn)臂1的圖中右下方的吸附頭2，藉此吸附頭2吸附固持于工件供應(yīng)器11的第2片工件W，固持工件W后使該吸附頭2上升復(fù)原。
接著，如圖11所示，將旋轉(zhuǎn)臂1沿圖中順時針方向回轉(zhuǎn)90度，在此，使保持已切割完的工件W的吸附頭2下降并將此工件W載放于工件洗凈器91的轉(zhuǎn)盤92上。載放后解除工件固持并使此吸附頭2上升復(fù)原，將載放工件W吸附固持于轉(zhuǎn)盤92上。并且，降低將保持第二片的工件W的吸附頭2并將此工件W載放于加工臺51上。載放后解除工件品持之后使此吸附頭2上升復(fù)原，將載放工件W吸附固持于工件支承板32上。
接著，如圖12所示，不僅將旋轉(zhuǎn)臂1沿圖中逆時針方向回轉(zhuǎn)90度，并且，將載放工件W的加工臺31從第2位置P2移動至切割區(qū)域。當(dāng)加工臺31移動至切割區(qū)域后，實(shí)施與上述同樣的位置檢測與切割，同時利用切割的時間，在工件洗凈器91中對于轉(zhuǎn)盤92上的已切割的工件W實(shí)施洗凈。
具體地說，為從洗凈噴射口95一邊向轉(zhuǎn)盤92上的工件W供應(yīng)洗凈液一邊使轉(zhuǎn)盤92轉(zhuǎn)動一定數(shù)的洗凈步驟，朝向轉(zhuǎn)盤92上的工件W從氣體噴射口96一邊供應(yīng)干燥用氣體一邊使轉(zhuǎn)盤92轉(zhuǎn)動一定轉(zhuǎn)數(shù)的干燥步驟，且每隔一定時間反復(fù)一次以上，并對已切割的工件W實(shí)施洗凈。洗凈后的洗凈液從設(shè)于固定筒92或防水蓋97的排水口(省略圖標(biāo))排出到外部。
切割與洗凈結(jié)束之后，如圖13所示，將加工臺31返回第2位置P2。并使旋轉(zhuǎn)臂1的圖中左上方的吸附頭2下降，藉此吸附頭2將工件洗凈器91的轉(zhuǎn)盤92上的已洗凈完的工件W吸附固持，固持工件后使此吸附頭2上升復(fù)原。另外，使旋轉(zhuǎn)臂1的中左下方的吸附頭2下降，藉此吸附頭2吸附固持加工臺31上的已切割工件W，固持工件后使此吸附頭2上升復(fù)原。并使旋轉(zhuǎn)臂1的圖中右下方吸附頭2下降，藉此吸附頭2吸附固持于工件供應(yīng)器11的第三片工件W，固持工件后將此吸附頭2上升復(fù)原。
接著，如圖14所示，將旋轉(zhuǎn)臂1沿圖中順時針方向回轉(zhuǎn)90度，于此，使已洗凈的工件W的吸附頭2下降固持并將此工件W載放在工件保管器21的升降板22上。載放后解除工件固持后使此吸附頭2上升復(fù)原。另外，使已切割的工件W的吸附頭2下降固持，將此工件W載放于工件洗凈器91的轉(zhuǎn)盤92。載放后解除固持工件后使此吸附頭2上升復(fù)原，將載放工件W吸附固持于轉(zhuǎn)盤92。并使第三片工件W下降固持并將此工件W載放于加工臺31。載放后解除固持工件后使此吸附頭2上升復(fù)原，使載放工件W吸附固持工件支承板32。
此后反復(fù)圖12～圖14所說明步驟，連續(xù)進(jìn)行對于工件W的切割與洗凈保管。
這樣，若依據(jù)上述切割裝置，將供應(yīng)切割前的工件W的第1位置P1、在加工臺31上載放切割前次工件W的第2位置，洗凈切割后的工件W的第3位置、以及保管洗凈后的工件的第4位置P4在同一圓周上以90度間隔沿順時針方向配置，并且，在上述圓周中心具有旋轉(zhuǎn)臂1b的旋轉(zhuǎn)臂1沿著上述圓周以90度間隔配置有3個吸附頭2，所以，通過使旋轉(zhuǎn)臂1以90度角度往復(fù)回轉(zhuǎn)，就可正確地進(jìn)行從第1位置P1向第2位置P2的工件運(yùn)送、從第2位置P2向第3位置P3的工件運(yùn)送、以及從第3位置P3向第4位置P4的工件運(yùn)送。
也就是說，旋轉(zhuǎn)臂1因只在第1位置P1～第3位置P3分別對峙3個吸附頭2的位置，與在第2位置P2～第4位置P4分別對峙3個吸附頭2的位置之間反復(fù)回轉(zhuǎn)，所以，不需要將旋轉(zhuǎn)臂1在大于90度角度范圍回轉(zhuǎn)，通過盡量小的角度范圍的反復(fù)回轉(zhuǎn)即可高效穩(wěn)定地進(jìn)行所需工件的運(yùn)送。
又，上述的切割裝置在其機(jī)能方面因不進(jìn)行從第4位置到第1位置的工件運(yùn)送，所以，在旋轉(zhuǎn)臂1向沿著上述圓周以90度間隔裝設(shè)3個吸附頭2時，為可同時運(yùn)送最多的工件W的狀態(tài)，亦即，即使從第1位置P1到第2位置P2的工件運(yùn)送、從第2位置P2到第3位置P3的工件運(yùn)送、以及從第3位置P3到第4位置P4的工件運(yùn)送同時進(jìn)行的狀態(tài)，也可良好地進(jìn)行此時的工件運(yùn)送。換言之，不需要裝設(shè)旋轉(zhuǎn)臂1不需要的吸附頭2。并且，作為旋轉(zhuǎn)臂1可采用T字形，故可簡化旋轉(zhuǎn)臂本身結(jié)構(gòu)，減輕成本或維修方面的負(fù)擔(dān)。
并且，在上述的切割裝置中，在旋轉(zhuǎn)臂1上裝設(shè)有將三個吸附頭2個別升降及回轉(zhuǎn)所需的致動器，所以，第1位置P1與第2位置P2間、第2位置P2與第3位置P3間，或從第3位置到第4位置間即使具有高低差或障礙物時通過適當(dāng)升降吸附頭2即可毫無障礙地、良好地進(jìn)行所需的工件運(yùn)送。又，被運(yùn)送的工件W方向即使包含運(yùn)送途中發(fā)生變化時，通過適當(dāng)轉(zhuǎn)動吸附頭2即可簡單地矯正運(yùn)送工件W的方向。
因此，如圖15所示，在第2位置P3與第3位置P4間，運(yùn)送途中的工件W及吸附頭2可能沖突的障礙物OB例如存在有將切割頭51與Y、Z方向移動所用的致動器一部分時，通過由吸附頭2吸附固持加工臺31上的已切割的工件W后，將此吸附頭2沿順時針方向或逆時針方向回轉(zhuǎn)45度后，將旋轉(zhuǎn)臂1沿圖中順時針方向回轉(zhuǎn)90度即可。若這樣做時，當(dāng)工件W及吸附頭2從第2位置P3移動至第4位置P4時就可防范工件W及吸附頭2與障礙物OB沖突。但是，若在第2位置P2沿順時針方向或逆時針方向回轉(zhuǎn)45度時，沿第3位置P3的工件W及吸附頭2的方向由于仍保持回轉(zhuǎn)45度的回轉(zhuǎn)位置，所以將已切割的工件W載放于工件洗凈器91的轉(zhuǎn)盤92的前階段將吸附頭2沿順時針方向或逆時針方向回轉(zhuǎn)45度，或，洗凈后將轉(zhuǎn)盤92回轉(zhuǎn)±45度時，就可將工件W及吸附頭2方向恢復(fù)為原本狀態(tài)。
另外，在上述的切割裝置中，作為工件W表示了陶瓷層壓板，但是對于陶瓷層壓板以外的工件W，例如，半導(dǎo)體晶圓或集成電路晶圓切割為各個芯片時也可使用上述的裝置，可獲得與上述同樣的作用效果。
又，在上述切割裝置中，作為旋轉(zhuǎn)臂1表示了T字形，但是，只要是將3個吸附頭在同一圓周上具有90度間隔時，旋轉(zhuǎn)臂并不一定要成為T字形。
并且，在上述切割裝置中，是在成T字形的旋轉(zhuǎn)臂1的各臂部1a前端部裝設(shè)了吸附頭2，但如將各臂部1a作為至少二段可伸縮的結(jié)構(gòu)、或?qū)⒏鞅鄄?a在鉸鏈部作為可折彎的結(jié)構(gòu)時，通過使臂部1a適當(dāng)伸縮或折彎使吸附頭2回避，即可更簡單地進(jìn)行各位置P1～P4的維修。
圖16及圖17表示防止在切割時向刀片53供應(yīng)后的冷卻液進(jìn)入使加工臺31沿X方向移動所用機(jī)構(gòu)的有用結(jié)構(gòu)。
圖中的符號101是在加工臺31的滑動加工臺33周圍安裝成水密的橫剖面呈コ字形的防水蓋，符號102是在防水蓋101的X方向兩端將其一端水密地連接的橫剖面呈コ字形的一對伸縮蓋。此伸縮蓋102是在氯丁橡膠或硅等的合成橡膠或芯布上施加樹脂涂層作為其材料形成為伸縮囊狀，當(dāng)加工臺31沿X方向移動時與其配合會適當(dāng)伸縮。又，符號103是與一對伸縮蓋102另一端水密地連接的一對支承板，符號104是將兩端水密地連接于支承板103的橫剖面U字形的排水構(gòu)件，一對支承板103安裝于加工臺板41。又，一對排水構(gòu)件104在加工臺31兩端配置成互相平行，橫剖面コ字形的防水蓋101的垂直部分進(jìn)入于防水蓋101的內(nèi)側(cè)。
符號105是分別配置于一對排水構(gòu)件104內(nèi)側(cè)的螺旋狀刷子。各刷子105的中心軸由一對支承板103回轉(zhuǎn)自如地支持，將其下側(cè)部分接觸于排水構(gòu)件104的內(nèi)底。在二支螺旋狀刷子105的軸一端分別安裝有帶輪106，在此帶輪106上卷繞有皮帶107。又，在另一方的螺旋狀刷子105的軸一端安裝有上述另外的帶輪106，此帶輪106與安裝于馬達(dá)108軸的帶輪106上卷繞有皮帶107。即，二支螺旋狀刷子105由馬達(dá)108的動作將其軸作為中心沿同一方向回轉(zhuǎn)。因此，一對排水構(gòu)件104為裝設(shè)帶輪側(cè)較另一方側(cè)更高，或相反地傾斜，在低位側(cè)的底或端處設(shè)有省略圖標(biāo)的排水口。又，二支螺旋狀刷子105并不妨礙傾斜的排水構(gòu)件104的自然排水，并向可促進(jìn)排水的方向回轉(zhuǎn)。
如上所述，對于加工臺31上的工件W實(shí)施切割時，從設(shè)于刀片蓋板54的冷卻液噴射口向刀片53供應(yīng)冷卻液，藉以去除由刀片53的冷卻與切斷所發(fā)生的加工渣。包含有加工渣的冷卻液如圖17以箭頭所示流動并從防水蓋101及伸縮蓋102流入排水構(gòu)件104內(nèi)。此冷卻液沿排水構(gòu)件104的傾斜流動而從排水口排水。又，此時是由馬達(dá)108帶動二個螺旋狀刷子105回轉(zhuǎn)，使留在排水構(gòu)件104內(nèi)底的加工渣向排水口方向移動。
也就是說，若沒有如上述螺旋狀刷子105時，包含在冷卻液的加工渣將成為停留于排水構(gòu)件104內(nèi)底的狀態(tài)，但是若使用如上述的螺旋狀刷子105使其回轉(zhuǎn)時，就使停留于排水構(gòu)件104內(nèi)底的加工渣可向排水口方向移動加以排出，藉此由停留于內(nèi)底的加工渣可防范從排水構(gòu)件104的冷卻液溢流。
又，防水蓋101與伸縮蓋102均為橫剖面呈コ字形，并且，防水蓋101的垂直部分進(jìn)入于防水蓋101內(nèi)側(cè)，所以從加工臺31流入防水蓋101內(nèi)的冷卻液不至于進(jìn)入于包含導(dǎo)板42或滾珠絲桿43等的加工臺移動機(jī)構(gòu)。
需進(jìn)行更可靠的防水時，如圖18所示，將與上述防水蓋101具有同樣形狀的第2防水蓋110在滑動加工臺33周圍安裝成水密，并且，在此第2防水蓋110的X方向兩端將與上述伸縮蓋102具有同樣形狀的一對第2伸縮蓋(省略圖標(biāo))一端水密地連接并將另一端水密地連接于支承板103即可。這樣，就可雙重防止冷卻液進(jìn)入加工臺移動機(jī)構(gòu)。
另外，使停留于排水構(gòu)件104內(nèi)底的加工渣沿排水口方向移動即使不使用上述的螺旋狀刷子105也可進(jìn)行。例如，如圖19所示，將其下側(cè)部分接觸于排水構(gòu)件104內(nèi)底，較佳為將可撓性刮取板111經(jīng)由桿111a安裝于防水蓋101時，當(dāng)加工臺31沿X方向移動時同時移動刮取板111，使停留于排水構(gòu)件104內(nèi)底的加工渣可向排水口方向移動。此時，使由刮取板111的加工渣的移動不能限制成單向，所以配合刮取板111的移動范圍將多個排水口裝設(shè)于排水構(gòu)件104的內(nèi)底即可。當(dāng)然，如圖20所示，將與上述同樣的刮取板112安裝于壓缸113的桿113a使其可升降時，藉使刮取板112向下狀態(tài)移動，就可將由刮取板112的加工渣移動限制為朝單向。又，如圖21所示，將與上述同樣的刮取板114的上端經(jīng)由桿114a回轉(zhuǎn)自如地安裝于防水蓋101，將此刮取板114的回轉(zhuǎn)方向由擋止銷SP加以限制時，就可將刮取板114的加工渣移動限制成單向。
又，如圖22所示，在安裝于防水蓋101的支承構(gòu)件115中安裝具有防水機(jī)構(gòu)的馬達(dá)116，在此馬達(dá)116中安裝圓筒狀刷子117并使其下側(cè)部分接觸于排水構(gòu)件104內(nèi)底時，當(dāng)加工臺31沿X方向移動時藉同時將刷子117沿既定方向回轉(zhuǎn)就可使停留于排水構(gòu)件104內(nèi)底的加工渣沿排水口方向移動。
并且，如圖23所示，在安裝于防水蓋101的支承構(gòu)件118上回轉(zhuǎn)自如地設(shè)有桿119，此桿119上裝設(shè)滾輪120并將此滾輪120接觸于設(shè)在排水構(gòu)件104內(nèi)面或設(shè)在內(nèi)面的軌道121，并且，在桿119下端安裝球狀刷子122并將其下側(cè)部分接觸于排水構(gòu)件104內(nèi)底時，當(dāng)加工臺31沿X方向移動時藉同時回轉(zhuǎn)的滾輪120就可使刷子117回轉(zhuǎn)，藉此就可使停留于排水構(gòu)件104內(nèi)底的加工渣向排水口方向移動。此時，如作為上述滾輪120采用小齒輪、而作為軌道121采用齒條，可使隨著加工臺移動的刷子117的回轉(zhuǎn)更正確地進(jìn)行。
圖24表示用來防止切割時向刀片53供應(yīng)的冷卻液或所供應(yīng)后的冷卻液由于刀片53的飛濺而沾附于照相機(jī)81、82的物鏡而產(chǎn)生攝像不良的有用結(jié)構(gòu)。
圖中的符號81、82為照相機(jī)，符號81a、82a是物鏡，符號81b、82b是安裝于照相機(jī)81、82下部的筒狀，81c、82c是安裝于透鏡遮光罩81b、82b下部的照明器。照明器81c、82c是透過光纖等所導(dǎo)入的光線向圖中粗線箭頭方向傳播而從其下面成環(huán)狀照射，在攝像時照明工件W。在81b、82b周圍設(shè)有吸氣口81b1、82b1，在此吸氣口81b1、82b1連接有具有空氣壓縮機(jī)及閥等的空氣回路。
如上所述，對于加工臺31上的工件W需加以切割時，從設(shè)在刀片蓋板54的冷卻液噴射口向刀片53供應(yīng)冷卻液，藉此去除由于刀片53的冷卻與切割所產(chǎn)生的加工渣。向刀片53所供應(yīng)的冷卻液或所供應(yīng)后的冷卻液因刀片53的回轉(zhuǎn)雖然會飛濺于周圍，但是此時從吸氣口81b1、82b1對于透鏡遮光罩81b、82b內(nèi)供應(yīng)空氣，并將此空氣從透鏡遮光罩81b、82b的下面開口噴出到外部。
也就是說，在向刀片53供應(yīng)的冷卻液或供應(yīng)后的冷卻液因刀片53的回轉(zhuǎn)即使會飛濺于周圍的情形下，可由上述空氣噴出可靠地防止此飛濺物進(jìn)入于透鏡遮光罩81b、82b內(nèi)或飛濺物沾附于物鏡81a、82a，故可良好地實(shí)施攝像。
圖25是在圖24所示結(jié)構(gòu)中裝設(shè)開閉擋門，圖中的符號125是壓缸，符號126是設(shè)在壓缸125的桿125a的擋門。壓缸125固定于支承照相機(jī)81、82的構(gòu)件上。當(dāng)對于加工臺31上的工件W實(shí)施切割時，藉由擋門126堵住透鏡遮光罩81b、82b的下面開口時就可更加可靠防止冷卻液的飛濺物進(jìn)入透鏡遮光罩81b、82b內(nèi)。
另外，由于冷卻液的飛濺物沾附而引起攝像不良的問題即使用上述以外的結(jié)構(gòu)也能防止。如圖26所示，在透鏡遮光罩81b、82b的下面開口安裝親水性的透明濾光器131，在將液體的膜較佳地為均勻沾附時，與水滴分散吸附時相比可抑制對于攝像的影響。
又，如圖27所示，在透鏡遮光罩81b、82b的下面開口安裝撥水性的透明濾光器132，并在透鏡遮光罩81b、82b上設(shè)吸氣口81b2、82b2與向遮光罩下面的通氣路81b3、82b3，在通氣路81b3、82b3下端裝設(shè)向?yàn)V光器131下面的噴嘴133時，從吸氣口81b2、82b2經(jīng)由通氣路81b3、82b3從噴嘴133向?yàn)V光器131噴出空氣，將沾附于濾光器131的冷卻液噴出而將此飛濺物去除，即可消除攝像不良的問題。由于作為濾光器131采用撥水性，所以由上述噴出空氣去除沾附物也變成容易。
并且，如圖28所示，在透鏡遮光罩81b、82b的下面開口內(nèi)面在不妨礙攝像視野的范圍設(shè)置吸水性構(gòu)件134例如吸水性樹脂層時，將冷卻液飛濺物由此吸水性構(gòu)件134積極地吸收以防止飛濺物進(jìn)入透鏡方向，即可消除攝像不良的問題。
并且如圖29所示，在透鏡遮光罩81b、82b下面兩側(cè)配置送出透明膠卷135所用的帶輪136與卷繞所用的帶輪137，若卷繞帶輪137由馬達(dá)138加以回轉(zhuǎn)時，每當(dāng)覆蓋透鏡遮光罩81b、82b下面開口的透明膠卷135由于冷卻液的飛濺物污染時，通過卷取一定長度的此透明膠卷135，即可消除攝像不良的問題。此時，若將去除被卷取的透明膠卷135的污染吸水墊等設(shè)于卷取側(cè)時，也可再利用已用完的透明膠卷135，若在送出帶輪136側(cè)也裝設(shè)馬達(dá)，也可使透明膠卷135逆向移動并反復(fù)使用。
如圖30所示，將多個過濾器139a在同一圓周上具有以等角度間隔的過濾板139的中心安裝于馬達(dá)140的軸140a時，每當(dāng)覆蓋透鏡遮光罩81b、82b下面開口的過濾器139a由于冷卻液的飛濺污染而使濾光板139回轉(zhuǎn)一定角度并將此濾光器139a轉(zhuǎn)換為另外濾光器139a，也可消除攝像不良的問題。
并且，在切割頭51與照相機(jī)81、82之間即使配置冷卻液的飛濺物遮住從切割頭51向照相機(jī)81、82流動所用的遮蔽物(省略圖標(biāo))，也可防止飛濺物沾附于照相機(jī)81、82。此遮蔽物也可以安裝于第一滑動板67與第二滑動板73的至少一方而加以一起移，或也可以固定配置于裝置本體。
圖31表示防止切割時向刀片53所供應(yīng)后的冷卻液中所含有的加工渣進(jìn)入分割頭51的心軸馬達(dá)52側(cè)而轉(zhuǎn)動接觸于軸52a而產(chǎn)生所謂咬住的有益的結(jié)構(gòu)。
圖中的符號51為切割頭，符號52是主軸馬達(dá)，符號52a是主軸馬達(dá)52的軸，符號52b是刀片押壓構(gòu)件，符號52c是將刀片押壓構(gòu)件52b固定于軸52a所用的鎖緊件，符號53是圓盤狀的刀片，符號54是刀片蓋板54。軸52a采用在主軸馬達(dá)52的機(jī)殼內(nèi)轉(zhuǎn)動自如地配置的止推軸承與徑向軸承。在主軸馬達(dá)52的機(jī)殼與軸52a之間具有約1mm的間隙，又，在軸52a與刀片蓋板54之間也具有同樣的間隙。亦即，在主軸馬達(dá)52的機(jī)殼及刀片蓋板54與軸52a之間形成有如圖所示的彎曲間隙G。又，主軸馬達(dá)52的機(jī)殼設(shè)有吸氣口(省略圖標(biāo))，在此吸氣口連接于具有空氣壓縮機(jī)及閥等的空氣回路。亦即，從吸氣口向機(jī)殼內(nèi)供應(yīng)空氣的狀態(tài)下，上述間隙G將具有空氣軸承的作用。
切割時，當(dāng)從吸氣口向機(jī)殼內(nèi)供應(yīng)空氣時，此空氣流經(jīng)上述間隙G從軸52a周圍噴出于刀片側(cè)。切割時向刀片53供應(yīng)后的冷卻液的飛濺物原為進(jìn)入軸52a與刀片蓋板54之間，但是由于上述的噴出空氣，可排除此飛濺物，又，在防止飛濺物中所含的加工渣進(jìn)入于上述間隙G的同時防止上述軸的咬住。
另外，由于間隙G開啟端的空氣壓力降低引起在此開啟端附近部分沾附加工渣而堆積的情形時，如圖32所示，也可在該部分設(shè)間隙G的旁通通路54a，積極地防止在該部分沾附加工渣。又，將容易沾附加工渣的部分由多孔質(zhì)構(gòu)件構(gòu)成，使其即使從該整個構(gòu)件流出空氣也可得到同樣的效果。
圖33表示在從重疊于工件供應(yīng)器11的升降板12上的工件W由吸附頭2取出最上位的工件W時，以防止固工件互相的密貼而取出2片以上工件W的有用的結(jié)構(gòu)。
圖中的符號12是工件供應(yīng)器11的升降板，符號18是取出口，符號W是堆積于升降板12上的工件W。符號15是安裝于升降板12上的發(fā)生微振動用的振動源。由吸附頭2取出最上位的工件W時，當(dāng)吸附頭2接觸于工件W時即激活振動源并給與全部工件W微振動。即使最上位的工件W與其下側(cè)的工件W密貼時，也由于上述微振動可分開兩者，藉此可防止由吸附頭2取出2片以上的工件W。
另外，防止由吸附頭2取出2片以上的工件W也可采用上述以外的方法。如圖34所示，在吸附頭2外周緣配置多個壓缸152，使其桿152a可從吸附頭2下面(墊2a的下面)突出，當(dāng)吸附頭2取出最上位的工件W時預(yù)先使桿152a從吸附頭2下面稍為突出，在此狀態(tài)下將吸附頭2接觸于最上位工件W進(jìn)行吸附時，由吸引力使最上位的工件W撓曲成如圖中虛線所示，即可與下側(cè)的工件W分開。此后，拉入桿152a時，即可解除上述的撓曲并以適當(dāng)狀態(tài)由吸附頭2吸附固持工件W。即使這樣，也可防止由吸附頭2取出2片以上的工件W。
圖35表示用來檢測被取出2片以上的工件W的結(jié)構(gòu)，在此，將由發(fā)光器153與受光器154所構(gòu)成的光線開關(guān)設(shè)于取出口，依據(jù)此光線開關(guān)的檢測訊號來判斷工件的的取出情形的良否。即，若將光線開關(guān)的檢測光線設(shè)定成只與最上位的工件W碰觸，當(dāng)取出2片以上的工件W時，其后即使將升降板12上升工件1片分量，因光線開關(guān)不會變成關(guān)閉，故可利用此訊號判斷2片以上的工件W被取出的情形。當(dāng)判斷2片以上的工件W被取出時若使裝置的動作暫停，就可利用此停止期間對工件取出不良的情形進(jìn)行修正。
本說明書所記載的較佳形態(tài)為示例性而非限定性。本發(fā)明的范圍由所附權(quán)利要求書揭示，包含在權(quán)利要求范圍意義中的所有變形例均應(yīng)包括在本發(fā)明中。
權(quán)利要求
1.一種切割裝置，具有；供應(yīng)切割前的工件所用的第1位置，能固持工件的可移動加工臺，在加工臺上載放切割前的工件所用的第2位置，洗凈切割后的工件所用的第3位置，保管洗凈后的工件所用的第4位置，從第2位置離開的切割區(qū)域?qū)⒓庸づ_上的工件切割所用的切割機(jī)構(gòu)，可從第1位置對于第2位置的工件運(yùn)送、從第2位置對于第3位置的工件運(yùn)送、以及從第3位置對于第4位置運(yùn)送工件的工件運(yùn)送機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述第1位置～第4位置系在同一圓周上以90度間隔配置，所述工件運(yùn)送機(jī)構(gòu)是在上述圓周中心具有旋轉(zhuǎn)軸，并具有將3個工件吸附頭沿著上述圓周備有以90度間隔的旋轉(zhuǎn)臂。
2.如權(quán)利要求1所述的切割裝置，其特征在于，所述工件運(yùn)送機(jī)構(gòu)具有使所述旋轉(zhuǎn)臂在第1位置～第3位置處3個工件吸附頭分別對峙的位置、在第2位置～第4位置處3個工件吸附頭分別對峙的位置之間往復(fù)回轉(zhuǎn)所用的致動器。
3.如權(quán)利要求1或2所述的切割裝置，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)臂具有使3個工件吸附頭個別地升降及回轉(zhuǎn)所用的致動器。
4.如權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的切割裝置，其特征在于，所述切割機(jī)構(gòu)具有；具有回轉(zhuǎn)刀片的切割頭，與將切割頭沿與加工臺移動方向直交方向與上下方向移動所用的致動器。
5.如權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的切割裝置，其特征在于，在所述第1位置配置具有重疊切割前的工件狀態(tài)下可載放的升降板以及使升降板向上下移動所用致動器的工件供應(yīng)器，在所述第4位置配置具有將洗凈后的工件重疊狀態(tài)下可載放的升降板以及使升降板上下移動所用致動器的工件保管器。
6.如權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的切割裝置，其特征在于，在所述第3位置配置有可載放切割后工件的轉(zhuǎn)盤、回轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)盤所需的致動器、以及向轉(zhuǎn)盤供應(yīng)洗凈液所需的洗凈液的工件洗凈液。
7.如權(quán)利要求1至6項(xiàng)中任一項(xiàng)所述的切割裝置，其特征在于，所述工件是層壓型電子零件用的陶瓷層壓板。
8.一種切割裝置，具有；能保持工件的加工臺，切割加工臺上的工件所需的切割機(jī)構(gòu)，對加工處所供應(yīng)冷卻液所需的冷卻液供應(yīng)器，將冷卻液與加工渣一起排水所用的配置于加工臺至少一側(cè)的排水構(gòu)件，使停留于排水構(gòu)件內(nèi)底的加工渣向排水構(gòu)件的排水口移動所用的設(shè)于排水構(gòu)件內(nèi)側(cè)的加工渣去除器具。
9.如權(quán)利要求8所述的切割裝置，其特征在于，所述加工臺可由加工臺移動機(jī)構(gòu)沿一定方向移動，所述排水構(gòu)件具有及至加工臺的移動范圍的長度。
10.如權(quán)利要求9所述的切割裝置，其特征在于，在所述加工臺的至少移動方向兩側(cè)覆蓋加工臺移動機(jī)構(gòu)狀設(shè)有配合加工臺移動而可伸縮的防水罩蓋。
11.如權(quán)利要求8至10中任一項(xiàng)的切割裝置，其特征在于，所述加工渣去除器具是由配置于排水構(gòu)件內(nèi)側(cè)的螺旋狀刷子以及將螺旋狀刷子向排水促進(jìn)方向回轉(zhuǎn)所需的致動器構(gòu)成。
12.如權(quán)利要求8至10中任一項(xiàng)的切割裝置，其特征在于，所述加工渣去除器具是由與配置于排水構(gòu)件內(nèi)側(cè)而能與加工臺一起移動的刮取板構(gòu)成。
13.如權(quán)利要求8至10中任一項(xiàng)的切割裝置，其特征在于，所述加工渣去除器具是由與配置于排水構(gòu)件內(nèi)側(cè)而能與加工臺一起移動的筒狀或球狀刷子構(gòu)成。
14.如權(quán)利要求1至13中任一項(xiàng)的的切割裝置，其特征在于，所述工件是層壓型電子零件用的陶瓷層壓板。
15.一種切割裝置，具有；能固持工件的加工臺，對加工臺上的工件進(jìn)行切割所需的切割機(jī)構(gòu)，對加工臺上的工件進(jìn)行攝像并進(jìn)行工件位置檢測所需的照相機(jī)，在加工處所供應(yīng)冷卻液所需的冷卻液供應(yīng)器，其特征在于，在所述照相機(jī)中設(shè)有周面具有吸氣口的筒狀的透鏡遮光罩，在透鏡遮光罩的吸氣口連接有從吸氣口向透鏡遮光罩內(nèi)供應(yīng)空氣并將供應(yīng)空氣從透鏡遮光罩開口向外部噴出所需的空氣供應(yīng)源。
16.如權(quán)利要求15所述的切割裝置，其特征在于，還具有可開閉透鏡遮光罩開口的擋門及擋門驅(qū)動用的致動器。
全文摘要
在切割裝置上將供應(yīng)切割前的工件所需的第1位置、在加工臺載放切割前的工件所需的第2位置、洗凈切割后的工件所需的第3位置、保管切割后的工件所需的第4位置配置為在同一圓周上成90度間隔。另外,在上述圓周的中心配置有沿圓周以90度間隔具有3個吸附頭的旋轉(zhuǎn)臂的旋轉(zhuǎn)軸。
文檔編號B28D5/00GK1256509SQ99126720
公開日2000年6月14日 申請日期1999年12月8日 優(yōu)先權(quán)日1998年12月9日
發(fā)明者稻井雅之, 小池重充, 小林寬和, 清水利通 申請人:太陽誘電株式會社