本發(fā)明涉及一種用于分割脆性材料基板的方法，特別是，涉及一種在分割脆性材料基板時(shí)形成垂直裂紋的方法。

背景技術(shù)：

平面顯示器面板或太陽能電池面板等的制造過程一般包括對由玻璃基板、陶瓷基板、半導(dǎo)體襯底等脆性材料構(gòu)成的基板(母基板)進(jìn)行分割的工序。該分割廣泛應(yīng)用了利用金剛石頭或切割輪等的劃線工具在基板表面形成劃線，并使裂紋(垂直裂紋)從該劃線向基板厚度方向伸展的方法。在形成了劃線的情況下，既有垂直裂紋在厚度方向上完全伸展并使基板分割的情況，但也存在垂直裂紋在厚度方向上僅部分伸展的情況。在后者的情況下，在形成劃線后，進(jìn)行被稱為斷開工序的應(yīng)力賦予的步驟。通過斷開工序使垂直裂紋在厚度方向上完全地行進(jìn)，基板會沿劃線被分割。

作為這樣的通過形成劃線來使垂直裂紋伸展的方法，已知有形成作為垂直裂紋伸展的起點(diǎn)(觸發(fā)點(diǎn))、也稱為輔助線的線狀加工痕跡的方法(例如，參考專利文獻(xiàn)1)。

[現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)]

[專利文獻(xiàn)1]日本特開2015-74145號公報(bào)

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

[發(fā)明要解決的技術(shù)問題]

在利用劃線工具形成劃線時(shí)，會產(chǎn)生基板材料的細(xì)微的切屑或粉末的碎玻璃，并附著在基板表面。

在利用了例如專利文獻(xiàn)1中公開的輔助線的方法的情況下，在形成分割用的劃線時(shí)，雖然劃線工具在基板上施加的力較小而難以產(chǎn)生碎玻璃，但在形成輔助線時(shí)存在產(chǎn)生碎玻璃的可能性。

本發(fā)明是鑒于上述問題而提出的，并且目的在于提供一種能夠比以往更能抑制碎玻璃的產(chǎn)生，并形成垂直裂紋的方法。

[解決問題的技術(shù)手段]

為了解決上述問題，第一方式的發(fā)明提供一種脆性材料基板中的垂直裂紋形成方法，在厚度方向上分割脆性材料基板時(shí)在分割位置形成垂直裂紋，其特征在于，所述脆性材料基板中的垂直裂紋形成方法具備：槽線形成工序，在所述脆性材料基板的一主面上形成作為線狀槽部的槽線；以及壓痕形成工序，通過利用預(yù)定的按壓體對所述脆性材料基板的所述槽線附近進(jìn)行局部按壓，形成壓痕；在所述槽線形成工序中，以在所述槽線的正下方維持無裂紋狀態(tài)的方式形成所述槽線，通過使得伴隨所述壓痕形成工序中的所述壓痕的形成而從所述壓痕延伸的微細(xì)裂紋到達(dá)所述槽線的下方，使所述垂直裂紋從所述槽線向所述厚度方向伸展。

第二方式的發(fā)明是根據(jù)第一方式所述的脆性材料基板中的垂直裂紋形成方法，其特征在于，所述預(yù)定的按壓體的頂端部呈錐狀，在所述壓痕形成工序中，通過利用所述錐狀的所述頂端部按壓所述脆性材料基板來形成所述壓痕。

第三方式的發(fā)明是根據(jù)第二方式所述的脆性材料基板中的垂直裂紋形成方法，其特征在于，所述預(yù)定的按壓體的所述頂端部呈圓錐狀。

第四方式的發(fā)明是根據(jù)第一至第三的任一方式所述的脆性材料基板中的垂直裂紋形成方法，其特征在于，在與所述垂直裂紋在所述槽線中的計(jì)劃伸展方向相反一側(cè)附近，形成所述壓痕。

第五方式的發(fā)明提供一種脆性材料基板的分割方法，對脆性材料基板在厚度方向上進(jìn)行分割，其特征在于，所述脆性材料基板的分割方法具備：垂直裂紋形成工序，通過第一至第四方式的任一方式所述的垂直裂紋形成方法，在所述脆性材料基板上形成垂直裂紋；以及斷開工序，其沿著所述垂直裂紋而斷開所述脆性材料基板。

[發(fā)明的技術(shù)效果]

根據(jù)第一至第五方式的發(fā)明，能夠使垂直裂紋在脆性材料基板預(yù)先確定的分割位置上可靠地并且不會產(chǎn)生碎玻璃地伸展。

附圖說明

圖1是例示出形成槽線TL后的情況的脆性材料基板W的俯視圖。

圖2是概略示出用于形成槽線TL的劃線工具150的結(jié)構(gòu)的圖。

圖3是包含槽線TL的垂直截面的zx部分截面圖。

圖4是示意性地示出使按壓體100下降時(shí)的情況的zx部分截面圖。

圖5是示意性地示出利用按壓體100形成壓痕ID時(shí)的情況的zx部分截面圖。

圖6是對著玻璃基板，利用頂端部101為圓錐狀的按壓體100來形成壓痕ID的情況下的壓痕ID附近的光學(xué)顯微鏡像。

圖7是示意性地示出在槽線TL附近形成了壓痕ID的情況的圖。

圖8是在預(yù)先形成有槽線TL的玻璃基板上形成了壓痕ID的情況下的壓痕ID附近的光學(xué)顯微鏡像。

圖9是示出通過形成壓痕ID來使垂直裂紋VC伸展的情況的、脆性材料基板W的俯視圖。

圖10是示出通過形成壓痕ID來使垂直裂紋VC伸展的情況的、脆性材料基板W的俯視圖。

圖11是示出負(fù)荷與所形成的壓痕ID的直徑之間的關(guān)系的圖表。

圖12是示出負(fù)荷與所形成的最大裂紋長度之間的關(guān)系的圖表。

圖13是示出在利用頂端部101為四角錐狀的按壓體100來形成壓痕，并在槽線TL的正下方使垂直裂紋伸展的情況下的光學(xué)顯微鏡像。

[附圖標(biāo)記說明]

100按壓體；101頂端部；150劃線工具；151金剛石頭；ID壓痕；MC微細(xì)裂紋；RE微細(xì)裂紋產(chǎn)生區(qū)域；RE1(微細(xì)裂紋產(chǎn)生區(qū)域與槽線的)重疊區(qū)域；TL槽線；VC垂直裂紋；W脆性材料基板。

具體實(shí)施方式

以下所示的本發(fā)明的實(shí)施方式的方法，是形成用于在脆性材料基板W的預(yù)定位置(分割位置)上進(jìn)行分割的垂直裂紋的方法。概略而言，該方法是通過對分割位置形成被稱為槽線的加工槽，并隨后在該槽線附近形成局部的壓痕，來使垂直裂紋從槽線向基板厚度方向伸展的方法。此外，在本實(shí)施方式中，槽線是指其正下方作為垂直裂紋的形成位置的微細(xì)的線狀槽部(凹部)。

在下文中，以對于矩形狀的脆性材料基板W預(yù)先設(shè)定一組對邊平行的多個分割位置(分割線)的情況為例進(jìn)行說明。另外，在說明所用的圖中，適當(dāng)?shù)馗缴弦苑指钗恢玫呐帕蟹较驗(yàn)閤軸正方向，以槽線TL的形成行進(jìn)方向?yàn)閥軸正方向，以垂直上方為z軸正方向的右手系xyz坐標(biāo)。

＜槽線的形成＞

圖1是例示出形成槽線TL后的情況的脆性材料基板W的俯視圖(xy平面圖)。圖2是概略示出用于形成槽線TL的劃線工具150的結(jié)構(gòu)的圖。圖3的包含槽線TL的垂直截面的zx部分截面圖。圖1所示的槽線TL的形成位置相當(dāng)于對脆性材料基板W從其一個主面(上表面)SF1側(cè)俯視的情況下的分割位置。

在本實(shí)施方式中，使用具備金剛石頭151的劃線工具150來形成槽線TL。金剛石頭151是例如圖2所示地形成為平截頭棱錐體形狀，并設(shè)置有頂面SD1(第1面)和包圍頂面SD1的多個面。更詳細(xì)而言，如圖2(b)所示地，這些多個面包括側(cè)面SD2(第2面)及側(cè)面SD3(第3面)。頂面SD1、側(cè)面SD2及SD3相互朝向不同方向，并且互相相鄰。在金剛石頭151中，刀尖PS由側(cè)面SD2及SD3構(gòu)成的棱線PS和頂面SD1、側(cè)面SD2及SD3的3個面所成的頂點(diǎn)PP所形成。金剛石頭151被保持成頂面SD1成為如圖2(a)所示的棒狀(柱狀)的柄152的一個端部側(cè)上的最下端部的狀態(tài)。

在使用劃線工具150的情況下，如圖2(a)所示，以使柄152的軸方向AX2從垂直方向向移動方向DA的前方(y軸正方向)以預(yù)定角度傾斜后的狀態(tài)，就是說使頂面SD1朝向移動方向DA的后方(y軸負(fù)方向)的姿勢，使金剛石頭151與脆性材料基板W的上表面SF1抵接。然后，保持該抵接狀態(tài)，同時(shí)使劃線工具150向移動方向DA前方移動，以使金剛石頭151的刀尖PF2滑動。由此，會產(chǎn)生沿著金剛石頭151的移動方向DA的塑性變形。在本實(shí)施方式中，產(chǎn)生該塑性變形的金剛石頭151的滑動動作也稱為金剛石頭151的劃線動作。

如圖1及圖3所示，槽線TL作為在脆性材料基板W的上表面SF1在y軸方向上延伸的微細(xì)的線狀槽部形成。作為在使劃線工具150的姿勢相對于移動方向DA對稱的狀態(tài)下，通過滑動金剛石頭151，在脆性材料基板W的上表面SF1上產(chǎn)生塑性變形的結(jié)果來形成槽線TL。在該情況下，如圖3中示意性地所示，槽線TL大概形成為與其延伸方向垂直的截面的形狀為線對稱的槽部。

如圖1所示，在脆性材料基板W的上表面SF1上規(guī)定的分割位置上，向以箭頭AR1示出的y軸正方向，從起點(diǎn)T1到終點(diǎn)T2為止形成槽線TL。在下文中，把槽線TL中相對接近起點(diǎn)T1的范圍也稱為上游側(cè)，相對接近終點(diǎn)T2的范圍也稱為下游側(cè)。

此外，在圖1中，槽線TL的起點(diǎn)T1及終點(diǎn)T2位于與脆性材料基板W的端部稍微離開一點(diǎn)的位置上，但這并不是必須的方式，根據(jù)作為分割對象的脆性材料基板W的種類和分割后單片的用途等，也可以適當(dāng)?shù)匕讶我粋€或兩個都設(shè)置位于脆性材料基板W的端部位置。但是，使起點(diǎn)T1位于脆性材料基板W的端部的方式，與如圖1所例示那樣使起點(diǎn)T1位于與端部稍微離開一點(diǎn)的位置上的情況相比，由于施加到劃線工具150的刀尖PF2的沖擊會變大，需要留意刀尖PF2的壽命這一點(diǎn)以及會產(chǎn)生沒有預(yù)想到的垂直裂紋這一點(diǎn)。

另外，多個分割位置的各自的槽線TL的形成，可以在未圖示的、具備一個劃線工具150的加工裝置中利用該劃線工具150依次形成的方式，也可以采用用以形成多個槽線TL的加工裝置同時(shí)并行地形成的方式。

在形成槽線TL時(shí)，把劃線工具150所施加的負(fù)荷(相當(dāng)于把劃線工具150從垂直上方向脆性材料基板W的上表面SF1按壓的力)進(jìn)行設(shè)定，使得在可靠地形成槽線TL的同時(shí)，在脆性材料基板W的厚度方向DT上不產(chǎn)生從該槽線TL的垂直裂紋的伸展(圖3)。

換言之，槽線TL的形成會以在槽線TL的正下方，脆性材料基板W與槽線TL相交的方向上維持連續(xù)相連的狀態(tài)(無裂紋狀態(tài))的方式來進(jìn)行。此外，在該對應(yīng)下形成槽線TL的情況下，在脆性材料基板W的槽線TL附近(距離槽線TL大約5μm～10μm以內(nèi)的范圍)，會殘留有作為塑性變形的結(jié)果的內(nèi)部應(yīng)力。

該槽線TL的形成是，例如，通過把劃線工具150所施加的負(fù)荷設(shè)置為，與利用相同劃線工具150形成伴隨有垂直裂紋的伸展的劃線的情況相比更小的值來實(shí)現(xiàn)。

在無裂紋狀態(tài)下，即使形成了槽線TL，由于垂直裂紋不會從該槽線TL伸展，因此即使假設(shè)彎矩會作用于脆性材料基板W，與形成有垂直裂紋的情況相比，難以產(chǎn)生沿著槽線TL的分割。

＜壓痕的形成和垂直裂紋的伸展＞

當(dāng)利用上述方式形成槽線TL后，接著，在槽線TL附近位置局部地形成壓痕。該壓痕的形成是通過使與脆性材料基板W相比具有充分硬度的材料來構(gòu)成的預(yù)定按壓體下降，并從上方按壓脆性材料基板W的上表面SF1的方式來進(jìn)行。

圖4是示意性地示出使按壓體100下降時(shí)的情況的zx部分截面圖，圖5是示意性地示出利用按壓體100來形成壓痕ID的情況的zx部分截面圖。

在水平配置脆性材料基板W的狀態(tài)下，如圖4所示，使z軸負(fù)方向的最下端部具有圓錐狀頂端部101的按壓體100，通過未圖示的移動機(jī)構(gòu)的動作向z軸負(fù)方向下降時(shí)，接著頂端部101會與脆性材料基板W的上表面SF1抵接。在該抵接后還進(jìn)一步地，如圖5中以箭頭AR3所示地，在使按壓體100下降后，頂端部101會被按壓入脆性材料基板W，由此脆性材料基板W發(fā)生塑性變形，并形成凹部即壓痕ID。此外，在該壓痕ID的周圍，形成有多個細(xì)微裂紋MC。在脆性材料基板W中通常，細(xì)微裂紋MC以壓痕ID的外邊緣部的任意位置作為起點(diǎn)，相對于脆性材料基板W的上表面SF1以預(yù)定的深度(即在相對于上表面SF1垂直的方向上)伸展。在圖5中，把該微細(xì)裂紋MC示意性地以斜線部示出。

在該情況下，壓痕ID的大小以及微細(xì)裂紋MC的長度(最大伸展長度)與按壓體100的形狀以及作用于按壓體100的負(fù)荷相對應(yīng)。

按壓體100的材質(zhì)只要根據(jù)脆性材料基板W的材質(zhì)適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行選擇即可，但從具備硬度高并且通用性及獲得容易性這一觀點(diǎn)來看，適合以金剛石來構(gòu)成。

圖6是對著作為脆性材料基板W的一種的玻璃基板，利用頂端部101為圓錐狀的按壓體100來形成壓痕ID的情況下的壓痕ID附近的光學(xué)顯微鏡像。但是，槽線TL沒有形成。在圖6中，確認(rèn)有在俯視下呈大致圓形形狀的壓痕ID，同時(shí)也確認(rèn)有多個微細(xì)裂紋MC從壓痕ID的外邊緣部向外側(cè)隨機(jī)延伸。

此外，在圖6中，雖然乍看之下，微細(xì)裂紋MC好像是沿著該玻璃基板的上表面形成的，但在圖6中所觀察到的是在玻璃基板的上表面SF1上顯現(xiàn)的微細(xì)裂紋MC。

圖7是示意性地示出在槽線TL附近形成了壓痕ID的情況的圖。圖8是在預(yù)先形成有槽線TL的脆性材料基板W的一種的玻璃基板上形成了壓痕ID的情況下，壓痕ID附近的光學(xué)顯微鏡像。

在利用按壓體100局部地按壓脆性材料基板W的情況下，如圖6所例示的那樣，在該壓痕ID的周圍隨機(jī)形成有多個微細(xì)裂紋MC。這意味著，如圖7所示地，除了在按壓體100按壓的部位形成有壓痕ID之外，該壓痕ID周圍的預(yù)定范圍成為能夠產(chǎn)生微細(xì)裂紋MC的區(qū)域的微細(xì)裂紋產(chǎn)生區(qū)域RE。在此，微細(xì)裂紋產(chǎn)生區(qū)域RE可以認(rèn)為是，在壓痕ID的中心位置與伴隨壓痕ID的形成而產(chǎn)生的多個微細(xì)裂紋MC之中在俯視時(shí)最長的裂紋所到達(dá)的位置之間的連線為半徑的圓形區(qū)域中，除了壓痕ID以外的區(qū)域。

在本實(shí)施方式中，以通過延伸至槽線TL的下方，在俯視時(shí)與槽線TL重疊的形態(tài)來產(chǎn)生微細(xì)裂紋MC的方式，來形成壓痕ID。在此，從另一個角度來看，也可以認(rèn)為是，以上述方式形成槽線TL后，以微細(xì)裂紋產(chǎn)生區(qū)域RE的一部分區(qū)域與槽線TL重疊的方式來形成壓痕ID。在圖7中，對微細(xì)裂紋產(chǎn)生區(qū)域RE中與槽線TL重疊的重疊區(qū)域RE1，用粗虛線包圍。

此外，壓痕ID在俯視時(shí)是半徑r的圓，并且在假設(shè)微細(xì)裂紋產(chǎn)生區(qū)域RE是在其外側(cè)以一定寬度來形成的圓環(huán)型區(qū)域的情況下，當(dāng)壓痕ID的半徑r、微細(xì)裂紋產(chǎn)生區(qū)域RE的最外側(cè)半徑R、以及壓痕ID的中心與槽線TL之間的距離d之間，

r<d<R

這一關(guān)系成立時(shí)，可以認(rèn)為微細(xì)裂紋產(chǎn)生區(qū)域RE的一部分區(qū)域與槽線TL重疊。此外，關(guān)于前者，也可以認(rèn)為是，在壓痕ID和槽線TL的間隔g、半徑r、距離d、以及半徑R之間，

g＝d-r<R-r

這一關(guān)系成立。

在如微細(xì)裂紋產(chǎn)生區(qū)域RE與槽線TL重疊的條件下形成了壓痕ID的情況下，會有一定概率產(chǎn)生延伸到重畳區(qū)域RE1的微細(xì)裂紋MC。如果那樣的微細(xì)裂紋MC到達(dá)槽線TL正下方的殘留內(nèi)部應(yīng)力的存在區(qū)域，便會以此為契機(jī)，槽線TL附近的殘留內(nèi)部應(yīng)力會釋放，并且來自槽線TL的垂直裂紋VC會進(jìn)行伸展。這是利用本實(shí)施方式的方法來伸展垂直裂紋VC的細(xì)節(jié)。在圖8中，一條微細(xì)裂紋MC會到達(dá)槽線TL的形成部位(圖中以虛線示出)，并且觀察到垂直裂紋VC從該到達(dá)部位的進(jìn)展情況。

如此，通過以微細(xì)裂紋產(chǎn)生區(qū)域RE與槽線TL重疊的方式來形成壓痕ID，能夠使垂直裂紋VC從槽線TL伸展。

此外，在圖8中，以在槽線TL的左側(cè)形成了壓痕ID的情況作為例子示出，但是壓痕ID的形成部位也可以是槽線TL的右側(cè)。

實(shí)際上在通過壓痕ID的形成以使垂直裂紋VC伸展時(shí)，只要以使與槽線TL重疊的微細(xì)裂紋MC會可靠地產(chǎn)生的方式來形成壓痕ID即可。具體而言，預(yù)先把能夠產(chǎn)生那樣的微細(xì)裂紋MC的、壓痕ID的形成位置(離槽線TL的距離)或形成壓痕ID時(shí)施加到按壓體100的負(fù)荷這些條件，根據(jù)脆性材料基板W的材質(zhì)和厚度等實(shí)驗(yàn)性地進(jìn)行設(shè)定即可。

此外，不優(yōu)選使壓痕ID與槽線TL重疊以形成壓痕ID的方式。這是由于，即使通過槽線TL的形成來在已經(jīng)被壓縮的區(qū)域中重疊地形成了壓痕ID，微細(xì)裂紋MC也沒有適當(dāng)?shù)禺a(chǎn)生。

圖9及圖10是示出，圖1所示的在形成有槽線TL的脆性材料基板W上，通過形成壓痕ID來使垂直裂紋VC伸展的情況的、脆性材料基板W的俯視圖。

如圖9中以箭頭AR4所示地，當(dāng)在x軸方向上排列的各個槽線TL的下游側(cè)附近依次形成壓痕ID時(shí)，如箭頭AR5所示地在各個槽線TL中依次地、垂直裂紋VC向著其計(jì)劃伸展方向的槽線TL的上游伸展。最終，如圖10所示，在全部分割位置上，垂直裂紋VC會從槽線TL伸展。換言之，以壓痕ID的形成作為契機(jī)(從壓痕ID延伸的微細(xì)裂紋MC變?yōu)橛|發(fā)點(diǎn))，在到此之前雖形成有槽線TL但無裂紋狀態(tài)的脆性材料基板W的各個分割位置上，會形成從槽線TL延伸的垂直裂紋VC。

此外，垂直裂紋VC的計(jì)劃伸展方向會向著如上所述的上游方向，是由于其具有在利用具備金剛石頭151的劃線工具150來形成槽線TL的情況下，在槽線TL的正下方產(chǎn)生的垂直裂紋VC會在頂面SD1側(cè)所在一側(cè)伸展的性質(zhì)。換言之，垂直裂紋VC具有向特定的一個方向伸展的性質(zhì)。以在槽線TL上的上游側(cè)配置金剛石頭的頂面SD1的方式來形成槽線TL的本實(shí)施方式中，在壓痕ID形成時(shí)，垂直裂紋VC在槽線TL的上游伸展，但難以在反方向上伸展。

因此，在圖9所示的情況下，壓痕ID會形成在槽線TL中的垂直裂紋VC的計(jì)劃伸展方向的另一側(cè)附近，即槽線TL的下游附近。

通過本實(shí)施方式的方法來使垂直裂紋VC發(fā)生了伸展的情況下，由于用于形成槽線TL的加工以及用于形成壓痕ID的加工的任一者都只會使脆性材料基板W發(fā)生塑性變形，因此在進(jìn)行各個加工時(shí)產(chǎn)生碎玻璃的可能性小。換言之，根據(jù)本實(shí)施方式的方法，能夠不產(chǎn)生碎玻璃而使垂直裂紋VC伸展。

通過以上方式在分割位置上形成垂直裂紋VC的脆性材料基板W，會被交付給未圖示的預(yù)定的斷開裝置。在斷開裝置中，通過所謂的3點(diǎn)彎曲或者4點(diǎn)彎曲的方法，把彎矩作用于脆性材料基板W，以此進(jìn)行使垂直裂紋VC伸展至脆性材料基板W的另一個主面(下表面)SF2(參照圖2)的斷開工序。經(jīng)過該斷開工序，脆性材料基板W會在分割位置被分割。

如上所說明的那樣，根據(jù)本實(shí)施方式，在脆性材料基板的分割位置上形成槽線，并在該槽線附近局部地形成壓痕，此時(shí)，通過使從壓痕延伸的微細(xì)裂紋到達(dá)槽線形成位置的下方，便能夠在脆性材料基板的分割位置上可靠且不會產(chǎn)生碎玻璃地，使垂直裂紋VC伸展。

＜實(shí)施例＞

(實(shí)施例1)

在本實(shí)施例中，已確認(rèn)施加到按壓體100的負(fù)荷會對壓痕ID的尺寸以及微細(xì)裂紋MC的最大長度(以下稱為最大裂紋長度)造成影響。

具體而言，準(zhǔn)備厚度為0.2mm的玻璃基板作為脆性材料基板W，而作為按壓體100，使用頂端部101為圓錐狀并且其開口角度為122°、曲率半徑為10μm的金剛石頭，并且把施加到按壓體100的負(fù)荷分為1.3N、2.5N、3.8N、5.0N的4級來形成壓痕ID。

圖11是示出負(fù)荷與所形成的壓痕ID的直徑之間的關(guān)系的圖表，圖12是示出負(fù)荷與所形成的最大裂紋長度之間的關(guān)系的圖表。

從圖11及圖12可以確認(rèn)，存在有負(fù)荷越大，壓痕ID的尺寸和最大裂紋長度雙方都會越大的趨勢。

(實(shí)施例2)

在本實(shí)施例中，研究了施加到按壓體100的負(fù)荷以及壓痕ID(更詳細(xì)而言，為其中心位置)與槽線的距離對垂直裂紋VC的伸展產(chǎn)生的影響。按壓體100及脆性材料基板W的條件與實(shí)施例1相同。

具體而言，通過把施加到按壓體100的負(fù)荷分為1.3N、2.5N、3.8N、5.0N的4級，并且把壓痕中心位置和槽線的距離分為0μm、±10μm、±20μm、±30μm、±40μm的9級，確定了施加到按壓體100的負(fù)荷和壓痕中心位置與槽線的距離的組合互相不同的全部36種條件。此外，在壓痕中心位置與槽線的距離為負(fù)的情況是指，相對于槽線TL與該距離為正的情況相反一側(cè)形成壓痕的情況。然后，對預(yù)先用劃線工具150形成有寬度約10μm槽線TL的脆性材料基板W，進(jìn)行各個條件下壓痕ID的形成。

在表1中，示出對于全部36種情況，有沒有垂直裂紋VC從槽線TL的伸展。

[表1]

在表1中，垂直裂紋VC發(fā)生了伸展的條件欄中標(biāo)記“○”、沒有發(fā)生伸展的條件欄中標(biāo)記“×”。

從表1所示的結(jié)果來看，可以得知，在槽線TL的正上方形成壓痕ID的壓痕中心位置與槽線的距離為0μm的情況下，垂直裂紋VC不發(fā)生伸展，并且，如果壓痕中心位置與槽線TL的距離越大，垂直裂紋VC伸展了的負(fù)荷值越大。

鑒于該結(jié)果與實(shí)施例1所示的結(jié)果，可以認(rèn)為，通過適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行設(shè)定壓痕的形成位置以及形成壓痕時(shí)施加于按壓體的負(fù)荷，能夠在槽線TL的形成之后接著形成壓痕，來使垂直裂紋VC從槽線TL可靠地伸展。

＜變形例＞

在上述實(shí)施方式中，以按壓體100的頂端部101為圓錐狀的情況作為對象來進(jìn)行說明，但為了使垂直裂紋伸展的壓痕形成所用到的按壓體100的頂端部101的形狀并不限定于此。圖13是示出在利用頂端部101為四角錐狀的按壓體100來形成壓痕，并在槽線TL的正下方使垂直裂紋伸展的情況下的光學(xué)顯微鏡像。圖13所示的結(jié)果表明了，通過以按壓體100的頂端部101的形狀所對應(yīng)的條件來形成壓痕，能夠使垂直裂紋伸展。

進(jìn)一步地，只要能夠隨著壓痕的形成來形成垂直裂紋，頂端部101的形狀可以不是錐狀，例如也可以是柱狀。

另外，在上述的實(shí)施方式中，利用劃線工具150來進(jìn)行的槽線TL的形成，是在使柄152的軸方向AX2向著移動方向DA前方傾斜的狀態(tài)，就是說在使頂面SD1朝向移動方向DA后方的姿勢下，通過滑動金剛石頭151來進(jìn)行的，但也可以代替性地，也可以在使柄152的軸方向AX2向著移動方向DA后方傾斜的狀態(tài)下，就是說在使頂面SD1朝向移動方向DA前方的姿勢下，通過滑動金剛石頭151，來形成槽線TL。

或者另外，在上述的實(shí)施方式中，對槽線TL的形成使用了金剛石頭151，但也可以代替性地采用，利用圓盤狀(算盤珠狀)并且沿著其外周具備同樣的刀尖的公知的劃線輪，在分割位置上按壓滾動，來形成槽線TL的方式。

但是，在采用這些方式的情況下，與上述的實(shí)施方式不同，垂直裂紋的計(jì)劃伸展方向?yàn)椴劬€TL的下游。因此，在這些方式中，通過在槽線TL的上游附近形成壓痕ID，能夠使垂直裂紋VC伸展。