光纖用玻璃母材的燒結(jié)裝置及燒結(jié)方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種光纖用玻璃母材的燒結(jié)裝置，在該光纖用玻璃母材的燒結(jié)裝置中，抑制裝置成本、運行成本并防止氛圍氣體的泄漏，并且，防止外部氣體向爐心管內(nèi)的侵入，抑制光纖母材的特性劣化，而且還降低由腐蝕性氛圍氣體導(dǎo)致的裝置劣化。在將光纖用玻璃母材懸掛支承在旋轉(zhuǎn)軸上且將該光纖用玻璃母材收納到爐心管的內(nèi)部、在氛圍氣體中進(jìn)行加熱處理的燒結(jié)裝置中，具有：設(shè)置在爐心管的上端且穿插有旋轉(zhuǎn)軸的第一氣密件；設(shè)置在第一氣密件的上部且覆蓋旋轉(zhuǎn)軸的緩沖室；設(shè)置在緩沖室的上端且穿插有旋轉(zhuǎn)軸的第二氣密件；和將從爐心管排出的氛圍氣體導(dǎo)入緩沖室的機構(gòu)。
【專利說明】光纖用玻璃母材的燒結(jié)裝置及燒結(jié)方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及在光纖用玻璃母材的燒結(jié)裝置中防止?fàn)t心管內(nèi)氣體的泄漏、且防止外部氣體向爐心管內(nèi)的侵入、并且延長爐心管的使用壽命、降低成本的方法。

【背景技術(shù)】
[0002]作為光纖用玻璃母材的制造方法，具有被稱作VAD法和OVD法的方法。在這些方法中，首先在火炎中對玻璃原料進(jìn)行燃燒、生成玻璃微粒，使玻璃微粒附著在旋轉(zhuǎn)的靶棒的軸向或徑向上來制造多孔質(zhì)玻璃母材。
[0003]這樣制成的多孔質(zhì)玻璃母材，在以氦為主成分且根據(jù)需要添加有氯等脫水氣體(用于降低玻璃中的OH基)或氧(用于減少玻璃中的結(jié)合缺陷)的氛圍氣中，加熱至1400~1600°C。使用氦的理由在于，導(dǎo)熱系數(shù)高，且向玻璃的溶解度高，所以不容易在玻璃中殘留氣泡。也具有在透明玻璃化之前、在1000~1250°C下進(jìn)行脫水處理的情況。多孔質(zhì)玻璃母材被加熱至1400~1600°C而成為透明的玻璃母材。
[0004]多孔質(zhì)玻璃母材的加熱在被稱作燒結(jié)爐的裝置中，在被稱作爐心管的石英玻璃制的容器內(nèi)進(jìn)行，在爐心管中央部的周圍配置有加熱爐。在爐心管的上端部貫穿有用于懸掛多孔質(zhì)玻璃母材的旋轉(zhuǎn)軸。多孔質(zhì)玻璃母材一邊旋轉(zhuǎn)一邊上升或下降而通過加熱區(qū)域，由此，從端部被依次進(jìn)行加熱處理。
[0005]在爐心管的中央部對玻璃母材進(jìn)行加熱，另一方面，由于在玻璃母材的上部或下部存在空間，所以容易在爐心管的內(nèi)部產(chǎn)生對流，導(dǎo)致爐心管的內(nèi)壓發(fā)生變動。
[0006]由于旋轉(zhuǎn)軸一邊旋轉(zhuǎn)及上下移動一邊從爐心管上端的貫穿部分通過，所以難以實現(xiàn)完全氣密，在爐心管的內(nèi)壓為負(fù)壓的情況下，會從貫穿部分向爐心管內(nèi)吸入外部氣體。當(dāng)在爐心管內(nèi)吸入有外部氣體時，由于引入外部氣體中的水蒸氣，所以玻璃中的OH基濃度增大而導(dǎo)致光纖的傳輸特性惡化，除此以外，由于引入分子量比氦氣大的氮氣，所以容易在玻璃中殘留氣泡，產(chǎn)品的成品率會降低。
[0007]相反在爐心管的內(nèi)壓為正壓的情況下，作為爐心管內(nèi)的氛圍氣體成分的氯會被釋放到外部氣體中。氯是具有毒性及腐蝕性的氣體，在作業(yè)環(huán)境方面不理想，另外使裝置生銹而縮短了使用壽命，裝置的銹成為塵源、使產(chǎn)品的特性及成品率惡化。
[0008]另外，在爐心管的平均內(nèi)壓偏離加熱爐內(nèi)的壓力的情況下，石英玻璃制的爐心管由于壓力差而壓壞或膨脹。在爐心管被壓壞的情況下，能夠進(jìn)行處理的多孔質(zhì)玻璃母材的外徑受到限制。另外，在爐心管膨脹而貼在加熱爐上的情況下，爐心管的使用壽命縮短。
[0009]為了解決這些問題，在專利文獻(xiàn)I中，在上蓋部分具有被稱作壓力調(diào)整氣體導(dǎo)入部、排氣室及密封室的三個腔室，根據(jù)爐心管內(nèi)的壓力變動來控制所供給的氛圍氣體的流量，根據(jù)排氣室的壓力變動來控制作為壓力調(diào)整氣體被供給的氦的流量，并向密封室供給氮作為密封氣體。
[0010]專利文獻(xiàn)1:日本特許4737031號


【發(fā)明內(nèi)容】

[0011]根據(jù)專利文獻(xiàn)I的方法，雖然能夠抑制爐心管內(nèi)的壓力變動并防止?fàn)t心管內(nèi)氣體向大氣的釋放以及外部氣體向爐心管內(nèi)的混入，但在該方法中必須始終一邊監(jiān)視基于壓力計測定的爐心管內(nèi)壓及排氣室內(nèi)壓一邊控制氣體流量。因此，存在裝置成本升高的問題，并且存在由于使用高價的氦來作為壓力調(diào)整氣體而導(dǎo)致運行成本升高的問題。而且，由于爐心管內(nèi)為用作脫水氣體的氯等的腐蝕性氛圍氣，所以在需要常時監(jiān)視壓力的該方法中，還存在壓力計的使用壽命短的缺點。
[0012]除此以外，還存在為了抑制壓力變動而使所導(dǎo)入的氛圍氣體的流量及排氣流量均增加的方法，但該情況下也存在必須大量地使用高價的氦、運行成本升高的問題。
[0013]為了解決上述課題，本申請發(fā)明的燒結(jié)裝置的特征在于，在將光纖用玻璃母材懸掛支承在旋轉(zhuǎn)軸上且將該光纖用玻璃母材收納到爐心管的內(nèi)部、在氛圍氣體中進(jìn)行加熱處理的燒結(jié)裝置中，具有:設(shè)置在爐心管的上端且穿插有旋轉(zhuǎn)軸的第一氣密件；設(shè)置在第一氣密件的上部且覆蓋旋轉(zhuǎn)軸的緩沖室；設(shè)置在緩沖室的上端且穿插有旋轉(zhuǎn)軸的第二氣密件；和將從爐心管排出的氛圍氣體導(dǎo)入緩沖室的機構(gòu)。
[0014]通過第一氣密件緩解了爐心管內(nèi)的內(nèi)壓變動向緩沖室的傳遞，在此基礎(chǔ)上，防止在爐心管內(nèi)壓成為負(fù)壓的情況下外部氣體成分經(jīng)由第一氣密件混入到爐心管內(nèi)。
[0015]通過將從爐心管排出的氛圍氣體導(dǎo)入緩沖室，緩沖室內(nèi)的氣體成分接近爐心管內(nèi)的氛圍氣體，能夠減少在爐心管內(nèi)壓成為負(fù)壓的情況下經(jīng)由第一氣密件混入到爐心管內(nèi)的外部氣體成分。
[0016]通過第二氣密件 ，抑制了導(dǎo)入到緩沖室內(nèi)的爐心管內(nèi)氛圍氣體的成分向外部的泄漏。
[0017]優(yōu)選從上述爐心管經(jīng)由氛圍氣體排氣泵將上述氛圍氣體排出而導(dǎo)入到上述緩沖室中。由此，從爐心管排出的氛圍氣體被高效地導(dǎo)入緩沖室內(nèi)。另外，通過調(diào)整排氣泵的輸出或與排氣泵一并設(shè)置的閥來調(diào)整氛圍氣體從爐心管的排出流量，由此能夠調(diào)整爐心管的內(nèi)壓。
[0018]優(yōu)選在上述第二氣密件的上部以覆蓋上述旋轉(zhuǎn)軸的形式設(shè)有外部氣體室而導(dǎo)入外部氣體，由此，大幅降低氛圍氣體向大氣的泄漏。
[0019]優(yōu)選緩沖室的內(nèi)壓與外部氣壓大致相等。在緩沖室的內(nèi)壓過高的情況下，氛圍氣體向外部氣體的泄漏增多，相反在過低的情況下，產(chǎn)生外部氣體向緩沖室的混入，成為在爐心管內(nèi)壓為負(fù)壓的情況下外部氣體經(jīng)由第一氣密件混入到爐心管內(nèi)的原因。
[0020]優(yōu)選在將上述緩沖室排氣管和主排氣管連結(jié)起來的配管中途設(shè)有外部氣體吸入口。能夠不使用復(fù)雜裝置、即可容易地使緩沖室的內(nèi)壓與外部氣壓大致相等。
[0021]上述外部氣體吸入口可以是設(shè)置在上述主排氣管與配管的連接部處的間隙，通過使與配管的連接部不是緊密連接，能夠確保導(dǎo)入除害設(shè)備等的排氣性能且還具有吸入外部氣體的性能。
[0022]也優(yōu)選在將上述緩沖室排氣管和上述外部氣體吸入口連結(jié)起來的配管中途設(shè)有緩沖氣體滯留容器。由于緩沖氣體滯留容器內(nèi)的氣體成分多為爐心管內(nèi)的氛圍氣體，所以在爐心管內(nèi)形成負(fù)壓、外部氣體逆流的情況下防止外部氣體混入到爐心管內(nèi)。
[0023]優(yōu)選在上述旋轉(zhuǎn)軸的下端附近設(shè)有使上述旋轉(zhuǎn)軸的外周與上述爐心管的內(nèi)周之間的空隙縮窄的對流防止部件。通過對流防止部件，能夠降低爐心管的內(nèi)壓變動而降低大氣向爐心管內(nèi)混入的可能性。
[0024]優(yōu)選上述第一氣密件及上述第二氣密件是氈狀片材與氣密性片材形成的層合結(jié)構(gòu)，優(yōu)選上述租狀片材使用碳租(carbon felt),氣密性片材使用氟樹脂片。由于碳租及氟樹脂片均在耐熱性及耐氯特性方面優(yōu)異，所以能夠延長部件使用壽命。
[0025]優(yōu)選調(diào)整氛圍氣體排氣泵的流量而使?fàn)t心管內(nèi)的一小時平均壓力為外部氣壓±200Pa以內(nèi)。其原因在于，若爐心管內(nèi)的平均壓力與外部氣壓偏離很大，則爐心管的高溫部分膨脹或壓壞。尤其在爐心管的高溫部分膨脹的情況下，爐心管和加熱爐接觸而成為爐心管的使用壽命縮短的原因。
[0026]根據(jù)本發(fā)明，即使在爐心管內(nèi)壓暫時成為負(fù)壓的情況下也能夠防止將外部氣體吸入到爐心管的內(nèi)部，能夠抑制光纖母材的特性劣化。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0027]圖1是本發(fā)明的光纖用玻璃母材的燒結(jié)裝置的一實施方式的概略圖。
[0028]圖2是以往的光纖用玻璃母材的燒結(jié)裝置的概略圖。
[0029]符號說明
[0030]I多孔質(zhì)玻璃母材
[0031]2爐心管
[0032]3加熱器
[0033]4絕熱材料
[0034]5水冷腔
[0035]6加熱爐
[0036]7氛圍氣體導(dǎo)入口
[0037]8壓力測定噴嘴
[0038]9升降裝置
[0039]10旋轉(zhuǎn)軸
[0040]12氛圍氣體排氣管
[0041]13氛圍氣體排氣泵
[0042]14緩沖氣體導(dǎo)入管
[0043]15緩沖室
[0044]16第一氣密件
[0045]17第二氣密件
[0046]18緩沖室排氣管
[0047]19緩沖氣體滯留容器
[0048]20主排氣管
[0049]21主排氣泵
[0050]22除害設(shè)備
[0051]23外部氣體室
[0052]24外部氣體室排氣管
[0053]25大氣吸入口
[0054]26緩沖氣體排出管末端部
[0055]27 空隙
[0056]28對流防止部件

【具體實施方式】
[0057]以下，使用附圖來說明本發(fā)明的光纖用玻璃母材的燒結(jié)裝置。圖1是本發(fā)明的光纖用玻璃母材的燒結(jié)裝置的概略圖。
[0058]多孔質(zhì)玻璃母材I被收容在石英玻璃制的爐心管2的內(nèi)部，通過由加熱器3、絕熱材料4、水冷腔5等構(gòu)成的加熱爐6進(jìn)行加熱處理。
[0059]多孔質(zhì)玻璃母材I的周圍充滿了從位于爐心管2下端的氛圍氣體導(dǎo)入口 7導(dǎo)入的氛圍氣體。氛圍氣體是由氦?氯?氧等組成的混合氣體。爐心管2內(nèi)的壓力通過與設(shè)置在爐心管2上的壓力測定噴嘴8連接的壓力計而測定。為了防止由腐蝕性的氯導(dǎo)致的劣化，壓力計可以不進(jìn)行常時測定而是進(jìn)行將測定和配管吹掃重復(fù)操作的間歇測定。
[0060]在上部設(shè)有升降裝置9及旋轉(zhuǎn)軸10，旋轉(zhuǎn)軸10從第一氣密件16通過而在爐心管2內(nèi)延伸。多孔質(zhì)玻璃母材I通過升降裝置9并經(jīng)由旋轉(zhuǎn)軸10而旋轉(zhuǎn)及下降，向加熱爐6內(nèi)的加熱區(qū)域?qū)搿?br> [0061]在爐心管2的上部設(shè)有氛圍氣體排氣管12及氛圍氣體排氣泵13，由此將爐心管2內(nèi)的氛圍氣體排出到爐心管2外。來自氛圍氣體排氣泵13的排氣經(jīng)由緩沖氣體導(dǎo)入管14而向在第一氣密件16的上部以覆蓋旋轉(zhuǎn)軸的形式設(shè)置的緩沖室15導(dǎo)入。在緩沖室15的上部具有旋轉(zhuǎn)軸所貫穿的第二氣密件17。緩沖室15通過第一氣密件16、第二氣密件17而寬松地分隔出上下空間。
[0062]被導(dǎo)入到緩沖室15中的氛圍氣體經(jīng)由緩沖室排氣管18及緩沖氣體滯留容器19而向主排氣管20連接。主排氣管20經(jīng)由主排氣泵21而與洗滌器等除害設(shè)備22連接，在除害設(shè)備中除去廢氣內(nèi)的有害氯等。
[0063]在第二氣密件17的上部設(shè)有外部氣體室23，外部氣體室23經(jīng)由外部氣體室排氣管24而與主排氣管20連接。在外部氣體室23上具有大氣吸入口 25，外部氣體室23的內(nèi)部通過外部氣體而常時換氣。
[0064]對于主排氣管20與從緩沖氣體滯留容器19延伸的緩沖氣體排出管26的連接部來說，具有在內(nèi)徑較大的主排氣管20中保持空隙27地插入外徑較小的緩沖氣體排出管26的構(gòu)造，該空隙27作為外部氣體吸入口而發(fā)揮作用，向主排氣管20吸入廢氣和外部氣體。
[0065]在旋轉(zhuǎn)軸10的下端附近設(shè)有對流防止部件28，某種程度地抑制在燒結(jié)處理進(jìn)行且多孔質(zhì)玻璃母材I下降而爐心管2的上部空間增大時產(chǎn)生的對流，由此減輕爐心管2的內(nèi)部成為負(fù)壓的程度。
[0066]第一氣密件16及第二氣密件17存在的意義在于將各個氣密件的上下空間分隔，但由于旋轉(zhuǎn)軸10旋轉(zhuǎn)及上下移動，所以難以實現(xiàn)完全氣密。
[0067]經(jīng)由氛圍氣體排氣管12、氛圍氣體排氣泵13及緩沖氣體導(dǎo)入管14而被排氣的氛圍氣體充滿了緩沖室15及緩沖氣體滯留容器19，并從緩沖氣體排出管的末端26被排放出。緩沖氣體排出管的末端26插入在主排氣管20的內(nèi)部且寬松地連接，因此，緩沖室15及緩沖氣體滯留容器19的內(nèi)部壓力自動保持在大氣壓附近。
[0068]在爐心管2的內(nèi)壓發(fā)生變動而成為負(fù)壓的情況下，緩沖室15內(nèi)的氣體經(jīng)由第一氣密件16而向爐心管2內(nèi)侵入,但因為充滿緩沖室15內(nèi)的氣體與爐心管2內(nèi)的氛圍氣體為相同成分，由此多孔質(zhì)玻璃母材I的特性不會受到影響。在負(fù)壓程度大及時間長的情況下，充滿緩沖室15內(nèi)部的氣體全部被吸入到爐心管2內(nèi)，但由于從具有充分容量的緩沖氣體滯留容器19供給與氛圍氣體為大致相同成分的氣體，所以在爐心管2內(nèi)不會混入外部氣體。
[0069]外部氣體室23常時排氣，相對于外部氣壓始終為負(fù)壓狀態(tài)。即使?fàn)t心管2的內(nèi)壓成為正壓且在其影響下緩沖室15內(nèi)也成為正壓而廢氣經(jīng)由第二氣密件17進(jìn)入到外部氣體室23，廢氣也會經(jīng)由外部氣體室排氣管24而迅速地排出，不會泄漏到大氣中。
[0070]謀求第一氣密件16及第二氣密件17是不抑制旋轉(zhuǎn)軸10的旋轉(zhuǎn)上下移動且盡可能保持良好的氣密性的、還可耐受高溫的含氯氛圍的材質(zhì)及構(gòu)造，為了實現(xiàn)該目的，優(yōu)選將環(huán)狀的碳?xì)旨癙TFE、PFA等氟樹脂片層合而得到的構(gòu)造。
[0071]實施例
[0072][實施例1]
[0073]使用圖1所示的燒結(jié)裝置進(jìn)行了多孔質(zhì)玻璃母材的透明玻璃化處理。導(dǎo)入氣體量為He = 10L/min,Cl2 = 2L/min,以爐心管內(nèi)壓的一小時平均值保持在外部氣壓±200Pa的范圍內(nèi)的方式調(diào)整了排氣泵的流量。爐心管內(nèi)壓的瞬間值到達(dá)了外部氣壓±1000Pa。在透明化的玻璃母材中沒有發(fā)現(xiàn)氣泡的殘留，也沒有發(fā)現(xiàn)爐心管的變形。
[0074][比較例I]
[0075]使用圖2所示的燒結(jié)裝置，將來自氛圍氣體排氣泵的廢氣直接向主排氣管連接、進(jìn)行了多孔質(zhì)玻璃母材的透明玻璃化處理。圖2中的附圖標(biāo)記與圖1共用。導(dǎo)入氣體量為He = 10L/min,Cl2 = 2L/min,以爐心管內(nèi)壓的一小時平均值保持在外部氣壓±200Pa的范圍內(nèi)的方式調(diào)整了排氣泵的流量。爐心管內(nèi)壓的瞬間值到達(dá)了外部氣壓±1000Pa。沒有發(fā)現(xiàn)爐心管的變形，但在透明化的玻璃母材中確認(rèn)到氣泡的殘留。
[0076][比較例2]
[0077]使用圖1所示的燒結(jié)裝置進(jìn)行了多孔質(zhì)玻璃母材的透明玻璃化處理。導(dǎo)入氣體量為He = 10L/min, Cl2 = 2L/min,以爐心管內(nèi)壓的一小時平均值保持在外部氣壓+200Pa~+600Pa的方式調(diào)整了排氣泵的流量。爐心管內(nèi)壓的瞬間值到達(dá)了大氣壓-600~+1400Pa。在透明化的玻璃母材中沒有發(fā)現(xiàn)氣泡的殘留，但在爐心管中發(fā)現(xiàn)膨脹。
[0078][比較例3]
[0079]使用圖1所示的燒結(jié)裝置進(jìn)行了多孔質(zhì)玻璃母材的透明玻璃化處理。導(dǎo)入氣體量為He = 10L/min, Cl2 = 2L/min,以爐心管內(nèi)壓的一小時平均值保持在大氣壓-600Pa~-200Pa的方式調(diào)整了排氣泵的流量。爐心管內(nèi)壓的瞬間值到達(dá)了大氣壓-1400~+600Pa。在透明化的玻璃母材中沒有發(fā)現(xiàn)氣泡的殘留，但在爐心管中發(fā)現(xiàn)壓壞。
[0080] 從以上說明得以明確，通過使用本實施方式的光纖用玻璃母材的燒結(jié)裝置，即使在爐心管內(nèi)的內(nèi)壓產(chǎn)生變動而爐心管內(nèi)壓暫時成為負(fù)壓的情況下，也能夠防止將外部氣體吸入到爐心管的內(nèi)部，能夠抑制光纖母材的特性劣化。
[0081]而且，通過將爐心管內(nèi)的平均壓力保持在與大氣壓相同的程度，能夠抑制爐心管的膨脹或壓壞的發(fā)生，能夠延長爐心管的使用壽命。
[0082]另外，由于不需要根據(jù)爐心管內(nèi)壓常時控制氣體流量和排氣量，所以能夠降低裝置成本和故障概率。
[0083]產(chǎn)業(yè)上的可利用性
[0084]根據(jù)本發(fā)明的光纖用玻璃母材的燒結(jié)裝置及燒結(jié)方法，即使在爐心管內(nèi)的內(nèi)壓產(chǎn)生變動而爐心管內(nèi)壓暫時成為負(fù)壓的情況下，也能夠抑制光纖母材的特性劣化。
【權(quán)利要求】
1.一種光纖用玻璃母材的燒結(jié)裝置，是將光纖用玻璃母材懸掛支承在旋轉(zhuǎn)軸上且將所述光纖用玻璃母材收納到爐心管的內(nèi)部、在氛圍氣體中進(jìn)行加熱處理的燒結(jié)裝置，其特征在于，具有: 設(shè)置在所述爐心管的上端且穿插有所述旋轉(zhuǎn)軸的第一氣密件； 設(shè)置在所述第一氣密件的上部且覆蓋所述旋轉(zhuǎn)軸的緩沖室； 設(shè)置在所述緩沖室的上端且穿插有所述旋轉(zhuǎn)軸的第二氣密件；和 將從所述爐心管排出的所述氛圍氣體導(dǎo)入所述緩沖室的機構(gòu)。
2.如權(quán)利要求1所述的光纖用玻璃母材的燒結(jié)裝置，其特征在于， 還具有將所述氛圍氣體從所述爐心管排出的氛圍氣體排氣泵， 通過所述氛圍氣體排氣泵排出的所述氛圍氣體被導(dǎo)入到所述緩沖室中。
3.如權(quán)利要求1或2所述的光纖用玻璃母材的燒結(jié)裝置，其特征在于， 在所述第二氣密件的上部還具有覆蓋所述旋轉(zhuǎn)軸的外部氣體室， 在所述外部氣體室中導(dǎo)入有外部氣體。
4.如權(quán)利要求 1至3中任一項所述的光纖用玻璃母材的燒結(jié)裝置，其特征在于， 還具有使所述緩沖室的內(nèi)壓與外部氣壓大致相等的緩沖室內(nèi)壓調(diào)整機構(gòu)。
5.如權(quán)利要求4所述的光纖用玻璃母材的燒結(jié)裝置，其特征在于， 所述緩沖室內(nèi)壓調(diào)整機構(gòu)包括: 設(shè)置在所述緩沖室上的緩沖室排氣管； 與所述緩沖室排氣管連接的主排氣管；和 設(shè)置在所述緩沖室排氣管與所述主排氣管之間的外部氣體吸入口。
6.如權(quán)利要求5所述的光纖用玻璃母材的燒結(jié)裝置，其特征在于， 在所述緩沖室排氣管與所述外部氣體吸入口之間具有緩沖氣體滯留容器。
7.如權(quán)利要求1至6中任一項所述的光纖用玻璃母材的燒結(jié)裝置，其特征在于， 在所述旋轉(zhuǎn)軸的下端附近，具有使所述旋轉(zhuǎn)軸的外周與所述爐心管的內(nèi)周之間的空隙縮窄的對流防止部件。
8.如權(quán)利要求1至7中任一項所述的光纖用玻璃母材的燒結(jié)裝置，其特征在于， 所述第一氣密件及所述第二氣密件是氈狀片材與氣密性片材形成的層合結(jié)構(gòu)。
9.如權(quán)利要求8所述的光纖用玻璃母材的燒結(jié)裝置，其特征在于， 所述氈狀片材是碳?xì)帧?br> 10.如權(quán)利要求8或9所述的光纖用玻璃母材的燒結(jié)裝置，其特征在于， 所述氣密性片材是氟樹脂片。
11.一種光纖用玻璃母材的燒結(jié)方法，是將光纖用玻璃母材懸掛支承在旋轉(zhuǎn)軸上且將其收納在爐心管的內(nèi)部、在氛圍氣體中進(jìn)行加熱處理的燒結(jié)方法，其中， 在所述爐心管的上表面設(shè)有被所述旋轉(zhuǎn)軸穿插的第一氣密件， 在所述第一氣密件的上部以覆蓋所述旋轉(zhuǎn)軸的形式設(shè)有緩沖室， 在所述緩沖室的上表面設(shè)有被所述旋轉(zhuǎn)軸穿插的第二氣密件， 一邊向所述緩沖室導(dǎo)入從所述爐心管排出的所述氛圍氣體一邊進(jìn)行加熱處理。
12.如權(quán)利要求11所述的光纖用玻璃母材的燒結(jié)方法，其特征在于， 在所述第二氣密件的上部以覆蓋所述旋轉(zhuǎn)軸的形式設(shè)有外部氣體室，向所述外部氣體室導(dǎo)入外部氣體。
13.如權(quán)利要求11或12所述的光纖用玻璃母材的燒結(jié)方法，其特征在于，使所述緩沖室的內(nèi)壓與外部氣壓大致相等。
14.如權(quán)利要求11至13中任一項所述的光纖用玻璃母材的燒結(jié)方法，其特征在于，將所述爐心管的內(nèi)部 的一小時平均壓力調(diào)整為外部氣體的氣壓±200Pa的范圍內(nèi)。
【文檔編號】C03B37/014GK104176925SQ201410204678
【公開日】2014年12月3日 申請日期:2014年5月15日 優(yōu)先權(quán)日:2013年5月21日
【發(fā)明者】乙坂哲也, 內(nèi)田一也 申請人:信越化學(xué)工業(yè)株式會社