專(zhuān)利名稱(chēng)：用于圖像顯示設(shè)備的隔板的拉制玻璃部件的生產(chǎn)方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種通過(guò)加熱拉制的拉制玻璃部件的生產(chǎn)方法、一種用于圖像顯示設(shè)備的隔板的生產(chǎn)方法及一種利用這樣的拉制玻璃部件的圖像顯示設(shè)備的生產(chǎn)方法。
背景技術(shù)：
已經(jīng)知道在拉制和冷卻下從加熱爐連續(xù)地抽取在加熱爐中在加熱下被軟化的玻璃基材的端部，由此得到橫截面形狀大體與玻璃基材的橫截面形狀類(lèi)似的拉制玻璃部件，并且這樣的過(guò)程已經(jīng)用來(lái)例如生產(chǎn)光學(xué)纖維的基礎(chǔ)部件或用于平面圖像顯示設(shè)備的隔板。
作為例子，在用于平面圖像顯示設(shè)備的隔板的生產(chǎn)方法中，已經(jīng)知道，通過(guò)在以便得到105-109泊的粘度的加熱下拉制玻璃基材能在與玻璃基材的相似性方面改進(jìn)得到的隔板(例如，參考日本專(zhuān)利申請(qǐng)公開(kāi)No.2000-203857，段0033和0034)，通過(guò)由外部大氣迅速冷卻從加熱爐抽取的拉制玻璃部件在壓縮強(qiáng)度方面能改進(jìn)得到的隔板(例如，參考日本專(zhuān)利申請(qǐng)公開(kāi)No.2003-317648，段0039和0041)，及對(duì)于拉制玻璃部件的退火過(guò)程減小殘余應(yīng)力，由此防止作為隔板在使用中的變形、彎曲或斷裂(例如，參考日本專(zhuān)利申請(qǐng)公開(kāi)No.2003-317653，段0038，0041和0043)。
然而，即使當(dāng)如在日本專(zhuān)利申請(qǐng)公開(kāi)No.2000-203857中描述的那樣在預(yù)定范圍內(nèi)在粘度方面調(diào)節(jié)加熱軟化的玻璃基材，得到的拉制玻璃部件也往往呈現(xiàn)橫截面尺寸的波動(dòng)。拉制玻璃部件通過(guò)從玻璃基材的端部連續(xù)抽取而形成，但是，即使當(dāng)玻璃基材保持在恒定粘度下，得到的拉制玻璃部件過(guò)一定時(shí)間之后也呈現(xiàn)橫截面尺寸的波動(dòng)，由此沿玻璃部件的縱向呈現(xiàn)橫截面尺寸的不均勻度。
在日本專(zhuān)利申請(qǐng)公開(kāi)No.2003-317648和No.2003-317653中描述的方法不打算減小橫截面尺寸的不均勻度，并因此對(duì)于減小在得到的拉制玻璃部件中的橫截面尺寸的不均勻度是無(wú)用的。更明確地說(shuō)，在日本專(zhuān)利申請(qǐng)公開(kāi)No.2003-317648中描述的退火處理在拉制玻璃部件已經(jīng)形成之后執(zhí)行，即在釋放拉制力并且固定橫截面尺寸之后執(zhí)行。而且它只減輕殘余應(yīng)力而不能校正拉制玻璃部件的橫截面尺寸的不均勻度。而且根據(jù)本發(fā)明人的經(jīng)驗(yàn)，在日本專(zhuān)利申請(qǐng)公開(kāi)No.2003-317653中描述的通過(guò)外部大氣的迅速冷卻往往增加在得到的拉制玻璃部件中橫截面尺寸的不均勻度。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的一個(gè)目的在于，能夠連續(xù)生產(chǎn)在縱向的任何位置中具有均勻橫截面尺寸的高精度拉制玻璃部件。本發(fā)明的另一個(gè)目的在于，改進(jìn)用于圖像顯示設(shè)備的隔板的尺寸精度，由此能夠使高質(zhì)量的圖像顯示設(shè)備的生產(chǎn)容易。
本發(fā)明提供一種通過(guò)在冷卻下連續(xù)拉制通過(guò)加熱軟化的玻璃基材的端部的拉制玻璃部件的生產(chǎn)方法，其中在保持拉制長(zhǎng)度恒定的同時(shí)執(zhí)行拉制。
本發(fā)明也提供一種通過(guò)在冷卻下連續(xù)拉制通過(guò)加熱軟化的玻璃基材的端部的拉制玻璃部件的生產(chǎn)方法，其中拉制在沿拉制方向從加熱爐連續(xù)提供的罩中完成。
本發(fā)明也提供一種通過(guò)在冷卻下連續(xù)拉制通過(guò)加熱軟化的玻璃基材的端部的拉制玻璃部件的生產(chǎn)方法，其中冷卻氣體吹到從加熱爐拉制的拉制玻璃部件上，并且在冷卻氣體的吹氣位置處或緊在冷卻氣體的吹氣之后完成拉制。


圖1是示意圖，表示一種圖像顯示設(shè)備的構(gòu)造，在該圖像顯示設(shè)備中，應(yīng)用通過(guò)用于拉制玻璃部件的本發(fā)明的生產(chǎn)方法生產(chǎn)的隔板；圖2是示意圖，表示用于圖像顯示設(shè)備的隔板的本發(fā)明的生產(chǎn)方法的第一實(shí)施例；
圖3是示意圖，表示用于圖像顯示設(shè)備的隔板的本發(fā)明的生產(chǎn)方法的第二實(shí)施例；圖4是示意圖，表示用于圖像顯示設(shè)備的隔板的本發(fā)明的生產(chǎn)方法的第三實(shí)施例；及圖5是示意圖，表示玻璃基材和拉制玻璃部件的示例形狀。
具體實(shí)施例方式
把從加熱爐抽取的拉制玻璃部件暴露于外部大氣不僅在日本專(zhuān)利申請(qǐng)公開(kāi)No.2003-317653中描述，而且認(rèn)為也在日本專(zhuān)利申請(qǐng)公開(kāi)No.2000-203857或No.2003-317648中采用，并因此能認(rèn)為是一種通過(guò)加熱拉制生產(chǎn)拉制玻璃部件的非常普通的方法。
然而本發(fā)明人已經(jīng)發(fā)現(xiàn)如下事實(shí)，并且因而形成本發(fā)明。更明確地說(shuō)，把從加熱爐抽取的拉制玻璃部件立即暴露于沒(méi)有任何具體控制的外部大氣中構(gòu)成了在得到的拉制玻璃部件中橫截面尺寸的不均勻度的原因。沒(méi)有任何具體控制的外部大氣不僅產(chǎn)生溫度變化，而且也產(chǎn)生不規(guī)則氣體流動(dòng)，由此導(dǎo)致從加熱爐抽取的拉制玻璃部件的冷卻狀態(tài)的波動(dòng)。拉制玻璃部件在從加熱爐抽取之后即使在被冷卻的同時(shí)也仍然拉制，并且冷卻狀態(tài)的這種波動(dòng)導(dǎo)致在執(zhí)行拉制的長(zhǎng)度的變化，由此導(dǎo)致上述不均勻度。
因而本發(fā)明的第一方面在于考慮拉制長(zhǎng)度的波動(dòng)是橫截面尺寸的不均勻度的原因的事實(shí)，并且提供一種通過(guò)在拉制和冷卻下連續(xù)拉制通過(guò)加熱軟化的玻璃基材的端部的拉制玻璃部件的生產(chǎn)方法，其中以恒定拉制長(zhǎng)度執(zhí)行拉制。
而且本發(fā)明的第二方面在于考慮從加熱爐抽取的拉制玻璃部件的冷卻狀態(tài)的波動(dòng)是橫截面尺寸的不均勻度的原因的事實(shí)，并且提供一種通過(guò)在拉制和冷卻下連續(xù)拉制通過(guò)加熱軟化的玻璃基材的端部的拉制玻璃部件的生產(chǎn)方法，其中拉制在沿拉制方向從加熱爐連續(xù)提供的罩中完成。
而且本發(fā)明的第三方面基于與在第二方面中相同的事實(shí)，并且提供一種通過(guò)在拉制和冷卻下連續(xù)拉制通過(guò)加熱軟化的玻璃基材的端部的拉制玻璃部件的生產(chǎn)方法，其中冷卻氣體吹到從加熱爐抽取的拉制玻璃部件上，并且在冷卻氣體的吹氣位置處或緊在冷卻氣體的吹氣之后完成拉制。
而且本發(fā)明的第四和第五方面利用拉制玻璃部件的上述生產(chǎn)方法提供一種用于圖像顯示設(shè)備的隔板的生產(chǎn)方法和一種圖像顯示設(shè)備的生產(chǎn)方法。
根據(jù)本發(fā)明的第一方面，拉制長(zhǎng)度，或者從通過(guò)加熱而軟化的玻璃基材的一部分通過(guò)拉制玻璃部件的抽取在寬度或直徑上開(kāi)始變細(xì)的位置(減小開(kāi)始位置)到已抽取的拉制玻璃部件通過(guò)冷卻已不再拉制的位置(拉制完成位置)之間的距離始終保持恒定，借此能以連續(xù)方式得到恒定橫截面尺寸的拉制玻璃部件。
根據(jù)本發(fā)明的第二方面，從加熱爐抽取的拉制玻璃部件的拉制和冷卻在對(duì)于加熱爐延續(xù)提供的并且用來(lái)阻斷外部大氣的不規(guī)則流動(dòng)或其溫度變化的影響的罩中執(zhí)行，借此拉制玻璃部件能容易地始終保持在恒定冷卻狀態(tài)下。因此，拉制長(zhǎng)度能始終保持恒定，并且能以連續(xù)方式得到恒定橫截面尺寸的拉制玻璃部件。
根據(jù)本發(fā)明的第三方面，拉制長(zhǎng)度通過(guò)冷卻氣體的吹氣位置能始終保持恒定，借此能以連續(xù)方式得到恒定橫截面尺寸的拉制玻璃部件。
根據(jù)本發(fā)明的第四和第五方面，能容易地得到利用高精度隔板的、高質(zhì)量的圖像顯示設(shè)備。
本發(fā)明的用于拉制玻璃部件的生產(chǎn)方法不僅適用于圖像顯示設(shè)備的隔板的制造，而且也適用于例如光學(xué)纖維的基礎(chǔ)部件的制造。當(dāng)在用于圖像顯示設(shè)備的隔板中特別要求高尺寸精度時(shí)，能夠獲得正/負(fù)幾微米精度的形狀的再現(xiàn)性的本發(fā)明的方法能便利地適用于圖像顯示設(shè)備的隔板的制造。
在下面，作為例子通過(guò)圖像顯示設(shè)備的隔板的生產(chǎn)方法進(jìn)一步闡明本發(fā)明。
首先，圖1是一種圖像顯示設(shè)備的示意圖，該圖像顯示設(shè)備利用通過(guò)用于拉制玻璃部件的本發(fā)明的生產(chǎn)方法生產(chǎn)的隔板。
后板1設(shè)有由多個(gè)電子發(fā)射裝置2構(gòu)成的電子源，該電子發(fā)射裝置2通過(guò)多個(gè)行布線3和多個(gè)列布線4以矩陣形式布線。
面板5設(shè)有熒光體6和構(gòu)成陽(yáng)極電極的金屬背7。
在這種圖像顯示設(shè)備中，在后板1上形成的電子源根據(jù)圖像信號(hào)發(fā)射電子。發(fā)射的電子由形成在面板5上并且給出1-20kV高壓的金屬背7加速，并且照射熒光體6，由此顯示與圖像信號(hào)相對(duì)應(yīng)的圖像。作為構(gòu)成電子源的電子發(fā)射裝置2，這里采用已知的裝置，如場(chǎng)致發(fā)射裝置(FE)、MIM電子發(fā)射裝置或表面?zhèn)鲗?dǎo)電子發(fā)射裝置。
后板1和面板5用密封劑粘結(jié)到提供在其之間的外框架部件8上，并且后板1、面板5及框架部件8構(gòu)成真空容器。
這樣的真空容器的內(nèi)部保持在10-4-10-6Pa的真空下，并且多個(gè)隔板9提供在其中作為用來(lái)克服施加在真空容器上的大氣壓力而內(nèi)部支撐真空容器的結(jié)構(gòu)部件。
在下面，參照附圖將解釋用于上述圖像顯示設(shè)備的隔板的生產(chǎn)方法的實(shí)施例。
圖2是示意圖，表示用于圖像顯示設(shè)備的隔板的本發(fā)明的生產(chǎn)方法的第一實(shí)施例。
要拉成用于圖像顯示設(shè)備的隔板9的玻璃基材10例如由SumitaKogaku Co.制造的SD18構(gòu)成。
以預(yù)定形狀形成的玻璃基材10在其一端由基材進(jìn)給設(shè)備15的夾持部件11支撐。夾持部件11由基材進(jìn)給設(shè)備15逐漸降低，以把玻璃基材10的另一端進(jìn)給到包括第一加熱器12′的加熱爐12中，由此把玻璃基材10的這個(gè)端部加熱和軟化到能夠?qū)崿F(xiàn)連續(xù)抽取和拉制的溫度。加熱溫度適當(dāng)?shù)剡x擇為軟化溫度或高于軟化溫度。
玻璃基材10由進(jìn)給設(shè)備15進(jìn)給到加熱爐12中的進(jìn)給速率通常選擇為約1-5毫米/分。加熱爐12的內(nèi)部設(shè)置在這樣一個(gè)溫度下，從而依據(jù)玻璃基材10的類(lèi)型，進(jìn)給到加熱爐12中的玻璃基材10的端部呈現(xiàn)7.0-7.9泊的粘度，并且考慮到拉制操作的穩(wěn)定性優(yōu)選地以±0.1℃的精度控制這種溫度。
在加熱爐12中加熱到上述溫度的玻璃基材10的端部通過(guò)軟化懸垂，并且拉制成拉制玻璃部件13，該拉制玻璃部件13在拉制的過(guò)程中從加熱爐12抽取到對(duì)于加熱爐12連續(xù)提供的管狀罩14中。
罩14具有隔熱性能，并且其沿拉制玻璃部件13的拉制方向的長(zhǎng)度被適當(dāng)?shù)卣{(diào)節(jié)，以便在罩14內(nèi)形成沿拉制方向呈現(xiàn)逐漸溫度減小(例如從玻璃基材10的軟化溫度T1到其固化溫度T2或更低溫度)的溫度坡度。拉制玻璃部件13在罩14中在拉制下運(yùn)動(dòng)，并被冷卻到完成拉制操作的拉制玻璃部件13的固化溫度。完成拉制操作的這個(gè)位置定義為拉制完成位置P2。
在罩14中冷卻到固化溫度并因而完成拉制的拉制玻璃部件13由一對(duì)拉取輥16拉取。
通過(guò)拉取輥16的拉取速度優(yōu)選地為1000-5000毫米/分，并且進(jìn)給速度和拉取速度的比率[(拉取速度)/(進(jìn)給速度)]優(yōu)選地在200-2000的范圍內(nèi)，以便保持在玻璃基材10與拉制后的拉制玻璃部件13之間的橫截面形狀的類(lèi)似性。
通過(guò)拉取輥16后的拉制玻璃部件13由刀具17切成希望長(zhǎng)度的板條狀或柱狀拉制玻璃部件13′。拉制玻璃部件13′可以立即用作隔板9(參照?qǐng)D1)，但通常經(jīng)受用來(lái)得到隔板9的另一種過(guò)程。而且在切斷之前的拉制玻璃部件13在其表面上可以連續(xù)地用表面涂敷材料或表面處理材料涂敷。而且拉制玻璃部件13可以作為用于光學(xué)纖維的基礎(chǔ)部件以很長(zhǎng)的形式取出。
罩14的內(nèi)部是穩(wěn)定的熱對(duì)流，并且不受外部空氣流動(dòng)的影響，因而呈現(xiàn)在穩(wěn)定狀態(tài)下的上述溫度坡度，借此拉制玻璃部件13被冷卻到固化溫度并且完成拉制操作的拉制完成位置P2幾乎不動(dòng)。因此拉制玻璃部件13保持在恒定拉制長(zhǎng)度下，借此如此生產(chǎn)的拉制玻璃部件13、13′或隔板9(參照?qǐng)D1)呈現(xiàn)優(yōu)良的形狀再現(xiàn)性。
拉制長(zhǎng)度是指距離X，它從玻璃基材10沿拉制方向開(kāi)始作為拉制玻璃部件13抽取的位置，即玻璃基材10開(kāi)始作為拉制玻璃部件13通過(guò)抽取寬度或直徑變小的減小開(kāi)始位置P1，到已抽取的拉制玻璃部件13被冷卻到固化溫度由此完成拉制的拉制完成位置P2。
在沒(méi)有罩14的情況下，拉制完成位置P2在拉制方向上波動(dòng)，借此拉制長(zhǎng)度X不能保持恒定，并且要生產(chǎn)的拉制玻璃部件13在形狀再現(xiàn)性方面變壞。拉制長(zhǎng)度X的這樣一種波動(dòng)大概由如下事實(shí)引起在通過(guò)加熱爐12的第一加熱器12′的加熱下軟化并且從加熱爐12在拉制下抽取的拉制玻璃部件13在從加熱爐12顯露之后立即暴露于隨機(jī)空氣流動(dòng)，因而呈現(xiàn)不規(guī)則的溫度波動(dòng)。
在隔板9(參照?qǐng)D1)的制備中，拉制玻璃部件13′可以進(jìn)一步經(jīng)受用于尺寸調(diào)節(jié)的切割操作或在拉制玻璃部件13′的表面上涂敷電阻膜的過(guò)程。形成這樣一種電阻膜，以便防止在隔板9的表面上通過(guò)在圖1中表示的圖像顯示設(shè)備中的電子源發(fā)射的電子的靜電充電。
在拉制玻璃部件13′的表面上的電阻膜能例如通過(guò)蒸發(fā)、濺射、CVD或等離子CVD涂敷，并且具有10nm-1.0μm優(yōu)選地50-500nm的厚度和107-1014Ω/sq.的表面電阻率。
電阻膜能例如由金屬氧化物形成，優(yōu)選地由鉻、鎳或銅的氧化物形成，因?yàn)檫@樣的氧化物具有較低的二次電子發(fā)射效率，并且即使當(dāng)隔板由電子撞擊時(shí)也不容易被充電。除金屬氧化物之外，碳是具有低二次電子發(fā)射效率的優(yōu)選材料。具體地說(shuō)，非晶碳具有高電阻，并且容易允許在希望的電阻下調(diào)節(jié)隔板。另外，鍺和過(guò)渡金屬元素的合金的氮化物或鋁和過(guò)渡金屬元素的合金的氮化物可用在實(shí)際中，因?yàn)橥ㄟ^(guò)對(duì)過(guò)渡金屬元素的成分的控制能在從導(dǎo)體到絕緣體的寬范圍內(nèi)調(diào)節(jié)電阻。
按上述制備的隔板9固定在載有熒光體6和金屬背7的面板5上，或固定在載有電子源1的后板1上，如圖1中所示。然后諸如熔接玻璃或銦之類(lèi)的密封劑提供在框架部件8上，并且然后在真空室中密封粘結(jié)面板5、框架部分8及后板1，以便在如此制備的真空室中得到上述真空度，由此得到圖像顯示面板。
呈現(xiàn)滿意的形狀再現(xiàn)性的、如此得到的隔板9在單個(gè)隔板內(nèi)或在多個(gè)隔板中在面板5與后板1之間實(shí)現(xiàn)正/負(fù)幾微米的高度上的精度，由此避免在密封粘結(jié)操作時(shí)或在其之后圖像顯示平面的扭曲或隔板9的翹曲或歪斜。在圖像顯示面板的形成之后，安裝用于圖像顯示的驅(qū)動(dòng)電路以完成圖像顯示設(shè)備。
圖3是示意圖，表示用于圖像顯示設(shè)備的隔板的本發(fā)明的生產(chǎn)方法的第二實(shí)施例，其中與圖2中相同或等效的元件由相同符號(hào)代表。
本實(shí)施例基本上與在圖2中表示的第一實(shí)施例類(lèi)似，不同之處在于在罩14中提供第二加熱器14′。
用于拉制玻璃部件13的加熱爐12的抽取側(cè)除用來(lái)通過(guò)拉制玻璃部件13的孔徑之外被封閉，以便有利于在加熱爐12內(nèi)的溫度保持。因此，顯著的溫度差常常形成在加熱爐12與罩14的內(nèi)部之間。上述第二加熱器14′減小這樣的溫度差和穩(wěn)定在罩14內(nèi)的空氣對(duì)流。在加熱爐12側(cè)處的罩14的區(qū)域中，拉制玻璃部件13在從軟化溫度到玻璃化溫度的范圍內(nèi)被加熱，優(yōu)選地在比通過(guò)第一加熱器12′的加熱溫度低的溫度下，例如在比軟化溫度低但等于或高于玻璃化溫度的范圍內(nèi)。除此之外，優(yōu)選地以這樣一種方式以±0.1℃的精度控制這種加熱溫度，從而拉制玻璃部件13在罩14內(nèi)被冷卻到固化溫度，由此完成拉制操作(即拉制完成位置P2位于罩14內(nèi))。
而且在罩14內(nèi)提供第二加熱器14′的情況下(如在沒(méi)有第二加熱器14′的情況下那樣)，形成有表示沿拉制方向逐漸降低的溫度坡度(例如從玻璃基材10的軟化溫度T1到其固化溫度T2或較低溫度的溫度坡度)。由于在罩14內(nèi)的空氣對(duì)流(比在圖2中表示的情況下)更穩(wěn)定，所以減小拉制完成位置P2的波動(dòng)。因此，使得用于拉制玻璃部件13的拉制長(zhǎng)度X更加恒定，并且要生產(chǎn)的拉制玻璃部件13、13′或隔板9(參照?qǐng)D1)表示更好的形狀再現(xiàn)性。
拉制玻璃部件13′的切斷、用來(lái)生產(chǎn)隔板9的可能發(fā)生的另外過(guò)程(參照?qǐng)D1)及生產(chǎn)圖像顯示設(shè)備的過(guò)程類(lèi)似于在第一實(shí)施例中解釋的那些。
圖4是示意圖，表示用于圖像顯示設(shè)備的隔板的本發(fā)明的生產(chǎn)方法的第三實(shí)施例，其中與圖2中的相同或等效的元件由相同符號(hào)表示。
本實(shí)施例不采用在圖2中表示的罩14，而是采用用來(lái)把冷卻氣體吹到從加熱爐12抽取的拉制玻璃部件13的噴嘴18。
以預(yù)定形狀形成的玻璃基材10在其端部處由基材進(jìn)給設(shè)備15的夾持部件11支撐。夾持部件11由基材進(jìn)給設(shè)備15逐漸降低，以把玻璃基材10的另一端部進(jìn)給到加熱爐12中，該加熱爐12包括第一加熱器12′，由此把玻璃基材10的這一端部加熱和軟化到能夠連續(xù)抽取和拉制的溫度。
在加熱爐12中的溫度設(shè)定類(lèi)似于以上在第一實(shí)施例中的溫度設(shè)定。
在加熱爐12中加熱到上述溫度的玻璃基材10的端部通過(guò)軟化懸垂，并且拉制成拉制玻璃部件13，該拉制玻璃部件13在拉制下從加熱爐12抽取，并且在從加熱爐12露出之后立即由來(lái)自噴嘴18的冷卻氣體吹氣。冷卻氣體具有比玻璃基材10的軟化溫度低的溫度，并且把拉制玻璃部件13強(qiáng)制冷卻到其固化溫度或更低溫度，借此在通過(guò)噴嘴18的冷卻氣體的吹氣位置處或緊在其之后完成拉制操作。因此拉制完成位置P2位于通過(guò)噴嘴18的冷卻氣體的吹氣位置處或緊在其之后。
在本實(shí)施例中，拉制玻璃部件13到固化溫度的冷卻，在它例如受外部隨機(jī)空氣流動(dòng)的影響之前由冷卻氣體的吹氣強(qiáng)制和立即實(shí)現(xiàn)，借此能防止拉制完成位置P2的波動(dòng)。
冷卻氣體優(yōu)選地是諸如氮?dú)庵?lèi)的惰性氣體，并且優(yōu)選地具有20-100℃的溫度。而且為了防止外部干擾的目的，冷卻氣體優(yōu)選地具有0.5-5升/分的流率。
拉制玻璃部件13′的切斷、用來(lái)生產(chǎn)隔板9的可能發(fā)生的另外過(guò)程(參照?qǐng)D1)及生產(chǎn)顯示設(shè)備的過(guò)程類(lèi)似于在第一實(shí)施例中解釋的那些。
拉制長(zhǎng)度X在本實(shí)施例中也保持恒定，從而拉制玻璃部件13、13′或隔板9(參照?qǐng)D1)具有優(yōu)良的形狀再現(xiàn)性。而且呈現(xiàn)滿意的形狀再現(xiàn)性的、如此得到的隔板9在單個(gè)隔板內(nèi)或在多個(gè)隔板中在面板5與后板1之間實(shí)現(xiàn)優(yōu)良的高度上的精度，由此避免在密封粘結(jié)操作時(shí)或在其之后圖像顯示平面的扭曲或隔板9的翹曲或歪斜。
(例1)在本例子中，用于圖像顯示設(shè)備的隔板由在圖2中顯示的方法制備。
作為玻璃基材10，采用有具有矩形橫截面、600mm的長(zhǎng)度h、770℃軟化溫度及640℃玻璃化溫度的玻璃，該矩形橫截面具有49.23毫米×6.15毫米的長(zhǎng)邊a乘以短邊b。玻璃基材10在長(zhǎng)邊a上具有以節(jié)距P＝1毫米形成的、在長(zhǎng)度h方向上延伸的多個(gè)槽19，以便在長(zhǎng)邊a的兩個(gè)表面上形成凹凸。
玻璃基材10由圖2中所示的夾持部件11以這樣一種方式支撐，從而拉制發(fā)生在長(zhǎng)度h的方向上，并且?jiàn)A持部件11以5毫米/分的幅度降低，以便把玻璃基材10的端部進(jìn)給到在其中具有加熱器12′的加熱爐12中。加熱爐12的內(nèi)部控制在780℃(±0.1℃)，這時(shí)玻璃基材10呈現(xiàn)logη＝7.5泊的粘度。
進(jìn)給到加熱爐12中的玻璃基材10的端部被軟化和在拉制下懸垂，并且如此拉制的玻璃部件13在對(duì)于加熱爐12連續(xù)提供的罩14中通過(guò)。
罩14類(lèi)似于加熱爐12的外壁由優(yōu)良隔熱性能的不銹鋼形成，并且具有離加熱爐12的下端120毫米的長(zhǎng)度。
用來(lái)拉取通過(guò)罩14之后已經(jīng)固化的拉制玻璃部件13的成對(duì)拉取輥16具有4733毫米/分的拉取速度，(拉取速度)/(進(jìn)給速度)的比率約為947。
拉制玻璃部件13形成為具有長(zhǎng)邊a′×短邊b′＝1.6毫米×0.2毫米的矩形橫截面，并且在通過(guò)拉取輥16之后由刀具17切斷，以制備具有長(zhǎng)度h′＝825毫米的板條形狀的10個(gè)拉制玻璃部件。
作為對(duì)于這樣10個(gè)拉制玻璃部件13′的尺寸精確度的測(cè)量的結(jié)果，在每個(gè)拉制玻璃部件13′中沿長(zhǎng)度h′的方向上長(zhǎng)邊a′和短邊b′的尺寸波動(dòng)分別是±2微米和±1微米。而且在每個(gè)拉制玻璃部件13′中沿長(zhǎng)度h′的方向上槽的節(jié)距P′的偏差是±0.1微米，并且在平行槽之間的節(jié)距的偏差是±0.3微米。而且在10個(gè)拉制玻璃部件13′中，長(zhǎng)邊a′的尺寸偏差是±4微米，短邊b′的尺寸偏差是±2微米，及槽的節(jié)距P′的偏差是±0.5微米。
而且在拉制工作之后(或在其過(guò)程中)，基材10被取出，并且經(jīng)受通過(guò)三維測(cè)量裝置的拉制長(zhǎng)度X的測(cè)量。作為結(jié)果，拉制長(zhǎng)度發(fā)現(xiàn)是150毫米，并且位置P2離加熱爐12的下端為100毫米，證實(shí)拉制在罩14內(nèi)完成。
在如此形成的拉制玻璃部件13′上，在氬和氮的混合物的氣氛中利用W-Ge靶通過(guò)反應(yīng)濺射法形成200納米厚度的鎢和鍺的氮化物的電阻膜。在本例子中，在膜形成之后的鎢-鍺氮化物膜具有7.9×103Ωcm的電阻率。而且在與圖1中表示的行電極3和金屬背7相接觸的表面上，通過(guò)濺射方法形成Pt電極，以得到用于圖像顯示設(shè)備的隔板9。
上述隔板9固定在圖1中表示的后板1的行布線3上，并且然后框架部件8固定到后板1上。
在作為密封劑的銦涂敷在框架部件8上之后，這樣的后板1和載有熒光體6和金屬背7的面板5被帶入10-6Pa的真空度的真空室中，其中密封劑被加熱以把面板5粘結(jié)到框架部件8上，由此得到圖像顯示面板。然后用于圖像顯示的驅(qū)動(dòng)電路被安裝以完成圖像顯示設(shè)備。
如此得到的本例子的圖像顯示設(shè)備具有高質(zhì)量，在密封粘結(jié)操作時(shí)或操作之后沒(méi)有圖像顯示平面的扭曲或隔板的翹曲或歪斜。
(例2)在本例子中，用來(lái)生產(chǎn)用于圖像顯示設(shè)備的隔板的拉制玻璃部件13′由在圖3中表示的方法制備。
類(lèi)似于在例1中采用的玻璃基材10由夾持部件11支撐，如圖3中所示，并且?jiàn)A持部件11以5毫米/分的幅度降低，以便把玻璃基材10的端部進(jìn)給到在其中具有加熱器12′的加熱爐12中。加熱爐12的內(nèi)部控制在780℃(±0.1℃)，這時(shí)玻璃基材10呈現(xiàn)logη＝7.5泊的粘度。
進(jìn)給到加熱爐12中的玻璃基材10的端部被軟化和在拉制下懸垂，并且因而拉制玻璃部件13在對(duì)于加熱爐12連續(xù)提供的罩14中通過(guò)。
罩14類(lèi)似于在例1中采用的罩，并且具有離加熱爐12的下端120毫米的長(zhǎng)度。罩14包括位置較靠近加熱爐12的第二加熱器14′(在離加熱爐12的下端70毫米的區(qū)域內(nèi))。在較靠近加熱爐12的罩14的這樣的區(qū)域中，溫度控制在650℃(±0.1℃)，這時(shí)拉制玻璃部件13呈現(xiàn)13泊的粘度，從而拉制玻璃部件13的拉制在離罩14的下端50毫米的范圍內(nèi)完成。
已經(jīng)通過(guò)和借助于通過(guò)罩14已經(jīng)固化的拉制玻璃部件13由一對(duì)拉取輥16拉取，如在例1中那樣。
拉制玻璃部件13形成為具有長(zhǎng)邊a′×短邊b′＝1.6毫米×0.2毫米的矩形橫截面，并且制備具有長(zhǎng)度h′＝825毫米的板條形狀的10個(gè)拉制玻璃部件。
作為對(duì)于這樣10個(gè)拉制玻璃部件13′的尺寸精確度的測(cè)量的結(jié)果，在每個(gè)拉制玻璃部件13′中沿長(zhǎng)度h′的方向上長(zhǎng)邊a′和短邊b′的尺寸波動(dòng)分別是±1.4微米和±0.7微米。而且在每個(gè)拉制玻璃部件13′中沿長(zhǎng)度h′的方向上槽的節(jié)距P′的偏差是±0.1微米，并且在平行槽之間的節(jié)距的偏差是±0.2微米。而且在10個(gè)拉制玻璃部件13′中，長(zhǎng)邊a′的尺寸偏差是±2.7微米，短邊b′的尺寸偏差是±1.4微米，及槽的節(jié)距P′的偏差是±0.3微米。
而且如例1中那樣在借助于三維測(cè)量裝置的測(cè)量中，拉制長(zhǎng)度X發(fā)現(xiàn)是120毫米，并且位置P2離加熱爐12的下端為70毫米，證實(shí)拉制在罩14內(nèi)完成。
(例3)在本例子中，用來(lái)生產(chǎn)用于圖像顯示設(shè)備的隔板的拉制玻璃部件由在圖4中表示的方法制備。
類(lèi)似于在例1中采用的玻璃基材10由夾持部件11支撐，如圖4中所示，并且?jiàn)A持部件11以5毫米/分的幅度降低，以便把玻璃基材10的端部進(jìn)給到在其中具有加熱器12′的加熱爐12中。加熱爐12的內(nèi)部控制在780℃(±0.1℃)，這時(shí)玻璃基材10呈現(xiàn)logη＝7.5泊的粘度。
進(jìn)給到加熱爐12中的玻璃基材10的端部被軟化和在拉制下懸垂，并因而拉制玻璃部件13通過(guò)在離加熱爐12下端5毫米的位置處提供的噴嘴18，并且從噴嘴18以1升/分的流率吹出50℃的氮?dú)庖怨袒撇ＡР考纱送瓿衫啤?br> 已經(jīng)通過(guò)氮?dú)獾拇禋馕恢貌⒁呀?jīng)固化的拉制玻璃部件13由一對(duì)拉取輥16拉取，如在例1中那樣。
拉制玻璃部件13形成為具有長(zhǎng)邊a′×短邊b′＝1.6毫米×0.2毫米的矩形橫截面，并且制備具有長(zhǎng)度h′＝825毫米的板條形狀的10個(gè)拉制玻璃部件。
作為對(duì)于這樣10個(gè)拉制玻璃部件13′的尺寸精確度的測(cè)量的結(jié)果，在每個(gè)拉制玻璃部件13′中沿長(zhǎng)度h′的方向上長(zhǎng)邊a′和短邊b′的尺寸波動(dòng)分別是±2微米和±1微米。而且在每個(gè)拉制玻璃部件13′中沿長(zhǎng)度h′的方向上槽的節(jié)距P′的偏差是±0.1微米，并且在平行槽之間的節(jié)距的偏差是±0.2微米。而且在10個(gè)拉制玻璃部件13′中，長(zhǎng)邊a′的尺寸偏差是±4微米，短邊b′的尺寸偏差是±2微米，及槽的節(jié)距P′的偏差是±0.5微米。
而且如在例1中那樣在借助于三維測(cè)量裝置的測(cè)量中，拉制長(zhǎng)度X發(fā)現(xiàn)是180毫米，并且證實(shí)大約在氮?dú)獾拇禋馕恢猛瓿衫啤?br> (比較例)除不采用罩14之外，以與例1中相同的方式制備10個(gè)拉制玻璃部件13′。
作為對(duì)于這樣10個(gè)拉制玻璃部件13′的尺寸精確度的測(cè)量的結(jié)果，在每個(gè)拉制玻璃部件13′中沿長(zhǎng)度h′的方向上長(zhǎng)邊a′和短邊b′的尺寸波動(dòng)分別是±20微米和±10微米。而且在每個(gè)拉制玻璃部件13′中沿長(zhǎng)度h′的方向上槽的節(jié)距P′的偏差是±1微米，并且在平行槽之間的節(jié)距的偏差是±3微米。而且在10個(gè)拉制玻璃部件13′之間，長(zhǎng)邊a′的尺寸偏差是±38微米，短邊b′的尺寸偏差是±20微米，及槽的節(jié)距P′的偏差是±4微米。
權(quán)利要求
1.一種通過(guò)在冷卻下連續(xù)拉制通過(guò)加熱而軟化的玻璃基材的端部的拉制玻璃部件的生產(chǎn)方法，其中在保持拉制長(zhǎng)度恒定的同時(shí)執(zhí)行拉制。
2.一種通過(guò)在冷卻下連續(xù)拉制通過(guò)加熱而軟化的玻璃基材的端部的拉制玻璃部件的生產(chǎn)方法，其中拉制在沿拉制方向從加熱爐連續(xù)提供的罩中完成。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的拉制玻璃部件的生產(chǎn)方法，其中，進(jìn)行加熱，從而減小在加熱爐的內(nèi)部與罩的內(nèi)部之間的溫度差。
4.一種通過(guò)在冷卻下連續(xù)拉制通過(guò)加熱而軟化的玻璃基材的端部的拉制玻璃部件的生產(chǎn)方法，其中，冷卻氣體吹到從加熱爐拉制的拉制玻璃部件上，并且在冷卻氣體的吹氣位置處或緊在冷卻氣體的吹氣之后完成拉制。
5.一種利用拉制玻璃部件生產(chǎn)用于圖像顯示設(shè)備的隔板的方法，其中，拉制玻璃部件由根據(jù)權(quán)利要求1至4任一項(xiàng)所述的拉制玻璃部件的生產(chǎn)方法生產(chǎn)。
6.一種圖像顯示設(shè)備的生產(chǎn)方法，包括彼此相對(duì)地布置兩個(gè)在其間夾持隔板的面板的步驟、和密封粘結(jié)兩個(gè)面板的周緣的步驟，其中，所述隔板由根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法生產(chǎn)。
全文摘要
一種通過(guò)在冷卻下連續(xù)拉制通過(guò)加熱軟化的玻璃基材的端部的拉制玻璃部件的生產(chǎn)方法，其中在保持拉制長(zhǎng)度恒定的同時(shí)進(jìn)行拉制，由此減小由在拉制時(shí)的不均勻產(chǎn)生的拉制玻璃中的扭曲或翹曲，并且獲得較高質(zhì)量。
文檔編號(hào)C03B23/02GK1792908SQ20051012703
公開(kāi)日2006年6月28日 申請(qǐng)日期2005年11月29日 優(yōu)先權(quán)日2004年11月29日
發(fā)明者中川伸行 申請(qǐng)人:佳能株式會(huì)社