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磁鉛石型六方晶鐵氧體的制作方法

文檔序號:1901504閱讀:248來源:國知局
磁鉛石型六方晶鐵氧體的制作方法
【專利摘要】為了與預期的今后電波的利用進一步增加的高頻帶相適應,本發(fā)明提供一種大幅度地改善了磁導率的高頻特性的磁鉛石型六方晶鐵氧體材料。該磁鉛石型六方晶鐵氧體的其特征在于,該磁鉛石型六方晶鐵氧體是以組成式A(1-x)BxCx(D1yD2y)Fe(12-x-2y)O19(其中,x:0.1~0.3,y:0.1~0.5)表示的磁鉛石型六方晶鐵氧體,在所述組成式中,A為Ba2+、Sr2+以及Ca2+中的任一種,B為La3+以及Nd3+中的任一種,C以及D1為Co2+、Mn2+、Mg2+、Zn2+、Cu2+以及Ni2+中的任一種或者兩種以上,D2為Ti4+以及Zr4+中的任一種。
【專利說明】磁鉛石型六方晶鐵氧體

【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及一種在超過5GHz的頻帶中的噪聲抑制效果優(yōu)異的磁鉛石型六方晶鐵氧體材料。

【背景技術】
[0002]近年來,由于半導體技術的進步,移動電話、計算機以及TV等中的通信高速化技術或通信器械的高度集成化技術的發(fā)展令人矚目。此外,伴隨著信息通信技術的高度化,電子器械或通信器械的電路內信號正在從低頻帶向高頻帶移動,轉變?yōu)槭褂酶鞣N頻帶的電磁波的環(huán)境。另一方面,由于系統(tǒng)的集成化或使用頻帶的多樣化,周圍的電磁波環(huán)境日益嚴峻。例如,本來獨立存在的許多系統(tǒng)由于集成化而接近,由于相互發(fā)出的電磁波而干涉,還產生遭到機能性障礙等問題。對于這樣的問題,謀求產品設計或開發(fā)階段中的電磁環(huán)境兼容性(EMC),然而僅用半導體技術難以解決上述電磁波干涉問題。
[0003]因此,作為上述電磁波干涉問題的一個對策,使磁性材料分散于橡膠或樹脂中而片化的噪聲抑制片被廣泛地使用。作為該噪聲抑制片用的磁性材料可以使用軟磁性材料,主要使用金屬材料或鐵氧體材料。作為金屬材料可以廣泛使用坡莫合金、非晶質或者鐵硅鋁合金(Sendust),作為鐵氧體材料可以使用N1-Zn系鐵氧體或石榴石(Garnet)系鐵氧體。迄今為止,由于從MHz頻帶到數(shù)GHz (3GHz左右)的電磁波干涉問題是核心,因此通過使用在該頻帶示出高磁導率的現(xiàn)有的磁性材料(坡莫合金或鐵硅鋁合金、N1-Zn系鐵氧體等)的噪聲抑制片能夠進行處理。
[0004]可是,近年來伴隨著信息通信技術的高速化,由于超過IGHz的頻帶特別是5GHz以上的頻帶的利用增加,正越來越多地呼吁在該頻帶的電磁波干涉問題。對于這樣的頻率噪聲,即使應用使用現(xiàn)有的磁性材料的噪聲抑制片也難以得到充分的電磁波抑制效果。
[0005]例如,在專利文獻I中記載著通過控制N1-Zn鐵氧體的復數(shù)磁導率和體積電阻值,可以提供一種在1MHz~IGHz反射量少、電磁波吸收量大的噪聲抑制片。由于N1-Zn鐵氧體在MHz頻帶可靠地示出高的復數(shù)磁導率,因此大多用作在MHz頻帶的噪聲抑制效果高的磁性材料。然而,其磁導率以IGHz為界限急劇減少,在5GHz幾乎變?yōu)閷嵅繛?、虛部為O。因此,根據在所謂近年需求正在增加的GHz頻帶中的噪聲抑制的觀點,稱為不能使用的磁性材料。其他的作為噪聲抑制片的磁性材料而使用的物質中的多數(shù)僅僅是從MHz頻帶到數(shù)GHz (3GHz左右)的噪聲抑制效果高的磁性材料,現(xiàn)狀是能夠超過5GHz的頻帶的磁性材料不存在。
[0006]從以上的觀點出發(fā),并非如現(xiàn)有的磁性材料那樣在MHz頻帶示出高磁導率的材料,必須是在GHz頻帶示出高磁導率的材料。作為能夠期待該特性的材料可以列舉在GHz頻帶表現(xiàn)磁共振的磁鉛石型六方晶鐵氧體。迄今為止因為磁鉛石型六方晶鐵氧體是硬磁性體而用作永久磁鐵,目前提高磁鐵的性能的研究也在增多。作為主要的研究例是元素置換。方法是通過用其他元素置換構成磁鉛石型六方晶鐵氧體的一部分元素,使初始磁導率和矯頑力提聞,提聞作為磁鐵的性能。
[0007]關于該磁鉛石型六方晶鐵氧體,在專利文獻2或專利文獻3中記載著能夠利用置換了各種元素的磁鉛石型六方晶鐵氧體作為兼具高磁通量密度和矯頑力的材料,提高作為磁鐵的性能。
[0008]如專利文獻2以及3所示,作為磁鐵所必需的特性是可靠的磁通量密度和矯頑力。然而,上述噪聲抑制片用的材料所要求的是高磁導率和共振頻率下的復數(shù)磁導率的虛部μ ” (以下也稱為磁導率μ ”)。特別地以本發(fā)明為對象的GHz頻帶中可應用的噪聲抑制片的情況下必須在GHz頻帶中使磁共振表現(xiàn),在如現(xiàn)有技術那樣用于磁鐵所配制的磁鉛石型六方晶鐵氧體中殘留有該表現(xiàn)困難的課題。
[0009]現(xiàn)有技術文獻
[0010]專利文獻
[0011]專利文獻1:日本專利特開2009-290075號公報
[0012]專利文獻2:日本專利特開2006-104050號公報
[0013]專利文獻3:日本專利特開2001-57305號公報


【發(fā)明內容】

[0014]本發(fā)明以解決上述課題為目的,不是作為磁鐵用途,而是作為不超過5GHz頻帶的噪聲抑制用途,著眼于磁鉛石型六方晶鐵氧體(以下也表示為M型六方晶鐵氧體)擁有的高共振頻率。
[0015]即,M型六方晶鐵氧體結晶磁各向異性很大,易磁化方向為c軸方向。此外,因為結晶磁各向異性很大,矯頑力也高達30000e~40000e,作為硬磁性材料可廣泛用作永久磁鐵。因此,示出軟磁性性質的初始磁導率的數(shù)值為2~3,非常小,直接關系到噪聲抑制效果的磁導率μ”即使在共振頻率也只為0.1~0.5,也很小??墒牵绻荕型六方晶鐵氧體則根據以下所示,可以期待大幅度的性能改善。
[0016]于是,磁性材料遵循Snoek積(GHz:初始磁導率X共振頻率),初始磁導率和共振頻率具有反比例關系。該Snoek積的數(shù)值成為示出高頻率用磁性材料的性能的一個指標,數(shù)值越大,高頻率特性越高。普通的立方晶系的鐵氧體(N1-Zn鐵氧體或Mn-Zn鐵氧體等尖晶石型鐵氧體)中沒有結晶磁各向異性。Snoek積在不具結晶磁各向異性的材料的情況下初始磁導率和共振頻率的積為一定,任一方的數(shù)值變小。作為尖晶石型鐵氧體的N1-Zn鐵氧體中,Snoek積為5.6GHz。另一方面,本發(fā)明使用的M型六方晶鐵氧體與尖晶石型鐵氧體不同,由于是六角形的板狀鐵氧體,因此具有結晶的各向異性。通過使該各向異性(c軸方向各向異性、c面方向各向異性)的數(shù)值變動,可以使Snoek積的數(shù)值的最大值變化。也就是說,在M型六方晶鐵氧體中,可以得到在GHz頻帶中使共振頻率表現(xiàn)且能夠得到噪聲抑制效果的高磁導率μ ”。
[0017]本發(fā)明是基于上述新發(fā)現(xiàn)而完成的,其主要內容構成如下所述。
[0018](1) 一種磁鉛石型六方晶鐵氧體,其特征在于,該磁鉛石型六方晶鐵氧體是以組成式 A(1_X)BXCX(DlyD2y)Fe(12_x_2y) O19 (其中,x:0.1 ~0.3,y:0.1 ~0.5)表示的磁鉛石型六方晶鐵氧體,在所述組成式中,A為Ba2+、Sr2+以及Ca2+的任一種,B為La3+以及Nd3+的任一種,C以及Dl為Co2+、Mn2+、Mg2+、Zn2+、Cu2+以及Ni2+的任一種或者兩種以上,D2為Ti4+以及Zr4+的任一種。
[0019](2)根據上述(I)所述的磁鉛石型六方晶鐵氧體,其特征在于,在所述組成式中,A為Ba2+或者Sr2+,B為La3+,C以及Dl為Co2+以及Zn2+的任一種或者兩種,D2為Ti4+。
[0020](3)根據上述(I)或(2)所述的磁鉛石型六方晶鐵氧體,其特征在于,該磁鉛石型六方晶鐵氧體具有1GHz以上的共振頻率,該共振頻率中的復數(shù)磁導率的虛部μ ”為3以上。
[0021]上述組成式特征為首先用例如(Co2+以及Ti4+)或(Zn2+以及Ti4+)置換Fe3+位點。通過該置換操作,將M型六方晶鐵氧體擁有的很大的矯頑力降至100e以下,是為了使硬磁性軟磁性化。因此,必須抑制M型六方晶鐵氧體中向c軸方向的磁場各向異性,使矯頑力降低。這樣,作為使各向異性磁場抑制的成分可以列舉Co或Zn等。即,通過在形成M型六方晶鐵氧體的Fe3+位點置換例如Co2+,利用Co2+擁有的c面方向的易磁化方向與Fe3+擁有的c軸方向的易磁化方向,使結晶磁各向異性改善。其結果,降低矯頑力,完成軟磁性化。此外,Co磁矩比Fe小,然而能夠維持飽和磁化,使飽和磁化不降低至某一比例??墒?,Co添加能夠固溶的量以上時,則飽和磁化大大減少,與其同時磁導率的絕對值也降低。
[0022]另一方面,Ti的添加在燒結生成時有提高燒結體的密度且使晶粒增大的作用。在此,晶粒的大小與矯頑力有很大關系,晶粒越小,矯頑力越大。因此,通過添加Ti而晶粒的增大有使矯頑力降低的作用。
[0023]然后,通過用La置換Ba位點的一部分時,則置換擔負結晶晶格的核心的Ba,能夠使結晶晶格整體變形,能夠控制Fe位點的置換量為更少量。此時,通過使組成式中的X為
0.1~0.3,能夠抑制在Fe位點置換的y為0.5以下。
[0024]這樣,由于通過用La置換Ba位點的一部分,對結晶構造施加形變,因此添加超過組成式中的y的上限值的元素時,則添加的元素不完全固溶于M型六方晶鐵氧體,M型六方晶鐵氧體以外的不純產物析出。由于該析出物也包含非磁性成分,因此與M型六方晶鐵氧體單相相比較,磁導率的絕對值降低,y為0.5以下。
[0025]根據本發(fā)明,可以大幅度改善M型六方晶鐵氧體中的磁導率的高頻率特性,能夠提供一種對于與預期電波的利用進一步增加的高頻帶相適應的噪聲抑制片最適的材料。

【具體實施方式】
[0026]本發(fā)明是遵循組成式A(1_x)BxCx(DlyD2y)Fe(12_x_2y)019的磁鉛石型六方晶鐵氧體。以下對該組成式進行詳細地說明。
[0027]所述組成式中的A是具有與氧離子同等程度大小的離子半徑的元素。具體而言,是Ba2+、Sr2+以及Ca2+中的任一種。優(yōu)選為離子半徑更接近氧離子的Ba2+、Sr2+中的任一種。Ba2+或Sr2+與形成密排六方(六方最密填充)的一部分氧離子置換,使Fe3+進入各配位(八面體、四面體、仿四面體)的副晶格點而作為六方晶鐵氧體的基礎。利用這些基礎構造的組合形成各種六方晶鐵氧體。
[0028]該置換元素A的配合量為Ι-x (其中,X:0.I~0.3)、即0.7~0.9。原因是置換元素A不足0.7,不能制出六方晶鐵氧體構造本身。另一方面如果超過0.9,則不能得到之后置換的B的效果。
[0029]所述組成式中的置換元素B為稀土元素,且可以列舉為接近Ba2+、Sr2+以及Ca2+的離子半徑的元素的La3+以及Nd3+中的任一種。優(yōu)選離子半徑最接近Ba2+、Sr2+以及Ca2+的離子半徑的La3+。將置換元素B作為離子半徑與Ba2+、Sr2+以及Ca2接近的對象的理由是因為離子半徑很大不同時,則離子能量的差別大,不能順利置換。置換元素A由于是擔負磁鉛石型六方晶鐵氧體的核心的元素,通過用La3+或者Nd3+置換該A的一部分,能夠改變鐵氧體整體的結晶晶格間隔。該效果由于與后述的Fe位點的置換量有關系,因此在此省略。
[0030]此外,在擁有二價的電荷的Ba、Sr或者Ca的位點置換擁有三價的電荷的La或者Nd的元素時,則電中性條件被破壞。為了對其補償,作為所述組成式中的置換元素C在擁有三價電荷的Fe位點置換二價的元素,有利于保持電中性。據此,能夠提供性能穩(wěn)定的磁鉛石型六方晶鐵氧體。該置換元素C為Co2+、Mn2+、Mg2+、Zn2+、Cu2+以及Ni2+中的任一種或者兩種以上。
[0031]在此,與所述組成式中的置換元素B相關的X在0.1~0.3的范圍內。原因是X如不足0.1,則不能施加改變結晶晶格間距的程度的力,沒有添加的意義。另一方面是因為如果X超過0.3,則由于超過其而添加的元素不能夠完全固溶于M型六方晶鐵氧體而生成雜質,因此材料的飽和磁化急劇降低,磁導率的絕對值也下降。此外,置換元素C如上所述因為是用于保持電中性的置換,所以與置換元素B的X同樣。
[0032]所述組成式中的置換元素Dl必須置換能夠期待使M型六方晶鐵氧體所擁有的結晶磁各向異性(矯頑力)降低、使硬磁性軟磁性化的效果的元素。因此,必須使M型六方晶鐵氧體擁有的c軸方向的易磁化方向(磁各向異性)降低(在c面方向拉伸)。作為能夠使易磁化方向向著c面方向的元素使用Co2+、Mn2+、Mg2+、Zn2+、Cu2+以及Ni2+中的任一種或者兩種以上。通過在形成M型六方晶鐵氧體的Fe位點置換Co或Zn等,使Co或Zn擁有的易磁化方向與Fe擁有的易磁化方向相抵,改善結晶磁各向異性。其結果,保磁力降低,實現(xiàn)軟磁性化。
[0033]置換元素Dl在擁有三價電荷的Fe位點置換擁有二價電荷的Co或Zn等,在此與上述同樣電中性也被破壞。因而,為了對其進行補償,所述組成式中的置換元素D2是置換擁有四價電荷的元素、保持電中性的關鍵。據此,能夠提供性能穩(wěn)定的M型六方晶鐵氧體。作為該四價元素為Ti或Zr、Hf等,然而特別地優(yōu)選Ti或Zr。原因是Ti或Zr的添加具有在燒結生成時使燒結體的密度上升且增大晶粒的作用。
[0034]所述組成式中的y的值必須在0.1~0.5的范圍內。即,如果不足0.1,則由于不發(fā)生由Co元素添加引起的易磁化方向的變動和由Ti或Zr引起的密度上升以及晶粒的增大,因此無法期望磁導率的提高。另一方面,如果y超過0.5,則Ti或Zr由于不能完全固溶于M型六方晶鐵氧體而生成雜質,因此材料的飽和磁化急劇降低,磁導率的絕對值也下降。
[0035]并且,為了使BaFe12O19的磁導率提高,與本發(fā)明同樣通過在Fe位點置換Co以及Ti能夠在實用的頻率下表現(xiàn)磁共振,且能夠得到僅能期待噪聲抑制效果的高磁導率。作為組成式用Ba(CoTi)xFe(12_x)O19表示,作為x的數(shù)值必須為1.0~2.0。
[0036]可是,在本發(fā)明中Co以及Ti的置換量為0.5以下,得到現(xiàn)有的磁導率特性以上的材料。由于這通過在成為M型六方晶鐵氧體的核心的Ba或者Sr的位點置換La,能夠使結晶整體的晶格變形,因此即使用少量的Co和Ti或者Zr也能夠得到很大的置換效果。
[0037]另外,本發(fā)明的M型六方晶鐵氧體可以按照普通的鐵氧體的制造方法進行制造。例如,作為原料使用各種氧化物或碳酸鹽的粉末,以成為期望的磁鉛石型六方晶鐵氧體組成的方式進行稱量。然后,用濕式球磨機混煉該混合粉24小時。將混煉的粉末用擠壓成型機成形,通過在大氣中在800°C~1400°C以及I~10小時下進行燒成,能夠得到期望的M型六方晶鐵氧體。
[0038]實施例
[0039]以下具體說明本發(fā)明。在實施例中示出基于對得到的材料進行X射線衍射而進行的有無單相形成、材料常數(shù)評價而獲得的磁共振表現(xiàn)的頻率以及在該頻率下的磁導率μ ”。
[0040]發(fā)明例I
[0041]作為原料粉末使用La203、BaC03、a -Fe2O3^T12以及CoO。按照與下述組成相對應的置換量稱量這些粉末。
[0042]記錄
[0043]組成式:Ba(1_x)LaxCox(CoyTiy) Fe(12_x_2y) O19
[0044]置換量:x= 0.2、y = 0.2
[0045]然后,用濕式球磨機混煉稱量后的原料粉末24小時,該混煉之后使其干燥,得到混煉粉末。將得到的混煉粉末擠壓成形為丸(pellet)狀,用電爐燒成該成形體。燒成條件為大氣中在1300°C以及5小時。將得到的燒結體用于評價材料常數(shù),加工為外徑7_、內徑3mm以及厚度1.5mm的圓環(huán)狀(toroidal)。此外,作為結晶鑒定用(X射線衍射),用行星式球磨機粉碎I小時,得到粉末。
[0046]使用這樣得到的 M型六方晶鐵氧體的圓環(huán)狀燒結體和粉末,實施磁導率特性評價以及基于X射線衍射的結晶構造的鑒定。在表1中示出其結果。
[0047]發(fā)明例2
[0048]作為原料粉末使用La203、SrCO3> a -Fe203、T12以及CoO。按照與下述組成相對應的置換量稱量這些粉末。
[0049]記錄
[0050]置換量:x= 0.2, y = 0.2
[0051]從稱量后的原料粉末至得到燒結體的工序條件與上述發(fā)明例I相同。使用得到的圓環(huán)狀燒結體和粉末,與發(fā)明例I的情況同樣實施磁導率特性評價以及基于X射線衍射的結晶結構鑒定。在表1中示出其結果。
[0052]發(fā)明例3
[0053]作為原料粉末使用La203、SrCO3> a -Fe203、T12以及ZnO。按照與下述組成相對應的置換量稱量這些粉末。
[0054]記錄
[0055]置換量:x= 0.2, y = 0.2
[0056]從稱量后的原料粉末至得到燒結體的工序條件與發(fā)明例I相同。使用得到的圓環(huán)狀燒結體和粉末,與發(fā)明例I的情況同樣實施磁導率特性評價以及基于X射線衍射的結晶構造鑒定。在表1示出其結果。
[0057]發(fā)明例4
[0058]使用與發(fā)明例I同樣的原料粉末,按照與下述組成相對應的置換量進行稱量。
[0059]記錄
[0060]置換量:x= 0.2, y = 0.3
[0061]從稱量后的原料粉末至燒結體的工序條件與發(fā)明例I相同。使用得到的圓環(huán)狀燒結體和粉末,與發(fā)明例I的情況同樣地實施磁導率特性評價以及基于X射線衍射的結晶構造鑒定。在表1中示出其結果。
[0062]發(fā)明例5
[0063]作為原料粉末使用La203、SrCO3> a -Fe203、ZrO2以及CoO。按照與下述的組成相對應的置換量稱量這些粉末。
[0064]記錄
[0065]直換里:x= 0.2,y = 0.2
[0066]從稱量的原料粉末至得到燒結體的工序條件與上述發(fā)明例I相同。使用得到的圓環(huán)狀燒結體和粉末,與發(fā)明例I同樣實施磁導率特性評價以及基于X射線衍射的結晶結構鑒定。在表1中示出其結果。
[0067]比較例I
[0068]比較例I是使用與發(fā)明例I同樣的原料粉末和組成式以及制造順序、僅更改置換量而制作的樣品。即,置換量:x = 0.4以及y = 0.2,使X在本發(fā)明的范圍之外。使用得到的圓環(huán)狀燒結體和粉末,與發(fā)明例I的情況同樣實施磁導率特性評價以及基于X射線衍射的結晶構造鑒定。在表1中示出其結果。
[0069]比較例2
[0070]比較例2是使用與發(fā)明例I同樣的原料粉末和組成式以及制造順序、僅更改置換量而制作的樣品。即,置換量:x = 0.2以及y = 0.6,使y在本發(fā)明的范圍之外。使用得到的圓環(huán)狀燒結體和粉末,與發(fā)明例I的情況同樣實施磁導率特性評價以及基于X射線衍射的結晶構造鑒定。在表1中示出其結果。
[0071]比較例3
[0072]比較例3是使用與發(fā)明例I同樣的原料粉末和組成式以及制造順序、僅更改置換量而制作的樣品。即,置換量:x = 0.4以及y = 0.6,使X以及y同時在本發(fā)明的范圍外。使用得到的圓環(huán)狀燒結體和粉末,與發(fā)明例I的情況同樣實施磁導率特性評價以及基于X射線衍射的結晶構造鑒定。在表1中示出其結果。
[0073]比較例4
[0074]比較例4是使用與發(fā)明例I同樣的原料粉末和組成式以及制造順序、僅更改置換量而制作的樣品。即,置換量:X = 0.05以及y = 0.05,使x以及y同時在本發(fā)明的范圍外。使用得到的圓環(huán)狀燒結體和粉末,與發(fā)明例I的情況同樣實施磁導率特性評價以及基于X射線衍射的結晶構造鑒定。在表1示出其結果。
[0075]比較例5
[0076] 作為原料粉末使用BaC03、a -Fe2O3^T12以及CoO。按照與下述組成相對應的置換量稱量這些粉末。另外,制作順序與發(fā)明例I的情況相同。
[0077]記錄
[0078]組成式:Ba(CoTi) xFe(12_2x) O19
[0079]置換量:x= 1.0
[0080]使用這樣得到的圓環(huán)狀燒結體和粉末,與發(fā)明例I的情況同樣實施磁導率特性評價以及基于X射線衍射的結晶構造鑒定。在表1中示出其結果。
[0081]比較例6
[0082]作為原料粉末使用La203、BaC03、a -Fe2O3^HfO2以及CoO。按照與下述的組成相對應的置換量稱量這些粉末。另外,制作順序與發(fā)明例I的情況相同。
[0083]記錄
[0084]組成式:Ba(1_x)LaxCox(CoyHfy) Fe (12_x_2y) O19
[0085]置換量:x= 0.2, y = 0.2
[0086]使用這樣得到的圓環(huán)狀燒結體和粉末,與發(fā)明例I的情況同樣實施磁導率特性評價以及基于X射線衍射的結晶構造鑒定。在表1中示出其結果。
[0087]表1
[0088]

【權利要求】
1.一種磁鉛石型六方晶鐵氧體,其特征在于, 該磁鉛石型六方晶鐵氧體是以組成SA(1_x)BxCx(DlyD2y)Fe(12_x_2y)019表示的磁鉛石型六方晶鐵氧體,在所述組成式中,A為Ba2+、Sr2+以及Ca2+中的任一種,B為La3+以及NcT中的任一種,C以及Dl為Co2+、Mn2+、Mg2+、Zn2+、Cu2+以及Ni2+中的任一種或者兩種以上,D2為Ti4+以及Zr4+中的任一種,X為0.1~0.3,y為0.1~0.5。
2.根據權利要求1所述的磁鉛石型六方晶鐵氧體,其中, 在所述組成式中,A為Ba2+或者Sr2+,B為La3+,C以及Dl為Co2+以及Zn2+中的任一種或者兩種,D2為Ti4+。
3.根據權利要求1或者2所述的磁鉛石型六方晶鐵氧體,其中, 該磁鉛石型六方晶鐵氧體具有1GHz以上的共振頻率,在該共振頻率中的復數(shù)磁導率的虛部μ ”為3以上。
【文檔編號】C04B35/26GK104072117SQ201410079102
【公開日】2014年10月1日 申請日期:2014年3月5日 優(yōu)先權日:2013年3月29日
【發(fā)明者】廣瀨敬太 申請人:株式會社理研
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