專利名稱：一種帶環(huán)狀蓋體的坩堝模具的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種坩堝模具，特別是涉及一種帶環(huán)狀蓋體的坩堝模具， 屬于坩堝爐技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
單晶硅棒是生產(chǎn)單晶硅片的原材料，隨著國內(nèi)和國際市場對單晶硅片需 求量的快速增加，單晶硅棒的市場需求也呈快速增長的趨勢，制作單晶硅棒 所使用的坩堝的需求量也快速增加?，F(xiàn)在制作坩堝時所使用的坩堝模具，所 使用的高純度的石墨容易氧化，影響坩堝模具的使用壽命，坩堝模具只能使用 100爐左右；制作出的坩堝容易產(chǎn)生黑點，影響產(chǎn)品的合格率。實用新型內(nèi)容本實用新型的目的是針對上述現(xiàn)有技術(shù)的缺陷，提供了一種帶環(huán)狀蓋體的 坩堝模具，防止高純度的石墨氧化，延長了坩堝模具的使用壽命，制作出的坩 堝不易產(chǎn)生黑點，提高了坩堝的合格率，降低了成本。為了實現(xiàn)上述目的本實用新型采取的技術(shù)方案是 一種帶環(huán)狀蓋體的坩堝 模具，包括坩堝模具、石英纖維層、冷卻水套，坩堝模具由高純度的石墨組成， 坩堝模具內(nèi)壁形狀與坩堝外形相對應(yīng)，石英纖維層在坩堝模具外側(cè)，冷卻水套 在石英纖維層外側(cè)，還包括環(huán)狀蓋體，環(huán)狀蓋體在坩堝模具上方，環(huán)狀蓋體的 外徑等于坩堝模具的外徑，環(huán)狀蓋體的內(nèi)徑等于坩堝模具的內(nèi)徑，環(huán)狀蓋體所 使用的是耐高溫合金。所述坩堝模具上端口內(nèi)側(cè)有一個環(huán)形凹臺，環(huán)狀蓋體下端口內(nèi)側(cè)有一個環(huán) 形凸臺，坩堝模具的環(huán)形凹臺和環(huán)狀蓋體的環(huán)形凸臺相匹配，坩堝模具的環(huán)形 凹臺和環(huán)狀蓋體的環(huán)形凸臺壓嵌配合。所述環(huán)狀蓋體的上端面與冷卻水套的上端面相齊。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果是-(1 )防止高純度的石墨氧化，延長了坩堝模具的使用壽命，由原來的使用100爐左右，提高到使用500爐以上。(2)制作出的坩堝不易產(chǎn)生黑點，提高了坩堝的合格率，降低了成本；坩堝中所含黑點少，或不含黑點，也就提高了用這種坩堝所熔煉拉制的 單晶硅棒的質(zhì)量。


附圖l本實用新型剖面主視圖； 附圖2本實用新型俯視圖。附圖標(biāo)記說明l坩堝模具2石英纖維層3冷卻水套4環(huán)狀蓋體具體實施方式
以下結(jié)合附圖和具體實施例對本實用新型作進(jìn)一步說明，但不作為對本實 用新型的限定。如圖l、 2所示， 一種帶環(huán)狀蓋體的坩堝模具，包括柑堝模具l、石英纖維 層2、冷卻水套3，坩堝模具1由高純度的石墨組成，坩堝模具l內(nèi)壁形狀與坩 堝外形相對應(yīng)，石英纖維層2在坩堝模具1外側(cè)，冷卻水套3在石英纖維層2 外側(cè)，還包括環(huán)狀蓋體4，環(huán)狀蓋體4在坩堝模具1上方，環(huán)狀蓋體4的外徑等 于坩堝模具1的外徑，環(huán)狀蓋體4的內(nèi)徑等于柑堝模具1的內(nèi)徑，環(huán)狀蓋體4 所使用的是耐高溫合金。坩堝模具1上端口內(nèi)側(cè)有一個環(huán)形凹臺，環(huán)狀蓋體4 下端口內(nèi)側(cè)有一個環(huán)形凸臺，坩堝模具1的環(huán)形凹臺和環(huán)狀蓋體4的環(huán)形凸臺 相匹配，坩堝模具1的環(huán)形凹臺和環(huán)狀蓋體4的環(huán)形凸臺壓嵌配合。所述環(huán)狀 蓋體4的上端面與冷卻水套3的上端面相齊。以上所述的實施例，只是本實用新型較優(yōu)選的具體實施方式
的一種，本領(lǐng) 域的技術(shù)人員在本實用新型技術(shù)方案范圍內(nèi)進(jìn)行的通常變化和替換都應(yīng)包含在 本實用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種帶環(huán)狀蓋體的坩堝模具，包括坩堝模具、石英纖維層、冷卻水套，坩堝模具內(nèi)壁形狀與坩堝外形相對應(yīng)，石英纖維層在坩堝模具外側(cè)，冷卻水套在石英纖維層外側(cè)，其特征在于還包括環(huán)狀蓋體，環(huán)狀蓋體在坩堝模具上方，環(huán)狀蓋體的外徑等于坩堝模具的外徑，環(huán)狀蓋體的內(nèi)徑等于坩堝模具的內(nèi)徑。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的一種帶環(huán)狀蓋體的坩堝模具，其特征在于坩堝模具 上端口內(nèi)側(cè)有一個環(huán)形凹臺，環(huán)狀蓋體下端口內(nèi)側(cè)有一個環(huán)形凸臺，坩堝模具 的環(huán)形凹臺和環(huán)狀蓋體的環(huán)形凸臺相匹配，坩堝模具的環(huán)形凹臺和環(huán)狀蓋體的 環(huán)形凸臺壓嵌配合。
3. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的一種帶環(huán)狀蓋體的坩堝模具，其特征在于環(huán)狀蓋體 的上端面與冷卻水套的上端面相齊。
專利摘要一種帶環(huán)狀蓋體的坩堝模具，屬于坩堝爐部件技術(shù)領(lǐng)域，包括坩堝模具、石英纖維層、冷卻水套，坩堝模具內(nèi)壁形狀與坩堝外形相對應(yīng)，石英纖維層在坩堝模具外側(cè)，冷卻水套在石英纖維層外側(cè)，還包括環(huán)狀蓋體，環(huán)狀蓋體在坩堝模具上方，環(huán)狀蓋體的外徑等于坩堝模具的外徑，環(huán)狀蓋體的內(nèi)徑等于坩堝模具的內(nèi)徑；坩堝模具上端口內(nèi)側(cè)有一個環(huán)形凹臺，環(huán)狀蓋體下端口內(nèi)側(cè)有一個環(huán)形凸臺，坩堝模具的環(huán)形凹臺和環(huán)狀蓋體的環(huán)形凸臺相匹配，坩堝模具的環(huán)形凹臺和環(huán)狀蓋體的環(huán)形凸臺壓嵌配合。本實用新型的有益效果是防止高純度的石墨氧化，延長了坩堝模具的使用壽命，實際使用達(dá)500爐以上；制作出的坩堝不易產(chǎn)生黑點，提高了坩堝的合格率，降低了成本。
文檔編號B28B7/00GK201420111SQ20092015866
公開日2010年3月10日 申請日期2009年6月10日 優(yōu)先權(quán)日2009年6月10日
發(fā)明者潔 黃, 黃乃軍 申請人:余姚市晶英電弧坩鍋有限公司