專利名稱：劃線單元、板子劃線裝置、劃線方法和基底制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在加工板子時(shí)用到的裝置和方法。更具體地說，本發(fā) 明涉及對(duì)形成有多個(gè)單元基底的板子進(jìn)行劃線的劃線單元；具有該劃線 單元的劃線裝置；以及劃線方法和使用該劃線方法制造基底的方法。
背景技術(shù)：
最近，具有多種功能和更高數(shù)據(jù)處理速度的數(shù)據(jù)處理裝置迅速發(fā) 展起來。每個(gè)這些數(shù)據(jù)處理裝置都包括被設(shè)置成用于顯示運(yùn)算信息的顯 示器。雖然通常將陰極射線管(CRT)用作顯示器，但近幾年對(duì)諸如薄 膜晶體管液晶顯示器(TFT-LCD)或有機(jī)發(fā)光二極管顯示器(OLED)等 平板顯示器的使用也有所增加。通常，用于監(jiān)視器或電視(TV)機(jī)中的多個(gè)單元基底被設(shè)置在大 尺寸的板子上。因此，需要有一種將單元基底從大尺寸的板子上分離出 來的處理方法。將大尺寸的板子分離成單元基底的方法包括通過使用金剛石輪 子在板子上形成垂直裂紋的劃線過程，和通過使用切斷桿向形成有裂紋 的部分施加作用力從而將板子分離成多個(gè)單元基底的切斷過程。然而，如果使用傳統(tǒng)裝置來執(zhí)行劃線過程，則單元基底的斷裂面 邊緣會(huì)變得粗糙。因此，需要進(jìn)行用于打磨單元基底的斷裂面邊緣的打 磨過程以使斷裂面變得平滑。打磨過程導(dǎo)致了所需時(shí)間的增加。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的示例性實(shí)施例涉及用于切割工件的劃線單元。在一示例性實(shí)施例中，所述劃線單元可以包括與所述工件接觸從而在所述工件 的表面中形成裂紋的劃線器；被構(gòu)造成用于支撐所述劃線器的支撐件； 以及被構(gòu)造成用于向所述劃線器提供振動(dòng)的振動(dòng)器。本發(fā)明的示例性實(shí)施例涉及板子劃線裝置，所述板子劃線裝置用 于在將單元基底從形成有所述單元基底的所述板子中分離出來之前執(zhí)行 劃線過程。在一示例性實(shí)施例中，所述裝置可以包括在其上放置所述 板子的支撐部件；劃線單元，其被構(gòu)造成用于對(duì)放置在所述支撐部件上 的所述板子進(jìn)行劃線；第一運(yùn)動(dòng)單元，其被構(gòu)造成用于使所述劃線單元 或所述支撐部件沿第一方向作直線運(yùn)動(dòng)；以及第二運(yùn)動(dòng)單元，其被構(gòu)造 成用于使所述劃線單元沿垂直于所述第一方向的第二方向作直線運(yùn)動(dòng)， 其中所述劃線單元包括劃線器，其與工件接觸從而在所述工件的表面 中形成裂紋；被構(gòu)造成用于支撐所述劃線器的支撐件；和被構(gòu)造成用于 向所述劃線器提供振動(dòng)的振動(dòng)器。本發(fā)明的示例性實(shí)施例涉及對(duì)工件進(jìn)行劃線的方法。在一示例性 實(shí)施例中，所述方法可以包括使劃線器與所述工件接觸；以及使所述 工件和所述劃線器作相對(duì)運(yùn)動(dòng)，其中在劃線過程中向所述劃線器施加振 動(dòng)。本發(fā)明的示例性實(shí)施例涉及基底制造方法。在一示例性實(shí)施例中，
所述方法可以包括執(zhí)行通過劃線器對(duì)形成有單元基底的板子進(jìn)行劃線
的劃線過程；執(zhí)行使所述單元基底從已劃線的所述板子中分離出來的切
斷過程；以及執(zhí)行用于清潔所述單元基底的清潔過程，其中，當(dāng)對(duì)所述
板子進(jìn)行劃線時(shí)，通過向所述劃線器施加振動(dòng)來執(zhí)行所述劃線過程；并
且在所述切斷過程和所述清潔過程之間執(zhí)行清潔過程，而不必執(zhí)行用于 打磨所述單元基底的斷裂面的打磨過程。


圖1是描述用于平板顯示器的板子的例子的立體圖，在所述板子 中形成有多個(gè)單元基底。圖2描述了本發(fā)明用于將板子分離成多個(gè)單元基底的裝置。
圖3是描述本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的劃線裝置的立體圖。
圖4是圖3中示出的劃線單元的立體圖。圖5A和圖5B是分別描述圖4中示出的輪子的不同例子的主視 圖。圖6是圖3中示出的劃線單元的局部截面圖。圖7A和圖7B是對(duì)照地示出了在不施加兆聲振動(dòng)時(shí)執(zhí)行劃線過程 的情況下的單元基底的斷裂面，和在施加兆聲振動(dòng)時(shí)執(zhí)行劃線過程的情 況下的單元基底的斷裂面。圖8是描述本發(fā)明一個(gè)實(shí)施例的平板顯示器制造方法的流程圖。
具體實(shí)施例方式下面參照附圖對(duì)本發(fā)明作更加全面的描述，在這些附圖中示出了本 發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例。然而，本發(fā)明可以用很多不同的形式實(shí)施，而不應(yīng)當(dāng)被 理解為受此處描述的實(shí)施例的限制。相反，提供這些實(shí)施例是為了使本發(fā) 明的公開徹底和完整，并且充分地向本領(lǐng)域技術(shù)人員傳達(dá)本發(fā)明的范圍。 在附圖中，為清楚起見擴(kuò)大了各個(gè)層和區(qū)域的厚度。雖然本發(fā)明的實(shí)施例指定用于平板顯示器的板子10作為待切割 工件，但本發(fā)明并不限于此并且可以應(yīng)用于其它類型的工件。圖1描述了板子10的例子，圖2描述了用于將圖1中所示的板子 IO分離為多個(gè)單元基底10a的裝置1。板子IO可以是用于薄膜晶體管液 晶顯示器(TFT-LCD)的板子，或者是用于有機(jī)發(fā)光二極管顯示器(OLED) 的板子，這些板子都是用于平板顯示器的板子類型。如圖1所示，板子 IO大致呈矩形板的形狀，并且在板子IO中形成有多個(gè)單元基底10a。圖 2中所描述的裝置1將板子10分離為多個(gè)單元基底10a。參照?qǐng)D2,裝置1包括裝載部件12、劃線部件14、切斷部件16 和卸載部件18，它們按照上述列出的順序而布置成一排。板子IO通過裝 載部件12放入裝置1中。在板子IO經(jīng)過劃線部件14和切斷部件16時(shí) 被分離為多個(gè)單元基底IO之后，通過卸載部件18將單元基底IO放置到 外部。劃線部件14通過使用劃線器420而在板子10上形成垂直裂紋。 切斷部件16通過使用切斷桿(圖中未示出)而向板子10上形成有裂紋的部分施加作用力，以便從板子10中分離出單獨(dú)的單元基底10a。圖3是設(shè)置在圖2示出的劃線部件14中的劃線裝置14a的立體圖。 如圖3所示，劃線裝置14a包括工作臺(tái)120、第一運(yùn)動(dòng)單元200、第二運(yùn) 動(dòng)單元300、劃線單元400和旋轉(zhuǎn)單元500。板子10在劃線過程中被放 置在工作臺(tái)100上。工作臺(tái)IOO包括平坦且大致呈矩形形狀的頂面。工作臺(tái)100的頂 面面積與板子10的面積相同，或者大于板子10的面積。在工作臺(tái)100 的頂面上形成有多個(gè)連接至真空管的孔，從而通過真空壓力將板子10固 定在工作臺(tái)100上。工作臺(tái)IOO上可以安裝有夾具(圖中未示出)，從 而輔助地將板子10固定在工作臺(tái)100上。劃線單元400在放置于工作臺(tái)IOO上的板子IO上劃線，從而形成 裂紋。如圖4所示，劃線單元400包括劃線器420、支撐件440、振動(dòng)器 460和加壓部件480。劃線器420在劃線過程中直接與板子IO接觸。由 金剛石制成的輪子作為劃線器420使用。在輪子420的中心處形成有通 孔424。輪子420的邊緣設(shè)置得很鋒利。如圖5A所示，輪子420的邊緣 可以設(shè)置為圓形。視需要，如圖5B所示，在輪子420的邊緣422處沿輪 子420的外周可以形成有輪齒422a。在使用圖5B所示的輪子420的情 況下，劃線過程的效率會(huì)更高。輪子420受支撐件440支撐。圖6是輪子420安裝在支撐件440 上的結(jié)構(gòu)截面圖。如圖6所示，支撐件440包括本體442和軸銷444。在 本體442的底面處形成有沿一個(gè)方向穿過本體442的凹槽442a。軸銷444 呈具有圓形橫截面的長(zhǎng)桿形狀。軸銷444沿垂直于凹槽442a長(zhǎng)度方向的 方向布置在凹槽442a中。軸銷444的兩端都被安裝成固定在本體442上。 軸銷444穿過在輪子420中形成的通孔424。當(dāng)輪子420借助于軸銷444 而受到支撐時(shí)，輪子420的一部分置于凹槽442a中，其它部分從支撐件 440向下突出。加壓部件480向輪子420施加壓力，從而當(dāng)輪子420和板子10 相互接觸時(shí)允許輪子420以恒定的作用力壓迫板子10。在一示例性實(shí)施 例中，加壓部件480布置在支撐件440的上方，并使用氣動(dòng)壓力向下壓迫支撐件440，從而向輪子420施加壓力?？梢詫⒓訅翰考?80設(shè)置為具 有包括通過氣動(dòng)壓力而抬起或降低的桿(圖中未示出)的結(jié)構(gòu)。視需要， 可以將加壓部件480設(shè)置為如下結(jié)構(gòu)，其中由空氣直接向輪子420的本 體442施加壓力。振動(dòng)器460安裝在本體442內(nèi)，并在劃線過程中向輪子420施加 振動(dòng)。兆聲換能器(megasonic transducer)可以作為振動(dòng)器460使用。振 動(dòng)器460可以向上和向下地施加振動(dòng)給輪子420。當(dāng)輪子420在板子10 上形成裂紋時(shí)，板子10的斷裂面通常會(huì)比較粗糙。因此，在通過切斷過 程將單元基底10a從板子IO上分離出來以后，在清潔過程之前必須使用 磨石來打磨單元基底10a的斷裂面邊緣。然而，如果當(dāng)輪子420在板子 10上形成裂紋時(shí)向輪子420施加振動(dòng)，則板子10的斷裂面就會(huì)變得平滑。 因而，在清潔單元基底10a之前可以省略打磨單元基底10a的過程。第一運(yùn)動(dòng)單元200允許工作臺(tái)IOO沿第一方向22作直線運(yùn)動(dòng)。第 一運(yùn)動(dòng)單元200包括第一引導(dǎo)件220、第一支架240和第一驅(qū)動(dòng)器(圖中 未示出)。第一引導(dǎo)件220沿縱向設(shè)置在第一方向22上并安裝在基座600 的中央。第一引導(dǎo)件220在縱向上具有相同的寬度。將第一引導(dǎo)件220 的頂面設(shè)置成平的。在第一引導(dǎo)件220的兩側(cè)表面上沿縱向分別形成有 凹槽222。工作臺(tái)100通過第一支架240與第一引導(dǎo)件220結(jié)合。第一支架 240包括基板242、支撐板244和結(jié)合板246?；?42是布置在第一引 導(dǎo)件220上的矩形平板。支撐板220固定結(jié)合至工作臺(tái)IOO上，從而從 下方支撐工作臺(tái)100。兩個(gè)支撐板220被設(shè)置并布置得彼此相對(duì)。結(jié)合板 246包括側(cè)板246a和插入板246b。側(cè)板246a被布置為垂直于基板242 的底面，并且固定結(jié)合在基板242的底面上。插入板246b沿垂直于側(cè)板 246a的方向從側(cè)板246a的內(nèi)側(cè)表面的底端延伸，從而插入到在第一引導(dǎo) 件220的側(cè)面上形成的凹槽222中。兩個(gè)結(jié)合式插入板246b設(shè)置得彼此 相對(duì)。第一驅(qū)動(dòng)器提供驅(qū)動(dòng)力，從而使工作臺(tái)IOO可作直線運(yùn)動(dòng)。視需 要，第一驅(qū)動(dòng)器可以是包括電動(dòng)機(jī)、傳動(dòng)帶和皮帶輪的組件。視需要， 第一驅(qū)動(dòng)器可以是包括線性電動(dòng)機(jī)的組件。上述組件在現(xiàn)有技術(shù)中是眾所周知的，因此不再描述它們的詳細(xì)結(jié)構(gòu)。第二運(yùn)動(dòng)單元300使劃線單元400可沿垂直于第一方向22的第二 方向24作直線運(yùn)動(dòng)。第二運(yùn)動(dòng)單元300包括垂直支撐件320、水平支撐 件340、第二引導(dǎo)件360、第二支架380以及第二驅(qū)動(dòng)器(圖中未示出)。 各個(gè)垂直支撐件320固定安裝在基座600上，并使垂直支撐件320相互 隔開一定間距。各個(gè)垂直支撐件320被布置成當(dāng)板子10沿第一方向22 運(yùn)動(dòng)時(shí)，允許板子10在垂直支撐件320之間通過。水平支撐件340固定 安裝在垂直支撐件320的頂端。第二引導(dǎo)件360沿水平支撐件340的長(zhǎng) 度方向設(shè)置在水平支撐件340的一個(gè)側(cè)面上。在第二引導(dǎo)件360的頂面 和底面上沿第二引導(dǎo)件360的長(zhǎng)度方向設(shè)置有凹槽。第二引導(dǎo)件360和 水平支撐件340可以一體設(shè)置。劃線單元400通過第二支架380與水平支撐件340結(jié)合。第二支 架380包括支撐板382和結(jié)合板384。支撐板382是布置在第二引導(dǎo)件 360上的矩形平板。結(jié)合板384包括側(cè)板384a和插入板384b。側(cè)板384a 從支撐板382的頂側(cè)和底側(cè)垂直于支撐板382而突出，并且插入板384b 插入到在第二引導(dǎo)件360上形成的凹槽362中。第二驅(qū)動(dòng)器提供驅(qū)動(dòng)力， 從而使劃線單元400可沿第二引導(dǎo)件360作直線運(yùn)動(dòng)。第二驅(qū)動(dòng)器可以 設(shè)置得具有與第一驅(qū)動(dòng)器類似的結(jié)構(gòu)。劃線單元400安裝在支撐板382上，從而可上下運(yùn)動(dòng)。在一示例 性實(shí)施例中，在支撐板382上沿第三方向26形成有狹縫型引導(dǎo)凹槽386， 并且劃線單元400與插入在引導(dǎo)凹槽386中的支撐軸(圖中未示出)結(jié) 合。第三方向26既垂直于第一方向22又垂直于第二方向24。在圖3中， 第三方向26是上下垂直方向。第三驅(qū)動(dòng)器(圖中未示出)提供驅(qū)動(dòng)力， 從而使劃線單元400可作直線運(yùn)動(dòng)。電動(dòng)機(jī)或氣缸可以作為第三驅(qū)動(dòng)器 使用。旋轉(zhuǎn)單元500使板子IO旋轉(zhuǎn)，從而在垂直于板子10的方向上形 成裂紋。在一示例性實(shí)施例中，工作臺(tái)IOO包括頂板120和底板140。底 板140固定在第一支架240上，并且頂板120與底板140結(jié)合而可以相 對(duì)于底板140在水平面上方旋轉(zhuǎn)。在頂板120的底面上固定安裝有與電 動(dòng)機(jī)500結(jié)合的旋轉(zhuǎn)軸500。
下面詳細(xì)描述使用圖3中示出的劃線裝置14a對(duì)板子IO進(jìn)行劃線 的方法。將對(duì)準(zhǔn)的板子IO放置在工作臺(tái)100上。工作臺(tái)100沿第一方向 22作直線運(yùn)動(dòng)。當(dāng)工作臺(tái)100到達(dá)先前設(shè)定的第一位置時(shí)，工作臺(tái)100 停止運(yùn)動(dòng)。然后，劃線單元400沿第二方向24作直線運(yùn)動(dòng)。當(dāng)劃線單元 400到達(dá)預(yù)設(shè)位置時(shí)，劃線單元400停止運(yùn)動(dòng)。此后，劃線單元400向下 運(yùn)動(dòng)并且輪子420與板子IO接觸。由加壓部件480向輪子420施加壓力 從而壓迫板子10。在輪子420壓迫板子10的同時(shí)，向輪子420施加兆聲 振動(dòng)。工作臺(tái)IOO在第一方向22上沿直線運(yùn)動(dòng)至第二位置。在壓迫板子 IO的同時(shí)，輪子420在軸銷444上旋轉(zhuǎn)。在板子IO上線性地形成裂紋。 如果從板子10的一端到另一端形成了裂紋，則劃線單元400向上運(yùn)動(dòng)并 且工作臺(tái)IOO返回第一位置。劃線單元400在第二方向24上沿直線運(yùn)動(dòng) 預(yù)設(shè)距離，然后劃線單元400向下運(yùn)動(dòng)。當(dāng)工作臺(tái)IOO運(yùn)動(dòng)到第二位置 時(shí)，在板子IO上形成了裂紋。重復(fù)這些步驟。然后，工作臺(tái)100旋轉(zhuǎn)90 度并重復(fù)前述步驟。
圖7A是示出在不向輪子420提供兆聲振動(dòng)的情況下執(zhí)行劃線過 程時(shí)的斷裂面狀態(tài)的圖像。圖7B是示出當(dāng)通過向輪子420提供兆聲振動(dòng) 來執(zhí)行劃線過程時(shí)的斷裂面狀態(tài)的圖像。如圖7A和圖7B所示，在向輪 子420提供兆聲振動(dòng)的情況下斷裂面更加平滑。
圖8描述了使用圖3中示出的劃線裝置14a制造平板顯示器的方 法。參照?qǐng)D8,先裝載板子10 (S10)。對(duì)已裝載的板子IO按順序執(zhí)行 劃線過程和切斷過程(S20和S30)。如果板子10己被分離成多個(gè)單元 基底10a，則卸載單元基底10a (S40)。無需打磨過程，對(duì)單元基底10a 直接執(zhí)行清潔過程(S50)。由于在劃線過程中施加了兆聲振動(dòng)，因而斷 裂面變得非常平滑。因此，不必執(zhí)行打磨過程。
下面對(duì)各個(gè)修改的實(shí)施例作簡(jiǎn)要描述。
上述實(shí)施例指出第一驅(qū)動(dòng)單元200使工作臺(tái)100沿第一方向22 作直線運(yùn)動(dòng)。然而，可以固定工作臺(tái)100并且劃線單元400可以在劃線 過程中沿第一方向22作直線運(yùn)動(dòng)。在這種情況下，垂直支撐件362可以 沿第一方向22作直線運(yùn)動(dòng)。
另外，上述實(shí)施例指出只有當(dāng)板子IO從第一位置運(yùn)動(dòng)到第二位置 時(shí)， 一個(gè)劃線單元400才與水平支撐軸結(jié)合從而對(duì)板子IO進(jìn)行劃線。然 而，可以在水平支撐件364上安裝兩個(gè)劃線單元400。在這種情況下，當(dāng) 板子IO從第一位置運(yùn)動(dòng)到第二位置時(shí)，第一劃線單元執(zhí)行劃線過程，而 當(dāng)板子IO從第二位置運(yùn)動(dòng)到第一位置時(shí)，第二劃線單元執(zhí)行劃線過程。 上述方法能夠縮短執(zhí)行劃線過程所需的時(shí)間。
另外，上述實(shí)施例指出劃線裝置14a被構(gòu)造成用于對(duì)板子10的頂 面執(zhí)行劃線過程。在需要對(duì)板子IO的背面執(zhí)行劃線過程的情況下，劃線 單元14a可以包括將板子IO的頂面和底面翻轉(zhuǎn)的單元。視需要，可以在 垂直支撐件362上安裝兩個(gè)水平支撐件364;上劃線單元可以安裝在上方 的水平支撐件364上，從而對(duì)板子IO的頂面執(zhí)行劃線過程；下劃線單元 可以安裝在下方的水平支撐件364上，從而對(duì)板子10的底面執(zhí)行劃線過 程。這樣能夠縮短執(zhí)行劃線過程所需的時(shí)間。
另外，上述實(shí)施例指出在不對(duì)單元基底10a的斷裂面執(zhí)行打磨過 程的情況下執(zhí)行清潔過程。然而，在需要更平滑的斷裂面的情況下，在 執(zhí)行清潔過程之前可以對(duì)單元基底10a的斷裂面執(zhí)行打磨過程。
另外，上述實(shí)施例指出用于支撐板子IO的整個(gè)底面的工作臺(tái)100 作為用于支撐板子IO的支撐部件使用。然而，該支撐部件可以具有各種 結(jié)構(gòu)，例如具有只支撐板子IO的兩個(gè)邊緣的結(jié)構(gòu)。
根據(jù)本發(fā)明，當(dāng)將板子分離成多個(gè)單元基底時(shí)，可以獲得相對(duì)平 滑的斷裂面。另外，在將板子分離成多個(gè)單元基底之后，無需打磨過程 就可以直接執(zhí)行清潔過程，從而縮短執(zhí)行全部過程所需的時(shí)間，并且由 于不需要用于執(zhí)行打磨過程的單元，因此減小了設(shè)備面積。
雖然結(jié)合附圖中示出的本發(fā)明實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了描述，但本 發(fā)明并不受所述實(shí)施例的限制。對(duì)本領(lǐng)域技術(shù)人員顯而易見的是，在不 背離本發(fā)明的范圍和精神的情況下，可以對(duì)本發(fā)明作各種替換、修改和 變化。
權(quán)利要求
1. 一種用于切割工件的劃線單元，所述劃線單元包括與所述工件接觸從而在所述工件的表面中形成裂紋的劃線器；被構(gòu)造成用于支撐所述劃線器的支撐件；以及被構(gòu)造成用于向所述劃線器提供振動(dòng)的振動(dòng)器。
2. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的劃線單元，其中所述劃線器包括可旋轉(zhuǎn)的 輪子，并且所述支撐件還包括本體和軸銷，所述軸銷與所述本體結(jié)合并插入到 在所述輪子上形成的通孔中，從而可旋轉(zhuǎn)地支撐所述輪子。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的劃線單元，其中在所述本體的底面中形成 有凹槽，所述輪子的一部分插入在所述凹槽中，并且所述軸銷在所述凹槽內(nèi)并固定安裝在所述本體上。
4. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的劃線單元，其中所述振動(dòng)器被設(shè)置在所述 本體內(nèi)。
5. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的劃線單元，其中所述振動(dòng)器是兆聲振動(dòng)器。
6. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的劃線單元，其中所述輪子包括形成有輪齒 的邊緣。
7. 根據(jù)權(quán)利要求l所述的劃線單元，其中所述劃線單元還包括加壓 部件，所述加壓部件被設(shè)置在所述支撐件上方并且被構(gòu)造成用于使用氣 動(dòng)壓力向所述支撐件施加壓力。
8. —種板子劃線裝置，用于在將單元基底從形成有所述單元基底的 所述板子中分離出來之前執(zhí)行劃線過程，所述裝置包括在其上放置所述板子的支撐部件；劃線單元，其被構(gòu)造成用于對(duì)放置在所述支撐部件上的所述板子進(jìn) 行劃線；第一運(yùn)動(dòng)單元，其被構(gòu)造成用于使所述劃線單元或所述支撐部件沿 第一方向作直線運(yùn)動(dòng)；以及第二運(yùn)動(dòng)單元，其被構(gòu)造成用于使所述劃線單元沿垂直于所述第一 方向的第二方向作直線運(yùn)動(dòng)，其中所述劃線單元包括劃線器，其與工件接觸從而在所述工件的表面中形成裂紋；被構(gòu)造成用于支撐所述劃線器的支撐件；和被構(gòu)造成用于向所述劃線器提供振動(dòng)的振動(dòng)器。
9. 根據(jù)權(quán)利要求8所述的板子劃線裝置，其中所述劃線器包括可旋 轉(zhuǎn)的輪子，所述支撐件包括本體和軸銷，在所述本體的底面中形成有凹槽，所 述軸銷被安裝成在所述凹槽之內(nèi)固定在所述本體上，并且所述輪子的一部分插入在所述凹槽中，并且所述軸銷插入到在所述 輪子上形成的開口中從而可旋轉(zhuǎn)地支撐所述輪子。
10. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的板子劃線裝置，其中所述振動(dòng)器是布置 在所述本體內(nèi)的兆聲振動(dòng)器。
11. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的板子劃線裝置，其中所述劃線單元還包 括加壓部件，所述加壓部件布置在所述支撐件上方并且被構(gòu)造成用于使 用氣動(dòng)壓力向所述支撐件施加壓力。
12. 根據(jù)權(quán)利要求9所述的板子劃線裝置，其中所述支撐部件包括 在其上放置所述板子的工作臺(tái)，并且所述劃線單元還包括被構(gòu)造成用于使所述工作臺(tái)旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)單元。
13. —種對(duì)工件進(jìn)行劃線的方法，所述方法包括 使劃線器與所述工件接觸；以及使所述工件和所述劃線器作相對(duì)運(yùn)動(dòng)， 其中在劃線過程中向所述劃線器施加振動(dòng)。
14. 根據(jù)權(quán)利要求13所述的方法，其中所述振動(dòng)是兆聲振動(dòng)。
15. 根據(jù)權(quán)利要求13所述的方法，其中所述劃線器是輪子，所述輪 子可以在所述工件和所述劃線器作相對(duì)運(yùn)動(dòng)期間沿著所述工件的表面旋 轉(zhuǎn)。
16. 根據(jù)權(quán)利要求13所述的方法，其中當(dāng)所述劃線器與所述工件接 觸時(shí)，通過氣體向所述劃線器施加壓力。
17. —種基底制造方法，所述方法包括 對(duì)形成有單元基底的板子進(jìn)行劃線；切斷已劃線的所述板子，使得所述單元基底從已劃線的所述板子中 分離出來；以及清潔所述單元基底，其中通過向劃線器施加振動(dòng)來對(duì)所述板子進(jìn)行劃線，并且在切斷過 程和清潔過程之間對(duì)所述單元基底進(jìn)行清潔，而不必打磨所述單元基底 的斷裂面。
18. 根據(jù)權(quán)利要求17所述的方法，其中所述振動(dòng)是兆聲振動(dòng)。
19. 根據(jù)權(quán)利要求17所述的方法，其中當(dāng)所述劃線器與工件接觸時(shí)， 通過氣體向所述劃線器施加壓力。
20. 根據(jù)權(quán)利要求17所述的方法，其中所述板子是用于平板顯示器 的板子。
全文摘要
本發(fā)明提供了一種用于執(zhí)行劃線過程的劃線單元，在該劃線過程中，將單元基底從形成有所述單元基底的板子中分離出來。所述劃線單元包括兆聲振動(dòng)器，所述兆聲振動(dòng)器向輪子施加兆聲振動(dòng)從而使所述單元基底的斷裂面平滑。因此，就能在清潔已分離出來的所述單元基底之前省略打磨所述單元基底的斷裂面邊緣的過程。
文檔編號(hào)C03B33/02GK101284709SQ20081009069
公開日2008年10月15日 申請(qǐng)日期2008年4月9日 優(yōu)先權(quán)日2007年4月12日
發(fā)明者金相吉 申請(qǐng)人:細(xì)美事有限公司