專利名稱：硅片下棒工裝的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種硅片下棒工裝，用于機(jī)臺(tái)上硅片切割完后卸載機(jī)臺(tái)上的晶托。
背景技術(shù)：
機(jī)臺(tái)上的線鋸在切割完晶棒后，裝有晶棒的晶托通過(guò)機(jī)臺(tái)內(nèi)的兩個(gè)支架將晶棒拉出來(lái)。該兩個(gè)支架是裝在機(jī)臺(tái)工作臺(tái)前方兩個(gè)部位，如果兩個(gè)支架不在一條直線上，晃動(dòng)或變型則容易導(dǎo)致掉片，影響產(chǎn)品的合格率。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種硅片下棒工裝， 減少晶棒下棒時(shí)易掉片的現(xiàn)象。本實(shí)用新型解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是一種硅片下棒工裝，用于卸載安裝在機(jī)臺(tái)工作臺(tái)上的晶托，包括機(jī)臺(tái)定位機(jī)構(gòu)、機(jī)臺(tái)連接滑軌，所述的機(jī)臺(tái)連接滑軌具有可伸入機(jī)臺(tái)工作臺(tái)的延伸頭部，機(jī)臺(tái)連接滑軌的延伸頭部與晶托燕尾槽相配合。本實(shí)用新型的有益效果是使用時(shí)，機(jī)臺(tái)連接滑軌的延伸頭部與晶托燕尾槽配合連接后將晶托拉出，從而不使用兩個(gè)支架，這樣既能解決下棒時(shí)引起卡棒現(xiàn)象，同時(shí)減少晶棒下棒時(shí)易掉片的現(xiàn)象，提聞廣品合格率。
以下結(jié)合附圖
對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步說(shuō)明。圖I是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；其中1.延伸頭部。
具體實(shí)施方式
現(xiàn)在結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的說(shuō)明。這些附圖均為簡(jiǎn)化的示意圖僅以示意方式說(shuō)明本實(shí)用新型的基本結(jié)構(gòu)，因此其僅顯示與本實(shí)用新型有關(guān)的構(gòu)成。如圖I所示，一種硅片下棒工裝，用于卸載安裝在機(jī)臺(tái)工作臺(tái)上的晶托，包括機(jī)臺(tái)定位機(jī)構(gòu)、機(jī)臺(tái)連接滑軌，所述的機(jī)臺(tái)連接滑軌具有可伸入機(jī)臺(tái)工作臺(tái)的延伸頭部I，機(jī)臺(tái)連接滑軌的延伸頭部I與晶托燕尾槽相配合。使用時(shí)，機(jī)臺(tái)連接滑軌的延伸頭部I與晶托燕尾槽配合連接后將晶托拉出，從而不使用兩個(gè)支架，這樣既能解決下棒時(shí)引起卡棒現(xiàn)象，同時(shí)減少晶棒下棒時(shí)易掉片的現(xiàn)象，提聞廣品合格率。以上述依據(jù)本實(shí)用新型的理想實(shí)施例為啟示，通過(guò)上述的說(shuō)明內(nèi)容，相關(guān)工作人員完全可以在不偏離本項(xiàng)實(shí)用新型技術(shù)思想的范圍內(nèi)，進(jìn)行多樣的變更以及修改。本項(xiàng)實(shí)用新型的技術(shù)性范圍并不局限于說(shuō)明書(shū)上的內(nèi)容，必須要根據(jù)權(quán)利要求范圍來(lái)確定其技術(shù)性范 圍。
權(quán)利要求1.一種硅片下棒工裝，用于卸載安裝在機(jī)臺(tái)工作臺(tái)上的晶托，其特征在于包括機(jī)臺(tái)定位機(jī)構(gòu)、機(jī)臺(tái)連接滑軌，所述的機(jī)臺(tái)連接滑軌具有可伸入機(jī)臺(tái)工作臺(tái)的延伸頭部，機(jī)臺(tái)連接滑軌的延伸頭部與晶托燕尾槽相配合。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種硅片下棒工裝，用于卸載安裝在機(jī)臺(tái)工作臺(tái)上的晶托，包括機(jī)臺(tái)定位機(jī)構(gòu)、機(jī)臺(tái)連接滑軌，所述的機(jī)臺(tái)連接滑軌具有可伸入機(jī)臺(tái)工作臺(tái)的延伸頭部，機(jī)臺(tái)連接滑軌的延伸頭部與晶托燕尾槽相配合。使用時(shí)，機(jī)臺(tái)連接滑軌的延伸頭部與晶托燕尾槽配合連接后將晶托拉出，從而不使用兩個(gè)支架，這樣既能解決下棒時(shí)引起卡棒現(xiàn)象，同時(shí)減少晶棒下棒時(shí)易掉片的現(xiàn)象，提高產(chǎn)品合格率。
文檔編號(hào)B28D7/04GK202592576SQ20122015260
公開(kāi)日2012年12月12日 申請(qǐng)日期2012年4月11日 優(yōu)先權(quán)日2012年4月11日
發(fā)明者王仁杰, 王飛飛 申請(qǐng)人:常州天合光能有限公司