本發(fā)明涉及在加工裝置中對(duì)被加工物進(jìn)行保持的卡盤(pán)工作臺(tái)機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)：

半導(dǎo)體晶片等被加工物的正面被格子狀的間隔道劃分成多個(gè)區(qū)域，在該劃分出的區(qū)域內(nèi)形成有ic、lsi等器件。在器件制造工序中，通過(guò)將被加工物沿著間隔道切斷而形成各個(gè)器件芯片。該被加工物的分割是通過(guò)切削裝置或激光加工裝置等加工裝置來(lái)實(shí)施的。在各加工裝置中設(shè)置有對(duì)被加工物進(jìn)行吸引保持的卡盤(pán)工作臺(tái)機(jī)構(gòu)。在卡盤(pán)工作臺(tái)機(jī)構(gòu)中，卡盤(pán)工作臺(tái)以能夠旋轉(zhuǎn)且能夠吸引的方式經(jīng)由旋轉(zhuǎn)連接而安裝在固定軸上(例如，參照專利文獻(xiàn)1)。

專利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)2010-089234號(hào)公報(bào)

在專利文獻(xiàn)1所記載的卡盤(pán)工作臺(tái)機(jī)構(gòu)的旋轉(zhuǎn)連接中，通常，為了防止吸引力的泄漏而在卡盤(pán)工作臺(tái)的可動(dòng)軸(旋轉(zhuǎn)部)的內(nèi)側(cè)面與固定軸的外側(cè)面之間配設(shè)密封環(huán)。由于密封環(huán)隨著卡盤(pán)工作臺(tái)的旋轉(zhuǎn)而在可動(dòng)軸或固定軸上滑動(dòng)，所以因老化損壞而需要定期的更換。在該情況下，如果不將卡盤(pán)工作臺(tái)的可動(dòng)軸從固定軸拆下，則不能更換密封環(huán)，存在密封環(huán)的更換作業(yè)繁瑣且需要長(zhǎng)時(shí)間的維護(hù)的問(wèn)題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明是鑒于該點(diǎn)而完成的，其目的在于提供卡盤(pán)工作臺(tái)機(jī)構(gòu)，能夠簡(jiǎn)化密封環(huán)的更換作業(yè)而縮短維護(hù)時(shí)間。

本發(fā)明的卡盤(pán)工作臺(tái)機(jī)構(gòu)具有：卡盤(pán)工作臺(tái)，其對(duì)被加工物進(jìn)行吸引保持；以及旋轉(zhuǎn)單元，在該旋轉(zhuǎn)單元的上部安裝該卡盤(pán)工作臺(tái)，并且該旋轉(zhuǎn)單元將該卡盤(pán)工作臺(tái)支承為能夠旋轉(zhuǎn)，該卡盤(pán)工作臺(tái)機(jī)構(gòu)的特征在于，該旋轉(zhuǎn)單元具有：圓筒形狀的固定軸，其配設(shè)于旋轉(zhuǎn)中心并在內(nèi)部形成有流體路徑；旋轉(zhuǎn)部，其配設(shè)成能夠圍繞該固定軸的外周而旋轉(zhuǎn)，在該旋轉(zhuǎn)部的上部具有供卡盤(pán)工作臺(tái)安裝的環(huán)狀的安裝面；以及旋轉(zhuǎn)電動(dòng)機(jī)，其使該旋轉(zhuǎn)部旋轉(zhuǎn)，在該旋轉(zhuǎn)部上以自由裝拆的方式具有環(huán)狀的密封板，該密封板覆蓋該固定軸的上端并橫跨至該旋轉(zhuǎn)部的上表面而形成，該密封板的上表面是該卡盤(pán)工作臺(tái)的安裝面，在該固定軸的該上端形成有圓環(huán)形狀的槽，在該槽內(nèi)安裝有密封環(huán)，將該密封板安裝在該旋轉(zhuǎn)部的上表面上并利用該密封板將該密封環(huán)按壓在該固定軸的上端的該槽中而進(jìn)行密封。

根據(jù)該結(jié)構(gòu)，旋轉(zhuǎn)部能夠以圓筒形狀的固定軸為旋轉(zhuǎn)中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，對(duì)固定軸的上端進(jìn)行覆蓋的密封板以自由裝拆的方式安裝在旋轉(zhuǎn)部上。在旋轉(zhuǎn)部和密封板的上表面安裝有卡盤(pán)工作臺(tái)，通過(guò)固定軸的旋轉(zhuǎn)中心的流體路徑來(lái)對(duì)卡盤(pán)工作臺(tái)施加吸引力，并且使卡盤(pán)工作臺(tái)以固定軸為旋轉(zhuǎn)中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。并且，在形成于固定軸的上端的圓環(huán)形狀的槽內(nèi)安裝有密封環(huán)，利用密封環(huán)對(duì)密封板與固定軸之間進(jìn)行密封。在該情況下，將卡盤(pán)工作臺(tái)從旋轉(zhuǎn)部和密封板的上表面拆下，并將密封板從旋轉(zhuǎn)部拆下，由此，使固定軸的上端的密封環(huán)露出于外部。因此，能夠通過(guò)將卡盤(pán)工作臺(tái)、密封板拆下的簡(jiǎn)單的作業(yè)來(lái)容易地從上方對(duì)密封環(huán)進(jìn)行更換，能夠大幅縮短維護(hù)時(shí)間。

根據(jù)本發(fā)明，由于能夠通過(guò)將卡盤(pán)工作臺(tái)、密封板拆下的簡(jiǎn)單的作業(yè)來(lái)容易地從上方對(duì)密封環(huán)進(jìn)行更換，所以能夠大幅縮短密封環(huán)的更換作業(yè)所需的維護(hù)時(shí)間。

附圖說(shuō)明

圖1是本實(shí)施方式的切削裝置的立體圖。

圖2是比較例的卡盤(pán)工作臺(tái)機(jī)構(gòu)的剖視示意圖。

圖3是本實(shí)施方式的卡盤(pán)工作臺(tái)機(jī)構(gòu)的剖視示意圖。

圖4的(a)、(b)和(c)是本實(shí)施方式的密封環(huán)的更換作業(yè)的說(shuō)明圖。

標(biāo)號(hào)說(shuō)明

50：卡盤(pán)工作臺(tái)機(jī)構(gòu)；51：卡盤(pán)工作臺(tái)；52：工作臺(tái)主體；61：工作臺(tái)基座；70：旋轉(zhuǎn)單元；71：固定軸；72：流體路徑；73：圓環(huán)形狀的槽；75：密封環(huán)；81：旋轉(zhuǎn)部；82：工作臺(tái)安裝面(安裝面)；84：板安裝面；91：密封板；94：旋轉(zhuǎn)電動(dòng)機(jī)；w：被加工物。

具體實(shí)施方式

以下，參照附圖對(duì)具有本實(shí)施方式的卡盤(pán)工作臺(tái)機(jī)構(gòu)的切削裝置進(jìn)行說(shuō)明。圖1是本實(shí)施方式的切削裝置的立體圖。圖2是比較例的卡盤(pán)工作臺(tái)機(jī)構(gòu)的剖視示意圖。另外，在以下的說(shuō)明中，例示了在切削裝置中具有卡盤(pán)工作臺(tái)機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)來(lái)進(jìn)行說(shuō)明，但并不僅限于該結(jié)構(gòu)。例如，也可以在激光加工裝置或磨削裝置等其他的加工裝置中具有卡盤(pán)工作臺(tái)機(jī)構(gòu)。

如圖1所示，切削裝置1構(gòu)成為利用切削刀具46對(duì)卡盤(pán)工作臺(tái)51上的圓板狀的被加工物w進(jìn)行切削而分割成各個(gè)器件芯片。被加工物w是長(zhǎng)方形的封裝基板，基板正面被格子狀的間隔道劃分并在由間隔道劃分出的各區(qū)域內(nèi)形成各種器件。另外，被加工物w并不僅限于csp(chipsizepackage：芯片尺寸封裝)基板、晶片級(jí)csp(waferlevelchipsizepackage：晶片級(jí)芯片尺寸封裝)基板等小型的封裝基板，也可以是尺寸比csp基板等大的封裝基板。

在切削裝置1的外殼10的上表面形成有在x軸方向上延伸的矩形的開(kāi)口，該開(kāi)口被能夠與卡盤(pán)工作臺(tái)51一起移動(dòng)的移動(dòng)板11和波紋狀的防水罩12覆蓋。在防水罩12的下方設(shè)置有使卡盤(pán)工作臺(tái)51在x軸方向上移動(dòng)的未圖示的滾珠絲杠式的移動(dòng)機(jī)構(gòu)。在卡盤(pán)工作臺(tái)51的正面形成有通過(guò)多個(gè)吸引口對(duì)被加工物w進(jìn)行吸引保持的保持面53。保持面53通過(guò)卡盤(pán)工作臺(tái)51內(nèi)的流體路徑而與吸引源連接，并通過(guò)產(chǎn)生于保持面53的負(fù)壓對(duì)被加工物w進(jìn)行吸引保持。

卡盤(pán)工作臺(tái)51在裝置中央的交接位置與臨近切削單元45的加工位置之間往復(fù)移動(dòng)。圖1示出了卡盤(pán)工作臺(tái)51在交接位置處待機(jī)的狀態(tài)。在外殼10中，與該交接位置相鄰的一角部下凹一級(jí)，載置工作臺(tái)14以能夠升降的方式設(shè)置在下凹的部位中。在載置工作臺(tái)14上載置有收納了被加工物w的盒c。載置工作臺(tái)14在載置有盒c的狀態(tài)下進(jìn)行升降，由此，在高度方向上對(duì)被加工物w的拉出位置和推入位置進(jìn)行調(diào)整。

在載置工作臺(tái)14的后方設(shè)置有與y軸方向平行的一對(duì)定心導(dǎo)向件21和使被加工物w在一對(duì)定心導(dǎo)向件21與盒c之間出入的推拉機(jī)構(gòu)22。通過(guò)一對(duì)定心導(dǎo)向件21來(lái)引導(dǎo)推拉機(jī)構(gòu)22所進(jìn)行的被加工物w的出入并且對(duì)被加工物w的x軸方向進(jìn)行定位。并且，除了借助推拉機(jī)構(gòu)22將加工前的被加工物w從盒c拉出至一對(duì)定心導(dǎo)向件21之外，還通過(guò)推拉機(jī)構(gòu)22將加工完的被加工物w從一對(duì)定心導(dǎo)向件21推入到盒c中。

在一對(duì)定心導(dǎo)向件21的附近設(shè)置有第1搬送臂25，該第1搬送臂25在定心導(dǎo)向件21與卡盤(pán)工作臺(tái)51之間對(duì)被加工物w進(jìn)行搬送。通過(guò)第1搬送臂25的回旋而利用l字狀的臂部26的前端的搬送墊27對(duì)被加工物w進(jìn)行搬送。并且，在交接位置的卡盤(pán)工作臺(tái)51的后方設(shè)置有旋轉(zhuǎn)清洗機(jī)構(gòu)31。在旋轉(zhuǎn)清洗機(jī)構(gòu)31中，在朝向旋轉(zhuǎn)中的旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)32噴射清洗水而對(duì)被加工物w進(jìn)行清洗之后，代替清洗水而吹送干燥空氣從而使被加工物w干燥。

在外殼10上設(shè)置有支承臺(tái)16，該支承臺(tái)16對(duì)具有切削刀具46的切削單元45進(jìn)行支承。切削單元45構(gòu)成為將切削刀具46安裝在被支承臺(tái)16支承的主軸的前端。關(guān)于切削刀具46，例如，利用結(jié)合劑將金剛石磨粒固定而成形為圓板狀。并且，切削單元45與使切削刀具46在y軸方向和z軸方向上移動(dòng)的未圖示的移動(dòng)機(jī)構(gòu)連結(jié)。在切削單元45中，從多個(gè)噴射噴嘴噴射清洗液，并使高速旋轉(zhuǎn)的切削刀具46相對(duì)于卡盤(pán)工作臺(tái)51相對(duì)移動(dòng)從而對(duì)被加工物w進(jìn)行切削。

在支承臺(tái)16的側(cè)面17設(shè)置有第2搬送臂35，該第2搬送臂35在卡盤(pán)工作臺(tái)51與旋轉(zhuǎn)清洗機(jī)構(gòu)31之間對(duì)被加工物w進(jìn)行搬送。通過(guò)第2搬送臂35的進(jìn)退移動(dòng)而利用從支承臺(tái)16的側(cè)面17朝向斜前方延伸的臂部36的前端的搬送墊37對(duì)被加工物w進(jìn)行搬送。并且，在支承臺(tái)16上設(shè)置有橫穿在卡盤(pán)工作臺(tái)51的移動(dòng)路徑的上方的單側(cè)支承部19，對(duì)被加工物w進(jìn)行拍攝的拍攝部41被單側(cè)支承部19支承。拍攝部41所拍攝的拍攝畫(huà)像被應(yīng)用于切削單元45與卡盤(pán)工作臺(tái)51的對(duì)準(zhǔn)。并且，在支承臺(tái)16上載置有對(duì)加工條件等進(jìn)行顯示的監(jiān)視器42。

在外殼10內(nèi)收納有僅使卡盤(pán)工作臺(tái)51在外殼10上露出的卡盤(pán)工作臺(tái)機(jī)構(gòu)50(參照?qǐng)D3)。卡盤(pán)工作臺(tái)機(jī)構(gòu)50使卡盤(pán)工作臺(tái)51旋轉(zhuǎn)從而將切削刀具46定位在垂直的間隔道上，并且在卡盤(pán)工作臺(tái)51的保持面53上作用用于對(duì)被加工物w進(jìn)行保持的負(fù)壓。因此，卡盤(pán)工作臺(tái)機(jī)構(gòu)50中，相對(duì)于形成有流體路徑的固定軸采用了如下的旋轉(zhuǎn)連接構(gòu)造：一邊對(duì)空氣的泄漏進(jìn)行抑制，一邊將卡盤(pán)工作臺(tái)51以能夠旋轉(zhuǎn)的方式連接。

例如，如圖2所示，關(guān)于比較例的卡盤(pán)工作臺(tái)機(jī)構(gòu)100的旋轉(zhuǎn)連接構(gòu)造，對(duì)卡盤(pán)工作臺(tái)101進(jìn)行支承的旋轉(zhuǎn)部111被配設(shè)成圍繞圓筒形狀的固定軸103。在旋轉(zhuǎn)部111與固定軸103之間安裝有軸承114，卡盤(pán)工作臺(tái)101借助軸承114而被固定軸103支承為能夠旋轉(zhuǎn)。并且，在固定軸103的中心形成有流體路徑104以便在卡盤(pán)工作臺(tái)101的保持面102上產(chǎn)生負(fù)壓。在固定軸103的外側(cè)面105形成有供密封環(huán)115安裝的圓環(huán)狀的槽107。

密封環(huán)115與旋轉(zhuǎn)部111的內(nèi)側(cè)面112接觸，對(duì)固定軸103與旋轉(zhuǎn)部111的間隙進(jìn)行密封而對(duì)空氣的泄漏進(jìn)行抑制。密封環(huán)115會(huì)老化損壞因而需要定期更換，但不容易從這樣的旋轉(zhuǎn)連接構(gòu)造中對(duì)密封環(huán)115進(jìn)行更換。即，如果不將卡盤(pán)工作臺(tái)101從旋轉(zhuǎn)部111拆下進(jìn)而將旋轉(zhuǎn)部111整體從固定軸103拆下，則不能使密封環(huán)115從固定軸103的外側(cè)面105露出于外部。因此，存在密封環(huán)115的更換作業(yè)復(fù)雜且維護(hù)時(shí)間變長(zhǎng)的問(wèn)題。

因此，在本實(shí)施方式中，對(duì)上述比較例的旋轉(zhuǎn)連接構(gòu)造進(jìn)行變更，在旋轉(zhuǎn)部81上設(shè)置覆蓋固定軸71的上端的密封板91，利用密封環(huán)75對(duì)密封板91的下表面與固定軸71的上端之間的間隙進(jìn)行密封(參照?qǐng)D3)。進(jìn)而，將密封板91以自由裝拆的方式安裝在旋轉(zhuǎn)部81上，通過(guò)密封板91的拆下而使密封環(huán)75向上方露出。由此，能夠通過(guò)將卡盤(pán)工作臺(tái)51、密封板91拆下的簡(jiǎn)單的作業(yè)來(lái)更換密封環(huán)75，所以能夠大幅地縮短維護(hù)時(shí)間。

以下，對(duì)本實(shí)施方式的卡盤(pán)工作臺(tái)機(jī)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。圖3是本實(shí)施方式的卡盤(pán)工作臺(tái)機(jī)構(gòu)的剖視示意圖。另外，卡盤(pán)工作臺(tái)機(jī)構(gòu)是能夠通過(guò)密封板的裝拆而從上方更換密封環(huán)的結(jié)構(gòu)即可，并不僅限于圖3所示的例子。例如，在以下的說(shuō)明中，例示了封裝基板用的卡盤(pán)工作臺(tái)機(jī)構(gòu)，但對(duì)于半導(dǎo)體晶片或光器件晶片用的卡盤(pán)工作臺(tái)機(jī)構(gòu)也能夠采用同樣的結(jié)構(gòu)。

如圖3所示，卡盤(pán)工作臺(tái)機(jī)構(gòu)50中，對(duì)被加工物w進(jìn)行吸引保持的卡盤(pán)工作臺(tái)51安裝在旋轉(zhuǎn)單元70的上部，通過(guò)旋轉(zhuǎn)單元70將卡盤(pán)工作臺(tái)51支承為能夠旋轉(zhuǎn)?？ūP(pán)工作臺(tái)51采用了將工作臺(tái)主體52以自由裝拆的方式安裝在工作臺(tái)基座61的上表面的上下對(duì)分構(gòu)造。工作臺(tái)主體52中，在形成有多個(gè)吸引口54的上層部分的周圍凸緣狀地形成有固定于工作臺(tái)基座61的下層部分。在工作臺(tái)主體52的上層部分形成有多個(gè)吸引口54并在上表面形成有保持面53，在工作臺(tái)主體52的下層部分形成有螺栓56用的安裝孔55(參照?qǐng)D4的(a))。

并且，工作臺(tái)基座61形成為中央開(kāi)口的環(huán)形板狀，在與工作臺(tái)主體52的安裝孔55(參照?qǐng)D4的(a))對(duì)應(yīng)的部位形成有螺紋孔62(參照?qǐng)D4的(a))。通過(guò)使從工作臺(tái)主體52的安裝孔55突出的螺栓56的前端與該工作臺(tái)基座61的螺紋孔62螺合，工作臺(tái)主體52以自由裝拆的方式安裝在工作臺(tái)基座61上。通過(guò)在工作臺(tái)基座61上安裝工作臺(tái)主體52，形成使多個(gè)吸引口54與固定軸79的流體路徑72連通的連通室57。并且，在工作臺(tái)基座61的比螺紋孔62(參照?qǐng)D4)靠徑向內(nèi)側(cè)的位置處形成有螺栓64用的安裝孔63。

關(guān)于旋轉(zhuǎn)單元70，圓筒形狀的固定軸71配設(shè)在卡盤(pán)工作臺(tái)51的旋轉(zhuǎn)中心，旋轉(zhuǎn)部81以圍繞固定軸71的外周的方式配設(shè)。在固定軸71的內(nèi)部，在上下方向上形成有將連通室57與吸引源77連接的流體路徑72。在旋轉(zhuǎn)部81的上表面形成有用于安裝卡盤(pán)工作臺(tái)51的環(huán)狀的工作臺(tái)安裝面82，在工作臺(tái)安裝面82上，在與工作臺(tái)基座61的安裝孔63對(duì)應(yīng)的部位形成有螺紋孔83。通過(guò)使從工作臺(tái)基座61的安裝孔63突出的螺栓64的前端與該旋轉(zhuǎn)部81的螺紋孔83螺合，工作臺(tái)基座61以自由裝拆的方式安裝在旋轉(zhuǎn)部81的上部。

在旋轉(zhuǎn)部81的上表面的徑向內(nèi)側(cè)，在比工作臺(tái)安裝面82形成得低1級(jí)的板安裝面84上安裝有密封板91。密封板91形成為從旋轉(zhuǎn)部81橫跨至固定軸71，密封板91的徑向外側(cè)被板安裝面84支承，密封板91的徑向內(nèi)側(cè)將固定軸71的上端覆蓋。密封板91的厚度同工作臺(tái)安裝面82與板安裝面84之間的階差一致，工作臺(tái)安裝面82與密封板91的上表面形成為同一平面。因此，密封板91的上表面也成為供卡盤(pán)工作臺(tái)51安裝的工作臺(tái)安裝面82。

在密封板91的徑向外側(cè)形成有螺栓93用的安裝孔92(參照?qǐng)D4的(c))，在板安裝面84上，在與安裝孔92對(duì)應(yīng)的部位形成有螺紋孔86(參照?qǐng)D4的(c))。通過(guò)使從密封板91的安裝孔92突出的螺栓93的前端與該板安裝面84的螺紋孔86螺合，密封板91以自由裝拆的方式安裝在板安裝面84上。并且，密封板91的下表面與固定軸71的上端(上表面)相對(duì)并空出微小的間隙。在固定軸71的上端形成有圓環(huán)形狀的槽73，在圓環(huán)形狀的槽73內(nèi)安裝有密封環(huán)75。

因此，當(dāng)將密封板91安裝在旋轉(zhuǎn)部81的板安裝面84上時(shí)，通過(guò)密封板91的下表面將密封環(huán)75按壓在圓環(huán)形狀的槽73內(nèi)。密封環(huán)75在密封板91的下表面與圓環(huán)形狀的槽73的底面之間被壓扁，密封板91的下表面與固定軸71的上端的間隙被密封。由此，空氣不會(huì)從密封板91與固定軸71的間隙泄漏，抑制了卡盤(pán)工作臺(tái)51的吸引力的降低。另外，作為密封環(huán)75，使用o形環(huán)或襯墊等運(yùn)動(dòng)用密封件。

并且，通過(guò)將密封板91從旋轉(zhuǎn)部81的板安裝面84拆下，使作為消耗品的密封環(huán)75露出于外部。因此，不用將旋轉(zhuǎn)部81整體從固定軸71拆下，能夠容易地僅對(duì)圓環(huán)形狀的槽73內(nèi)的密封環(huán)75進(jìn)行更換。在旋轉(zhuǎn)部81的內(nèi)側(cè)面87與固定軸71的外側(cè)面79之間安裝有軸承76，旋轉(zhuǎn)部81借助軸承76而被固定軸71支承為能夠旋轉(zhuǎn)。并且，在旋轉(zhuǎn)單元70中，在旋轉(zhuǎn)部81和固定軸71的下側(cè)部分設(shè)置有使旋轉(zhuǎn)部81旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)電動(dòng)機(jī)94。

旋轉(zhuǎn)電動(dòng)機(jī)94構(gòu)成為與旋轉(zhuǎn)部81連結(jié)的轉(zhuǎn)子98在固定于固定軸71的定子95的周圍旋轉(zhuǎn)。在定子95的外周面上，多個(gè)齒96朝向徑向突出，在各齒96上安裝有線圈繞組97。在轉(zhuǎn)子98的內(nèi)側(cè)面設(shè)置有多個(gè)磁鐵99，該多個(gè)磁鐵99與定子95的線圈繞組97空出微小的間隙而相對(duì)。并且，通過(guò)對(duì)線圈繞組97通電，轉(zhuǎn)子98以固定軸71為旋轉(zhuǎn)中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。由此，與轉(zhuǎn)子98連結(jié)的旋轉(zhuǎn)部81和卡盤(pán)工作臺(tái)51一體旋轉(zhuǎn)。

這樣，關(guān)于卡盤(pán)工作臺(tái)機(jī)構(gòu)50的旋轉(zhuǎn)連接，將卡盤(pán)工作臺(tái)51支承為能夠旋轉(zhuǎn)，并且不使空氣泄漏，能夠?qū)ūP(pán)工作臺(tái)51的保持面53施加來(lái)自吸引源77的吸引力。并且，由于密封板91與固定軸71借助密封環(huán)75而接觸，所以密封環(huán)75會(huì)因滑動(dòng)而損壞。但是，由于密封板91以自由裝拆的方式安裝在旋轉(zhuǎn)部81上，所以能夠通過(guò)將密封板91從旋轉(zhuǎn)部81拆下而容易地對(duì)密封環(huán)75進(jìn)行更換。

參照?qǐng)D4，對(duì)密封環(huán)的更換作業(yè)進(jìn)行說(shuō)明。圖4是本實(shí)施方式的密封環(huán)的更換作業(yè)的說(shuō)明圖。其中，圖4的(a)示出了工作臺(tái)主體的拆下作業(yè)，圖4的(b)示出了工作臺(tái)基座的拆下作業(yè)，圖4的(c)示出了密封板的拆下作業(yè)。

如圖4的(a)所示，在密封環(huán)的更換作業(yè)中，首先由操作人員擰下工作臺(tái)主體52的外周部分的各螺栓56，并將工作臺(tái)主體52從工作臺(tái)基座61的上表面拆下。由此，隱藏在工作臺(tái)主體52的內(nèi)側(cè)的工作臺(tái)基座61固定用的螺栓64露出于外部。接著，如圖4的(b)所示，由操作人員擰下工作臺(tái)基座61的各螺栓64，并將工作臺(tái)基座61從旋轉(zhuǎn)部81的工作臺(tái)安裝面82拆下。由此，隱藏在工作臺(tái)基座61的內(nèi)表面?zhèn)鹊拿芊獍?1固定用的螺栓93露出于外部。

接著，如圖4的(c)所示，由操作人員擰下密封板91的各螺栓93，并將密封板91從旋轉(zhuǎn)部81的板安裝面84拆下。由此，安裝在固定軸71的上端的圓環(huán)形狀的槽73的密封環(huán)75露出于外部。然后，在將圓環(huán)形狀的槽73內(nèi)的損壞的密封環(huán)75拆下并安裝上新的密封環(huán)75之后，通過(guò)與上述的拆下動(dòng)作相反的步驟對(duì)密封板91、工作臺(tái)基座61、工作臺(tái)主體52進(jìn)行安裝。這樣，簡(jiǎn)化了密封環(huán)75的更換作業(yè)而縮短維護(hù)時(shí)間。

如以上那樣，本實(shí)施方式的卡盤(pán)工作臺(tái)機(jī)構(gòu)50中，旋轉(zhuǎn)部81能夠以圓筒形狀的固定軸71為旋轉(zhuǎn)中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，覆蓋固定軸71的上端的密封板91以自由裝拆的方式安裝在旋轉(zhuǎn)部81上。并且，在形成于固定軸71的上端的圓環(huán)形狀的槽73中安裝有密封環(huán)75，利用密封環(huán)75對(duì)密封板91與固定軸71之間進(jìn)行密封。在該情況下，通過(guò)將卡盤(pán)工作臺(tái)51從旋轉(zhuǎn)部81和密封板91拆下，并將密封板91從旋轉(zhuǎn)部81拆下，由此固定軸71的上端的密封環(huán)75露出于外部。因此，能夠通過(guò)將卡盤(pán)工作臺(tái)51、密封板91拆下的簡(jiǎn)單的作業(yè)來(lái)容易地從上方對(duì)密封環(huán)75進(jìn)行更換，能夠大幅縮短維護(hù)時(shí)間。

另外，本發(fā)明并不僅限于上述實(shí)施方式，能夠進(jìn)行各種變更而實(shí)施。在上述實(shí)施方式中，對(duì)于在附圖中圖示的大小或形狀等，并不僅限于此，能夠在發(fā)揮本發(fā)明的效果的范圍內(nèi)進(jìn)行適當(dāng)變更。另外，只要在不脫離本發(fā)明的目的的范圍內(nèi)便能夠適當(dāng)進(jìn)行變更而實(shí)施。

例如，在上述的實(shí)施方式中，在卡盤(pán)工作臺(tái)51的保持面53形成有多個(gè)吸引口54，但并不僅限于該結(jié)構(gòu)?？ūP(pán)工作臺(tái)51的保持面53也可以由多孔陶瓷形成為多孔質(zhì)。并且，雖然卡盤(pán)工作臺(tái)51采用了工作臺(tái)主體52相對(duì)于工作臺(tái)基座61自由裝拆的結(jié)構(gòu)，但工作臺(tái)基座61和工作臺(tái)主體52也可以形成為一體。

并且，在上述的實(shí)施方式中，例示了旋轉(zhuǎn)電動(dòng)機(jī)94是電磁式電動(dòng)機(jī)來(lái)進(jìn)行說(shuō)明，但并不僅限于該結(jié)構(gòu)。作為旋轉(zhuǎn)電動(dòng)機(jī)94，也可以使用靜電式電動(dòng)機(jī)或超聲波式電動(dòng)機(jī)。

并且，雖然在上述的實(shí)施方式中，密封板91形成為圓環(huán)形狀，但并不僅限于該結(jié)構(gòu)。密封板91形成為對(duì)覆蓋固定軸71的上端并且不阻礙固定軸71的流體路徑72的形狀即可，例如，也可以形成為矩形環(huán)狀。

并且，雖然在上述的實(shí)施方式中，采用了利用螺栓93將密封板91螺紋固定在旋轉(zhuǎn)部81上的結(jié)構(gòu)，但并不僅限于該結(jié)構(gòu)。密封板91采用以自由裝拆的方式安裝在旋轉(zhuǎn)部81上的結(jié)構(gòu)即可，可以以任何方式安裝。

并且，在上述的實(shí)施方式中，作為被加工物w例示了封裝基板，但被加工物w是作為加工對(duì)象的工件即可，也可以是半導(dǎo)體晶片或光器件晶片。

如以上說(shuō)明的那樣，本發(fā)明具有能夠簡(jiǎn)化密封環(huán)的更換作業(yè)而縮短維護(hù)時(shí)間的效果，特別對(duì)在切削裝置或激光加工裝置等加工裝置中的對(duì)被加工物進(jìn)行保持的卡盤(pán)工作臺(tái)機(jī)構(gòu)有用。