專利名稱：銦錫氧化物素胚的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及用于制造透明導(dǎo)電膜的銦錫氧化物靶燒結(jié)前的銦錫氧化物素胚 的生產(chǎn)方法。
背景技術(shù)：
IT0薄膜(氧化銦錫物之薄膜)由于對可見光透明和導(dǎo)電性良好的特性， 除應(yīng)用在液晶顯示器(LCD)面板外，還可應(yīng)用在許多產(chǎn)品上，如觸摸屏(Touch Panel)、有機發(fā)光平面顯示器(OLED)、等離子體顯示器(PDP)、汽車防熱除霧玻 璃、太陽能電池、光電轉(zhuǎn)換器、透明加熱器防靜電膜、紅外線反射裝置等。IT0 薄膜是由銦錫氧化物(簡稱IT0)靶制成的，而銦錫氧化物靶的質(zhì)量好壞直接取 決于沒有燒結(jié)前的銦錫氧化物素胚的質(zhì)量。目前銦錫氧化物素胚的制造方法主 要有冷等靜壓法和真空抽濾法，冷等靜壓法在成型大尺寸IT0素胚時將會遇到 下述問題設(shè)備昂貴，成型時容易發(fā)生掉角、缺邊等缺陷。而真空抽濾則由于 抽濾效率低而造成的生產(chǎn)效率低并且成型后素胚密度不高，因此如何提高素胚 密度，并且提高生產(chǎn)效率，降低生產(chǎn)成本是目前亟待解決的問題。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種能有效提高素胚密度及素胚生產(chǎn)效率并降低生 產(chǎn)成本的銦錫氧化物素胚的制造方法。
本發(fā)明提供的這種銦錫氧化物素胚的制造方法，包括如下步驟
(1) 將氧化銦錫復(fù)合粉末或者氧化銦粉末和氧化錫粉末與溶液混合并分散 均勻獲得分散液，使分散于溶液中的氧化銦錫粉末或者氧化銦粉末及氧化錫粉 末之懸浮體的粒徑應(yīng)小于15.0微米，大于0.01微米，加入粘接劑，獲得混合 液，所述溶液為去離子水或蒸餾水，所述粘接劑占氧化銦錫復(fù)合粉末或者氧化 銦粉末和氧化錫粉末總重量的0—10%;
(2) 將步驟(1)獲得的混合液進行壓濾，壓濾的壓力大于0. 11Mpa，壓(3) 將步驟(2)獲得的濾餅進行烘干；(4) 將步驟(3)烘干的濾餅在攝氏280—500度中脫去的粘接劑，得到素胚。本發(fā)明由于是先獲得均勻的所述混合液體，然后用壓濾法將其中的水壓除， 所用壓濾壓力可以比真空抽濾的壓力大幾倍，由此使素胚的密度有效提高，時 間縮短。本發(fā)明方法適應(yīng)于大規(guī)模生產(chǎn)，并且本發(fā)明需要的主要設(shè)備壓濾機成 本并不高，因此本發(fā)明方法與現(xiàn)有技術(shù)相比不僅生產(chǎn)成本低，同時適應(yīng)于大批 量生產(chǎn)。
具體實施方式
以下結(jié)合具體實施例對本發(fā)明作進一步的說明-實施例1 :這是一個用氧化銦錫復(fù)合粉末制造銦錫氧化物素胚的方法，包括如下步驟(1) 將比表面積BET為23g/cm2的氧化銦錫復(fù)合粉末200克，按球磨球 200克，去離子水400克進行配比，在球磨機中球磨5小時后，使分散于溶液 中的氧化銦錫復(fù)合粉末之懸浮體的粒徑小于15. 0微米，大于0. 01微米，加入 粘接劑PVA溶液，粘接劑占氧化銦錫復(fù)合粉末總重量的5% (IOO毫升)，獲得混 合液體；(2) 將步驟(1)獲得的混合液體在室溫為攝氏26度下注入壓濾容器中， 加入壓縮空氣，保持壓力為0.2MPa，壓出水分后得到濾餅；(3) 將步驟(2)獲得的濾餅在100攝氏度下進行烘干(烘5個小時)；(4) 將步驟(3)烘干的濾餅在攝氏500度下脫去的粘接劑PVA，得到素 胚，素胚密度為3. 12g/cm3。實施例2 :(1)將比表面積BET為16g/cm2的氧化銦錫復(fù)合粉末200克，按球磨球 200克，蒸餾水400克進行配比，在球磨機中球磨5小時后，使分散于溶液中 的氧化銦錫復(fù)合粉末之懸浮體的粒徑小于15. 0微米，大于0. 01微米，加入粘 接劑PVA溶液，粘接劑占氧化銦錫復(fù)合粉末總重量的5% (IOO毫升)，獲得混合液體；(2) 將步驟(1)獲得的混合液體在環(huán)境溫度為攝氏46度下注入壓濾容器 中，加入壓縮空氣，保持壓力為0.18MPa，壓出水分后得到濾餅；(3) 將步驟(2)獲得的濾餅在100攝氏度下進行烘干(烘5個小時)；(4) 將步驟(3)烘干的濾餅在攝氏400度下脫去的粘接劑PVA，得到素 胚，素胚密度為3.25g/cm3。實施例3:(1) 將比表面積BET為18g/cm2的氧化銦錫復(fù)合粉末200克，按球磨球 200克，去離子水400克進行配比，采用高速均質(zhì)乳化機分散，使分散于溶液 中的氧化銦錫復(fù)合粉末之懸浮體的粒徑小于15.0微米，大于0.01微米，加入 粘接劑PVA溶液，粘接劑占氧化銦錫復(fù)合粉末總重量的2% (IOO毫升)，獲得混 合液體；(2) 將步驟(1)獲得的混合液體在環(huán)境溫度為攝氏36度下注入壓濾容器 中，加入壓縮空氣，保持壓力為0.2MPa，壓出水分后得到濾餅；(3) 將步驟(2)獲得的濾餅在100攝氏度下進行烘干(烘5個小時)；(4) 將步驟(3)烘干的濾餅在攝氏320度下脫去的粘接劑PVA，得到素 胚，素胚密度為3.31g/cm3。實施例4 :(1) 將比表面積BET為25g/cm2的氧化銦錫復(fù)合粉末200克，按球磨球 200克，去離子水400克進行配比，采用超聲分散后，使分散于溶液中的氧化 銦錫復(fù)合粉末之懸浮體的粒徑小于15. 0微米，大于0. 01微米，加入粘接劑PVA 溶液，粘接劑占氧化銦錫復(fù)合粉末總重量的5% (100毫升)，獲得混合液體；(2) 將步驟(1)獲得的混合液體在室溫為攝氏26度下注入壓濾容器中， 加入壓縮空氣，保持壓力為0.2MPa，壓出水分后得到濾餅；(3) 將步驟(2)獲得的濾餅在100攝氏度下進行烘干(烘5個小時)；(4) 將步驟(3)烘干的濾餅在攝氏500度下脫去的粘接劑PVA，得到素 胚，素胚密度為3.02g/cm3。實施例5:(1) 將比表面積BET為23g/cm2的氧化銦錫復(fù)合粉末200克，按球磨球 200克，去離子水400克進行配比，在球磨機中球磨5小時后，使分散于溶液 中的氧化銦錫復(fù)合粉末之懸浮體的粒徑小于15. 0微米，大于0. 01微米，加入 粘接劑PVA溶液，粘接劑占氧化銦錫復(fù)合粉末總重量的5% (100毫升)，獲得混 合液體；(2) 將步驟(1)獲得的混合液體在室溫為攝氏26度下注入壓濾容器中， 加入壓縮空氣，保持壓力為0. 12MPa，水分排除困難；(3) 將步驟(2)獲得的濾餅在100攝氏度下進行烘干(烘5個小時)；(4) 將步驟(3)烘干的濾餅在攝氏500度下脫去的粘接劑PVA，得到素 胚，素胚密度為2.52g/cm3。實施例6 :(1) 將比表面積BET為18g/cm2的氧化銦錫復(fù)合粉末200克，按球磨球 200克，去離子水400克進行配比，在球磨機中球磨5小時后，使分散于溶液 中的氧化銦錫復(fù)合粉末之懸浮體的粒徑小于15.0微米，大于0.01微米，加入 粘接劑PVA溶液，粘接劑占氧化銦錫復(fù)合粉末總重量的5% (100毫升)，獲得混 合液體；(2) 將步驟(1)獲得的混合液體在室溫為攝氏26度下注入壓濾容器中， 加入壓縮空氣，保持壓力為0.2MPa，壓出水分后得到濾餅；(3) 將步驟(2)獲得的濾餅在100攝氏度下進行烘干(烘5個小時)；(4) 將步驟(3)烘干的濾餅在攝氏280度下脫去的粘接劑PVA，得到素 胚，素胚密度為3.22g/cm3。實施例7:(1) 將比表面積BET為11g/cm2的氧化銦錫復(fù)合粉末200克，按球磨球 200克，去離子水400克進行配比，在球磨機中球磨5小時后，使分散于溶液 中的氧化銦錫復(fù)合粉末之懸浮體的粒徑小于15.0微米，大于0.01微米，加入 粘接劑PVA溶液，粘接劑占氧化銦錫復(fù)合粉末總重量的9.5% (IOO毫升)，獲得 混合液體；(2) 將步驟(1)獲得的混合液體在室溫為攝氏26度下注入壓濾容器中，加入壓縮空氣，保持壓力為0.2MPa，壓出水分后得到濾餅；(3) 將步驟(2)獲得的濾餅在100攝氏度下進行烘干(烘5個小時)；(4) 將步驟(3)烘干的濾餅在攝氏500度下脫去的粘接劑PVA，得到素 胚，素胚密度為3.22g/cm3。實施例8:(1) 將比表面積(BET)為29g/cm2的氧化銦粉末180克和比表面積(BET) 為28g/cm2的氧化錫粉末180克按球磨球200克，去離子水400克進行配比， 在球磨機中球磨5小時后，使分散于溶液中的氧化銦粉末及氧化錫粉末之懸浮 體的粒徑小于15.0微米，大于0.01微米，加入粘接劑PVA溶液，粘接劑占氧 化銦和氧化錫混合粉末總重量的5% (100毫升)，獲得混合液體；(2) 將步驟(1)獲得的混合液體在室溫為攝氏26度下注入壓濾容器中， 加入壓縮空氣，保持壓力為0.2MPa，壓出水分后得到濾餅；(3) 將步驟(2)獲得的濾餅在100攝氏度下進行烘干(烘5個小時)；(4) 將步驟(3)烘干的濾餅在攝氏500度下脫去的粘接劑PVA，得到素 胚，素胚密度為3. 13g/cm3。
權(quán)利要求
1、一種銦錫氧化物素胚的制造方法，其步驟中包括(1)將氧化銦錫復(fù)合粉末或者氧化銦粉末和氧化錫粉末與溶液混合并分散均勻獲得分散液，使分散于溶液中的氧化銦錫粉末或者氧化銦粉末及氧化錫粉末之懸浮體的粒徑應(yīng)小于15.0微米，大于0.01微米，加入粘接劑，獲得混合液，所述溶液為去離子水或蒸餾水，所述粘接劑占氧化銦錫復(fù)合粉末或者氧化銦粉末和氧化錫粉末總重量的0-10％；(2)將步驟(1)獲得的混合液進行壓濾，壓濾的壓力大于0.11Mpa，壓出水分后得到濾餅；(3)將步驟(2)獲得的濾餅進行烘干；(4)將步驟(3)烘干的濾餅在攝氏280-500度中脫去的粘接劑，得到素胚。
2、 根據(jù)權(quán)利要求1所述的銦錫氧化物素胚的制造方法，其特征在于步驟(l) 中所述氧化銦錫復(fù)合粉末或氧化銦粉末或氧化錫粉末的比表面積均小于 30m7g。
3、 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的銦錫氧化物素胚的制造方法，其特征在于步 驟(1)中所述的分散液是采用球磨或高速乳化或者超聲分散方法進行分散的。
4、 根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的制備氧化銦錫素胚的制造方法，其特征在于 所述粘接劑采用聚乙烯醇。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種銦錫氧化物素胚的制造方法，包括如下步驟(1)將氧化銦錫復(fù)合粉末或者氧化銦粉末和氧化錫粉末與溶液混合并分散均勻獲得分散液，加入粘接劑，獲得混合液；(2)將混合液進行壓濾，壓濾的壓力大于0.11MPa，壓出水分后得到濾餅；(3)將濾餅進行烘干；(4)將烘干的濾餅在攝氏280-500度中脫去的粘接劑，得到素胚。本發(fā)明能使素胚的密度有效提高，生產(chǎn)時間縮短，適應(yīng)于大規(guī)模生產(chǎn)，并且本發(fā)明的生產(chǎn)成本較低。
文檔編號B28B3/00GK101648404SQ200910044068
公開日2010年2月17日 申請日期2009年8月10日 優(yōu)先權(quán)日2009年8月10日
發(fā)明者劉永成, 徐勝利, 江長久, 王志杰, 陳明飛, 陳明高 申請人:長沙壹納光電材料有限公司