專(zhuān)利名稱(chēng):玻璃基板激光裁切裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本發(fā)明是關(guān)于一種玻璃基板激光裁切裝置,尤其是指一種臺(tái)架結(jié)構(gòu) 物利用平行組裝于裁切臺(tái)左側(cè)及右側(cè)的一對(duì)臺(tái)架臺(tái)來(lái)固定保持一定的相 對(duì)位置以進(jìn)行位置移動(dòng)的玻璃基板激光裁切裝置。再者,關(guān)于玻璃基板 激光裁切裝置激光裁切頭的構(gòu)成要素中,具備大重量的激光發(fā)射源及電 源供應(yīng)器等激光發(fā)射部固定于臺(tái)架兩端,將具備有相對(duì)重量較小的其他
單元的光線輸送系統(tǒng)(Beam Delivery System)、光線整形(Shaping)鏡、淬 熄嘴(QuenchingNozzle)、初始斷裂器(Initial Cracker)等之激光照射頭以可 沿著臺(tái)架結(jié)構(gòu)物進(jìn)行左右移動(dòng)地組裝。如上所述,激光裁切頭分離成激 光發(fā)射部及激光照射頭兩個(gè)構(gòu)件,亦與荷重的位移無(wú)關(guān),不會(huì)使臺(tái)架結(jié) 構(gòu)物下垂,能將因臺(tái)架結(jié)構(gòu)物下垂所導(dǎo)致激光光線的路徑錯(cuò)位的裁切精 密度及安全性降低的問(wèn)題予以最小化。
背景技術(shù):
裁切玻璃基板的常用方法之一為記錄輪(SCRIBE WHEEL)方式。記 錄輪方式是在具有既定直徑的圓板之圓周面處設(shè)置細(xì)微的鉆石,將其高 速旋轉(zhuǎn)來(lái)與欲裁切的裁切預(yù)定線接觸于玻璃基板的表面,形成既定深度 的記錄線。將形成有記錄線之玻璃基板藉由物理沖擊來(lái)沿著記錄線將斷 裂傳達(dá)至基板以進(jìn)行裁切之方法即為記錄輪方式。但是,記錄輪方式必 須要有一定面積以上之裁切邊緣,而裁切時(shí)會(huì)產(chǎn)生顆粒,因此存在需要 將其去除的其他洗凈工序及干燥工序,且裁切面并不滑順,存在另外增 加消耗品的費(fèi)用之缺點(diǎn)。
為了克服該缺點(diǎn),便有使用激光的玻璃基板之裁切裝置。以往,使 用激光的玻璃基板之裁切裝置是使用激光裁切頭維持于固定狀態(tài),將玻 璃基板所在之加工桌臺(tái)朝裁切方向移動(dòng)的方法。但由于激光發(fā)射部之重量很重,在激光裁切頭移動(dòng)時(shí),因?yàn)榧す獠们蓄^之重量導(dǎo)致難以精密地
控制裁切頭。激光發(fā)射部雖然具有250kg至300kg左右的重量,在移動(dòng) 這樣的重量時(shí),支撐激光裁切頭之結(jié)構(gòu)物會(huì)產(chǎn)生錯(cuò)位,使得激光光線之 經(jīng)過(guò)路徑位置錯(cuò)移,導(dǎo)致裁切精密度及安全性下降。
以往,使用激光的玻璃基板之裁切裝置由于激光裁切頭在裁切工序 中不會(huì)移動(dòng),故可將裁切安全性最大化,但因?yàn)榧庸ぷ琅_(tái)必須要移動(dòng), 使得設(shè)置加工桌臺(tái)的占有面積增大且增加所用時(shí)間,而造成生產(chǎn)效率降 低的問(wèn)題。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明為了解決上述多種問(wèn)題,提供一種玻璃基板激光裁切裝置, 其目的在于解決以往記錄輪方式時(shí)產(chǎn)生之裁切顆粒產(chǎn)生、為了將之去除 而必須另外設(shè)置其他的洗凈工序及干燥工序、裁切面不平滑而增加消耗 品費(fèi)用之缺點(diǎn)。
本發(fā)明另一目的在于提供一種玻璃基板激光裁切裝置,其取代以往 的桌臺(tái)移送方式,提供一種能讓激光裁切頭自行移動(dòng)以裁切玻璃之裝置, 與桌臺(tái)移送方式相比,可以縮減所占空間,節(jié)省加工桌臺(tái)回復(fù)至原來(lái)位 置所需的時(shí)間。
本發(fā)明再一目的是提供一種玻璃基板激光裁切裝置,將激光裁切頭 分成為激光發(fā)射部及激光照射頭兩個(gè)構(gòu)件,重量大的激光電源供應(yīng)器及 具有激光發(fā)射源的激光發(fā)射部固定于沿著雙軸之臺(tái)架臺(tái)移動(dòng)的臺(tái)架結(jié)構(gòu) 物兩端,僅將激光裁切頭構(gòu)成要素中除去激光電源供應(yīng)器及激光發(fā)射源 的其他單元作為激光照射頭,使其沿著臺(tái)架結(jié)構(gòu)物朝左右移動(dòng)。因此, 可以解決在與激光裁切頭一體移動(dòng)時(shí),因?yàn)橹亓克鶎?dǎo)致臺(tái)架結(jié)構(gòu)物產(chǎn)生 錯(cuò)位,以及因?yàn)榧す夤饩€路徑位置錯(cuò)移而降低裁切精密度以及安全性與 精密性的問(wèn)題。
為了達(dá)成上述目的,本發(fā)明玻璃基板激光裁切裝置具備有裁切桌臺(tái),將欲裁切之玻璃基板保持于水平狀態(tài);
一對(duì)臺(tái)架臺(tái),為了將臺(tái)架結(jié)構(gòu)物沿著裁切桌臺(tái)移動(dòng)而平行組裝于裁
切桌臺(tái)之兩端;
臺(tái)架結(jié)構(gòu)物,垂直設(shè)置在一對(duì)臺(tái)架臺(tái)的上部,沿著臺(tái)架臺(tái)來(lái)將激光 發(fā)射部及激光照射頭移動(dòng);
激光發(fā)射部,固定設(shè)置于該臺(tái)架結(jié)構(gòu)物兩端的上部,具有激光發(fā)射 源及電源供應(yīng)器;
激光照射頭,組裝于臺(tái)架結(jié)構(gòu)物之兩端,可沿著臺(tái)架結(jié)構(gòu)物朝左右 移動(dòng),由光線輸送系統(tǒng)、光線整形鏡、淬熄嘴、初始斷裂器等構(gòu)成,將 激光發(fā)射部所發(fā)射的激光照射至玻璃基板。
在使用以往的桌臺(tái)移送方法的激光裁切裝置時(shí),需要縱長(zhǎng)約15m的 占用空間,但使用本發(fā)明藉由激光照射頭移動(dòng)方式的玻璃基板激光裁切 裝置時(shí),占用空間的大小可縮減至約2/3。使用以往的桌臺(tái)移送方法的激 光裁切裝置時(shí),必須要有加工桌臺(tái)回復(fù)至原來(lái)位置的過(guò)程。然而,本發(fā) 明玻璃基板激光裁切裝置因?yàn)榭梢允÷缘艏庸ぷ琅_(tái)回復(fù)至原來(lái)位置所需 要的時(shí)間,故可以得到單位時(shí)間作業(yè)量增加、減少作業(yè)周期的顯著效果。
又,本發(fā)明玻璃基板激光裁切裝置將激光裁切頭分離成由重量大的 激光發(fā)射源及電源供應(yīng)器所構(gòu)成的激光發(fā)射部,以及與激光發(fā)射部相比 之相對(duì)重量較小的激光照射頭。藉此,激光發(fā)射部固定設(shè)置于臺(tái)架結(jié)構(gòu) 物的兩端,激光照射頭可沿著臺(tái)架結(jié)構(gòu)物朝左右移動(dòng),適用于將激光裁 切頭分離成兩個(gè)構(gòu)件之方式。
藉由將激光裁切頭分離成固定于臺(tái)架結(jié)構(gòu)物兩端的激光發(fā)射部,以 及沿著臺(tái)架結(jié)構(gòu)物移動(dòng)的激光照射頭之兩個(gè)構(gòu)件的方式,可防止因?yàn)榧?光發(fā)射部的重量所產(chǎn)生臺(tái)架結(jié)構(gòu)物之錯(cuò)位,由于可以將光線路徑之位置 錯(cuò)移最小化,故具有防止裁切精密度及安全性降低的顯著效果。
再者,本發(fā)明玻璃基板激光裁切裝置依序設(shè)置上述玻璃基板的激光裁切裝置,其間還具備有玻璃基板之旋轉(zhuǎn)裝置,藉此可以獲得第一次切 削玻璃基板的左右面,再將其旋轉(zhuǎn)以連續(xù)工序進(jìn)行第二次玻璃基板的上 下面切削之效果。
第一次將玻璃基板之左右面切削后,為了第二次上下面的切削而使 用旋轉(zhuǎn)裝置將玻璃基板旋轉(zhuǎn)90。時(shí),以往是使用由玻璃基板的上部以真空 來(lái)吸著玻璃基板,進(jìn)而旋轉(zhuǎn)玻璃基板之方法。但是,以往的吸著旋轉(zhuǎn)方 式在玻璃基板的吸著面會(huì)有產(chǎn)生異物之弊,因此有損傷玻璃基板的問(wèn)題。 本發(fā)明玻璃基板激光裁切裝置的旋轉(zhuǎn)裝置是由輸送帶連結(jié)可上下移動(dòng)之
多數(shù)驅(qū)動(dòng)輪的輸送機(jī)、將玻璃基板旋轉(zhuǎn)90。的格子平板及轉(zhuǎn)動(dòng)桌臺(tái)所構(gòu) 成。將上部載置有玻璃基板之格子平板以轉(zhuǎn)動(dòng)桌臺(tái)旋轉(zhuǎn),而具有解決吸 著面異物及玻璃基板損傷問(wèn)題發(fā)生的顯著效果。
本發(fā)明玻璃基板激光裁切裝置是藉由旋轉(zhuǎn)裝置將第一次切削左右面 后的玻璃基板旋轉(zhuǎn),再進(jìn)行第二次的玻璃基板的上下面切削。上述工序 中,第一次切削后之玻璃基板切削面的影像可藉由使用組裝于臺(tái)架結(jié)構(gòu) 物前面之?dāng)z影機(jī)獲得。不僅可以在臺(tái)架結(jié)構(gòu)物前面設(shè)置攝影機(jī),還可進(jìn) 一步地在激光照射頭內(nèi)組裝攝影機(jī),透過(guò)多個(gè)攝影機(jī)來(lái)將誤差最小化, 因?yàn)槟芨鼫?zhǔn)確的將第一次切削面作為垂直面基準(zhǔn)來(lái)進(jìn)行第二次的切削, 故可讓切削面的直角度提高。
本發(fā)明具有可裁切要求高精度之顯示器用玻璃的優(yōu)異效果。所謂顯 示器用玻璃是指用于液晶顯示器、等離子顯示器、有機(jī)EL顯示器等顯示 器裝置上的玻璃。
圖1是本發(fā)明玻璃基板激光裁切裝置之整體結(jié)構(gòu)立體圖。
圖2a是臺(tái)架結(jié)構(gòu)物沿著臺(tái)架臺(tái)移動(dòng)過(guò)程之玻璃基板激光裁切裝置的 側(cè)視圖。
圖2b是以及激光照射頭沿著臺(tái)架結(jié)構(gòu)物移動(dòng)狀態(tài)的激光裁切裝置的正視圖。
圖3a及3b是玻璃基板激光裁切裝置的左側(cè)面所組裝之裁切裝置的 立體圖與裁切裝置的截面圖。
圖4是順序設(shè)置本發(fā)明玻璃基板激光裁切裝置,其間具有玻璃基板 之旋轉(zhuǎn)裝置的玻璃基板激光裁切裝置立體圖。
主要附圖標(biāo)記說(shuō)明如下 50—臺(tái)架臺(tái); 60—臺(tái)架結(jié)構(gòu)物; 70 —輸送機(jī); 80—攝影機(jī); IOO —激光發(fā)射部; IIO —激光照射頭; 120—裁切桌臺(tái); 200—驅(qū)動(dòng)輪; 210 —轉(zhuǎn)動(dòng)桌臺(tái); 220 —格子平板; 250—裁切裝置;
300 —第一次玻璃基板的激光裁切裝置; 400—第二次玻璃基板的激光裁切裝置。
具體實(shí)施例方式
圖1是本發(fā)明玻璃基板激光裁切裝置之整體結(jié)構(gòu)立體圖,圖2a及2b 分別是表示臺(tái)架結(jié)構(gòu)物沿著臺(tái)架臺(tái)移動(dòng)過(guò)程之玻璃基板激光裁切裝置的 側(cè)視圖,以及激光照射頭沿著臺(tái)架結(jié)構(gòu)物移動(dòng)模樣之玻璃基板激光裁切裝置的正視圖。
參照?qǐng)Dl及圖2a、 2b,本發(fā)明玻璃基板激光裁切裝置具備有
裁切桌臺(tái)120,將欲裁切之玻璃基板保持于水平狀態(tài);
一對(duì)臺(tái)架臺(tái)50,為了將臺(tái)架結(jié)構(gòu)物60移動(dòng)而平行組裝于裁切桌臺(tái) 120之兩端;
臺(tái)架結(jié)構(gòu)物60,垂直設(shè)置在臺(tái)架臺(tái)50的上部并與臺(tái)架臺(tái)50垂直, 可沿著臺(tái)架臺(tái)50移動(dòng);
激光發(fā)射部100,固定設(shè)置于該臺(tái)架結(jié)構(gòu)物60兩端;
激光照射頭IIO,組裝于臺(tái)架結(jié)構(gòu)物60之兩端并可朝左右移動(dòng),將 該激光發(fā)射部IOO所發(fā)射的激光照射至玻璃基板。
裁切桌臺(tái)120具有輸送或排出玻璃基板的輸送機(jī)70。藉由輸送機(jī)70 將輸送至裁切桌臺(tái)120的玻璃基板藉由裁切桌臺(tái)120來(lái)維持、固定于水 平狀態(tài)。
臺(tái)架結(jié)構(gòu)物60沿著臺(tái)架臺(tái)50朝X軸方向移動(dòng)。臺(tái)架臺(tái)50相互平行 地組裝于裁切桌臺(tái)120的左側(cè)及右側(cè),并由為了朝X軸方向自由地輸送 臺(tái)架結(jié)構(gòu)物60之線性導(dǎo)軌所構(gòu)成。亦即,在正交的X-Y座標(biāo)系中,X軸 平行于臺(tái)架臺(tái)50的軸,Y軸平行于臺(tái)架結(jié)構(gòu)物60之軸時(shí),臺(tái)架臺(tái)50可 將臺(tái)架結(jié)構(gòu)物60朝X軸方向前進(jìn)后退移動(dòng)之X軸線性導(dǎo)軌。
本發(fā)明玻璃基板激光裁切裝置于臺(tái)架臺(tái)50的上部設(shè)置有與臺(tái)架臺(tái)50 垂直,并沿著臺(tái)架臺(tái)50移動(dòng)的臺(tái)架結(jié)構(gòu)物60。臺(tái)架結(jié)構(gòu)物60于前面部 具備有將激光照射頭110朝左右移動(dòng)之Y軸線性導(dǎo)軌。
臺(tái)架結(jié)構(gòu)物60兩端的上部固定設(shè)置有激光發(fā)射部100。激光裁切頭 的構(gòu)成要素中,由大重量的單元所構(gòu)成。因此,激光發(fā)射部100固定設(shè) 置在臺(tái)架結(jié)構(gòu)物60兩端的上部,在臺(tái)架結(jié)構(gòu)物60沿著臺(tái)架臺(tái)50朝X軸 方向移動(dòng)時(shí),會(huì)同時(shí)與臺(tái)架結(jié)構(gòu)物60朝X軸方向前進(jìn)或后退。在本發(fā)明玻璃基板激光裁切裝置的臺(tái)架結(jié)構(gòu)物60兩端組裝有激光照
射頭110。激光照射頭110沿著設(shè)置于臺(tái)架結(jié)構(gòu)物60前面部之Y軸線性 導(dǎo)軌而在臺(tái)架結(jié)構(gòu)物60的兩端朝左右移動(dòng)。激光照射頭110與具有激光 發(fā)射源及電源供應(yīng)器的激光發(fā)射部100相比是重量較小的單元,具備有 為了傳送該激光發(fā)射部100所發(fā)射的激光光線的反射裝置之光線輸送系 統(tǒng)、將激光光線加以束集之光線整形鏡、沿著激光光線所加熱之裁切線 噴射冷卻噴霧之淬熄嘴以及于玻璃面形成初期斷裂之初始斷裂器。
藉由本發(fā)明玻璃基板激光裁切裝置之裁切工序,首先是藉由設(shè)置在 裁切桌臺(tái)120之輸送機(jī)70來(lái)將玻璃基板于裁切桌臺(tái)120處輸送。輸送后 之玻璃基板是在裁切桌臺(tái)120內(nèi)保持固定于水平狀態(tài)。在玻璃基板于裁 切桌臺(tái)120內(nèi)固定于水平狀態(tài)后,組裝于臺(tái)架結(jié)構(gòu)物60兩端的激光照射 頭110會(huì)沿著設(shè)置于臺(tái)架結(jié)構(gòu)物60前面之Y軸線性導(dǎo)軌朝左右移動(dòng)以進(jìn) 行玻璃基板之裁切寬度調(diào)整。例如,在裁切50英寸用LCD玻璃基板的 情況與裁切40英寸用LCD玻璃基板的情況,由于裁切寬度不同而必需 要進(jìn)行調(diào)整。藉由將組裝于臺(tái)架結(jié)構(gòu)物60兩端之一對(duì)激光照射頭110在 臺(tái)架結(jié)構(gòu)物60兩端的上部朝Y軸方向移動(dòng),可以調(diào)整欲裁切之玻璃基板 的寬度。
本發(fā)明的激光發(fā)射部100是固定設(shè)置于臺(tái)架結(jié)構(gòu)物60兩端的上部。 激光發(fā)射部100具有激光發(fā)射源及電源供應(yīng)器,其重量非常的大。結(jié)果 在為了調(diào)整玻璃基板的裁切寬度而將激光裁切頭一體移動(dòng)時(shí),亦即,將 激光發(fā)射部100與激光照射頭110同時(shí)朝臺(tái)架結(jié)構(gòu)物60的左右方向移動(dòng) 時(shí),因?yàn)槠渲亓繒?huì)使得臺(tái)架結(jié)構(gòu)物60產(chǎn)生錯(cuò)位。當(dāng)臺(tái)架結(jié)構(gòu)物60產(chǎn)生 錯(cuò)位時(shí),激光光線裁切路徑會(huì)產(chǎn)生位置錯(cuò)移,導(dǎo)致裁切準(zhǔn)確性及安全性 降低。
因此,本發(fā)明玻璃基板激光裁切裝置是將激光裁切頭固定設(shè)置于臺(tái) 架結(jié)構(gòu)物60兩端的上部,將重量比較大的激光發(fā)射部IOO與為了調(diào)整玻 璃基板裁切寬度而可朝Y軸方向左右移動(dòng)的激光照射頭110分離成兩個(gè) 構(gòu)件,故可將激光光線之路徑位置錯(cuò)移加以最小化。在本發(fā)明激光照射頭IIO朝左右移動(dòng)并調(diào)整玻璃基板的裁切寬度后,
臺(tái)架結(jié)構(gòu)物60朝X軸方向移動(dòng),并將激光光線照射至玻璃基板以裁切玻 璃基板。藉由激光發(fā)射部IOO所發(fā)射的激光光線誘導(dǎo)至激光照射頭110, 再將激光光線照射至玻璃基板。激光光線透過(guò)激光照射頭110內(nèi)的光線 輸送系統(tǒng)并藉由鏡體所誘導(dǎo)。波長(zhǎng)固定的激光光線的特性上,因?yàn)殓R體 的反射來(lái)誘導(dǎo)激光光線的激光光線損失幾乎為零。
藉由激光發(fā)射部100所發(fā)射的激光光線在藉由光線輸送系統(tǒng)誘導(dǎo)至 激光照射頭110后,于玻璃面照射激光光線。在照射激光光線的同時(shí), 位于臺(tái)架臺(tái)50兩端上部之臺(tái)架結(jié)構(gòu)物60會(huì)沿著臺(tái)架臺(tái)50朝X軸方向移 動(dòng),并同時(shí)極速地加熱玻璃基板的左右面。然后,沿著藉由激光光線急 速加熱后的玻璃基板左右面,透過(guò)激光照射頭110內(nèi)之淬熄嘴噴射具有 比玻璃基板的加熱溫度更加低溫的冷卻噴霧。這樣一來(lái),便可以將該玻 璃基板極速地冷卻,并在該表面形成既定深度的割痕而形成記錄線。
圖3a及3b表示本發(fā)明玻璃基板激光裁切裝置的左側(cè)面所組裝之裁 切裝置的立體圖與裁切裝置的截面圖。
參照?qǐng)D3a及3b,本發(fā)明玻璃基板激光裁切裝置于裁切桌臺(tái)120的兩 側(cè)部設(shè)置有按壓并裁切以激光光線形成記錄線后之玻璃基板的裁切裝置 250。
為了玻璃基板的裁切,在形成上述玻璃基板的記錄線工序后,需要 另外的裁切工序。以往的裁切桌臺(tái)移送方式藉由加工桌臺(tái)的移動(dòng)來(lái)進(jìn)行 記錄工序,將形成記錄線之玻璃基板以其他位置按壓,再使用裁切方法, 故有所占面積增大的問(wèn)題。
本發(fā)明之裁切裝置在附圖中未顯示其位置,以組裝于裁切桌臺(tái)120 兩側(cè)部之臺(tái)架臺(tái)50內(nèi)側(cè)而言,設(shè)置于與臺(tái)架臺(tái)50平行的左側(cè)及右側(cè)面。
當(dāng)藉由輸送機(jī)70將玻璃基板輸送至裁切桌臺(tái)120內(nèi)時(shí),設(shè)置于裁切 桌臺(tái)120兩側(cè)之裁切裝置250是為了裁切由兩側(cè)面輸送的玻璃基板。在 玻璃基板照射激光光線后,設(shè)置于裁切桌臺(tái)120左右側(cè)之裁切裝置250
ii會(huì)以X軸為旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn),裁切裝置會(huì)由上部按壓玻璃基板的裁切部來(lái)進(jìn) 行裁切。
本發(fā)明于裁切桌臺(tái)120的左側(cè)及右側(cè)面設(shè)置裁切裝置250,不會(huì)有以 往桌臺(tái)移送方式所發(fā)生其他所占面積之情況,在裁切桌臺(tái)120內(nèi)按壓裁 切因激光光線所形成記錄線后之玻璃基板。
圖4是順序設(shè)置本發(fā)明玻璃基板激光裁切裝置,其間具有玻璃基板 之旋轉(zhuǎn)裝置的玻璃基板激光裁切裝置立體圖。
參照?qǐng)D4,本發(fā)明玻璃基板激光裁切裝置具有:第一次玻璃基板激光 裁切裝置300,沿著平行組裝于裁切桌臺(tái)120左邊及右邊之一對(duì)臺(tái)架臺(tái) 50來(lái)移動(dòng)臺(tái)架結(jié)構(gòu)物60以第一次切削玻璃基板的左右面;
旋轉(zhuǎn)裝置,將第1次切削后之玻璃基板旋轉(zhuǎn)90°;
第二次玻璃基板激光裁切裝置400,將第一次切削后的玻璃基板左右 面進(jìn)行垂直上下面的切削。
藉由第一次玻璃基板的激光裁切裝置300第一次將玻璃基板的左右 面同時(shí)進(jìn)行切削,利用旋轉(zhuǎn)裝置將第一次切削后的玻璃基板旋轉(zhuǎn)90。,再 藉由第二次玻璃基板的激光裁切裝置400以第一次切削面為基準(zhǔn)排列至 垂直后,進(jìn)行第二次的切削。
本發(fā)明旋轉(zhuǎn)裝置具備有可上下移動(dòng)之驅(qū)動(dòng)輪200、連接該驅(qū)動(dòng)輪200 之輸送帶的輸送機(jī)(圖中未表示),以及具有將輸送機(jī)輸送后之玻璃基板 旋轉(zhuǎn)90。之格子平板220及轉(zhuǎn)動(dòng)桌臺(tái)210。
以往,為了旋轉(zhuǎn)玻璃基板,使用由上部以真空吸著玻璃基板后,將 玻璃基板上移再旋轉(zhuǎn)90。的方法。上述以往的玻璃基板旋轉(zhuǎn)方法在玻璃基 板的上部吸著面處會(huì)有異物,因而會(huì)損傷玻璃基板的表面。為了解決該 問(wèn)題,本發(fā)明之旋轉(zhuǎn)裝置是以下部來(lái)支撐玻璃基板的格子平板220并使 用將其旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)動(dòng)桌臺(tái)210,故可防止吸著時(shí)所發(fā)生玻璃基板表面損傷的 問(wèn)題。本發(fā)明藉由第一次玻璃基板的激光裁切裝置300第一次地將左右面
裁切后的玻璃基板通過(guò)輸送機(jī)70移送至旋轉(zhuǎn)裝置。移送至旋轉(zhuǎn)裝置后的 玻璃基板藉由位于旋轉(zhuǎn)裝置內(nèi)的輸送機(jī)定位至格子平板220的上部。輸 送機(jī)是由可上下移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)輪200以及連結(jié)該驅(qū)動(dòng)輪200之輸送帶所構(gòu) 成。在藉由輸送機(jī)將玻璃基板定位至格子平板220的上部位置后,驅(qū)動(dòng) 輪200及輸送機(jī)會(huì)下降,玻璃基板會(huì)穩(wěn)置于格子平板220,藉由轉(zhuǎn)動(dòng)桌臺(tái) 210的90。旋轉(zhuǎn)將玻璃基板旋轉(zhuǎn)后,該驅(qū)動(dòng)輪200及輸送機(jī)會(huì)再度上升, 將旋轉(zhuǎn)后的玻璃基板運(yùn)至第二次玻璃基板的激光裁切裝置400。
參照?qǐng)D1及圖4,本發(fā)明玻璃基板激光裁切裝置于臺(tái)架結(jié)構(gòu)物60的 前面部組裝有可獲得第一次裁切后之玻璃基板裁切面影像之?dāng)z影機(jī)80。
藉由第一次玻璃基板的激光裁切裝置300將玻璃基板的左右面進(jìn)行 裁切,再藉由旋轉(zhuǎn)裝置旋轉(zhuǎn)90。后的玻璃基板會(huì)藉由輸送機(jī)70移動(dòng)至第 二次的激光裁切裝置400。藉由旋轉(zhuǎn)裝置所旋轉(zhuǎn)后之玻璃基板的第一次切 削面定位于與第二次玻璃基板的激光裁切裝置400之臺(tái)架結(jié)構(gòu)物60的Y 軸平行的位置。此時(shí),通過(guò)組裝于臺(tái)架結(jié)構(gòu)物60前面部之?dāng)z影機(jī)80取 得第一次切削后之玻璃基板截面影像,確認(rèn)玻璃基板端部的對(duì)齊狀態(tài), 并以其為基準(zhǔn)進(jìn)行玻璃基板的位置定位。又,除了位于臺(tái)架結(jié)構(gòu)物60前 面的攝影機(jī)80,在激光照射頭110內(nèi)也可設(shè)置攝影機(jī),此時(shí),可通過(guò)多 個(gè)攝影機(jī)80來(lái)將誤差最小化,更準(zhǔn)確地說(shuō),可將以第一次切削面為基準(zhǔn) 之垂直面進(jìn)行第二次的切削。
上述雖為本發(fā)明特定實(shí)施例之說(shuō)明及附圖,但在不脫離本發(fā)明之技 術(shù)思想范圍內(nèi),所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員能進(jìn)行多種變化的實(shí)施方式。本發(fā) 明之思想及范圍并不為這些實(shí)施例所限制,應(yīng)以本發(fā)明的權(quán)利要求為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1、一種玻璃基板激光裁切裝置,使用激光來(lái)進(jìn)行玻璃基板裁切,其特征在于該玻璃基板激光裁切裝置具備有裁切桌臺(tái),將欲裁切之玻璃基板保持于水平狀態(tài);一對(duì)臺(tái)架臺(tái),平行組裝于裁切桌臺(tái)之左側(cè)及右側(cè);臺(tái)架結(jié)構(gòu)物,垂直設(shè)置在該臺(tái)架臺(tái)的上部,沿著臺(tái)架臺(tái)來(lái)進(jìn)行前進(jìn)及后退;激光發(fā)射部,固定設(shè)置于該臺(tái)架結(jié)構(gòu)物兩端的上部;激光照射頭,組裝于臺(tái)架結(jié)構(gòu)物之兩端,可沿著臺(tái)架結(jié)構(gòu)物朝左右移動(dòng)以將激光發(fā)射部所發(fā)射的激光照射至該玻璃基板。
2、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的玻璃基板激光裁切裝置,其特征在于該 裁切桌臺(tái)具備有輸送機(jī),將玻璃基板于裁切桌臺(tái)內(nèi)移動(dòng);裁切裝置,組裝于裁切桌臺(tái)的左側(cè)及右側(cè)面,其可固定輸送后的玻 璃基板,并將激光照射后的玻璃基板按壓裁切。
3、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的玻璃基板激光裁切裝置,其特征在于 所述一對(duì)臺(tái)架臺(tái)于上部具有可使所述臺(tái)架結(jié)構(gòu)物平行地前進(jìn)及后退移動(dòng) 的線性導(dǎo)軌。
4、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的玻璃基板激光裁切裝置,其特征在于 所述臺(tái)架結(jié)構(gòu)物為了裁切桌臺(tái)所輸送之玻璃基板端部對(duì)齊及臺(tái)架結(jié)構(gòu)物 的對(duì)位,于所述臺(tái)架結(jié)構(gòu)物的前面部組裝有攝影機(jī)。
5、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的玻璃基板激光裁切裝置,其特征在于 所述激光發(fā)射部具有固定設(shè)置于該臺(tái)架結(jié)構(gòu)物兩端上部的激光發(fā)射源及 電源供應(yīng)器。
6、 根據(jù)權(quán)利要求l所述的玻璃基板激光裁切裝置,其特征在于所述臺(tái)架結(jié)構(gòu)物的前面部設(shè)置有可使所述激光照射頭朝左右移動(dòng)的線性 導(dǎo)軌。
7 、根據(jù)權(quán)利要求1或6任一項(xiàng)所述的玻璃基板激光裁切裝置,其 特征在于所述激光照射頭具備有光線輸送系統(tǒng),具有將該激光發(fā)射部所發(fā)射的激光光線加以誘導(dǎo)之 反射裝置;初始斷裂器,于玻璃面形成初期斷裂;光線整形鏡,將所述光線輸送系統(tǒng)所傳達(dá)的激光光線加以束集; 淬熄嘴,沿著所述光線整形鏡所照射后的激光光線噴射冷卻噴霧。
8 、根據(jù)權(quán)利要求1至6的任一項(xiàng)所述的玻璃基板激光裁切裝置, 其特征在于還具備有玻璃基板旋轉(zhuǎn)裝置,將使用該玻璃基板激光裁切 裝置進(jìn)行第1次切削后的玻璃基板通過(guò)該玻璃基板旋轉(zhuǎn)裝置旋轉(zhuǎn)后,使 用該玻璃基板激光裁切裝置進(jìn)行第二次切削。
9、根據(jù)權(quán)利要求8所述的玻璃基板激光裁切裝置,其特征在于 該玻璃基板旋轉(zhuǎn)裝置具備有-輸送機(jī),輸送第一次切削后的玻璃基板并輸送出藉由所述玻璃基板 旋轉(zhuǎn)裝置旋轉(zhuǎn)9 0 。后的玻璃基板;格子平板,由下部支撐所述輸送機(jī)所輸送后的玻璃基板; 轉(zhuǎn)動(dòng)桌臺(tái),將所述格子平板進(jìn)行9 Q。旋轉(zhuǎn)。
10、根據(jù)權(quán)利要求9所述的玻璃基板激光裁切裝置,其特征在于 該輸送機(jī)具備有多個(gè)可上下移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)輪;用以連結(jié)所述驅(qū)動(dòng)輪的輸送帶。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種玻璃基板激光裁切裝置,其激光裁切頭可自行移動(dòng),并將激光裁切頭分為兩個(gè)構(gòu)件,重量大的激光發(fā)射部固定于沿著平行裁切桌臺(tái)左右邊之一對(duì)臺(tái)架臺(tái)移動(dòng)的臺(tái)架結(jié)構(gòu)物兩端,僅將重量相對(duì)小的激光照射頭平行于臺(tái)架結(jié)構(gòu)物朝左右移動(dòng),該玻璃基板激光裁切裝置具備有將玻璃基板保持于水平狀態(tài)之裁切桌臺(tái)、將臺(tái)架結(jié)構(gòu)物沿裁切桌臺(tái)移動(dòng)之雙軸臺(tái)架臺(tái)、垂直設(shè)置在雙軸臺(tái)架臺(tái)上部并沿臺(tái)架臺(tái)移動(dòng)之臺(tái)架結(jié)構(gòu)物、固定于該臺(tái)架結(jié)構(gòu)物兩端的激光發(fā)射部、可左右移動(dòng)地組裝于臺(tái)架結(jié)構(gòu)物兩端以將激光發(fā)射部發(fā)射的激光照射至玻璃基板的激光照射頭。
文檔編號(hào)C03B33/09GK101439928SQ200810126009
公開(kāi)日2009年5月27日 申請(qǐng)日期2008年6月30日 優(yōu)先權(quán)日2007年11月23日
發(fā)明者盧亨祥, 李憲植, 李昌夏, 鄭熏相, 金泰皓 申請(qǐng)人:三星康寧精密琉璃株式會(huì)社