本發(fā)明涉及對(duì)由玻璃、陶瓷、半導(dǎo)體晶片等脆性材料構(gòu)成的基板進(jìn)行分割的切斷裝置。本發(fā)明特別涉及切斷裝置的切斷條，所述切斷裝置通過(guò)對(duì)在先前工序中形成了刻劃線(切槽)的基板從該刻劃線的相反側(cè)的面按壓來(lái)使基板彎曲，從而沿著刻劃線分割基板。

背景技術(shù)：

現(xiàn)有技術(shù)中已知如下例如在專利文獻(xiàn)1、專利文獻(xiàn)2中公開(kāi)的方法：使用刀輪(也稱為刻劃輪)、激光束等在脆性材料基板(以下，簡(jiǎn)稱為“基板”)的表面形成相互正交的X方向及Y方向的刻劃線，之后沿該刻劃線施加外力來(lái)進(jìn)行切斷，由此將基板分割為單元基板。

圖5是概略地示出使用了切斷條的現(xiàn)有技術(shù)的一般的切斷裝置的立體圖。

切斷裝置21具有載置并保持成為加工對(duì)象的基板W的水平的工作臺(tái)22。工作臺(tái)22能夠在水平面內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)，并且能夠在Y方向上移動(dòng)。在工作臺(tái)22的上方設(shè)置有在X方向上水平地延伸的橫梁(橫向框架)23，在該橫梁23安裝有與該橫梁23平行(X方向)地延伸的板狀的切斷條24，該切斷條24能夠經(jīng)由汽缸25所驅(qū)動(dòng)的升降軸27而進(jìn)行升降。

當(dāng)用該切斷裝置21切斷基板W時(shí)，首先使刻劃線S1、S2的任一者例如刻劃線S1沿著X方向，夾著由彈性材料構(gòu)成的緩沖板26將基板W載置于工作臺(tái)22上。此時(shí)，以刻劃線S1位于下表面?zhèn)鹊姆绞捷d置基板W。然后，使切斷條24從基板W的上方的待機(jī)位置朝向刻劃線S1下降，用其下端的按壓刃24a按壓基板W，使其在緩沖板26上稍微彎曲為V字形，由此使刻劃線S1的裂紋伸展而切斷基板W。此外，全部的刻劃線S1的切斷結(jié)束后，使工作臺(tái)22進(jìn)行90度旋轉(zhuǎn)，與上述同樣地用切斷條24依次切斷刻劃線S2。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)2014-080336號(hào)公報(bào)；

專利文獻(xiàn)2：日本特開(kāi)2002-187098號(hào)公報(bào)。

發(fā)明要解決的課題

通常，在利用切斷條進(jìn)行的分割中，當(dāng)切斷條對(duì)基板的壓入量大時(shí)基板的彎曲變大，有時(shí)會(huì)由于分割側(cè)端面彼此的接觸等而在分割端面產(chǎn)生破損或者龜裂向未預(yù)期的方向延伸。此外，相反地當(dāng)壓入量小時(shí)，會(huì)出現(xiàn)由于彎曲不足而產(chǎn)生未被分割的部分等故障，因此需要確保切斷條的適當(dāng)?shù)膲喝肓?。進(jìn)而，還需要使切斷條的按壓刃的頂端棱線相對(duì)于基板平行地對(duì)峙，并且遍及刻劃線全長(zhǎng)均勻地施加按壓力。

但是，由于現(xiàn)有技術(shù)的切斷條是由一根長(zhǎng)尺寸材料形成的，所以有時(shí)因?yàn)榍袛鄺l主體、包含其安裝部、工作臺(tái)、其驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的各構(gòu)件的微小的誤差，導(dǎo)致按壓刃的頂端棱線與基板表面的平行度微妙地偏差。特別是在對(duì)大型的基板進(jìn)行切斷時(shí)，由于切斷條的尺寸進(jìn)一步變長(zhǎng)，所以伴隨于此平行度的偏差也會(huì)變大。

當(dāng)平行度產(chǎn)生偏差時(shí)，無(wú)法遍及刻劃線全長(zhǎng)用適當(dāng)?shù)陌磯毫鶆虻匕磯?，無(wú)法完美地切斷。于是，現(xiàn)有技術(shù)中如圖6所示將薄的墊板(墊片)28插入到基板W的低的部分的下側(cè)而調(diào)整平行度，但是該作業(yè)非常麻煩并且耗時(shí)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

因此，鑒于上述的現(xiàn)有技術(shù)課題，本發(fā)明目的在于提供一種切斷裝置，所述切斷裝置具有不使用墊板等就能夠簡(jiǎn)單地調(diào)整按壓刃的頂端棱線與基板表面的平行度的切斷條。

用于解決課題的方案

為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明采用了如下技術(shù)手段。即，在本發(fā)明的切斷裝置中采用如下結(jié)構(gòu)：一種切斷裝置，將形成有刻劃線的脆性材料基板 沿著所述刻劃線切斷，所述切斷裝置包括：工作臺(tái)，具有載置所述脆性材料基板的載置面；以及切斷條，配置在所述工作臺(tái)的上方，所述切斷條由排列為直線狀的多個(gè)按壓板構(gòu)成，在相鄰的各按壓板之間設(shè)置有間隙。

在上述發(fā)明中可以采用如下結(jié)構(gòu)：各所述按壓板具有用于調(diào)整所述按壓板相對(duì)于所述脆性材料基板的表面的平行度的平行度調(diào)整機(jī)構(gòu)。

發(fā)明效果

根據(jù)本發(fā)明，不使用現(xiàn)有技術(shù)的墊板，通過(guò)對(duì)各按壓?jiǎn)卧陌磯喊宓纳舷挛恢谩⑥D(zhuǎn)動(dòng)姿態(tài)進(jìn)行調(diào)整，就能夠準(zhǔn)確且容易地修正按壓刃相對(duì)于基板表面的平行度，能夠高精度地切斷基板。此外，由于使用由多個(gè)按壓?jiǎn)卧獦?gòu)成的集合體來(lái)構(gòu)成切斷條，所以具有通過(guò)配合基板的尺寸來(lái)增減按壓?jiǎn)卧臄?shù)量，從而總能夠形成有效的最適合的長(zhǎng)度的切斷條的效果。

在本發(fā)明中可以采用如下結(jié)構(gòu)：所述平行度調(diào)整機(jī)構(gòu)由樞軸和固定螺釘形成，所述樞軸以相對(duì)于所述支承板轉(zhuǎn)動(dòng)自由的方式對(duì)所述按壓板進(jìn)行樞軸支承，所述固定螺釘對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)進(jìn)行鎖定。

由此，能夠簡(jiǎn)潔地形成并且能夠容易地進(jìn)行調(diào)整操作。

附圖說(shuō)明

圖1是示出本發(fā)明的切斷裝置的概略的整體結(jié)構(gòu)的立體圖。

圖2是圖1中的切斷條的放大立體圖。

圖3是示出圖1中的切斷條的按壓?jiǎn)卧糠值姆糯笳晥D。

圖4是圖3中的B-B線剖視圖。

圖5是示出使用了現(xiàn)有技術(shù)的切斷條的切斷裝置的概略結(jié)構(gòu)的立體圖。

圖6是示出現(xiàn)有技術(shù)的切斷條與基板表面的平行度的調(diào)整機(jī)構(gòu)的說(shuō)明圖。

具體實(shí)施方式

以下，基于實(shí)施附圖對(duì)本發(fā)明的切斷裝置的細(xì)節(jié)進(jìn)行說(shuō)明。圖1是示 出本發(fā)明的切斷裝置的概略的整體結(jié)構(gòu)的立體圖，圖2～4是示出圖1所示的切斷條的細(xì)節(jié)的圖。

如圖1所示，本發(fā)明的切斷裝置A形成為具有工作臺(tái)1，所述工作臺(tái)1具有用于載置基板W的載置面1a，在工作臺(tái)1的表面設(shè)置有許多吸氣孔(未圖示)，利用該吸氣孔進(jìn)行吸氣由此對(duì)基板W進(jìn)行吸附保持。

此外，工作臺(tái)1能夠利用通過(guò)電機(jī)3而旋轉(zhuǎn)的螺絲軸4沿著水平的軌道2在Y方向上移動(dòng)。進(jìn)而，工作臺(tái)1能夠通過(guò)內(nèi)置有電機(jī)的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部5而在水平面內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)。

由夾著工作臺(tái)1設(shè)置的兩側(cè)的支承柱6、6和架橋于該支承柱6、6且在X方向上延伸的橫梁(beam)7形成門型的支承體。而且，在橫梁7保持有在橫梁7的延伸方向(X方向)上延伸的切斷條10。在本實(shí)施例中，切斷條10形成為能夠從基板W上方的待機(jī)位置經(jīng)由升降軸8和汽缸9相對(duì)于基板W進(jìn)行升降。

如圖2～4所示，切斷條10由支承構(gòu)件11和被該支承構(gòu)件11支承的多個(gè)(在本實(shí)施例中為5個(gè))按壓?jiǎn)卧?2構(gòu)成，所述支承構(gòu)件11以經(jīng)由升降軸8能夠升降的方式被保持在切斷裝置A的橫梁7。此外，按壓?jiǎn)卧?2由支承板13和安裝在該支承板13的下端的按壓板14構(gòu)成，所述支撐板13安裝成能夠相對(duì)于支承構(gòu)件11調(diào)整上下位置。

支承板13安裝成能夠沿著形成在支承構(gòu)件11并上下延伸的燕尾槽11a向上下方向移動(dòng)，通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)用于調(diào)整上下的螺栓15從而能夠調(diào)整上下位置。

按壓板14在其下端具有沿著橫梁7的延伸方向直線狀地延伸的按壓刃14a，并且以各按壓板14的側(cè)端面彼此相鄰的方式配置在一條直線上。

進(jìn)而，按壓板14以能夠相對(duì)于基板W的表面調(diào)整按壓刃14a的平行度的方式經(jīng)由平行度調(diào)整機(jī)構(gòu)16安裝在支承板13。在本實(shí)施例中，平行度調(diào)整機(jī)構(gòu)16由樞軸16a和固定螺釘16b形成，所述樞軸16a以相對(duì)于支承板13轉(zhuǎn)動(dòng)自由的方式對(duì)按壓板14進(jìn)行樞軸支承，所述固定螺釘16b對(duì)轉(zhuǎn)動(dòng)進(jìn)行鎖定。此外，固定螺釘16b經(jīng)由設(shè)置在按壓板14的將樞軸16a作為中心的圓弧狀的長(zhǎng)孔16c而螺合于支承板13。

另外，在相鄰的按壓板14、14的側(cè)端面彼此之間，預(yù)先設(shè)置有允許調(diào)整平行度的0.3～1mm左右的間隙L。

如上述那樣構(gòu)成的切斷條10通過(guò)以下的方法從而能夠簡(jiǎn)單地進(jìn)行各按壓刃14a相對(duì)于基板W表面的平行度的修正。

首先，在基板W的切斷操作之前，松開(kāi)固定螺釘16b而使按壓板14處于轉(zhuǎn)動(dòng)自由的狀態(tài)，之后轉(zhuǎn)動(dòng)用于調(diào)整上下的螺栓15，使全部的按壓板14從上方的待機(jī)位置下降至與基板W的表面抵接的位置。在按壓板14的按壓刃14a變成沿著基板W表面的平行姿態(tài)的狀態(tài)下擰緊固定螺釘16b而固定按壓板14的姿態(tài)。然后，轉(zhuǎn)動(dòng)用于調(diào)整上下的螺栓15而使按壓板14返回到原來(lái)的待機(jī)位置。由此，能夠簡(jiǎn)單地修正全部的按壓刃14a的相對(duì)于基板W表面的平行度。

根據(jù)上述那樣的本發(fā)明，不使用現(xiàn)有技術(shù)那樣的墊板28，通過(guò)對(duì)各按壓?jiǎn)卧?2的按壓板14的上下位置、轉(zhuǎn)動(dòng)姿態(tài)進(jìn)行調(diào)整，就能夠準(zhǔn)確且容易地修正按壓刃14a相對(duì)于基板W表面的平行度，能夠高精度地切斷基板W。此外，由于切斷條10采用由多個(gè)按壓?jiǎn)卧?2構(gòu)成的集合體的結(jié)構(gòu)，所以通過(guò)配合基板W的尺寸來(lái)增減按壓?jiǎn)卧?2的數(shù)量，從而總能夠形成有效的最適合的長(zhǎng)度的切斷條10。

以上對(duì)本發(fā)明的代表性的實(shí)施例進(jìn)行了說(shuō)明，但是本發(fā)明并不限定于上述的實(shí)施方式。例如雖然在上述的實(shí)施例中示出了通過(guò)將切斷條10從上方的待機(jī)位置朝向基板W壓下來(lái)使基板W彎曲從而沿著刻劃線進(jìn)行切斷的例子，但是，代替于此，也能夠使切斷條10在與基板W的表面接觸的位置靜止，在該狀態(tài)下使錘落下到切斷條10，通過(guò)其沖擊而使基板W沿著刻劃線切斷。除此之外，本發(fā)明能夠在達(dá)成本發(fā)明的目的、不脫離權(quán)利要求書的范圍內(nèi)進(jìn)行適當(dāng)修正、變更。

工業(yè)上的可利用性

本發(fā)明可利用于沿著在基板上形成的刻劃線來(lái)分割基板的切斷裝置。

附圖標(biāo)記說(shuō)明

A：切斷裝置；

W：基板；

1：工作臺(tái)；

1a：載置面；

7：橫梁；

8：升降軸；

10：切斷條；

11：支承構(gòu)件；

12：按壓?jiǎn)卧?

13：支承板；

14：按壓板；

14a：按壓刃；

15：用于調(diào)整上下的螺栓；

16：平行度調(diào)整機(jī)構(gòu)；

16a：樞軸；

16b：固定螺釘。