一種玻璃晶圓腐蝕治具的制作方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種玻璃晶圓腐蝕治具，包括正方形底板、正方形頂板、左側(cè)板、右側(cè)板和后側(cè)板，正方形底板和正方形頂板結(jié)構(gòu)相同中心均設(shè)有圓形通孔，正方形頂板的上表面設(shè)有把手；左側(cè)板和右側(cè)板的寬度相同，為正方形底板邊長的1/3-1/2；后側(cè)板的寬度為正方形底板邊長的1/4-1/3；左側(cè)板、右側(cè)板和后側(cè)板的厚度相同為H1，正方形底板和正方形頂板厚度相同為H2，2≤H1:H2≤5；所述左側(cè)板、右側(cè)板和后側(cè)板的內(nèi)側(cè)均勻設(shè)有多個橫向貫穿的卡槽。本實用新型造價低，使用效果優(yōu)于進口治具，可同時腐蝕多個產(chǎn)品，腐蝕液對流效果好，腐蝕速度快，質(zhì)量高，降低了生產(chǎn)成本。
【專利說明】一種玻璃晶圓腐蝕治具

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本實用新型具體涉及一種用于玻璃晶圓的腐蝕治具。

【背景技術(shù)】
[0002]光學玻璃晶圓主要應用在精密的電子、數(shù)碼產(chǎn)品、儀器儀表及光學元件等領(lǐng)域，對晶圓的表面要求有極高的平面度、平行度、粗糙度以及打孔的精準度。
[0003]在玻璃晶圓的制造過程中，腐蝕工藝也是其中重要的一環(huán)。在腐蝕工藝中，需要對玻璃表面進行腐蝕或者對玻璃側(cè)邊面進行腐蝕。當對玻璃側(cè)邊面進行腐蝕時，玻璃在腐蝕槽中如何放置對腐蝕結(jié)果便起到了關(guān)鍵的作用。因此，玻璃腐蝕用治具的制造更顯尤為重要。
[0004]目前，公司從國外進口的治具成本較高，而且每臺治具一次只能放置一個產(chǎn)品，代價太高，而且該治具不夠通透，腐蝕液流通不暢，腐蝕效果并不理想。
實用新型內(nèi)容
[0005]為解決上述技術(shù)問題，本實用新型提出了一種玻璃晶圓腐蝕治具，該治具可同時腐蝕多枚產(chǎn)品、提高腐蝕速度和產(chǎn)品質(zhì)量。
[0006]為達到上述目的，本實用新型的技術(shù)方案如下:
[0007]一種玻璃晶圓腐蝕治具，包括正方形底板、正方形頂板、左側(cè)板、右側(cè)板和后側(cè)板，所述正方形底板和所述正方形頂板結(jié)構(gòu)相同，中心均設(shè)有圓形通孔，所述正方形底板的邊緣與其上的圓形通孔邊緣距離為2-5cm ;所述正方形頂板的上表面設(shè)有把手；所述左側(cè)板和右側(cè)板的寬度相同，均為正方形底板邊長的1/3-1/2 ;所述后側(cè)板的寬度為正方形底板邊長的1/4-1/3 ;所述左側(cè)板、右側(cè)板和后側(cè)板的厚度相同為H1，所述正方形底板和正方形頂板厚度相同為H2，2 < H1:H2 ( 5 ;所述左側(cè)板、右側(cè)板和后側(cè)板的內(nèi)側(cè)均勻設(shè)有多個橫向貫穿的卡槽，所述卡槽與所述正方形底板平行，所述卡槽的截面為矩形，其高度為3-10mmo
[0008]優(yōu)選的，所述左側(cè)板設(shè)置于正方形底板的左邊緣前部，所述左側(cè)板、所述正方形底板和所述正方形頂板的邊緣平齊，所述右側(cè)板對稱設(shè)置于另一側(cè)；所述后側(cè)板設(shè)于所述正方形底板后邊緣的中心。
[0009]優(yōu)選的，H1:H2 = 3。
[0010]優(yōu)選的,所述卡槽的高度為8mm。
[0011]優(yōu)選的，所述治具的材質(zhì)為聚四氟乙烯。
[0012]優(yōu)選的，所述腐蝕治具的前部設(shè)有可防止產(chǎn)品從卡槽中滑出的防滑部件。
[0013]本實用新型造價低，而且使用效果優(yōu)于進口產(chǎn)品。
[0014]本實用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比的優(yōu)勢在于:
[0015]由原有的單枚產(chǎn)品腐蝕，變?yōu)槎嗝懂a(chǎn)品同時腐蝕，顯著提高產(chǎn)量，降低了生產(chǎn)成本。
[0016]同時，本腐蝕治具的結(jié)構(gòu)盡量的簡化，底板和頂板上設(shè)有的圓形通孔，使腐蝕液對流加快；左側(cè)板、右側(cè)板和后側(cè)板的寬度在保證治具穩(wěn)定性的同時盡量降低其寬度，增大了腐蝕液對流的程度，提高了腐蝕效果，加快了腐蝕速度。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0017]為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹。
[0018]圖1為本實用新型實施例1所公開的一種玻璃晶圓腐蝕治具的立體結(jié)構(gòu)示意圖。
[0019]1.正方形底板2.正方形頂板3.左側(cè)板4.右側(cè)板5.后側(cè)板6.圓形通孔7.把手8.卡槽

【具體實施方式】
[0020]下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述。
[0021]實施例1.
[0022]如圖1所示，一種玻璃晶圓腐蝕治具，包括正方形底板1、正方形頂板2、左側(cè)板3、右側(cè)板4和后側(cè)板5，正方形底板和正方形頂板結(jié)構(gòu)相同，中心均設(shè)有大的圓形通孔6，正方形底板的邊緣與其上的圓形通孔6邊緣距離為3cm(也可為2-5cm的其它數(shù)值)，這個寬度是為了方便鑲嵌后側(cè)板和治具整體的穩(wěn)定性；
[0023]為了防止腐蝕液沾到手上，正方形頂板的上表面設(shè)有把手7，便于拿取治具；
[0024]左側(cè)板3和右側(cè)板4的寬度相同，結(jié)構(gòu)也相同，對稱設(shè)置，均為正方形底板邊長的1/3(還可以為1/3-1/2);后側(cè)板的寬度為正方形底板邊長的1/4(也可為1/4-1/3);這兩個寬度的限制是為了在保證治具穩(wěn)定性的同時盡量給腐蝕液的對流留有充足的空間，提高腐蝕液流動性，提高腐蝕效果和腐蝕速度；
[0025]左側(cè)板、右側(cè)板和后側(cè)板的厚度相同均為H1，正方形底板和正方形頂板厚度相同為H2，H1:H2 = 3(有效區(qū)間為2 < H1:H2 < 5) ；H1大于H2是為了方便設(shè)置卡槽，提高承載多個產(chǎn)品時的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定度；
[0026]左側(cè)板、右側(cè)板和后側(cè)板的內(nèi)側(cè)均勻設(shè)有多個橫向貫穿的卡槽8，卡槽與正方形底板平行，卡槽的截面為矩形，卡槽的高度為8mm(也可為3-10mm之間的其它數(shù)字,如5、6mm
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[0027]左側(cè)板設(shè)置于正方形底板的左邊緣前部，所述左側(cè)板、所述正方形底板和所述正方形頂板的邊緣平齊，所述右側(cè)板對稱設(shè)置于另一側(cè)；所述后側(cè)板設(shè)于所述正方形底板后邊緣的中心。
[0028]所述治具的材質(zhì)為耐腐蝕的聚四氟乙烯。
[0029]腐蝕治具的前部設(shè)有可防止產(chǎn)品從卡槽中滑出的防滑部件，可以為卡設(shè)在頂板和底板上的擋桿或類似部件。
[0030]本實用新型的造價低，而且使用效果優(yōu)于高價購買的國外產(chǎn)品。
[0031]本實用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比的優(yōu)勢在于:
[0032]由原有的單枚產(chǎn)品腐蝕，變?yōu)槎嗝懂a(chǎn)品同時腐蝕，顯著提高產(chǎn)量，降低了生產(chǎn)成本。
[0033]同時，本腐蝕治具的結(jié)構(gòu)盡量的簡化，底板和頂板上設(shè)有的圓形通孔，使腐蝕液對流加快；左側(cè)板、右側(cè)板和后側(cè)板的寬度在保證治具穩(wěn)定性的同時盡量降低其寬度，增大了腐蝕液對流的程度，提高了腐蝕效果，加快了腐蝕速度。
[0034]對所公開的實施例的上述說明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本實用新型。對這些實施例的多種修改對本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來說將是顯而易見的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本實用新型的精神或范圍的情況下，在其它實施例中實現(xiàn)。因此，本實用新型將不會被限制于本文所示的這些實施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點相一致的最寬的范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種玻璃晶圓腐蝕治具，其特征在于，包括正方形底板、正方形頂板、左側(cè)板、右側(cè)板和后側(cè)板，所述正方形底板和所述正方形頂板結(jié)構(gòu)相同，中心均設(shè)有圓形通孔，所述正方形底板的邊緣與其上的圓形通孔邊緣距離為2-5cm ;所述正方形頂板的上表面設(shè)有把手；所述左側(cè)板和右側(cè)板的寬度相同，均為正方形底板邊長的1/3-1/2 ;所述后側(cè)板的寬度為正方形底板邊長的1/4-1/3 ;所述左側(cè)板、右側(cè)板和后側(cè)板的厚度相同為H1，所述正方形底板和正方形頂板厚度相同為H2，2 < H1:H2 ( 5 ;所述左側(cè)板、右側(cè)板和后側(cè)板的內(nèi)側(cè)均勻設(shè)有多個橫向貫穿的卡槽，所述卡槽與所述正方形底板平行，所述卡槽的截面為矩形，其高度為 3~1Ommn
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種玻璃晶圓腐蝕治具，其特征在于，所述左側(cè)板設(shè)置于正方形底板的左邊緣前部，所述左側(cè)板、所述正方形底板和所述正方形頂板的邊緣平齊，所述右側(cè)板對稱設(shè)置于另一側(cè)；所述后側(cè)板設(shè)于所述正方形底板后邊緣的中心。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種玻璃晶圓腐蝕治具，其特征在于，H1:H2= 3。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種玻璃晶圓腐蝕治具，其特征在于，所述卡槽的高度為8mm ο
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種玻璃晶圓腐蝕治具，其特征在于，所述治具的材質(zhì)為聚四氟乙烯。
6.根據(jù)權(quán)利要求4或5所述的一種玻璃晶圓腐蝕治具，其特征在于，所述腐蝕治具的前部設(shè)有可防止產(chǎn)品從卡槽中滑出的防滑部件。
【文檔編號】C03C15/00GK204097334SQ201420490953
【公開日】2015年1月14日 申請日期:2014年8月29日 優(yōu)先權(quán)日:2014年8月29日
【發(fā)明者】平尾誠 申請人:泰庫尼思科電子（蘇州）有限公司