專利名稱:預(yù)清洗晶托支撐裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實(shí)用新型涉及硅片預(yù)清洗工裝,特別是一種預(yù)清洗晶托支撐裝置。
背景技術(shù):
在對(duì)硅片進(jìn)行脫膠預(yù)清洗時(shí),都要把晶托放置在上料車上,再推到清洗機(jī)中進(jìn)行預(yù)清洗。之前都是使用羊角螺絲把貫穿晶托的支撐桿與滑桿連接起來,由于羊角螺絲與支撐桿是分開的,容易丟失。再有,螺母長期工作,會(huì)導(dǎo)致螺紋滑牙、無法擰緊,以至于晶托會(huì)在工裝上產(chǎn)生晃動(dòng),碰到上料車的兩側(cè)擋桿,導(dǎo)致碎片,支撐桿偏動(dòng)多了可能導(dǎo)致晶棒從工裝上掉落,造成生產(chǎn)事故,嚴(yán)重影響經(jīng)濟(jì)損失。
實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種預(yù)清洗晶托支撐裝置,方便預(yù)清洗。本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是一種預(yù)清洗晶托支撐裝置,包括上料車架體、固定在上料車架體上的兩根平行的滑桿以及裝載在上料車內(nèi)的晶托,晶托通過至少兩根支撐桿架設(shè)在兩根滑桿上,支撐桿包括貫穿晶托的直桿部,在直桿部的一端設(shè)置固定卡槽,每兩個(gè)支撐桿為一對(duì),彼此反向設(shè)置,支撐桿的固定卡槽通過內(nèi)壁卡在滑桿上。在直桿部上還設(shè)置有限位塊,限位塊位于固定卡槽的前方。本實(shí)用新型的有益效果是該裝置結(jié)構(gòu)簡單,操作方便,還能降低硅片的破碎率,節(jié)約成本。
以下結(jié)合附圖
和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步說明;圖I是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖;圖2是本實(shí)用新型的使用狀態(tài)圖;圖I中I.直桿部,2.固定卡槽,3.限位塊,4.晶托,5.滑桿,6.上料車架體,7.支撐桿。
具體實(shí)施方式
如圖I和2所示,一種預(yù)清洗晶托支撐裝置,包括上料車架體6、固定在上料車架體6上的兩根平行的滑桿5以及裝載在上料車內(nèi)的晶托4,晶托4通過至少兩根支撐桿7架設(shè)在兩根滑桿5上,支撐桿7包括貫穿晶托4的貫穿孔的直桿部1,在直桿部I的一端設(shè)置固定卡槽2,每兩個(gè)支撐桿7為一對(duì),彼此反向設(shè)置形成自鎖,保證晶托4穩(wěn)定的安裝在上料車的滑桿5上。支撐桿7的固定卡槽2通過內(nèi)壁卡在滑桿5上。在直桿部I上還設(shè)置有限位塊3,限位塊3位于固定卡槽2的前方,以避免晶托4在搬運(yùn)過程中向兩邊滑動(dòng),導(dǎo)致硅片的碎片。
權(quán)利要求1.一種預(yù)清洗晶托支撐裝置,包括上料車架體¢)、固定在上料車架體(6)上的兩根平行的滑桿(5)以及裝載在上料車內(nèi)的晶托(4),其特征是所述的晶托(4)通過至少兩根支撐桿(7)架設(shè)在兩根滑桿(5)上,支撐桿(7)包括貫穿晶托(4)的直桿部(I),在直桿部(I)的一端設(shè)置固定卡槽(2),每兩個(gè)支撐桿(7)為一對(duì),彼此反向設(shè)置,支撐桿(7)的固定卡槽⑵通過內(nèi)壁卡在滑桿(5)上。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的預(yù)清洗晶托支撐裝置,其特征是在所述的直桿部(I)上還設(shè)置有限位塊(3),限位塊(3)位于固定卡槽(2)的前方。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種預(yù)清洗晶托支撐裝置,包括上料車架體、固定在上料車架體上的兩根平行的滑桿以及裝載在上料車內(nèi)的晶托,晶托通過至少兩根支撐桿架設(shè)在兩根滑桿上,支撐桿包括貫穿晶托的直桿部,在直桿部的一端設(shè)置固定卡槽,每兩個(gè)支撐桿為一對(duì),彼此反向設(shè)置,支撐桿的固定卡槽通過內(nèi)壁卡在滑桿上。本實(shí)用新型的有益效果是該裝置結(jié)構(gòu)簡單,操作方便,還能降低硅片的破碎率,節(jié)約成本。
文檔編號(hào)B28D7/04GK202592577SQ20122015268
公開日2012年12月12日 申請(qǐng)日期2012年4月11日 優(yōu)先權(quán)日2012年4月11日
發(fā)明者何振興 申請(qǐng)人:常州天合光能有限公司