專利名稱：：偏角度多線切割方法及其切割裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及一種多線鋸切割方法及其切割裝置，尤其是偏角度多線鋸切割方法及其切割裝置。
背景技術(shù)：
：傳統(tǒng)工藝中將硅錠切割成多片硅片的方法是不偏角度的，具體如下傳統(tǒng)工藝中將硅錠切割成多片硅片的方法，同時(shí)多線切割經(jīng)過倒角處理的兩塊硅錠，第一塊硅錠和第二塊硅錠均固定在鳩尾座3上，第一塊硅錠的中心軸El與第二塊硅錠的中心軸E2呈平行分布的，第一塊硅錠的沿垂直地面方向的橫截面分布有第一上內(nèi)頂角A1，第一上外頂角B1，第一下外頂角C1，第一下內(nèi)頂角D1;第二塊硅錠的沿垂直地面面方向的橫截面分布有第二上內(nèi)頂角A2，第二上外頂角B2，第二下外頂角C2，第二下內(nèi)頂角D2;其特征在于第一下外頂角Cl垂直于水平線的距離與第一下內(nèi)頂角Dl垂直于水平線的距離相同；第二下外頂角C2垂直于水平線的距離與第二下內(nèi)頂角D2垂直于水平線的距離相同。傳統(tǒng)工藝中將硅錠切割成多片硅片的方法，第一塊硅錠和第二塊硅錠在固定的時(shí)候完全與水平面平行，并且切割線與硅錠的底部是平行的，沒有偏角度。這樣的操作是符合切割設(shè)備廠商提供的正統(tǒng)的操作，因而很少有技術(shù)人員會將此方法進(jìn)行改動。在傳統(tǒng)的不偏角度的切割中，多線切割各重10公斤的兩塊硅錠至全部為硅片結(jié)束，整個切割過程一般需要428-432分鐘。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于提供偏角度多線鋸切割方法及其切割裝置，可以適當(dāng)縮短切割的工作周期，有利于提高工作效率。本發(fā)明的技術(shù)方案為偏角度多線切割方法，同時(shí)多線切割經(jīng)過倒角處理的兩塊硅錠，第一塊硅錠和第二塊硅錠均固定在鳩尾座3上，第一塊硅錠的中心軸El與第二塊硅錠的中心軸E2呈平行分布的，第一塊硅錠的沿垂直地面方向的橫截面分布有第一上內(nèi)頂角A1，第一上外頂角Bl，第一下外頂角Cl，第一下內(nèi)頂角Dl;第二塊硅錠的沿垂直地面面方向的橫截面分布有第二上內(nèi)頂角A2，第二上外頂角B2，第二下外頂角C2，第二下內(nèi)頂角D2;第一下外頂角Cl垂直于水平線的距離高于第一下內(nèi)頂角Dl垂直于水平線的距離；第二下外頂角C2垂直于水平線的距離高于第二下內(nèi)頂角D2垂直于水平線的距離。偏角度多線切割方法，同時(shí)多線切割經(jīng)過倒角處理的兩塊硅錠，第一塊硅錠和第二塊硅錠均固定在鳩尾座3上，第一塊硅錠的中心軸El與第二塊硅錠的中心軸E2呈平行分布的，第一塊硅錠的沿垂直地面方向的橫截面分布有第一上內(nèi)頂角A1，第一上外頂角Bl，第一下外頂角Cl，第一下內(nèi)頂角Dl;第二塊硅錠的沿垂直地面面方向的橫截面分布有第二上內(nèi)頂角A2，第二上外頂角B2，第二下外頂角C2，第二下內(nèi)頂角D2;第一下外頂角Cl垂直于水平線的距離高于第一下內(nèi)頂角D1垂直于水平線的距離1.4-1.6毫米；第二下外頂角C2垂直于水平線的距離高于第二下內(nèi)頂角D2垂直于水平線的距離1.4-1.6毫米。偏角度多線切割方法，硅錠重量為9.8-10.2公斤。偏角度多線切割方法，多線切割時(shí)間為408-422分鐘。偏角度多線切割裝置，包括經(jīng)過倒角處理的兩塊硅錠、兩塊托板2、兩塊鳩尾座3、兩塊玻璃板4、砂漿管5、切割線6和導(dǎo)線輪1;鳩尾座3與托板2相連，托板2與玻璃板4粘接相連，玻璃板4與硅錠相連，切割線6均勻的繞在導(dǎo)線輪1上；多根砂漿管5分布于整個切割裝置中；第一塊硅錠的中心軸E1與第二塊硅錠的中心軸E2呈平行分布的，第一塊硅錠的沿垂直地面方向的橫截面分布有第一上內(nèi)頂角A1，第一上外頂角B1，第一下外頂角Cl，第一下內(nèi)頂角Dl;第二塊硅錠的沿垂直地面面方向的橫截面分布有第二上內(nèi)頂角A2，第二上外頂角B2，第二下外頂角C2，第二下內(nèi)頂角D2;第一下外頂角Cl垂直于水平線的距離高于第一下內(nèi)頂角Dl垂直于水平線的距離1.4-1.6毫米；第二下外頂角C2垂直于水平線的距離高于第二下內(nèi)頂角D2垂直于水平線的距離1.4-1.6毫米。傳統(tǒng)工藝中將硅錠切割成多片硅片的方法，第一塊硅錠和第二塊硅錠在固定的時(shí)候完全與水平面平行，并且切割線與硅錠的底部是平行的，沒有偏角度。這樣的操作是符合切割設(shè)備廠商提供的正統(tǒng)的操作，因而很少有技術(shù)人員會將此方法進(jìn)行改動。在傳統(tǒng)的不偏角度的切割中，多線切割各重10公斤的兩塊硅錠至全部為硅片結(jié)束，整個切割過程一般需要428-432分鐘。但本發(fā)明的技術(shù)人員在一次維修設(shè)備之后，重新切割各重10公斤的兩塊硅錠至全部為硅片結(jié)束，發(fā)現(xiàn)只需要412分鐘，這樣短的切割時(shí)間明顯不同于傳統(tǒng)切割。經(jīng)過檢查原因，屬于本發(fā)明的技術(shù)人員在一次維修設(shè)備的過程中不小心誤將固定在鳩尾座3上的第一塊硅錠和第二塊硅錠在安裝的時(shí)候出現(xiàn)了一定偏移后，在整個切割完畢后，發(fā)現(xiàn)不僅不會降低切割的成品率，反而可以適當(dāng)縮短切割時(shí)間。這樣才引發(fā)了本發(fā)明。本發(fā)明經(jīng)過多次試驗(yàn)，表明同時(shí)切割重量為各重9.8-10.2公斤的兩塊硅錠，切割成品率，線切割消耗量，切割時(shí)間對比如下切割成品率線切割消耗量切割時(shí)間不偏角度相同(誤差范圍內(nèi))相同(誤差范圍內(nèi))430分鐘Cl高于D11.4毫米C2高于D21.4毫米相同(誤差范圍內(nèi))相同(誤差范圍內(nèi))422分鐘Cl高于D11.5毫米C2高于D21.5毫米相同(誤差范圍內(nèi))相同(誤差范圍內(nèi))418分鐘4<table>tableseeoriginaldocumentpage5</column></row><table>技術(shù)術(shù)語的解釋和工作原理和本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)如下將硅錠(待加工產(chǎn)品)、玻璃板4、托板2粘接在一起，再和鳩尾座3牢固地裝配在一起，然后再把整個偏角度多線鋸切割裝置通過鳩尾座3裝配在切割機(jī)臺上并牢固固定。切割時(shí)，在導(dǎo)線輪1轉(zhuǎn)動將切割線6布置均勻后，啟動砂漿管5使之均勻流出砂漿。在確認(rèn)砂漿和切割線運(yùn)轉(zhuǎn)OK后，整個機(jī)臺即可按正常切割程序進(jìn)行作業(yè)。在圖1中，第一上內(nèi)頂角A1靠近第二上內(nèi)頂角A2，第一上外頂角B1遠(yuǎn)離第二上外頂角B2，第一下外頂角Cl遠(yuǎn)離第二下外頂角C2，第一下內(nèi)頂角Dl靠近第二下內(nèi)頂角D2。我們分析切割時(shí)間縮短的原因如下在現(xiàn)有硅錠的切片過程中，利用鋼線帶動砂漿進(jìn)行切割作業(yè)。由于切割線張力的不均衡性，線割線運(yùn)動軌跡是弓形，而非直線；這樣一來整個切割的路程實(shí)際上有弓形，整個運(yùn)動軌跡偏長。因而達(dá)到同樣切割成品率效果所需要的切割時(shí)間偏長。而改用本發(fā)明的偏角度的切割方式，通過偏角度多線切割裝置調(diào)整硅錠在切割位置的角度，使硅片質(zhì)量在切割過程受切割線張力影響最小，反而使得線切割運(yùn)動軌跡是直線，這樣一來整個切割的路程偏短。因而達(dá)到同樣切割成品率效果所需要的切割時(shí)間偏少。作為硅錠線切割領(lǐng)域，長達(dá)400分鐘以上的切割時(shí)間，折算成小時(shí)后為7小時(shí)左右。而傳統(tǒng)的制造業(yè)一般以8小時(shí)為一個工作人員的工作周期，高負(fù)荷運(yùn)轉(zhuǎn)的企業(yè)通常是采用每天24小時(shí)按三班8小時(shí)的工作方式。那么采用本發(fā)明方法，切割時(shí)間由傳統(tǒng)的430分鐘縮短了10-20分鐘是非常有意義的，因?yàn)樵诓鹦兑呀?jīng)切割完畢的硅片，更換新的切割線都需要消耗一定的工作時(shí)間，如果拆卸更換消耗時(shí)間過長，連帶折算成7小時(shí)左右的切割時(shí)間，導(dǎo)致總工作周期超過8小時(shí)的工作，那么每天24小時(shí)按三班8小時(shí)的工作方式就會縮短為有效工作周期為兩班。采用本發(fā)明方法，可以有足夠充裕的時(shí)間去準(zhǔn)備下一切割工作。圖1是本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。附圖標(biāo)記導(dǎo)線輪1、托板2、鳩尾座3、玻璃板4、砂漿管5、切割線6、第一上內(nèi)頂角Al、第一上外頂角Bl、第一下外頂角Cl、第一下內(nèi)頂角Dl、第二上內(nèi)頂角A2、第二上外頂角B2、第二下外頂角C2、第二下內(nèi)頂角D2、第一塊硅錠的中心軸El、第二塊硅錠的中心軸E2。具體實(shí)施例方式實(shí)施例1、偏角度多線切割方法，同時(shí)多線切割經(jīng)過倒角處理的兩塊硅錠，第一塊硅錠和第二塊硅錠均固定在鳩尾座3上，第一塊硅錠的中心軸El與第二塊硅錠的中心軸E25呈平行分布的，第一塊硅錠的沿垂直地面方向的橫截面分布有第一上內(nèi)頂角A1，第一上外頂角Bl，第一下外頂角Cl，第一下內(nèi)頂角Dl;第二塊硅錠的沿垂直地面面方向的橫截面分布有第二上內(nèi)頂角A2，第二上外頂角B2，第二下外頂角C2，第二下內(nèi)頂角D2;第一下外頂角CI垂直于水平線的距離高于第一下內(nèi)頂角Dl垂直于水平線的距離；第二下外頂角C2垂直于水平線的距離高于第二下內(nèi)頂角D2垂直于水平線的距離。實(shí)施例2、偏角度多線切割方法，同時(shí)多線切割經(jīng)過倒角處理的兩塊硅錠，第一塊硅錠和第二塊硅錠均固定在鳩尾座3上，第一塊硅錠的中心軸El與第二塊硅錠的中心軸E2呈平行分布的，第一塊硅錠的沿垂直地面方向的橫截面分布有第一上內(nèi)頂角Al，第一上外頂角Bl，第一下外頂角Cl，第一下內(nèi)頂角Dl;第二塊硅錠的沿垂直地面面方向的橫截面分布有第二上內(nèi)頂角A2，第二上外頂角B2，第二下外頂角C2，第二下內(nèi)頂角D2;第一下外頂角CI垂直于水平線的距離高于第一下內(nèi)頂角Dl垂直于水平線的距離1.6毫米；第二下外頂角C2垂直于水平線的距離高于第二下內(nèi)頂角D2垂直于水平線的距離1.6毫米。多線切割時(shí)間為408分鐘。實(shí)施例3、偏角度多線切割方法，同時(shí)多線切割經(jīng)過倒角處理的兩塊硅錠，第一塊硅錠和第二塊硅錠均固定在鳩尾座3上，第一塊硅錠的中心軸El與第二塊硅錠的中心軸E2呈平行分布的，第一塊硅錠的沿垂直地面方向的橫截面分布有第一上內(nèi)頂角Al，第一上外頂角Bl，第一下外頂角Cl，第一下內(nèi)頂角Dl;第二塊硅錠的沿垂直地面面方向的橫截面分布有第二上內(nèi)頂角A2，第二上外頂角B2，第二下外頂角C2，第二下內(nèi)頂角D2;第一下外頂角CI垂直于水平線的距離高于第一下內(nèi)頂角Dl垂直于水平線的距離1.4毫米；第二下外頂角C2垂直于水平線的距離高于第二下內(nèi)頂角D2垂直于水平線的距離1.4毫米。多線切割時(shí)間為422分鐘。實(shí)施例4、偏角度多線切割方法，同時(shí)多線切割經(jīng)過倒角處理的兩塊硅錠，第一塊硅錠和第二塊硅錠均固定在鳩尾座3上，第一塊硅錠的中心軸El與第二塊硅錠的中心軸E2呈平行分布的，第一塊硅錠的沿垂直地面方向的橫截面分布有第一上內(nèi)頂角A1，第一上外頂角Bl，第一下外頂角Cl，第一下內(nèi)頂角Dl;第二塊硅錠的沿垂直地面面方向的橫截面分布有第二上內(nèi)頂角A2，第二上外頂角B2，第二下外頂角C2，第二下內(nèi)頂角D2;第一下外頂角CI垂直于水平線的距離高于第一下內(nèi)頂角Dl垂直于水平線的距離1.5毫米；第二下外頂角C2垂直于水平線的距離高于第二下內(nèi)頂角D2垂直于水平線的距離1.5毫米。多線切割時(shí)間為418分鐘。實(shí)施例5、偏角度多線切割方法，硅錠重量為9.8公斤。其余同實(shí)施例2。實(shí)施例6、偏角度多線切割方法，硅錠重量為10.2公斤。其余同實(shí)施例3。實(shí)施例7、偏角度多線切割方法，硅錠重量為10.0公斤。其余同實(shí)施例4。實(shí)施例8、偏角度多線切割裝置，包括經(jīng)過倒角處理的兩塊硅錠、兩塊托板2、兩塊雞尾座3、兩塊玻璃板4、砂槳管5、切割線6和導(dǎo)線輪1;雞尾座3與托板2相連，托板2與玻璃板4粘接相連，玻璃板4與硅錠相連，切割線6均勻的繞在導(dǎo)線輪1上；多根砂漿管5分布于整個切割裝置中；第一塊硅錠的中心軸E1與第二塊硅錠的中心軸E2呈平行分布的，第一塊硅錠的沿垂直地面方向的橫截面分布有第一上內(nèi)頂角Al，第一上外頂角Bl，第一下外頂角Cl，第一下內(nèi)頂角Dl;第二塊硅錠的沿垂直地面面方向的橫截面分布有第二上內(nèi)頂角A2，第二上外頂角B2，第二下外頂角C2，第二下內(nèi)頂角D2;其特征在于第一下外頂角Cl6垂直于水平線的距離高于第一下內(nèi)頂角Dl垂直于水平線的距離1.4-1.6毫米；第二下外頂角C2垂直于水平線的距離高于第二下內(nèi)頂角D2垂直于水平線的距離1.4-1.6毫米。實(shí)施例9、偏角度多線切割裝置，包括經(jīng)過倒角處理的兩塊硅錠、兩塊托板2、兩塊雞尾座3、兩塊玻璃板4、砂槳管5、切割線6和導(dǎo)線輪1;雞尾座3與托板2相連，托板2與玻璃板4粘接相連，玻璃板4與硅錠相連，切割線6均勻的繞在導(dǎo)線輪1上；多根砂漿管5分布于整個切割裝置中；第一塊硅錠的中心軸E1與第二塊硅錠的中心軸E2呈平行分布的，第一塊硅錠的沿垂直地面方向的橫截面分布有第一上內(nèi)頂角Al，第一上外頂角Bl，第一下外頂角Cl，第一下內(nèi)頂角Dl;第二塊硅錠的沿垂直地面面方向的橫截面分布有第二上內(nèi)頂角A2，第二上外頂角B2，第二下外頂角C2，第二下內(nèi)頂角D2;其特征在于第一下外頂角Cl垂直于水平線的距離高于第一下內(nèi)頂角Dl垂直于水平線的距離1.4-1.6毫米；第二下外頂角C2垂直于水平線的距離高于第二下內(nèi)頂角D2垂直于水平線的距離1.4毫米。實(shí)施例8、偏角度多線切割裝置，包括經(jīng)過倒角處理的兩塊硅錠、兩塊托板2、兩塊雞尾座3、兩塊玻璃板4、砂槳管5、切割線6和導(dǎo)線輪1;雞尾座3與托板2相連，托板2與玻璃板4粘接相連，玻璃板4與硅錠相連，切割線6均勻的繞在導(dǎo)線輪1上；多根砂漿管5分布于整個切割裝置中；第一塊硅錠的中心軸E1與第二塊硅錠的中心軸E2呈平行分布的，第一塊硅錠的沿垂直地面方向的橫截面分布有第一上內(nèi)頂角Al，第一上外頂角Bl，第一下外頂角Cl，第一下內(nèi)頂角Dl;第二塊硅錠的沿垂直地面面方向的橫截面分布有第二上內(nèi)頂角A2，第二上外頂角B2，第二下外頂角C2，第二下內(nèi)頂角D2;其特征在于第一下外頂角Cl垂直于水平線的距離高于第一下內(nèi)頂角D1垂直于水平線的距離1.4-1.6毫米；第二下外頂角C2垂直于水平線的距離高于第二下內(nèi)頂角D2垂直于水平線的距離1.5毫米。實(shí)施例8、偏角度多線切割裝置，包括經(jīng)過倒角處理的兩塊硅錠、兩塊托板2、兩塊雞尾座3、兩塊玻璃板4、砂槳管5、切割線6和導(dǎo)線輪1;雞尾座3與托板2相連，托板2與玻璃板4粘接相連，玻璃板4與硅錠相連，切割線6均勻的繞在導(dǎo)線輪1上；多根砂漿管5分布于整個切割裝置中；第一塊硅錠的中心軸E1與第二塊硅錠的中心軸E2呈平行分布的，第一塊硅錠的沿垂直地面方向的橫截面分布有第一上內(nèi)頂角Al，第一上外頂角Bl，第一下外頂角Cl，第一下內(nèi)頂角Dl;第二塊硅錠的沿垂直地面面方向的橫截面分布有第二上內(nèi)頂角A2，第二上外頂角B2，第二下外頂角C2，第二下內(nèi)頂角D2;其特征在于第一下外頂角Cl垂直于水平線的距離高于第一下內(nèi)頂角D1垂直于水平線的距離1.4-1.6毫米；第二下外頂角C2垂直于水平線的距離高于第二下內(nèi)頂角D2垂直于水平線的距離1.6毫米。權(quán)利要求偏角度多線切割方法，同時(shí)多線切割經(jīng)過倒角處理的兩塊硅錠，第一塊硅錠和第二塊硅錠均固定在鳩尾座(3)上，第一塊硅錠的中心軸(E1)與第二塊硅錠的中心軸(E2)呈平行分布的，第一塊硅錠的沿垂直地面方向的橫截面分布有第一上內(nèi)頂角(A1)，第一上外頂角(B1)，第一下外頂角(C1)，第一下內(nèi)頂角(D1)；第二塊硅錠的沿垂直地面面方向的橫截面分布有第二上內(nèi)頂角(A2)，第二上外頂角(B2)，第二下外頂角(C2)，第二下內(nèi)頂角(D2)；其特征在于第一下外頂角(C1)垂直于水平線的距離高于第一下內(nèi)頂角(D1)垂直于水平線的距離；第二下外頂角(C2)垂直于水平線的距離高于第二下內(nèi)頂角(D2)垂直于水平線的距離。2.偏角度多線切割方法，同時(shí)多線切割經(jīng)過倒角處理的兩塊硅錠，第一塊硅錠和第二塊硅錠均固定在鳩尾座(3)上，第一塊硅錠的中心軸(El)與第二塊硅錠的中心軸(E2)呈平行分布的，第一塊硅錠的沿垂直地面方向的橫截面分布有第一上內(nèi)頂角(Al)，第一上外頂角(Bl)，第一下外頂角(Cl)，第一下內(nèi)頂角(Dl);第二塊硅錠的沿垂直地面面方向的橫截面分布有第二上內(nèi)頂角(A2)，第二上外頂角(B2)，第二下外頂角(C2)，第二下內(nèi)頂角(D2);其特征在于第一下外頂角(Cl)垂直于水平線的距離高于第一下內(nèi)頂角(Dl)垂直于水平線的距離1.4-1.6毫米；第二下外頂角(C2)垂直于水平線的距離高于第二下內(nèi)頂角(D2)垂直于水平線的距離1.4-1.6毫米。3.如權(quán)利要求2所述的偏角度多線切割方法，其特征在于硅錠重量為9.8-10.2公斤。4.如權(quán)利要求2或3所述的偏角度多線切割方法，其特征在于多線切割時(shí)間為408-422分鐘。5.偏角度多線切割裝置，包括經(jīng)過倒角處理的兩塊硅錠、兩塊托板(2)、兩塊鳩尾座(3)、兩塊玻璃板(4)、砂漿管(5)、切割線(6)和導(dǎo)線輪(1);雞尾座(3)與托板(2)相連，托板(2)與玻璃板(4)粘接相連，玻璃板(4)與硅錠相連，切割線(6)均勻的繞在導(dǎo)線輪(1)上；多根砂漿管(5)分布于整個切割裝置中；第一塊硅錠的中心軸(El)與第二塊硅錠的中心軸(E2)呈平行分布的，第一塊硅錠的沿垂直地面方向的橫截面分布有第一上內(nèi)頂角(Al)，第一上外頂角(Bl)，第一下外頂角(Cl)，第一下內(nèi)頂角(Dl);第二塊硅錠的沿垂直地面面方向的橫截面分布有第二上內(nèi)頂角(A2)，第二上外頂角(B2)，第二下外頂角(C2)，第二下內(nèi)頂角(D2);其特征在于第一下外頂角(Cl)垂直于水平線的距離高于第一下內(nèi)頂角(Dl)垂直于水平線的距離1.4-1.6毫米；第二下外頂角(C2)垂直于水平線的距離高于第二下內(nèi)頂角(D2)垂直于水平線的距離1.4-1.6毫米。全文摘要本發(fā)明涉及偏角度多線鋸切割方法及其切割裝置。傳統(tǒng)工藝中將硅錠切割成多片硅片的方法，第一塊硅錠和第二塊硅錠在固定的時(shí)候完全與水平面平行，并且切割線與硅錠的底部是平行的，沒有偏角度。本發(fā)明的偏角度多線切割方法，同時(shí)多線切割經(jīng)過倒角處理的兩塊硅錠。采用本發(fā)明方法，切割時(shí)間由傳統(tǒng)的430分鐘縮短了10-20分鐘是非常有意義的，因?yàn)樵诓鹦兑呀?jīng)切割完畢的硅片，更換新的切割線都需要消耗一定的工作時(shí)間，如果拆卸更換消耗時(shí)間過長，連帶折算成7小時(shí)左右的切割時(shí)間，導(dǎo)致總工作周期超過8小時(shí)的工作，那么每天24小時(shí)按三班8小時(shí)的工作方式就會縮短為有效工作周期為兩班；也可以有足夠充裕的時(shí)間去準(zhǔn)備下一切割工作。文檔編號B28D5/04GK101791828SQ20101011410公開日2010年8月4日申請日期2010年2月25日優(yōu)先權(quán)日2010年2月25日發(fā)明者喻飛建,徐志群,徐永兵申請人:晶科能源有限公司