隔熱窗玻璃的制作方法
【專利摘要】一種透明窗玻璃，其由至少一個玻璃片材組成，所述玻璃片材在其至少一個面上裝備了涂層，涂層由薄層的堆疊組成，其中至少一個功能層對所述窗玻璃賦予陽光控制特性，所述窗玻璃從襯底的表面開始包括：-至少一個由介電材料制成的底層，-至少一個由鈮制成的功能層，其具有大于5nm且小于35nm的物理厚度，-至少一個覆蓋層，其由介電材料制成，用于相對于外部環(huán)境保護所述功能層，所述窗玻璃的特征在于，所述功能層中的至少一個還包括氧氣，在SIMS分析中，所述層中的NbO/Nb信號比率在1.8至2.8之間。
【專利說明】隔熱窗玻璃
[0001] 本發(fā)明涉及"陽光控制"隔熱窗玻璃，其設(shè)有薄層的堆疊，至少一層是功能性的， 即，其實質(zhì)上通過反射和/或吸收近紅外輻射（陽光）或遠紅外輻射（熱）而對陽光和/ 或熱輻射起作用。更具體地說，本發(fā)明涉及多層涂層的窗玻璃，尤其那些主要意圖用于建筑 物隔熱的窗玻璃。
[0002] 術(shù)語"功能層"或"起作用層"在本專利申請的意義內(nèi)應(yīng)理解為堆疊的層，其對堆 疊賦予其大量的熱特性。通常，裝備窗玻璃的由薄層制成的堆疊實質(zhì)上通過這個起作用層 的內(nèi)在特性而賦予了其顯著改進的陽光控制特性。同其它層相比，所述層對穿過所述窗玻 璃的陽光輻射通量起作用，其它層通常由介電材料制成，并且對所述功能層具有化學(xué)或機 械保護的作用。
[0003] 這種裝備了堆疊的薄層的窗玻璃實質(zhì)上通過功能層對入射輻射的吸收，或者實質(zhì) 上通過該層的反射而對入射的陽光輻射起作用。
[0004] 它們在陽光控制窗玻璃的名義下組合起來。它們出售并實質(zhì)上用于： -要么為住宅提供免于陽光輻射的基本保護并防止其過熱，這種窗玻璃在市場上被稱 為陽光保護窗玻璃， -或者實質(zhì)上提供住宅的隔熱并防止熱損失，這些窗玻璃被稱為隔熱窗玻璃。
[0005] 術(shù)語"陽光保護"因而在本發(fā)明的意義內(nèi)應(yīng)理解為窗玻璃限制輻射通量尤其陽光 紅外輻射（SIR)從外部朝著住宅或隔間內(nèi)部穿過窗玻璃的能力。
[0006] 術(shù)語"隔熱"應(yīng)理解為意味著一種窗玻璃，其裝備了至少一個使其減少能量損耗的 功能層，所述層呈現(xiàn)反射5至50微米之間的IR輻射的特性。
[0007] 在某些國家中，標(biāo)準需要窗玻璃呈現(xiàn)陽光控制和隔熱特性，即使對于單層窗玻璃， 即只包含一個玻璃片材的窗玻璃。
[0008] 根據(jù)眾所周知的方式，例如參考出版物"Les techniques de 1' ing6nieur、 Vitrage ? isolation thermique renforc6e [增強的隔熱窗玻璃]、C3635 (2〇04)"中所 述，IR輻射的反射特性與包括所述功能層的堆疊上所測量的片電阻Rn成比例，該電阻也被 稱為表面電阻。
[0009] 良好的隔熱特性因而首先需要功能層的電阻率低。然而，這種特性還由更大的光 吸收性反映，其傾向于相當(dāng)大地減少了窗玻璃中的光透射。本發(fā)明的目的是提供一種窗玻 璃，其裝備了在其光透射特性和其隔熱特性之間呈現(xiàn)良好折衷的堆疊，這由堆疊的片電阻 來測量。
[0010] 總地說來，在本說明書中所展現(xiàn)的所有光特征，尤其透光率?γ是根據(jù)國際標(biāo)準 9050(2003)中所述的原理和方法而獲得的，該國際標(biāo)準涉及確定用于建筑工業(yè)的玻璃中的 窗玻璃的光特征。
[0011] 理想地，這些裝備了功能性堆疊的窗玻璃應(yīng)該能夠承受回火、退火或彎曲類型的 熱處理，而在其初始的光學(xué)特性和/或能量特性方面沒有顯著的變化，或者至少沒有退化。 具體地說，在熱處理之后，根據(jù)本發(fā)明裝備了層的窗玻璃必須保持可接受的透光率，并呈現(xiàn) 優(yōu)選得到相當(dāng)大的改善或者至少基本沒變化的片電阻。
[0012] 目前出售的最高效的堆疊包含至少一個銀類型的金屬層，其實質(zhì)上對入射的 IR(紅外）輻射的主要部分的反射模式進行操作。這些堆疊因而主要用作用于建筑物隔熱 的低發(fā)射率（或低e)類型的窗玻璃。然而，這些層對于濕氣非常敏感，并因而專門用于雙 層窗玻璃中，用于雙層窗玻璃的面2或面3上，從而受到保護，以免受潮。因而不可能在單 層窗玻璃（也被稱為單片窗玻璃）中沉淀這種層。根據(jù)本發(fā)明的堆疊不包括這種銀類型的 層，或者從非常微不足道的數(shù)量而言，尤其不可避免的雜質(zhì)形式而言，還不包括金或鉬類型 的層或別的層。
[0013] 其它具有陽光保護功能的金屬層具在本領(lǐng)域中也有過報告，包括金屬化的或滲氮 的Nb類型的功能層，例如申請W001/21540或申請W02009/112759中所述。在這種層中， 陽光輻射這次主要非選擇性地被包含鈮的功能層所吸收，IR輻射（即，在大約780nm至 2500nm之間的波長）和可見光輻射（在大約380至780nm之間的波長）無差別地被起作用 層吸收。
[0014] 這些涂層傳統(tǒng)地通過磁場-輔助的真空濺射類型的沉積技術(shù)由有待沉積的陰極 材料或前體材料沉積而成，這在本領(lǐng)域中時常被稱為磁控管濺射技術(shù)。這種技術(shù)今天傳統(tǒng) 地特別在有待沉積的涂層由具有幾納米或幾十納米厚度的連續(xù)層的更復(fù)雜的堆疊組成時 使用。
[0015] 如上面指出的那樣，在窗玻璃的制備期間還應(yīng)用了另一約束：尤其當(dāng)窗玻璃由單 個玻璃襯底組成時，其通常必須經(jīng)歷一種或多種熱處理，如果需要賦予它們曲線（商店窗 戶），其可能是彎曲處理，但其通常是回火處理，尤其在建筑領(lǐng)域中，其中需要其在碰撞情況 下更具抗力并且減少危險。在經(jīng)過熱處理之前，這些層沉積在玻璃上可能導(dǎo)致它們退化，并 且對其特性，尤其光學(xué)特性造成相當(dāng)大的變化。相反，在玻璃的熱處理之后沉積這些層被證 明是復(fù)雜且昂貴的。如上所述，因而需要這種裝備了這種層的窗玻璃能夠承受這種熱處理， 而不會對其初始特性，即熱特性和光學(xué)特性帶來極大的變化。
[0016] 本發(fā)明的目的是提供一種窗玻璃，其一直呈現(xiàn)增強的隔熱特性和高的透光率，例 如大于45%，優(yōu)選至少大約50%，甚至大于50%的透光率IY因子，并且其在熱處理，尤其回火 類型的熱處理之后，在其陽光控制特性方面沒有呈現(xiàn)變化或?qū)嶋H沒有變化。
[0017] 本發(fā)明的主題因而首先包括一種透明窗玻璃，其由至少一個玻璃片材組成，玻璃 片材在其至少一個面上裝備了涂層，涂層由堆疊的薄層組成，其中至少一個功能層對所述 窗玻璃賦予陽光控制特性，所述窗玻璃從襯底的表面開始包括： -至少一個由介電材料制成的底層， -至少一個由鈮制成的功能層，其具有大于5nm且小于35nm的物理厚度， -至少一個覆蓋層，其由介電材料制成，用于相對于外部環(huán)境保護所述功能層， 所述窗玻璃的特征在于，所述功能層還包括氧氣，在SMS分析中，所述層中的NbO/Nb 信號比率在1.8至2. 8之間。
[0018] 根據(jù)本發(fā)明，測量值對應(yīng)于在SMS剖面（profile)部分上的NbO和Nb信號的綜合 面積的比率，對于該部分的Nb信號的強度是顯著的（非零）。
[0019] 優(yōu)選地，堆疊中的所有功能層由鈮制成。
[0020] 術(shù)語"由鈮制成的功能層"或"鈮功能層"應(yīng)理解為意味著功能層由（除氧氣之外） 鈮和可能不可避免的雜質(zhì)組成。
[0021] 根據(jù)本發(fā)明的功能層因而僅由鈮、氧氣和可能不可避免的雜質(zhì)組成，例如那些尤 其由于磁控管濺射沉積工藝所造成的雜質(zhì)。
[0022] 根據(jù)一個可能的實施例，堆疊只包括由鈮制成的功能層。
[0023] 在所附權(quán)利要求中描述了本發(fā)明的優(yōu)選實施例。
[0024] 尤其是： -所述層中的NbO/Nb信號比率在2. 0至2. 8之間，并且非常優(yōu)選在2. 1至2. 5之間。
[0025] -功能層呈現(xiàn)了 5至20nm之間的厚度。
[0026] -堆疊只包括一個由鈮制成的功能層。
[0027] -所述堆疊包括兩層材料，材料選自由Ti、Μο、Α1和至少包括這些元素中的一種元 素、優(yōu)選Ti的合金組成的組，這個層定位在各個功能層的上面和下面，并與功能層相接觸， 所述層呈現(xiàn)大約0. 2nm至大約2nm之間的物理厚度。
[0028] -堆疊包括基本上由鋁和/或氮化硅或氮氧化物組成的單個底層，其具有在30至 60nm之間的物理厚度，優(yōu)選為基本上由氮化硅組成的層，而且可選地包含鋁。
[0029] -堆疊包括基本上由鋁和/或氮化硅或氮氧化物組成的單個覆蓋層，其具有在30 至60nm之間的物理厚度，優(yōu)選為基本上由氮化硅組成的層，而且可選地包含鋁。
[0030] -在功能層的上面，堆疊包括基本上由鋁和/或氮化硅或氮氧化物組成的層以 及由選自氧化硅和氧化鈦的氧化物組成的層的層序，所述覆蓋層的總的光學(xué)厚度在80至 IlOnm之間。該層序尤其由基本由氮化硅組成的層和由氧化硅組成的層組成，氮化硅層的物 理厚度在40至50nm之間，并且氧化硅層的物理厚度在3至IOnm之間。
[0031] 覆蓋層由基本由氮化硅組成的層和由氧化鈦組成的層的層序組成，氮化硅層的物 理厚度在30至45nm之間，并且氧化鈦層的物理厚度在5至15nm之間。
[0032] -所述覆蓋層的總的光學(xué)厚度在90至105nm之間，尤其在90至IOOnm之間。
[0033] -窗玻璃經(jīng)過熱回火和/或彎曲處理。
[0034] 根據(jù)本發(fā)明的窗玻璃的一個特定的實施例，所述涂層由薄層的堆疊組成，其中至 少兩個由鈮制成的功能層還包括氧氣，使得在SMS分析中，所述層中的NbO/Nb信號的比率 在1. 8至2. 8之間。
[0035] 這種涂層從襯底的表面開始至少尤其包括： -至少一個由介電材料制成的底層， -由鈮制成的第一功能層，其尤其具有大于IOnm且小于25nm的物理厚度， -至少一個由介電材料組成的中間層， -由鈮制成的第二功能層，其尤其具有大于5nm且小于20nm的物理厚度， -至少一個由介電材料制成的覆蓋層。
[0036] 根據(jù)這個包括兩個功能層的特定形式的優(yōu)選實施例，如果合適，其可彼此組合在 一起： -所述層中的NbO/Nb信號比率在2. 0至2. 8之間，并且非常優(yōu)選在2. 1至2. 5之間， -第一功能層呈現(xiàn)12至25nm之間的厚度，并且第二功能層呈現(xiàn)比第一功能層至少低5 納米，尤其低6至20nm之間的厚度， -所述涂層還包含至少一個材料層，其具有在大約Inm至大約3nm之間的物理厚度,該 材料選自由Ti、Mo、Al和至少包括這些元素中的一種元素,優(yōu)選Ti的合金組成的組,這個層 相對于玻璃襯底位置定位在兩個功能層的上面和下面，并與這些層相接觸， -所述窗玻璃包括基本上由鋁和/或氮化硅或氮氧化物組成的單個底層，其具有在30 至60nm之間的物理厚度，優(yōu)選為基本上由氮化硅組成的層，而且可選地包含鋁， -所述窗玻璃包括基本上由鋁和/或氮化硅或氮氧化物組成的單個覆蓋層，其具有在 30至60nm之間的物理厚度，優(yōu)選為基本上由氮化硅組成層，而且可選地包含鋁， -在功能層的上面，所述窗玻璃包括基本上由鋁和/或氮化硅或氮氧化物組成的層以 及由選自氧化硅和氧化鈦的氧化物組成的層的層序，所述覆蓋層的總的光學(xué)厚度在80至 IlOnm之間，所述層序例如由基本由氮化硅組成的層和由氧化硅組成的層組成，氮化硅層的 物理厚度在40至50nm之間，并且氧化硅層的物理厚度在3至IOnm之間， 覆蓋層由基本由氮化硅組成的層和由氧化鈦組成的層的層序組成，氮化硅層的物理厚 度在30至45nm之間，并且氧化鈦層的物理厚度在5至15nm之間， -所述覆蓋層的總的光學(xué)厚度在90至105nm之間，尤其在90至IOOnm之間。
[0037] -位于兩個功能層之間的中間層是基本上由鋁和/或氮化硅或氮氧化物組成的 層，其具有在30至60nm之間的物理厚度，優(yōu)選為基本上由氮化硅組成的層，而且可選地包 括錯， -位于兩個功能層之間的中間層是由氧化物，尤其鋅和錫的氧化物的混合物組成的層， 其優(yōu)選具有30至60nm之間的物理厚度， -薄層的堆疊定位在單層窗玻璃（僅僅一個玻璃片材）的面2上，襯底的面從裝備它的 建筑物或隔間的外部朝著內(nèi)部方向進行編號， -窗玻璃經(jīng)過熱回火和/或彎曲處理。
[0038] 本發(fā)明還涉及裙板類型的建筑外面板，其包括至少一個上述窗玻璃。
[0039] 本發(fā)明還涉及上述層的堆疊，這種堆疊包括至少一個由介電材料制成的底層、至 少一個由銀制成的具有大于5nm且小于35nm的物理厚度的功能層，以及至少一個由介電材 料制成的用于相對于外部環(huán)境保護所述功能層的覆蓋層。從上述意義上說來，在根據(jù)本發(fā) 明的堆疊，所述鈮的功能層還包括成比例的氧氣，使得在SMS分析中，所述層中NbO/Nb信 號比率在1. 8至2. 8之間，優(yōu)選在2. 0至2. 8之間，并且非常優(yōu)選在2. 1至2. 5之間。
[0040] 最后，本發(fā)明涉及一種用于制造上述窗玻璃的工藝，其至少包括以下階段： -將玻璃襯底引入到陰極濺射裝置中， -在前面隔間中，沉積介電材料的底層， -在隨后隔間中，由鈮金屬制成的標(biāo)靶利用由中性氣體，例如氬氣和氧氣組成的混合物 中所產(chǎn)生的等離子體進行濺射處理,氣體混合物中的O2的體積比例在2%體積O2至5%體積 O2之間， -在后面隔間，沉積介電材料的覆蓋層。
[0041] 在這種制造工藝中，除了提供沉積階段之外，在裝置的中間隔間中，在介電材料層 和由鈮制成的功能層之間還可能沉積鈦金屬。
[0042] 本發(fā)明還涉及一種裙板類型的建筑外面板，其包含至少一個上述窗玻璃，或者涉 及用于機動車或其它車輛的邊窗、后窗或天窗，其由所述窗玻璃組成或包含所述窗玻璃。 [0043] 根據(jù)本發(fā)明，根據(jù)本發(fā)明的功能層使得獲得相對較高的襯底透光率的值成為可 能，同時保持極大的隔熱效應(yīng)，盡管熱處理之后的功能層具有非常低的厚度。
[0044] 關(guān)于所述層相對于堆疊中的功能層的相應(yīng)的位置，在本說明書中參考了術(shù)語"底 層"和"覆蓋層"，所述堆疊由玻璃襯底來支撐。
[0045] 具體地說，底層通常是與玻璃襯底接觸的層，并且覆蓋層是堆疊的最外層，其以與 襯底相反的方式翻轉(zhuǎn)。
[0046] 在沒有脫離本發(fā)明范圍的條件下，根據(jù)本領(lǐng)域中的眾所周知的技術(shù)，根據(jù)本發(fā)明 可以利用Al、Zr、B等等類型的元素來替換基本上由氮化硅組成的前面層的硅，從而改變窗 玻璃的透射和/或反射中的顏色，并且其比例范圍可高達10 (原子量）％。
[0047] 雖然本發(fā)明更特別專注的應(yīng)用是用于建筑工業(yè)的窗玻璃，但是應(yīng)該明白可設(shè)想 其它應(yīng)用，尤其用于車輛的窗玻璃（除了擋風(fēng)玻璃之外，在擋風(fēng)玻璃中需要非常高的透光 率），例如邊窗、機動車天窗或后窗。
[0048] 在后文中將通過根據(jù)本發(fā)明的以下非限制性的示例和對比示例從而更詳細地描 述本發(fā)明和其優(yōu)點。在所有示例和描述中，給定的厚度都是物理的。
[0049] 所有襯底由Saint-Gobain Glass France公司出售的Planilux類型的6mm厚度 的透明玻璃制成。
[0050] 所有層都通過磁場輔助的陰極濺射（時常被稱為磁控管陰極濺射）的已知方式進 行沉積。
[0051] 按照眾所周知方式，各種連續(xù)的層沉積在陰極濺射裝置的連續(xù)的隔間中，各個隔 間裝備了特定的金屬標(biāo)靶，金屬標(biāo)靶由為了沉積堆疊的特定層而選擇的Si、Ti或Nb制成。
[0052] 更具體地說，由氮化硅制成的層是在包含氮氣（40%Ar和60%N2)的活性氛圍中從 硅金屬的標(biāo)靶（摻雜了 8%重量的鋁）沉積于裝置的第一隔間中。由Si3N4制成的層因而包 括少量的鋁。這些層后續(xù)將根據(jù)普通配方Si 3N4來表示，即使沉積的層不一定與這種假定的 化學(xué)計量相對應(yīng)。
[0053] 金屬Ti層通過由鈦金屬制成的標(biāo)靶濺射來獲得。
[0054] 由鈮金屬制成的層是在惰性氛圍（也就是說通過從僅氬氣獲得的等離子體）或基 本由氬氣產(chǎn)生的等離子體中的Nb標(biāo)靶的濺射沉積而成，但根據(jù)不同的實施方式包括最少 且可變數(shù)量的氧氣，其比例在下表1中給出。
[0055] 在后面所有的示例中，玻璃襯底因而被層的堆疊接連覆蓋，堆疊包括Nb制成的功 能層、定位在所述功能層的任一側(cè)面上的由鈦制成的阻滯劑以及由Si 3N4制成的底層和覆 蓋層。
[0056] 沉積條件根據(jù)用于生產(chǎn)堆疊的傳統(tǒng)技術(shù)進行調(diào)整，該堆疊與以下層序相對應(yīng)： 玻璃/5;1 3隊(46 11111)/11(111111)/他(6 11111)/11(111111)/3;[3隊(46 11111)。
[0057] 在所有沉積隔間中的氣體的總壓力設(shè)置在2. 5毫托下，除了沉積兩層Ti阻滯劑的 隔間之外，在這個隔間中的總壓力設(shè)置在3. 5暈托下。
[0058] 后面的示例樣本通過使引入到等離子體中的氧氣的數(shù)量改變0%體積至5. 7%體積 來獲得。
[0059] A-窗玻璃在熱處理之前和之后的特征的測量 片電阻通過Nagy出售的SRM12 (片電阻率計）裝置進行測量。該裝置產(chǎn)生了初級磁場， 其在樣本中產(chǎn)生響應(yīng)的次級磁場。這個次級磁場通過該裝置進行測量，初級磁場和次級磁 場的比較使得相對應(yīng)的R/平方值的"無接觸"的確定成為可能。
[0060] 透光率?γ (根據(jù)發(fā)光體D65)和1^值是針對裝備堆疊的窗玻璃進行測量，首先在磁 控管線路的出口，然后在熱處理之后進行測量，熱處理包括在620° C下加熱10分鐘，之后 淬火。
[0061] 在以下表1中組合了所獲得的結(jié)果：
【權(quán)利要求】
1. 一種透明窗玻璃，其由至少一個玻璃片材組成，所述玻璃片材在其至少一個面上裝 備了涂層，所述涂層由薄層的堆疊組成，其中至少一個功能層對所述窗玻璃賦予陽光控制 特性，所述涂層從襯底的表面開始包括： -至少一個由介電材料制成的底層， -至少一個由鈮制成的功能層，其具有大于5nm且小于35nm的物理厚度， -至少一個覆蓋層，其由介電材料制成，用于相對于外部環(huán)境保護所述功能層， 所述窗玻璃的特征在于，所述功能層還包括氧氣，在SMS分析中，所述層中的NbO/Nb 信號比率在1.8至2. 8之間。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的窗玻璃，其特征在于，在所述層中的NbO/Nb信號比率在2. 1 至2. 5之間。
3. 根據(jù)前述權(quán)利要求中的任一項所述的窗玻璃，其特征在于，所述功能層呈現(xiàn)5至 20nm之間的厚度。
4. 根據(jù)前述權(quán)利要求中的任一項所述的窗玻璃，其特征在于，只包括一個由鈮制成的 功能層。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1至3中的任一項所述窗玻璃，其特征在于，所述涂層由薄層的堆疊 組成，至少其中兩個由鈮制成的功能層還包括氧氣，在SMS分析中，所述層中的NbO/Nb信 號比率在1. 8至2. 8之間，所述涂層從襯底的表面開始至少包括： -至少一個由介電材料制成的底層， -由鈮制成的第一功能層，其具有大于lOmii且小于25nm的物理厚度， -至少一個由介電材料組成的中間層， -由鈮制成的第二功能層，其具有大于5nm且小于20nm的物理厚度， -至少一個由介電材料制成的覆蓋層。
6. 根據(jù)前述權(quán)利要求所述的窗玻璃，其特征在于，所述第一功能層呈現(xiàn)12至25nm之 間的厚度，并且所述第二功能層呈現(xiàn)比所述第一功能層至少低5納米，尤其低6至20nm之 間的厚度。
7. 根據(jù)權(quán)利要求5和6中的任一項所述的窗玻璃，其特征在于，在兩個功能層之間的 中間層是基本上由鋁和/或氮化硅或氮氧化物組成或由鋅和錫的氧化物的混合物組成的 層，其優(yōu)選具有30至60nm之間的物理厚度。
8. 根據(jù)前述權(quán)利要求中的任一項所述的窗玻璃，其特征在于，所述涂層包括兩層材 料，所述材料選自由Ti、Mo、A1和包括這些元素中的至少一種元素、優(yōu)選Ti的合金組成的 組，所述層相對于玻璃襯底定位在所述功能層的上面和下面，并與所述功能層相接觸，所述 層呈現(xiàn)大約〇? 2nm至大約2nm之間的物理厚度。
9. 根據(jù)前述權(quán)利要求中的任一項所述的窗玻璃，其特征在于，包括基本上由鋁和/或 氮化硅或氮氧化物組成的單個底層，其具有30至60nm之間的物理厚度，優(yōu)選為基本上由氮 化硅組成的層，而且可選地包含鋁。
10. 根據(jù)前述權(quán)利要求中的任一項所述的窗玻璃，其特征在于，包括基本上由鋁和/ 或氮化硅或氮氧化物組成的單個覆蓋層，其具有30至60nm之間的物理厚度，優(yōu)選為基本上 由氮化硅組成的層，而且可選地包含鋁。
11. 根據(jù)權(quán)利要求1至9中的任一項所述的窗玻璃，其特征在于，在所述功能層的上面 包括基本上由鋁和/或氮化硅或氮氧化物組成的層以及由選自氧化硅和氧化鈦的氧化物 組成的層的層序，所述覆蓋層的總的光學(xué)厚度在80至llOnm之間。
12. 根據(jù)前述權(quán)利要求所述的窗玻璃，其特征在于，所述層序由基本由氮化硅組成的 層和由氧化硅組成的層組成，所述氮化硅層的物理厚度在40至50nm之間，并且所述氧化硅 層的物理厚度在3至10nm之間。
13. 根據(jù)權(quán)利要求1至9中的任一項所述的窗玻璃，其特征在于，所述覆蓋層由基本由 氮化硅組成的層和由氧化鈦組成的層的層序組成，所述氮化硅層的物理厚度在30至45nm 之間，并且所述氧化鈦層的物理厚度在5至15nm之間。
14. 根據(jù)前述權(quán)利要求中的任一項所述的窗玻璃，其特征在于，所述覆蓋層的總的光 學(xué)厚度在90至105nm之間，尤其在90至lOOnm之間。
15. 根據(jù)前述權(quán)利要求中的任一項所述的窗玻璃，其特征在于，其經(jīng)過回火熱處理和/ 或彎曲處理。
16. 根據(jù)前述權(quán)利要求中的任一項所述的層的堆疊，其特征在于，包括： -至少一個由介電材料制成的底層， -至少一個由鈮制成的功能層，其具有大于5nm且小于35nm的物理厚度， -至少一個覆蓋層，其由介電材料制成，用于相對于外部環(huán)境保護所述功能層， 其中所述功能層還包括氧氣，在SMS分析中，所述層中的NbO/Nb信號比率在1. 8至 2. 8之間。
【文檔編號】C03C17/34GK104395257SQ201380036085
【公開日】2015年3月4日 申請日期:2013年7月2日 優(yōu)先權(quán)日:2012年7月6日
【發(fā)明者】A.帕拉喬斯-拉魯瓦, B.庫恩 申請人:法國圣戈班玻璃廠