專利名稱：薄膜形成裝置以及薄膜形成方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及噴墨方式的薄膜形成裝置以及薄膜形成方法。
背景技術(shù)：
噴墨方式是從作為涂敷頭的利用了氣泡或者壓電元件的噴墨涂敷頭每次少量且高精度地排出作為涂敷材料的墨液滴的方式。將通過該墨液滴的高精度的排出向作為涂敷對象的部件涂敷墨液滴的處理裝置化了的裝置是噴墨涂敷裝置。近年，它作為能夠?qū)崿F(xiàn)墨的高精細(xì)的涂敷的裝置受到矚目，并不限于對紙的印刷，在所有的產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域探求其應(yīng)用可能性，也有已被實(shí)用化的裝置。在涂敷頭的下面前端以規(guī)定的間距設(shè)置多個(gè)噴嘴，根據(jù)該噴嘴的間距決定作為涂敷材料的液滴的排出間隔。由于該噴嘴的間距小，能夠按照每個(gè)噴嘴個(gè)別地管理排出的有 無，所以，不需要柔性版印刷法那樣的版型，能夠進(jìn)行平面內(nèi)的自由形狀的涂敷。另一方面，由于調(diào)整涂敷材料的粘度，以便能夠進(jìn)行從噴嘴排出液滴，所以，在排出后的基板上產(chǎn)生涂敷材料的潤展。因此，一滴液滴和相鄰的一滴液滴生成的面形狀的穩(wěn)定性成為問題，尤其是在面形狀的最外周的線形狀對制作物的品質(zhì)有很大影響。例如，專利文獻(xiàn)I是通過噴墨頭將定向膜材料排出，使之附著在基板上的文獻(xiàn)。在進(jìn)行干燥固化形成定向膜的方法中，表示了向用于做成適合噴墨中的排出的粘度的定向膜材料添加的表面張力調(diào)整的溶劑、脫氣溶劑。它是欲提高噴墨的排出動(dòng)作和排出后的基板上的水平性的方法，是就干燥固化而言，作為另外的工序向下一個(gè)進(jìn)行干燥的裝置轉(zhuǎn)移的方法(參見非專利文獻(xiàn)I)。在先技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)I :專利第3073493號(hào)公報(bào)非專利文獻(xiàn)非專利文獻(xiàn)I :巖井善弘·越石健司著《液晶· rop ·有機(jī)EL徹底比較》、初版、株式會(huì)社工業(yè)調(diào)查會(huì)、2004年7月、P50-58至此，在要求噴墨方式的涂敷中的高涂敷位置精度、膜厚的均勻性方面，主要著眼于作為目標(biāo)的涂敷間隔和涂敷頭的噴嘴間距的相對的位置關(guān)系。但是，在逐漸將噴墨方式的涂敷在各個(gè)領(lǐng)域靈活應(yīng)用方面，在進(jìn)行涂敷的時(shí)刻的動(dòng)作的基礎(chǔ)上，對從剛剛涂敷后到進(jìn)行干燥并粘合在基板上為止怎樣進(jìn)行管理也是重要的。尤其是在應(yīng)用在液晶玻璃基板的制造的事例中，隨著基板大型化的進(jìn)展，成為怎樣的粘合狀態(tài)變得極其重要。因此，希望通過噴墨方式來管理位置，進(jìn)行涂敷，迅速進(jìn)行干燥，以便能夠保持被管理的位置。但是，在非專利文獻(xiàn)I所示那樣的以往的方法中，在一系列涂敷處理結(jié)束后，進(jìn)行干燥處理。因此，在從涂敷處理開始到設(shè)定在干燥裝置上，開始干燥處理為止的期間，沒有進(jìn)行干燥處理。因此，存在在到開始干燥處理為止的期間，涂敷在玻璃基板上的液滴運(yùn)動(dòng)或因液滴間的重疊而產(chǎn)生的水平在無意的狀態(tài)下連鎖性地產(chǎn)生的可能性。因此，本發(fā)明以提供一種能夠進(jìn)行高精度且均勻的涂敷的薄膜形成裝置以及薄膜形成方法為課題。

發(fā)明內(nèi)容
為了解決這樣的課題，本發(fā)明是一種薄膜形成裝置，所述薄膜形成裝置具備吸附保持涂敷對象物的吸附工作臺(tái)、一面從噴墨式噴嘴向被吸附保持在該吸附工作臺(tái)上的上述涂敷對象物的表面排出涂敷材，一面進(jìn)行薄膜形成的多個(gè)涂敷頭、使該涂敷頭在上述涂敷對象物的上方位置移動(dòng)的龍門架，其特征在于，上述龍門架還具備將上述涂敷對象物的表面加熱的熱源裝置。發(fā)明效果 根據(jù)本發(fā)明，能夠提供一種能夠進(jìn)行高精度且均勻的涂敷的薄膜形成裝置以及薄膜形成方法。


圖I是表示有關(guān)本實(shí)施方式的薄膜形成裝置的結(jié)構(gòu)的立體圖。圖2是說明龍門架的背面?zhèn)鹊臉?gòu)造的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3是頭恢復(fù)裝置的放大圖。圖4是說明頭恢復(fù)裝置的動(dòng)作的示意圖。圖5是說明控制部的功能的功能塊圖。圖6是說明有關(guān)本實(shí)施方式的薄膜形成裝置的薄膜形成方法的流程圖。圖7是說明外框涂敷工序的流程圖。圖8是說明內(nèi)面涂敷工序的流程圖。圖9是說明有關(guān)本實(shí)施方式的薄膜形成裝置的外框涂敷工序的示意圖，Ca)表示去路時(shí)，(b)表示歸路時(shí)。圖10是說明有關(guān)變形例的薄膜形成裝置的龍門架的構(gòu)造的結(jié)構(gòu)示意圖。圖11是說明有關(guān)變形例的薄膜形成裝置的外框涂敷工序的示意圖，(a)表示去路時(shí)，(b)表示歸路時(shí)。
具體實(shí)施例方式下面，一面恰當(dāng)?shù)貐⒄崭綀D，一面詳細(xì)地說明用于實(shí)施本發(fā)明的方式(下稱“實(shí)施方式”)。另外，各圖中，對共通的部分標(biāo)注相同的符號(hào)，省略重復(fù)的說明。圖I是表示有關(guān)本實(shí)施方式的薄膜形成裝置I的結(jié)構(gòu)的立體圖。有關(guān)本實(shí)施方式的薄膜形成裝置I有平板·面板·顯示器、應(yīng)用了電泳方式等的被稱為柔性·顯示器的柔韌地彎曲的電子紙等多種多樣的用途。在下面的說明中，有關(guān)本實(shí)施方式的薄膜形成裝置I作為相對于用于平板·面板·顯示器的玻璃基板100形成(涂敷)聚酰亞胺的薄膜的裝置來說明。另外，雖然在有關(guān)本實(shí)施方式的薄膜形成裝置I中，形成(涂敷)在玻璃基板100上的聚酰亞胺的薄膜是通過進(jìn)行正式干燥處理以及定向處理(研磨)而成為定向膜，但是，在本說明中，將正式干燥處理·定向處理前的薄膜也稱為“定向膜”。薄膜形成裝置I具備架臺(tái)2、龍門架3、具有多個(gè)涂敷頭4的涂敷頭單元5、X軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)6、Y軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)7、Ζ軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)8、對作為形成(涂敷)定向膜的對象的玻璃基板100進(jìn)行真空吸附并進(jìn)行固定的吸附工作臺(tái)9、頭恢復(fù)裝置10、熱源裝置31、調(diào)準(zhǔn)照相機(jī)32 (參見圖2)、調(diào)準(zhǔn)照相機(jī)移動(dòng)機(jī)構(gòu)33 (參見圖2)、控制部50 (參見圖5)。另外，在下面的說明中，如圖I所示，將架臺(tái)2的長度方向(龍門架3的移動(dòng)方向)作為X軸，將架臺(tái)2的寬度方向(在水平面上與X軸正交的方向)作為Y軸，將豎直方向作為Z軸，進(jìn)行說明。另外，將龍門架3向X軸的正方向移動(dòng)作為去路，將向X軸的負(fù)方向移動(dòng)作為歸路，進(jìn)行說明。龍門架3是在與架臺(tái)2之間具有開口 3a的門型龍門架，經(jīng)X軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)6被設(shè)置在架臺(tái)2之上。在龍門架3的歸路側(cè)經(jīng)Y軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)7以及Z軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)8設(shè)置具有多個(gè)涂敷頭 4的涂敷頭單元5。在龍門架3的去路側(cè)設(shè)置熱源裝置31。另外，在龍門架3的去路側(cè)經(jīng)調(diào)準(zhǔn)照相機(jī)移動(dòng)機(jī)構(gòu)33 (參見圖2)設(shè)置調(diào)準(zhǔn)照相機(jī)32 (參見圖2)。X軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)6是由設(shè)置在架臺(tái)2上的定子(磁板)6a和設(shè)置在龍門架3上的動(dòng)子(線圈)6b構(gòu)成的線性馬達(dá)執(zhí)行器，能夠相對于架臺(tái)2使龍門架3在X軸方向移動(dòng)。Y軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)7是由設(shè)置在龍門架3上的定子(磁板)7a和設(shè)置在涂敷頭單元5上的動(dòng)子(線圈)7b構(gòu)成的線性馬達(dá)執(zhí)行器，能夠相對于龍門架3使涂敷頭單元5在Y軸方向移動(dòng)。Z軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)8由伺服馬達(dá)構(gòu)成，能夠相對于龍門架3使涂敷頭單元5在Z軸方向移動(dòng)。S卩、涂敷頭單元5 (涂敷頭4、后述的噴嘴4a)能夠通過X軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)6在X軸方向移動(dòng)，通過Y軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)7在Y軸方向移動(dòng)，通過Z軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)8在Z軸方向移動(dòng)。另外，X軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)6、Y軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)7以及Z軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)8由控制部50控制。設(shè)置具有多個(gè)涂敷頭4的涂敷頭單元5。為了確保將定向膜材料排出的噴嘴的間距的連續(xù)性，設(shè)置多個(gè)涂敷頭4。在圖I所示的例子中，圖示了在涂敷頭單元5上沿Y軸方向?qū)⑺膫€(gè)涂敷頭4配置成一列，該涂敷頭4的列在X軸方向配置3列的情況。再有，相對于一個(gè)涂敷頭4排出定向膜材料的噴嘴(未圖示出)沿Y軸方向成一列配置多個(gè)，該噴嘴的列配置有多列(未圖示出)。另外，涂敷頭4是利用壓電元件等從噴嘴高精度地排出少量的液滴的噴墨頭。另外,控制部50能夠按照每個(gè)涂敷頭4的各噴嘴控制定向膜材料排出的有無、時(shí)間、排出的定向膜材料的量。圖2是說明龍門架3的背面?zhèn)鹊臉?gòu)造的結(jié)構(gòu)示意圖。另外，在圖2中，省略X軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)6的動(dòng)子6b、Y軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)7、Z軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)8來表示。如圖2所示，被配置在龍門架3的去路側(cè)(圖I的背面?zhèn)?的熱源裝置31例如由紅外線燈構(gòu)成，能夠向大致豎直方向照射紅外線。即、在為龍門架3的歸路時(shí)，能夠相對于在龍門架3的開口 3a (參見圖I)通過了的對象(玻璃基板100)照射紅外線。另外，熱源裝置31由控制部50控制其點(diǎn)燈·滅燈。
另外，雖然有關(guān)本實(shí)施方式的薄膜形成裝置I以將紅外線燈作為熱源裝置31使用的裝置進(jìn)行了說明，但并不限定于此，可以是照射可視光線的可視光線燈(未圖示出)，也可以是照射紫外線的紫外線燈(未圖示出)，還可以是能夠?qū)⑼糠笤诓ＡЩ?00上的定向膜材料加熱的部件。順帶一句，在作為熱源裝置31使用紫外線燈(未圖示出)的情況下，由于從將紫外線燈的電源接通到所照射的紫外線的強(qiáng)度穩(wěn)定為止需要時(shí)間，所以，希望設(shè)置光閘(未圖示出)，在對紫外線燈的點(diǎn)燈·滅燈進(jìn)行控制的基礎(chǔ)上，通過光閘的開閉對照射開始和照射停止進(jìn)行控制。另外，作為熱源裝置31，也可以是將不含塵埃等的清潔的空氣(干凈空氣)加熱，向?qū)ο?玻璃基板100)吹拂的熱風(fēng)送風(fēng)裝置(未圖示出)。通過將被加熱的清潔的空氣作為熱媒質(zhì)向?qū)ο蟠捣?，能夠進(jìn)一步將對象(玻璃基板100)加熱。另外，也可以是將熱風(fēng)送風(fēng)裝置和紅外線燈(可視光線燈、紫外線燈)組合的熱源裝置。調(diào)準(zhǔn)照相機(jī)32是除用于與吸附在吸附工作臺(tái)9上的玻璃基板100的定位用外，還 用于觀察從涂敷頭4排出，涂敷在玻璃基板100上的定向膜材料的照相機(jī)。調(diào)準(zhǔn)照相機(jī)移動(dòng)機(jī)構(gòu)33能夠相對于龍門架3使調(diào)準(zhǔn)照相機(jī)32在Y軸方向移動(dòng)。即、調(diào)準(zhǔn)照相機(jī)32能夠通過X軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)6在X軸方向移動(dòng)，通過調(diào)準(zhǔn)照相機(jī)移動(dòng)機(jī)構(gòu)33在Y軸方向移動(dòng)。另外，X軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)6以及調(diào)準(zhǔn)照相機(jī)移動(dòng)機(jī)構(gòu)33由控制部50控制。另外，由調(diào)準(zhǔn)照相機(jī)32攝像的圖像向控制部50傳輸，用于涂敷頭4的位置校正。返回到圖1，吸附工作臺(tái)9能夠真空吸附玻璃基板100并進(jìn)行固定。另外，吸附工作臺(tái)9具備由伺服馬達(dá)構(gòu)成的Θ旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(未圖示出)，能夠以Z軸方向的軸為旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)旋轉(zhuǎn)角Θ。另外，吸附工作臺(tái)9能夠通過控制部50控制玻璃基板100的裝拆以及旋轉(zhuǎn)角Θ。接著，使用圖3以及圖4，進(jìn)一步說明頭恢復(fù)裝置10。圖3是頭恢復(fù)裝置10的放大圖。頭恢復(fù)裝置10是從涂敷頭4的噴嘴排出，防止噴嘴的孔堵塞且檢測孔堵塞的恢復(fù)的裝置。頭恢復(fù)裝置10具備吸入口 11、LED (Light Emitting Diode ;發(fā)光二極管)12、照相機(jī)13、使LED12在Y軸方向移動(dòng)的LED移動(dòng)機(jī)構(gòu)12A、使照相機(jī)13在Y軸方向移動(dòng)的照相機(jī)移動(dòng)機(jī)構(gòu)13A、電子天平14。在電子天平14，使定向膜材料從涂敷頭4的噴嘴排出，調(diào)整各涂敷頭4之間的每一次的排出量。吸入口 11與真空腔(未圖示出)等連接，以在Z軸方向看位置與設(shè)置在涂敷頭單元5上的多個(gè)涂敷頭4對應(yīng)的方式被配置。S卩、四個(gè)吸入口 11與圖I所示的涂敷頭單元5對應(yīng)地沿Y軸方向配置成一列，該吸入口 11的列在X軸方向配置三列。LED12以位置與設(shè)置在涂敷頭單元5上的沿Y軸方向配置成一列的涂敷頭4對應(yīng)的方式被配置。即、四個(gè)LED12與圖I所示的涂敷頭單元5對應(yīng)地沿Y軸方向配置成一列。另外，LED12能夠通過LED移動(dòng)機(jī)構(gòu)12A在Y軸方向移動(dòng)。另外，LED12由控制部50控制其點(diǎn)燈·滅燈。照相機(jī)13以位置與被設(shè)置在涂敷頭單元5上的沿Y軸方向配置成一列的涂敷頭4對應(yīng)的方式被配置。即、四個(gè)照相機(jī)13與圖I所示的涂敷頭單元5對應(yīng)地沿Y軸方向配置成一列。另外，照相機(jī)13能夠通過照相機(jī)移動(dòng)機(jī)構(gòu)13A在Y軸方向移動(dòng)。另外，由照相機(jī)13攝像的圖像向控制部50傳輸。圖4是說明頭恢復(fù)裝置10的動(dòng)作的示意圖。另外，圖4是在圖I的X-Z平面看的示意圖。另外，圖I中，雖然在X軸方向配置多個(gè)涂敷頭4以及吸入口 11，但是，與成為檢查對象的噴嘴對應(yīng)的涂敷頭4以及吸入口 11以外的部件在該圖4中省略了圖示。首先，控制部50 (后述的頭恢復(fù)控制部51)控制X軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)6以及Y軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)7，以與吸入口 11對應(yīng)的方式使涂敷頭4移動(dòng)。另外，控制部50 (頭恢復(fù)控制部51)控制LED移動(dòng)機(jī)構(gòu)12A以及照相機(jī)移動(dòng)機(jī)構(gòu)13A，使之以LED12以及照相機(jī)13的Y軸坐標(biāo)與檢查對象的噴嘴4a的Y軸坐標(biāo)一致的方式移動(dòng)。另外，照相機(jī)13具有X軸方向的移動(dòng)機(jī)構(gòu)(未圖示出)，使攝像的焦點(diǎn)位置以與檢查對象的噴嘴4a的X軸坐標(biāo)一致的方式移動(dòng)。
接著，控制部50 (頭恢復(fù)控制部51)控制涂敷頭4，進(jìn)行從噴嘴4a排出定向膜材料的液滴4b的恢復(fù)運(yùn)轉(zhuǎn)。另外，被排出的定向膜材料的液滴4b進(jìn)入吸入口 11。此時(shí)，控制部50 (頭恢復(fù)控制部51)使LED12點(diǎn)燈，由照相機(jī)13進(jìn)行攝像。被排出的定向膜材料的液滴4b在由照相機(jī)13攝像的圖像中，作為影子被攝像。據(jù)此，能夠檢測噴嘴4a的孔堵塞的恢復(fù)。另外，雖然噴嘴4a的孔堵塞是通過排出定向膜材料的液滴4b來消除的，但是，在僅通過排出控制不能消除孔堵塞的情況下，也可以是控制部50 (頭恢復(fù)控制部51)控制Z軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)8 (參見圖1)，使涂敷頭4下降，以便與吸入口 11接觸，進(jìn)行吸引恢復(fù)。而且，控制部50 (頭恢復(fù)控制部51)控制Z軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)8 (參見圖I )，返回規(guī)定的高度，從噴嘴4a排出定向膜材料的液滴4b，由照相機(jī)13進(jìn)行攝像，對恢復(fù)進(jìn)行確認(rèn)。圖5是說明控制部50的功能的功能塊圖。 控制部50能夠控制X軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)6、Y軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)7、Z軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)8、LED移動(dòng)機(jī)構(gòu)12A、照相機(jī)移動(dòng)機(jī)構(gòu)13A以及調(diào)準(zhǔn)照相機(jī)移動(dòng)機(jī)構(gòu)33的移動(dòng)位置。另外，控制部50能夠在吸附工作臺(tái)9控制玻璃基板100的裝拆以及旋轉(zhuǎn)角Θ。另外，控制部50能夠控制LED12以及熱源裝置31的點(diǎn)燈·滅燈。另外，控制部50能夠按照多個(gè)的涂敷頭4的噴嘴的每一個(gè)，對定向膜材料的排出的有無、時(shí)刻進(jìn)行控制。另外，由照相機(jī)13以及調(diào)準(zhǔn)照相機(jī)32攝像的圖像輸入控制部50。控制部50具備頭恢復(fù)控制部51、外框涂敷工序控制部52、內(nèi)面涂敷工序控制部53。頭恢復(fù)控制部51進(jìn)行使涂敷頭4的噴嘴恢復(fù)的控制。外框涂敷工序控制部52進(jìn)行形成向玻璃基板100上涂敷的定向膜的外框的控制。內(nèi)面涂敷工序控制部53進(jìn)行向由外框涂敷工序控制部52形成的定向膜的外框的內(nèi)部涂敷定向膜材料的控制。接著，使用圖6至圖8，說明有關(guān)本實(shí)施方式的薄膜形成裝置I的薄膜形成方法。在步驟SI中，控制部50的頭恢復(fù)控制部51確認(rèn)能否從涂敷頭4的噴嘴正常地滴下定向膜材料。另外，使用電子天平14，調(diào)整來自涂敷頭4的噴嘴的定向膜材料的排出量。具體地說，頭恢復(fù)控制部51控制X軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)6以及Y軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)7，以與吸入口11對應(yīng)的方式使涂敷頭4移動(dòng)。另外，控制LED移動(dòng)機(jī)構(gòu)12A以及照相機(jī)移動(dòng)機(jī)構(gòu)13A，以LED12以及照相機(jī)13的Y軸坐標(biāo)與檢查對象的噴嘴的Y軸坐標(biāo)一致的方式使之移動(dòng)。而且，頭恢復(fù)控制部51控制涂敷頭4，從噴嘴排出定向膜材料，由照相機(jī)13對被排出的定向膜材料的液滴進(jìn)行攝像并確認(rèn)。另外，在噴嘴產(chǎn)生孔堵塞，未滴下的情況下，執(zhí)行上述的吸引恢復(fù)。確認(rèn)能夠從涂敷頭4的噴嘴正常地滴下后，進(jìn)入步驟S2。在步驟S2中，控制部50控制吸附工作臺(tái)9，由外部的基板裝填機(jī)構(gòu)(未圖示出)吸附被配置在吸附工作臺(tái)9上的玻璃基板100 (基板裝載)。另外，控制部50控制X軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)6以及調(diào)準(zhǔn)照相機(jī)移動(dòng)機(jī)構(gòu)33，使調(diào)準(zhǔn)照相機(jī)32移動(dòng)，根據(jù)由調(diào)準(zhǔn)照相機(jī)32攝像的圖像確認(rèn)被吸附在吸附工作臺(tái)9上的玻璃基板100的位置。控制部50根據(jù)在這里被確認(rèn)的玻璃基板100的位置信息,控制后述的涂敷頭4的移動(dòng)。 在步驟S3中，控制部50的外框涂敷工序控制部52在玻璃基板100上涂敷并形成定向膜的外框。這里，使用圖7，進(jìn)一步說明步驟S3所示的外框涂敷工序。首先，在步驟S31中，外框涂敷工序控制部52控制Y軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)7，使Y軸的位置移動(dòng)(涂敷頭Y軸對位)，以便在后述的步驟S32中，涂敷頭4在形成外框圖案110 (參見圖9 Ca 的區(qū)域通過。在步驟S32中，如圖9 Ca)所示，外框涂敷工序控制部52控制X軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)6，使龍門架3在去路方向移動(dòng)，且控制涂敷頭4，控制從涂敷頭4的噴嘴滴下定向膜材料的液滴的時(shí)刻。據(jù)此，在玻璃基板100上涂敷定向膜的外框圖案110。若龍門架3的去路方向的移動(dòng)結(jié)束，則進(jìn)入步驟S33。在步驟S33中，外框涂敷工序控制部52使作為熱源裝置31的紅外線燈點(diǎn)燈(熱源裝置0N)。在步驟S34中，如圖9 (b)所示，外框涂敷工序控制部52控制X軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)6，使龍門架3在歸路方向移動(dòng)。這樣，相對于在龍門架3的開口 3a (參見圖I)通過了的玻璃基板100，照射紅外線(加熱區(qū)域)34。據(jù)此，使在步驟S32被涂敷在玻璃基板100上的定向膜的外框圖案110干燥。若龍門架3的歸路方向的移動(dòng)結(jié)束，則進(jìn)入步驟S35。在步驟S35中，外框涂敷工序控制部52使作為熱源裝置31的紅外線燈滅燈(熱源裝置OFF)。在步驟S36中，外框涂敷工序控制部52判定規(guī)定的次數(shù)是否結(jié)束。在步驟S3所示的外框涂敷工序中，為使外框圖案110達(dá)到規(guī)定的高度，多次反復(fù)外框圖案110的涂敷和干燥，在規(guī)定的次數(shù)未結(jié)束的情況下(S36 · No)，外框涂敷工序控制部52的處理返回步驟S31。在規(guī)定的次數(shù)結(jié)束了的情況下(S36 · Yes)，結(jié)束圖7所示的外框涂敷工序(步驟S3)，進(jìn)入圖6的步驟S4。返回圖6，在步驟S4中，控制部50的內(nèi)面涂敷工序控制部53向由在步驟S3形成的外框圖案110 (參見圖9)包圍的內(nèi)面涂敷定向膜材料。這里，使用圖8，進(jìn)一步說明步驟S4所示的內(nèi)面涂敷工序。在步驟S41中，內(nèi)面涂敷工序控制部53控制Y軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)7，使Y軸的位置移動(dòng)(涂敷頭Y軸對位)，以便使涂敷頭4配置在Y軸方向的初期位置。在步驟S42中，內(nèi)面涂敷工序控制部53控制X軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)6，使龍門架3移動(dòng)，且控制涂敷頭4，控制從噴嘴滴下定向膜材料的液滴的時(shí)刻(龍門架移動(dòng) 涂敷)。另外，在S42中的龍門架3的移動(dòng)與去路、歸路無關(guān)。據(jù)此，向由在步驟S3形成的外框圖案110 (參見圖9)包圍的內(nèi)面涂敷定向膜材料。在步驟S43中，內(nèi)面涂敷工序控制部53判定規(guī)定的涂敷次數(shù)(N次)是否結(jié)束。如后所述，由外框圖案110包圍的內(nèi)面的涂敷是一面使涂敷頭4移動(dòng)噴嘴間距的I / N，一面進(jìn)行N次涂敷。據(jù)此，向由外框圖案110包圍的內(nèi)面滴下的液滴的間距為涂敷頭4的噴嘴間距的I / N。據(jù)此，能夠使膜厚均勻化。在規(guī)定的涂敷次數(shù)未結(jié)束的情況下(S43 · No)，進(jìn)入步驟S44，內(nèi)面涂敷工序控制 部52控制Y軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)7，使涂敷頭4移動(dòng)I /N噴嘴間距。然后，返回步驟S42。在規(guī)定的涂敷次數(shù)結(jié)束了的情況下(S43 ·Yes)，結(jié)束圖8所示的內(nèi)面涂敷工序(步驟S4)，進(jìn)入圖6的步驟S5。在步驟S5中，控制部50控制吸附工作臺(tái)9，解除被配置在吸附工作臺(tái)9上的玻璃基板100的吸附。涂敷有定向膜的玻璃基板100由外部的基板裝填機(jī)構(gòu)(未圖示出)從薄膜形成裝置I取出(基板卸載)。另外，從薄膜形成裝置I取出的玻璃基板100被送向進(jìn)行正式干燥處理的干燥處理裝置(未圖示出)。這樣，因?yàn)橛嘘P(guān)本實(shí)施方式的薄膜形成裝置I使用噴墨方式，形成定向膜，所以，不需要以往的柔性版印刷法那樣的版型，能夠?qū)?yīng)少量·多品種的定向膜形成(換言之，是少量·多品種的平板·面板·顯示器的制造)。另外，有關(guān)本實(shí)施方式的薄膜形成裝置I在將定向膜形成在玻璃基板100上時(shí)，形成定向膜的外框圖案110，此后，在框內(nèi)涂敷定向膜材料。這里，如圖9所示，因?yàn)樵谛纬啥ㄏ蚰さ耐饪驁D案110時(shí)，由紅外線燈等的熱源裝置31將被涂敷在玻璃基板100上的定向膜材料加熱，所以，能夠降低被涂敷的定向膜材料從玻璃基板100上的涂敷的位置擴(kuò)展的情況。據(jù)此，能夠降低從定向膜形成區(qū)域的溢出，有效地使用定向膜材料。另外，能夠提高定向膜的邊緣的直線性。據(jù)此，能夠謀求平板 面板 顯示器的非顯示部面積的進(jìn)一步的縮小化。另外，在進(jìn)行多倒角的玻璃基板中，能夠縮小相鄰的定向膜圖案間距，能夠提高從一張玻璃基板獲取的平板·面板·顯示器的張數(shù)。接著，被涂敷在框內(nèi)的定向膜材料由外框阻擋，不會(huì)進(jìn)一步擴(kuò)展。據(jù)此，能夠降低從定向膜形成區(qū)域的溢出(潤展)，有效地使用定向膜材料。另外，有關(guān)本實(shí)施方式的薄膜形成裝置I與吸附工作臺(tái)9相鄰地設(shè)置頭恢復(fù)裝置10。據(jù)此，能夠防止涂敷頭4的孔堵塞，且將噴嘴恢復(fù)(清掃)，能夠恰當(dāng)?shù)乜刂茝耐糠箢^4的噴嘴滴下的定向膜材料的液滴的量和滴下的時(shí)刻。另外，通過由照相機(jī)13對從涂敷頭4排出的定向膜材料進(jìn)行攝像，能夠確認(rèn)是否無孔堵塞且正確地排出。另外，由于熱源裝置31的照射區(qū)域(圖9 (b)所示的加熱區(qū)域34)在玻璃基板100朝向龍門架3的下方，所以，不會(huì)助長涂敷頭4的孔堵塞。<變形例>另外，有關(guān)本實(shí)施方式的薄膜形成裝置并不限于上述實(shí)施方式的結(jié)構(gòu)，在不脫離發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)能夠進(jìn)行各種變更。圖10是說明有關(guān)變形例的薄膜形成裝置的龍門架3的構(gòu)造的結(jié)構(gòu)示意圖。與有關(guān)本實(shí)施方式的龍門架3 (參見圖2)相比，有關(guān)變形例的龍門架3 (參見圖10)在龍門架3的歸路側(cè)(圖I的正面?zhèn)?也具備熱源裝置35。熱源裝置35與熱源裝置31同樣，例如由紅外線燈構(gòu)成，能夠在大致豎直方向照射紅外線。即、熱源裝置35在為龍門架3的去路時(shí)，能夠相對于在龍門架3的開口 3a (參見圖I)通過了的對象照射紅外線。另外，熱源裝置35由控制部50控制其點(diǎn)燈·滅燈。
圖11是說明有關(guān)變形例的薄膜形成裝置的外框涂敷工序的示意圖，(a)表示去路時(shí)，(b)表示歸路時(shí)。如圖11 (a)所示，在使龍門架3向去路方向移動(dòng)時(shí)，控制涂敷頭4，控制從涂敷頭4的噴嘴滴下定向膜材料的液滴的時(shí)刻，且通過使熱源裝置35點(diǎn)燈，相對于玻璃基板100照射紅外線(加熱區(qū)域)36。另外，如圖11 (b)所示，在使龍門架3在歸路方向移動(dòng)時(shí)，控制涂敷頭4，控制從涂敷頭4的噴嘴滴下定向膜材料的液滴的時(shí)刻，且通過使熱源裝置31點(diǎn)燈，相對于玻璃基板100照射紅外線(加熱區(qū)域)34。這樣，根據(jù)有關(guān)變形例的薄膜形成裝置，在去路時(shí)和歸路時(shí)，都能夠進(jìn)行定向膜材料的滴下和干燥，能夠縮短形成外框的節(jié)拍時(shí)間。另外，因?yàn)槟軌蚩s短從涂敷(定向膜材料的液滴的滴下)到干燥(紅外線的照射)為止的時(shí)間，所以，外框的直線性進(jìn)一步得到提高。另外，也可以是還具備對吸附在吸附工作臺(tái)9 (參見圖I)上的玻璃基板100進(jìn)行加熱的加熱構(gòu)件(未圖示出)，通過在外框形成工序(步驟S3)將玻璃基板100加熱，來促進(jìn)被滴下的定向膜材料的液滴的干燥。符號(hào)說明I :薄膜形成裝置；2 :架臺(tái)；3 :龍門架；3a:開口 ；4 :涂敷頭；4a:噴嘴；4b:定向膜材料的液滴；5 :涂敷頭單元；6 X軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)；6a :定子；6b :動(dòng)子；7 Y軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)；7a :定子；7b :動(dòng)子；8 :Z軸移動(dòng)機(jī)構(gòu)；9 :吸附工作臺(tái)；10 :頭恢復(fù)裝置；11 :吸入口(排出位置);12 LED (攝像裝置)；12A LED移動(dòng)機(jī)構(gòu)(攝像裝置)；13 :照相機(jī)(攝像裝置)；13A :照相機(jī)移動(dòng)機(jī)構(gòu)(攝像裝置);31 :熱源裝置；32 :調(diào)準(zhǔn)照相機(jī)；33 :調(diào)準(zhǔn)照相機(jī)移動(dòng)機(jī)構(gòu)；34 :紅外線(加熱區(qū)域)；35 :熱源裝置；36 :紅外線(加熱區(qū)域)；50 :控制單元；51 :頭恢復(fù)控制部；52 :外框涂敷工序控制部；53 :內(nèi)面涂敷工序控制部；100 :玻璃基板(涂敷對象物)；110 :外框圖案。
權(quán)利要求
1.一種薄膜形成裝置，所述薄膜形成裝置具備吸附保持涂敷對象物的吸附工作臺(tái)、 一面從噴墨式噴嘴向被吸附保持在該吸附工作臺(tái)上的上述涂敷對象物的表面排出涂敷材，一面進(jìn)行薄膜形成的多個(gè)涂敷頭、 使該涂敷頭在上述涂敷對象物的上方位置移動(dòng)的龍門架，其特征在于， 上述龍門架還具備將上述涂敷對象物的表面加熱的熱源裝置。
2.如權(quán)利要求I所述的薄膜形成裝置，其特征在于， 在與上述涂敷對象物的表面不同的位置，還具備從上述涂敷頭將涂敷材排出的排出位置。
3.如權(quán)利要求2所述的薄膜形成裝置，其特征在于，在上述排出位置 還具備對從上述涂敷頭的噴嘴排出的涂敷材進(jìn)行攝像的攝像裝置。
4.一種薄膜形成裝置的薄膜形成方法，是具備 吸附保持涂敷對象物的吸附工作臺(tái)、 一面從噴墨式噴嘴向被吸附保持在該吸附工作臺(tái)上的上述涂敷對象物的表面排出涂敷材，一面進(jìn)行薄膜形成的多個(gè)涂敷頭、 使該涂敷頭在上述涂敷對象物的上方位置移動(dòng)的龍門架、 被配置在上述龍門架上，并將上述涂敷對象物的表面加熱的熱源裝置的薄膜形成裝置的薄膜形成方法，其特征在于，具有 從上述涂敷頭的噴嘴向上述涂敷對象物的表面排出涂敷材，形成薄膜的外框的外框涂敷步驟、 由上述熱源裝置將上述涂敷對象物的表面加熱的使涂敷材干燥的外框干燥步驟、從上述涂敷頭的噴嘴向形成在上述涂敷對象物上的上述外框的框內(nèi)部排出涂敷材,形成薄膜的薄膜涂敷步驟。
全文摘要
本發(fā)明提供一種能夠進(jìn)行高精度且均勻的涂敷的薄膜形成裝置以及薄膜形成方法。本發(fā)明中，是具備吸附保持涂敷對象物(100)的吸附工作臺(tái)(9)、一面從噴墨式噴嘴向被吸附保持在吸附工作臺(tái)(9)上的涂敷對象物(100)的表面排出涂敷材，一面進(jìn)行薄膜形成的多個(gè)涂敷頭(4)、使涂敷頭(4)在涂敷對象物(100)的上方位置移動(dòng)的龍門架(3)的薄膜形成裝置(1)，其中，龍門架(3)還具備將涂敷對象物(100)的表面加熱的熱源裝置(31)。
文檔編號(hào)C03C17/22GK102826762SQ20121018213
公開日2012年12月19日 申請日期2012年6月5日 優(yōu)先權(quán)日2011年6月16日
發(fā)明者德安良紀(jì), 山本英明, 渡瀨直樹, 松井淳一, 中村秀男 申請人:株式會(huì)社日立工業(yè)設(shè)備技術(shù)