專利名稱：器件的制造方法、器件以及電子機器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種通過從液滴噴出頭向基板噴出液體材料而制造器件的器件制造方法。
背景技術(shù)：
以往，在液晶顯示裝置中使用濾色器。濾色器和液晶顯示裝置構(gòu)成一體，起到提高圖像質(zhì)量或在各象素中賦予原色的各種色彩的作用。作為該類濾色器的制造方法，已知有在感光性樹脂的涂膜上通過光掩模照射光使照射部分固化，之后通過顯影處理除去涂膜后的光沒有照射的部分并形成圖形而染色的方法(染色法)；以及依次利用在感光性樹脂上分散紅色、綠色或藍(lán)色的著色劑后的組合物進行與前述同樣的操作，通過涂膜形成、光照射和顯影處理而制造濾色器的光刻法。這些方法，由于需要成膜工序、光刻工序、顯影工序等各種工序，所以導(dǎo)致作業(yè)性下降以及制造成本升高。
另一方面，作為濾色器的制造方法有利用液滴噴出頭形成濾色器的濾色器層的方法。該方法，由于可以容易地控制含有濾色器形成用材料的液體材料(油墨)的液滴噴出位置，并且也可以減少材料的浪費，所以可以降低制造成本。
在液滴噴出頭中，從生產(chǎn)率的觀點來看，優(yōu)選使用設(shè)置多個噴出液滴的噴嘴的多噴嘴頭。但是，濾色器的象素間距(圖形間距)和液滴噴出頭的噴嘴間隔a不一定一致。所以為了使噴嘴間隔和圖形間距一致，在特開平9-300664號公報中公開了相對于與掃描方向垂直的方向(以下適宜地稱為“非掃描方向”)使液滴噴出頭邊呈一定的角度θ傾斜邊掃描的技術(shù)。
另外，由液滴噴出形成的圖形，很少單獨使用，通常和在其前后通過光刻法等形成的另外的薄膜圖形結(jié)合發(fā)揮作用。此時，通過光刻法形成的圖形精度，盡管比液滴噴出形成的圖形精度好的多，但是到目前為止在通過光刻形成的圖形的設(shè)計時，完全沒有考慮液滴噴出裝置的噴嘴間距。所以產(chǎn)生前述問題，使液滴噴出頭傾斜進行掃描，這樣即使使用設(shè)置多個噴嘴的噴出頭時，也不能有效地噴出圖形。
但是，在所述背景技術(shù)中產(chǎn)生以下所述的問題。
在所述公報中公開的技術(shù)中，可以使非掃描方向上的圖形間距by和非掃描方向上的噴嘴間距一致，但是難于使掃描方向上的圖形間距bx和掃描方向上的噴嘴間距一致。這是由于非掃描方向上的圖形間距by和非掃描方向上的噴嘴間距的a cosθ成整數(shù)比，但是掃描方向上的圖形間距bx和掃描方向上的噴嘴間距的a sinθ實際上不成整數(shù)比。
另一方面，在使液滴噴出頭傾斜時，通過分別調(diào)整由各個噴嘴排出液滴的定時，可以在掃描方向上使液滴噴到所希望的位置上，但是必須使噴嘴在掃描方向上的噴出動作控制間隔變細(xì)，導(dǎo)致掃描速度降低和控制的復(fù)雜化，從而使生產(chǎn)率下降。
利用液滴噴出頭制造濾色器時，通過在被噴出面上設(shè)計堤岸(bank)，液滴即使相對于希望的噴出位置稍有移動而噴出，通過堤岸的作用液滴可以噴向所需的位置，但是在利用液滴噴出頭形成布線圖形時，由于很少使用堤岸，例如一旦想要在非掃描方向上形成直線狀的布線圖形時，如上所述，必須要使在掃描方向上的噴出動作控制間隔變細(xì)，所以導(dǎo)致生產(chǎn)率下降。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于上述問題而提出的，其目的在于提供一種利用多噴嘴頭在基板上形成一定的圖形時，能夠在所需位置上噴出液滴并且能夠以良好的精度形成圖形的器件的制造方法。
為了解決所述課題，本發(fā)明的器件的制造方法，具有使液滴噴出頭和基板在一定的方向上相對地移動，從在所述液滴噴出頭上形成的與所述一定方向交叉的方向上以一定的間隔配置的多個噴出嘴向所述基板噴出液體材料并在所述基板上制膜一定的圖形的工序；對于所述基板設(shè)定噴出所述液體材料的液滴的格子狀的多個單位區(qū)域的工序；以及在所述多個單位區(qū)域中對于一定的單位區(qū)域從所述噴出嘴噴出所述液滴形成所述圖形的工序，將所述液滴噴出頭的所述噴嘴的間隔設(shè)為a、所述單位區(qū)域的所述與所述一定方向交叉的方向上的大小設(shè)為by時，要設(shè)定所述單位區(qū)域以便滿足by＝a/n(n為正整數(shù))的條件。
根據(jù)本發(fā)明，使液滴噴出的格子狀的多個單位區(qū)域，即預(yù)先在基板上設(shè)定位圖(bit map)，對于該位圖的單位區(qū)域噴出液滴。在設(shè)定位圖時，通過使與單位區(qū)域(或象素)的一定方向交叉的方向(非掃描方向)上的大小by和液滴噴出頭的噴嘴的間隔a成整數(shù)比的設(shè)定，如以往那樣，即使不使液滴噴出傾斜，也可以使噴嘴和單位區(qū)域一致。所以，不需進行與噴出動作相關(guān)的復(fù)雜的控制也能夠使液滴在所需的噴出位置上噴出。換言之，通過根據(jù)噴嘴的間隔a設(shè)定位圖即圖形設(shè)計規(guī)則，也可以使噴嘴和單位區(qū)域一致并且不降低掃描速度而進行噴出動作。
在本發(fā)明的器件制造方法中，將所述單位區(qū)域的所述一定方向上的大小設(shè)為bx1時，也可以設(shè)定所述單位區(qū)域以便滿足bx1＝a/n(n為正整數(shù))的條件。
另外，在本發(fā)明的器件制造方法中，將所述單位區(qū)域的所述一定方向上的大小設(shè)為bx1時，也可以設(shè)定所述單位區(qū)域以便滿足bx1＝by＝a/n(n為正整數(shù))的條件。此時單位區(qū)域設(shè)為正方形，可以很容易地進行圖形設(shè)計。
在本發(fā)明的器件制造方法中，邊進行所述相對移動邊進行所述噴出時，也可以在所述一定方向上使所述液滴噴出，以便使配置于所述基板上的液滴之間不重疊或使產(chǎn)生在所述基板上配置時的液滴的直徑的10％以下的重疊。此時，可以防止在掃描方向上液體材料過剩地設(shè)置在基板上并防止膨脹的發(fā)生。
在1次掃描中，使液滴不重疊或產(chǎn)生直徑的10％以下的重疊地排出，通過多次進行，也可以形成連續(xù)的圖形。
在本發(fā)明的器件的制造方法中，邊進行所述相對移動邊進行所述噴出，也可以使所述液滴排出頭和所述基板在與所述一定方向交叉的方向上僅以大小by的整數(shù)倍相對分步移動后進行所述噴出。此時，液滴噴出頭在一次掃描結(jié)束后，通過在非掃描方向上僅以by(＝a/n)分步移動，可以使噴嘴和單位區(qū)域一致。
在本發(fā)明的器件的制造方法中，在進行所述分步移動后，進行所述噴出時，也可以在與所述一定方向交叉的方向上使液滴噴出，以便使在所述基板上配置的液滴之間不重疊或產(chǎn)生在所述基板上配置時的液滴的直徑的10％以下的重疊。此時即使在非掃描方向上也可以防止液體材料過剩地設(shè)置在基板上，從而防止膨脹的發(fā)生。
本發(fā)明的器件的制造方法，具有在使液滴噴出頭和基板在一定方向上相對移動，由在所述液滴噴出頭上形成并在與所述一定方向交叉的方向上并列設(shè)置的多個噴嘴向所述基板噴出液體材料，在所述基板上制膜一定的圖形的工序；對于所述基板，設(shè)定噴出所述液體材料液滴的格子狀的多個單位區(qū)域的工序；以及在所述多個單位區(qū)域中，對于一定的單位區(qū)域從所述噴嘴噴出所述液滴并形成所述圖形的工序，將預(yù)先規(guī)定的與所述一定方向交叉的方向上的規(guī)定值設(shè)為bky、所述液滴噴出頭的所述噴嘴的間隔設(shè)為a、與所述單位區(qū)域的所述一定方向交叉的方向上的大小設(shè)為by2、所述單位區(qū)域的所述一定方向上的大小設(shè)為bx2，在使所述液滴噴出頭相對于與所述一定方向交叉的方向傾斜角度θ進行所述相對移動時，要設(shè)定所述單位區(qū)域，以便滿足by2＝bky/(n為正整數(shù))并且bx2＝(a·sinθ)/m(m為正整數(shù))的條件。
根據(jù)本發(fā)明，例如，在含有液滴噴出工序前后的過程中產(chǎn)生若干的制約，即使產(chǎn)生不能根據(jù)噴嘴的間隔設(shè)定在與一定方向交叉的方向(非掃描方向)上單位區(qū)域的大小時，通過將液滴噴出頭僅傾斜角度θ的同時，單位區(qū)域的掃描方向和非掃描方向上的大小設(shè)為by2和bx2，可以使噴嘴和單位區(qū)域一致。
在本發(fā)明的器件的制造方法中，將所述噴嘴的間隔a或其1/n(n為2以上的整數(shù))設(shè)為基本單位，也可以進行通過所述噴出形成的圖形以外的圖形設(shè)計。
另外，在本發(fā)明的器件的制造方法中，在進行通過所述噴出形成的圖形以外的圖形設(shè)計時，也可以將設(shè)定的所述單位區(qū)域為基礎(chǔ)進行設(shè)計。
此時，將噴嘴間隔(或其1/n)為基本單位，則進行通過噴出法以外的方法例如光刻法形成的圖形設(shè)計。由此，對于通過液滴噴出以外的方法形成的或通過以后的過程形成的預(yù)定的圖形，校正位置進行液滴噴出時，即使不傾斜噴出頭也能夠完全使與其圖形一致進行噴出。
本發(fā)明的器件，可以通過所述記載的器件的制造方法進行制造。此時，可以提供具有以高精度形成的圖形的器件。
本發(fā)明的電子機器，具有所述記載的器件。此時可以提供搭載高性能器件的電子機器。
這里，本發(fā)明的液滴噴出頭，含有設(shè)置于液滴噴出裝置的液滴噴出頭。液滴噴出頭為能夠通過液滴噴出法定量地噴出液體材料，例如能夠連續(xù)定量地滴下1～300毫微克的液體材料(流動體)的器件。
作為器件的制造方法，通過采用液滴噴出方式，可以以廉價的機器以一定的圖形形成反射膜。
作為液滴噴出方式，可以是通過壓電體元件的體積變化使流體(液體材料)噴出的壓電噴射方式，也可以是通過外加的熱急速產(chǎn)生蒸氣使流體噴出的方式。
這里，所謂流動體，是指具有能夠從液滴噴出頭的噴嘴噴出的(能夠滴下)的粘度的介質(zhì)?？梢允撬缘囊部梢允怯托缘摹Ｖ灰哂心軌驈膰娮斓葒姵龅牧鲃有?粘度)就可以了，即使有固體物質(zhì)混入，作為整體只要是流體就可以。另外，流體中含有的材料，除作為微粒子分散在溶劑中外，也可以是加熱到熔點以上溶解的物質(zhì)，除溶劑外，也可以添加染料、顏料以外的功能性材料。另外，基板除指平面基板外，也可以是曲面的基板。另外，圖形形成面的硬度無需很硬，除玻璃、塑料、金屬以外，也可以是具有薄膜、紙、橡膠等柔性的表面。
本發(fā)明的器件，包括具有一定布線圖形的元件和器件或濾色器等。


圖1是表示本發(fā)明的器件的制造方法中所用的液滴噴出器件的示意立體圖。
圖2是表示液滴噴出頭的示意外觀圖。
圖3是用于說明本發(fā)明的器件的制造方法的圖，表示噴嘴的間隔閡單位區(qū)域的圖。
圖4是本發(fā)明的器件的制造方法的說明圖。
圖5是本發(fā)明的器件的制造方法的說明圖。
圖6是本發(fā)明的器件的制造方法的說明圖。
圖7是本發(fā)明的器件的制造方法的說明圖。
圖8是本發(fā)明的器件的制造方法的說明圖。
圖9A和圖9B是表示本發(fā)明的器件的制造方法其它實施例的說明圖。
圖10是表示本發(fā)明的器件一個例子的圖，表示等離子型顯示裝置的分解立體圖。
圖11是表示本發(fā)明的器件一個例子的圖，表示液晶顯示裝置的俯視圖。
圖12A～圖12C是表示本發(fā)明的電子機器的圖，12A是表示攜帶式電話的一個例子的圖，12B是表示攜帶型信息處理裝置的一個例子的圖，12C是表示手表電子機器的一個例子的圖。
圖13是表示本發(fā)明的器件的一個例子的圖，為非接觸型卡片介質(zhì)的分解立體圖。
圖14是本發(fā)明的器件的制造方法適用的液晶顯示裝置的開關(guān)元件和信號線等的等價電路圖。
圖15是表示本發(fā)明的器件的制造方法適宜的液晶顯示裝置的TFT陣列基板的構(gòu)造的俯視圖。
圖16是本發(fā)明的器件的制造方法適用的液晶顯示裝置的主要部位的剖視圖。
圖17是本發(fā)明的器件的制造方法適用的濾色器的模式圖。
圖18A～圖18F是本發(fā)明的器件的制造方法適用的濾色器的模式圖。
圖19A～圖19E是表示本發(fā)明的器件的制造方法適用的有機EL裝置的制造工序的模式圖。
圖20A～圖20C是表示本發(fā)明的器件的制造方法適用的有機EL裝置的制造工序的模式圖。
圖21A～圖21C是表示本發(fā)明的器件的制造方法適用的有機EL裝置的制造工序的模式圖。
圖中1表示液滴噴出頭，10表示噴嘴，101表示基板，IJ表示液滴噴出裝置。
具體實施例方式
以下邊參照附圖邊對本發(fā)明的器件的制造方法進行說明。
圖1是表示設(shè)有本發(fā)明器件的制造方法中所用的液滴噴出頭的液滴噴出裝置的示意立體圖。
在圖1中，液滴噴出裝置IJ，設(shè)有液滴噴出頭1、X軸方向驅(qū)動軸4、Y軸方向?qū)蜉S5、控制裝置6、載物臺7、清洗機構(gòu)8、基座9以及熱源15。
載物臺7，通過該液滴噴出裝置IJ支撐設(shè)有液體材料的基板101，設(shè)有將基板101固定在基準(zhǔn)位置的未圖示的固定機構(gòu)。
液滴噴出頭1為設(shè)有多個噴嘴的多噴嘴型的液滴噴出頭，使長方向和Y軸方向一致。多個噴嘴，在液滴噴出頭1的下面在Y軸方向上并列并以一定間隔設(shè)置。從液滴噴出頭1的噴嘴，向支撐與載物臺7上的基板101噴出例如含有導(dǎo)電性微粒子的液體材料。
圖2是從噴嘴面?zhèn)?基板101的對向面)看到的液滴噴出頭的圖。如圖2所示，液滴噴出頭1包括多個噴出頭部21和搭載這些噴出頭部21的承載器部22。在噴出頭部21的噴嘴面24上設(shè)置噴出液體材料的液滴的多個噴嘴10。噴出頭部21(噴嘴面24)的各個噴嘴為俯視呈矩形狀，噴出嘴10，沿著噴出頭部21的長方向的大致Y軸方向以一定的間隔排列，并且在噴出頭部21的寬方向的大致呈X軸方向上空出間隔以兩列在噴嘴面24的各個面上設(shè)置多個噴嘴(例如1列180個噴嘴，合計360個噴嘴)。另外，噴出頭部21，使噴嘴10面向基板101的同時，對于Y軸，以傾斜一定角度的狀態(tài)沿著大致Y軸方向排列，并且在X軸方向空出間隔以設(shè)置為兩列的狀態(tài)在承載臺部22上決定多個(圖2中1列6個，合計12個)位置并支撐。
這里，液滴噴出頭1，設(shè)有能夠調(diào)整對于該液滴噴出頭1的Y軸方向的安裝角度的角度調(diào)整機構(gòu)(未圖示)。通過該角度調(diào)整機構(gòu)，液滴噴出頭1可改變對于Y軸方向的角度θ。通過驅(qū)動角度調(diào)整機構(gòu)，可以使噴嘴10的各個噴嘴在Y軸方向上并列配置或調(diào)整噴嘴10的并列方向的對于Y軸的角度。
返回至圖1，在X軸方向驅(qū)動軸4上連接X軸方向驅(qū)動馬達(dá)2。X軸方向驅(qū)動馬達(dá)2為步進馬達(dá)等，一旦從控制裝置6給予X軸方向的驅(qū)動信號，可以使X軸方向驅(qū)動軸4轉(zhuǎn)動。一旦X軸方向驅(qū)動軸4轉(zhuǎn)動，液滴噴出頭1向X軸方向移動。
Y軸方向?qū)蜉S5，固定為相對于基座9不動。載物臺7設(shè)有Y軸方向驅(qū)動馬達(dá)3。Y軸方向驅(qū)動馬達(dá)3為步進馬達(dá)等，一旦從控制裝置6給予Y軸方向的驅(qū)動信號，可以使載物臺7向Y軸方向移動。
控制裝置6在液滴噴出頭1上供給液滴噴出控制用電壓。另外，在X軸方向驅(qū)動馬達(dá)2上供給控制液滴噴出頭1的X軸方向的移動的驅(qū)動脈沖信號，在Y軸方向驅(qū)動馬達(dá)3上供給控制載物臺7的Y軸方向的移動的驅(qū)動脈沖信號。
清洗機構(gòu)8，是將液滴噴出頭1清洗的機構(gòu)。在清洗機構(gòu)8上設(shè)置未圖示的Y軸方向的驅(qū)動馬達(dá)。通過該Y軸方向的驅(qū)動馬達(dá)的驅(qū)動，清洗機構(gòu)沿著Y軸方向?qū)蜉S5移動。清洗機構(gòu)8的移動也通過控制裝置6控制。
熱源15，在這里是通過燈光退火對基板101進行熱處理的裝置，對基板101上涂敷的液體材料中含有的溶劑進行蒸發(fā)或干燥。該熱源15的輸入和中斷也通過控制裝置6進行控制。
在本實施方式中，液滴噴出裝置IJ在基板101上形成布線圖形。所以，在液體材料中含有布線圖形形成用材料的導(dǎo)電性微粒子(金屬微粒子)。液體材料是利用一定的溶劑和粘接劑樹脂使金屬微粒子糊化的液體材料。作為金屬微粒子，例如可以舉出金、銀、銅、鐵等。金屬粒子的粒徑優(yōu)選5～100nm。從液滴噴出頭1向基板101噴出的液體材料，通過熱源15進行熱處理而轉(zhuǎn)變?yōu)閷?dǎo)電性膜(制膜)。
另外，作為布線圖形形成用的液體材料，可以使用含有有機金屬化合物、有機金屬配位化合物、以及它們的類似物的液體材料。作為有機金屬化合物，例如可以舉出有機銀化合物，可以將有機銀化合物分散(溶解)在一定的溶劑中的溶液用作布線圖形形成用液體材料。此時，作為溶劑例如可以使用二乙二醇二乙醚。作為液體材料使用有機銀化合物(有機金屬化合物)時，發(fā)現(xiàn)通過對液體材料進行熱處理或光處理除去有機成分，銀粒子(金屬粒子)剩余而有導(dǎo)電性。
液滴噴出裝置IJ，邊對液滴噴出頭1和支撐基板101的載物臺7進行相對掃描邊對基板101噴出液滴。這里，在以下的說明中，將X軸方向作為掃描方向(一定方向)，與X軸方向相交的Y軸方向作為非掃描方向。所以，液滴噴出頭1的噴嘴在非掃描方向的Y軸方向以一定的間隔并列設(shè)置。
以下，邊參照圖3～圖7對通過利用所述液滴噴出頭1向基板101噴出液滴而制造器件的制造方法進行說明。
本實施方式的制造方法，具有在基板101上設(shè)定由液滴噴出區(qū)域的多個單位區(qū)域構(gòu)成的格子狀位圖的工序；以及在位圖中對于一定的單位區(qū)域噴出液滴的工序。
圖3是表示設(shè)置于液滴噴出頭1的多個噴嘴10和設(shè)置于基板101上的位圖的模式圖。
如圖3所示，一個單位區(qū)域設(shè)定為正方形。即，在一個單位區(qū)域中在X軸方向(掃描方向)上的大小bx1和在Y軸方向(非掃描方向)上的大小by設(shè)置為相同。
液滴噴出頭1，使長方向與Y軸方向一致。另外，噴嘴10在液滴噴出頭1中在Y軸方向上以一定的間隔設(shè)置。多個噴嘴10的各個噴嘴沿著Y軸方向并列設(shè)置。
在本實施方式中，單位區(qū)域的在Y軸方向的大小by，設(shè)定為比噴嘴10之間的間隔a細(xì)。并且在設(shè)定位圖時，設(shè)定一個單位區(qū)域的Y軸方向上的大小，使by＝a/n(n為正整數(shù))。
在圖中3表示n設(shè)定5的例子。
另外，在本實施方式中為了使一個單位區(qū)域設(shè)定為正方形，設(shè)定一個單位區(qū)域的X軸方向上的大小，使bx1＝a/n(n為正整數(shù))。
圖4是利用噴嘴10通過1次掃描在基板101上噴出液滴時的模式圖。另外，對圖4中在通過第一次的掃描噴出的液滴附加上“1”。
另外，在利用圖4～圖7的以下說明中，最終以圖3的灰色表示的單位區(qū)域的各個區(qū)域上設(shè)為噴出液滴的區(qū)域。
邊使液滴噴出頭1向X軸方向掃描邊對基板101噴出液滴時，液滴噴出頭1在控制裝置6的控制下，在X軸方向邊空出一定的間隔邊噴出液滴。在本實施方式中，如圖4所示，在在X軸方向上空出兩個單位區(qū)域間隔對一定的單位區(qū)域噴出液滴。
另一方面，對于基板101噴出的液滴，通過在基板101上噴射，在基板101上潤濕擴大。即，如圖4中以圓所示，在基板101上噴射的液滴，潤濕擴大，具有比一個單位區(qū)域的大小大的直徑c的潤濕區(qū)域。
在這里，液滴，由于在X軸方向上空出一定的間隔(2份的單位區(qū)域)噴出，所以在基板101上配置的液滴之間不重疊地設(shè)定。由此，在X軸方向上可以防止在基板101上液體材料過剩地設(shè)置，并防止膨脹的發(fā)生。
另外，在圖4中，在基板101上配置時的液滴之間不重疊地設(shè)置，但是也可以稍微重疊地配置液滴。例如，在圖4中在X軸方向上邊空出2份單位區(qū)域邊進行液滴噴出，但是也可以邊空出1份的單位區(qū)域邊噴出液滴。
此時，在1次掃描中，通過產(chǎn)生在基板101上配置時的液滴直徑c的10％以下的重疊地噴出液滴，可以防止膨脹的發(fā)生。
在這里，將液滴配置在基板101上時的潤濕擴大的程度，即在基板101上液滴直徑c，根據(jù)液體材料的特性變化。所以，為使在基板101上配置液滴時的液滴之間不重疊，或產(chǎn)生液滴直徑c的10％以下的重疊，要在預(yù)先的試驗中計算出1次掃描中基板101上的液滴的配置間隔(單位區(qū)域的間隔)，根據(jù)該計算的單位區(qū)域的間隔進行1次掃描的噴出動作。
圖5是通過第2次掃描從噴嘴10向基板101上噴出液滴時的模式圖。另外，在圖5中，對通過2次掃描噴出的液滴附加上“2”。即使在第2次掃描時，在X軸方向上邊空出2份的單位區(qū)域邊進行噴出動作。另外，在第2次掃描時，在基板101上噴出的液滴也具有直徑c地潤濕擴大。
圖6是通過第3次掃描從噴嘴10向基板101上噴出液滴時的模式圖。另外，在圖6中，對通過3次掃描噴出的液滴附加上“3”。即使在第3次掃描時，在X軸方向上邊空出2份的單位區(qū)域邊進行噴出動作。另外，在第3次掃描時，在基板101上噴出的液滴也具有直徑c地潤濕擴大。
在這里，通過3次的掃描和噴出動作，圖中最上端(+Y側(cè))的液滴為連續(xù)的。
圖7是通過第4次掃描從噴嘴10向基板101上噴出液滴時的模式圖。另外，在第4次的掃描中，液滴噴出頭1和支撐于載物臺7上的基板101在Y軸方向上相對地分步移動。在本實施方式中，支撐于載物臺7上的基板101在Y軸方向上分步移動。
在這里，基板101，僅以單位區(qū)域的Y軸方向上大小by的正整數(shù)倍在Y軸方向上分步移動。在圖7中表示，基板101相對于液滴噴出頭1僅以by的1倍(即by)在Y軸方向上分步移動的例子。
在僅以距離by分步移動后，液滴噴出頭1相對于基板101邊在X軸方向上掃描邊進行液滴噴出。另外，在圖7中，對通過第4次掃描噴出的液滴附加上“4”。另外，在第4次掃描時在基板101上噴出的液滴也具有直徑c地潤濕擴大。
在這里，分步移動后，進行噴出動作時，也可以使在基板101上配置的液滴之間不重疊或使產(chǎn)生在基板101上配置時的液滴的直徑的10％以下的重疊地在Y軸方向上噴出液滴。即，也可以將分步移動的距離設(shè)定在by的例如3倍而進行分步移動。由此，例如“1”的液滴潤濕時，即使在Y軸方向上也可以防止膨脹的發(fā)生。
另一方面，在如圖7所示的示例中，“1”的液滴干燥，此時“1”和“4”可以重疊直徑c的10％以上。
以下，同樣，在邊進行掃描邊進行噴出動作，反覆進行分步移動。并且在本實施方式中，如圖8所示，通過進行合計15次的掃描，圖中，對于對應(yīng)于灰色表示的區(qū)域的單位區(qū)域的各個單位區(qū)域進行液滴噴出。另外，在圖8中，對第n次掃描時噴出的液滴附加上“n”。
另外，噴出的液滴由于在基板101上潤濕擴大，所以實際上形成的布線圖形，比圖中灰色表示的區(qū)域要大。所以，在形成布線圖形時，要考慮到該潤濕擴大的部分進行圖形設(shè)計。在這里，在基板101上的液滴潤濕擴大的程度，由基板101和液滴之間的接觸角決定，所以對于基板101要進行包括根據(jù)液體材料特性的親液處理或疏液處理的表面處理，以便得到所希望的接觸角。通過這種方式，可以形成具有所需寬度的布線圖形。
如以上說明，本實施方式是在基板101上設(shè)定位圖并對于該位圖的單位區(qū)域進行液滴噴出的構(gòu)成。并且，在設(shè)定位圖時，通過使位圖的Y軸方向上的大小by和噴嘴10的間隔a成整數(shù)比地設(shè)定，即使使液滴噴出頭例如對于Y軸不傾斜，也可以使噴嘴10和單位區(qū)域一致。所以，不需要進行關(guān)于噴出動作的復(fù)雜控制也可以在所需的單位區(qū)域上噴出液滴。這樣，通過根據(jù)噴嘴10的間隔a設(shè)定位圖即圖形設(shè)計規(guī)則，可以使噴嘴和單位區(qū)域一致，不降低掃描速度就可以以良好的精度對所需的位置進行能夠噴出動作。
在本實施方式中，單位區(qū)域的在X軸方向上的大小bx1和Y軸方向上的大小by相同，單位區(qū)域設(shè)為正方形。由此，可以很容易地進行圖形設(shè)計。另外，如本實施方式，在邊使液滴噴出頭1(噴嘴10的并列方向)和Y軸方向一致邊進行掃描時，單位區(qū)域的X軸方向上的大小bx1不一定要與Y軸方向上的大小by相同，可以是任意大小。
在基板101上噴出液滴時，由于要在X軸方向上噴出液滴，并且在基板101上配置的液滴之間不重疊或產(chǎn)生在基板101上配置時的液滴直徑c的10％以下重疊，所以在1次掃描中可以防止在基板101上液體材料過剩地設(shè)置，并防止發(fā)生膨脹。
在使液滴噴出頭1和基板101在Y軸方向上分步移動時，由于是僅以1個單位區(qū)域的Y軸方向上的大小by的正整數(shù)倍分步移動，所以，即使在分步移動后，也可以使噴嘴10和單位區(qū)域一致。
另外，在上述實施方式中，其構(gòu)成為根據(jù)噴嘴10的間隔a設(shè)定單位區(qū)域的大小并進行液滴噴出工序，但是在液滴噴出工序的前后的工序，例如入圖10所示的作為電光學(xué)器件的等離子型顯示裝置的制造時的光刻工序中，在基板上進行圖形化時，若根據(jù)噴嘴10的間隔a或其1/n(n為2以上的整數(shù))進行設(shè)計和圖形化時，可以設(shè)計用于噴出的位圖，以便使通過其前后工序形成的圖形和在液滴噴出工序中圖形化后的圖形準(zhǔn)確一致。
如圖10所示的等離子型顯示裝置500，由相互對向配置的玻璃基板501和玻璃基板502以及在它們之間形成的放電顯示部510簡單構(gòu)成。
放電顯示部510配置為，由多個放電室516集合而成，在多個放電室516中，紅色放電室516(R)、綠色放電室516(G)、藍(lán)色放電室516(B)的3個放電室516成為一對構(gòu)成1象素。
在所述(玻璃)基板501的上面，以一定的間隔形成條狀地址電極511，形成介質(zhì)層519以便覆蓋這些地址電極511和基板501的上面，另外，在介質(zhì)層519上形成位于地址電極511、511之間并沿著各地址電極511的隔壁515。另外，在隔壁515中在其長方向的一定位置上在與地址電極511垂直的方向上以一定的間隔隔開(未圖示)，基本上形成在地址電極511的寬方向左右兩側(cè)鄰接的隔壁和通過在與地址電極511垂直的方向上延伸設(shè)置的隔壁隔開的長方形狀區(qū)域，對應(yīng)于這些長方形的區(qū)域形成放電室516，這些長方形的區(qū)域成3對構(gòu)成1象素。另外，在通過隔壁515區(qū)分的長方形狀的區(qū)域的內(nèi)側(cè)設(shè)置熒光體517。由于熒光體517發(fā)出紅、綠、藍(lán)中的任一熒光，所以在紅色放電室516(R)的底部配置紅色熒光體517(R)，在綠色放電室516(G)的底部配置綠色熒光體517(G)，在藍(lán)色放電室516(B)的底部配置藍(lán)色熒光體517(B)。
然后，在所述玻璃基板502側(cè)，在與前面的地址電極511垂直方向上一定的間隔形成由多個ITO構(gòu)成的條狀透明電極512的同時，為了補正高電阻的ITO，形成金屬構(gòu)成的總線電極512a。另外，形成覆蓋這些的介質(zhì)層513，進而形成由MgO等構(gòu)成的保護膜514。
并且，所述基板501和玻璃基板502的基板2，是使所述地址電極511和顯示電極512相互垂直地對向相互粘合，使由基板501、隔壁515、和在玻璃基板502側(cè)形成的保護膜514包圍的空間部分排氣并通過封入稀有氣體形成放電室516。另外，在玻璃基板502側(cè)形成的顯示電極512，相對于各個放電室分別516配置2個地形成。
所述地址電極511和顯示電極512連接未圖示的交流電源，通過給各電極通電在必要位置的放電顯示部510中使熒光體517激發(fā)發(fā)光從而能夠顯示彩色。
在本實施方式中，顯示電極512通過光刻法形成，總線電極512a通過液滴噴出法形成。另外，根據(jù)液滴噴出頭1的噴嘴10的間隔a對由光刻法形成的顯示電極512之間的間隔進行設(shè)定(設(shè)計)，根據(jù)該設(shè)定的值，進行用于形成顯示電極512的光刻工序。
具體地說，噴嘴10的間隔a例如為141μm時，設(shè)定n＝10，將141/10＝14.1μm為基本單位設(shè)計ITO的透明顯示電極512的圖形(間隔或?qū)?，根據(jù)該設(shè)計值通過光刻法形成顯示電極512。此時，顯示電極512之間的間隔例如設(shè)定為14.1×40＝564μm，顯示電極512的寬例如設(shè)定為14.1×35＝439.5μm等。
另外，在這里雖然以形成顯示電極512的情況為例進行了說明，但是，其它部分，例如未圖示的兩端的引出電極等也以14.1μm為基板單位進行設(shè)計。
如以上說明，將根據(jù)噴嘴10的間隔a的值作為基本單位，通過液滴噴出法以外的方法(光刻法)根據(jù)所述基本單位進行圖形形成時的設(shè)計，如利用圖10說明那樣，相對于通過光刻法形成的ITO透明顯示電極512準(zhǔn)確地校對位置，即使在通過液滴噴出法形成總線電極512a時，也可以有效使用噴嘴10，可以形成底層構(gòu)造物(此時即顯示電極512)和間距完全一致的圖形。
但是，例如，在含有液滴噴出工序前后的過程中有若干的制約，考慮有時不能根據(jù)噴嘴10的間隔a設(shè)定Y軸方向上的單位區(qū)域的大小。
例如，如圖9A所示，在基板上，在設(shè)置多個用于設(shè)定液滴配置位置的構(gòu)造物(bank)BK時，在該構(gòu)造物的Y軸方向上的間距bky作為規(guī)定值規(guī)定，對于不能根據(jù)噴嘴10的間隔a設(shè)定單位區(qū)域的Y軸方向上的大小的情況進行考慮。在形成構(gòu)造物BK的光刻工序中有制約，由于不能自由地設(shè)計bky的值，所以有時滿足bky＝a/n的整數(shù)n不存在或n為不現(xiàn)實程度大的整數(shù)。
此時，邊使液滴噴出頭1相對于Y軸僅以角度θ傾斜邊進行液滴噴出動作是有效的。此時，在以往，在X軸方向上不能使噴嘴和單位區(qū)域一致，但是在用于噴出液滴的單位區(qū)域(單位區(qū)域)中，通過設(shè)定使Y軸方向上的大小by2和X軸方向上的大小bx2滿足by2＝bky/n(n為正整數(shù))并且bx2＝(a·sinθ)/m(m為正整數(shù))的條件，可以使噴嘴10和單位區(qū)域一致。
換言之，使規(guī)定值bky和a·cosθ成整數(shù)比地設(shè)定角度θ，根據(jù)該設(shè)定的角度θ和噴嘴間隔a設(shè)定單位區(qū)域的X軸方向上的大小bx2。
通過以上的設(shè)定，如圖9B的模式圖所示，可以在邊掃描噴嘴10和基板101邊使位圖的各個單位區(qū)域和噴嘴10一致地進行液滴噴出動作。
本發(fā)明的器件的制造方法，在制造圖11所示的液晶裝置時也適用。圖11是表示液晶裝置的第1基板上的信號電極等的平面設(shè)計的圖。該液晶裝置由該第1基板、設(shè)有掃描電極等的第2基板(未圖示)、以及在第1基板和第2基板之間封入的液晶(未圖示)簡單構(gòu)成。
如圖11所示，在第1基板300上的象素區(qū)域300上，將多個信號電極310設(shè)為多重矩陣狀。尤其是各種信號電極310由對應(yīng)于各象素設(shè)置的多個象素電極部分310a和將它們連接為多重矩陣狀信號布線310b構(gòu)成，并且延Y方向延伸。
另外，符號350為1芯片結(jié)構(gòu)的液晶驅(qū)動電路，該液晶驅(qū)動電路350和信號布線部分310的一端側(cè)(圖中下側(cè))通過第一導(dǎo)線331連接。
另外，符號340為上下導(dǎo)通端子，其上下導(dǎo)通端子340和未圖示的設(shè)置于第2基板上的端子通過上下導(dǎo)通材341連接。另外，上下導(dǎo)通端子340和液晶驅(qū)動電路350通過第2導(dǎo)線332連接。
在本實施方式中，設(shè)置于第1基板300上的信號布線部分310b、第1導(dǎo)線331、第2導(dǎo)線332分別根據(jù)本發(fā)明的器件的制造方法形成。
對于本發(fā)明的電子機器的具體例進行說明。
圖12A是表示攜帶式電話的一個例子的立體圖。在圖12A中，1600表示攜帶式電話主體，1601表示設(shè)有所述等離子型顯示裝置(或者液晶顯示裝置、有機電致發(fā)光裝置)的顯示部。
圖12B是表示文字處理機、電腦等攜帶型信息處理裝置的一個例子的立體圖。在圖12B中，1700表示信息處理裝置，1701表示鍵盤等的輸入部，1703表示信息處理主體，1702表示設(shè)有等離子型顯示裝置(或者液晶顯示裝置)的顯示部。
圖12C是表示手表型電子機器的一個例子的立體圖。在圖12C中，1800表示手表的主體，1801表示所述設(shè)有所述等離子顯示裝置(或者液晶顯示裝置)的顯示部。
圖12A～圖12C所示的電子機器由于設(shè)有所述實施方式的顯示裝置的機器，所以具有優(yōu)良的顯示性能。
另外，所述電子機器可以作為設(shè)置等離子型顯示裝置或液晶顯示裝置的機器，但是也可以作為設(shè)置有機電致發(fā)光顯示裝置等其它電光學(xué)裝置的電子機器。
圖13是表示作為本發(fā)明器件的非接觸型卡片介質(zhì)的一個例子的圖。如圖13所示，非接觸型卡片介質(zhì)1400，在由卡片基座1402和卡片罩1418組成的筐體內(nèi)，內(nèi)設(shè)半導(dǎo)體集成電路芯片1408和天線電路1412，通過未圖示的外部的收發(fā)信息機和電磁波或靜電電容結(jié)合中的至少一方供電或者至少一方進行數(shù)據(jù)接受。
在本實施方式中，所述天線電路1412是根據(jù)本發(fā)明的器件的制造方法而形成。
在所述各實施方式中，對于形成布線圖形的情況進行說明，但是本發(fā)明的制造方法也能夠適用以濾色器為代表的各種器件和裝置的制造。以下對于本發(fā)明的其它適用例進行說明。
本發(fā)明在制造圖14～圖16所示的液晶顯示裝置時也能夠適用。本實施方式的液晶顯示裝置，作為開關(guān)元件為利用TFT(Thin FilmTransistor)的有源矩陣型的透過型液晶顯示裝置。圖14是配置為該透過型液晶裝置的矩陣狀的多個象素中的開關(guān)元件、信號線等的等價電路圖。圖15是表示形成數(shù)據(jù)線、掃描線、象素電極等的TFT陣列基板的相鄰接的多個象素組結(jié)構(gòu)的主要部位的俯視圖。圖16是圖15中A-A’線剖視圖。另外，在圖16中，圖示上側(cè)為光入射側(cè)、圖示下側(cè)為觀察者側(cè)。另外，在各圖中，為使各層、各部件在圖面上具有能夠辨認(rèn)程度的大小，對各層和各部件進行了不同的縮小。
在本實施方式的液晶顯示裝置中，如圖14所示，在配置成矩陣狀的多個象素中，分別形成象素電極109和用于控制向該象素電極109通電的作為開關(guān)元件的TFT元件130，供給象素信號的數(shù)據(jù)線106a電連接在該TFT元件130的源極。寫入數(shù)據(jù)線106a的象素信號S1、S2、…、Sn，按照該順序線順序供給或者對于相鄰接的多條數(shù)據(jù)線106a每組供給。另外，掃描線103a電連接在TFT元件130的柵區(qū)，對于多條掃描線103a按照線順序以一定的定時脈沖外加掃描信號G1、G2、…、Gm。另外，象素電極109電連接在TFT元件130的柵區(qū)，通過使作為開關(guān)元件的TFT元件130僅接通一定時間，使由數(shù)據(jù)線106a供給的象素信號S1、S2、…、Sn以一定的定時寫入。通過象素電極109寫入液晶的一定電平的象素信號S1、S2、…、Sn，在與后述的共用電極之間保持一定時間。液晶，通過外加電壓電平改變分子集合的配向或秩序，從而可以調(diào)制光并色調(diào)顯示。在這里為防止保持的象素信號漏泄，外加在象素電極109和共用電極之間形成的液晶電容和并列的蓄積電容170。
然后邊參照圖15邊對本實施方式的液晶顯示裝置的主要部位的平面結(jié)構(gòu)進行說明。如圖15所示，在TFT陣列基板上，將多個由銦錫氧化物(Indium Tin Oxide，以下略稱為ITO)等的透明導(dǎo)電性材料構(gòu)成的矩形狀的象素電極109(通過點線部109A表示的輪廓)設(shè)置為矩陣狀，分別沿著象素電極109的縱橫交界設(shè)置數(shù)據(jù)線106a、掃描線103a、和電容線103b。各象素電極109，電連接在與掃描線103a和數(shù)據(jù)線106a之間的各交叉部對應(yīng)設(shè)置的TFT元件130上，形成每個象素能夠顯示的結(jié)構(gòu)。數(shù)據(jù)線106a，以構(gòu)成TFT元件130為例，在多晶硅膜構(gòu)成的半導(dǎo)體層101a中，在后述的源極區(qū)域中通過接觸孔105進行電連接，象素電極109，在半導(dǎo)體層101a中，在后述的漏極區(qū)域中通過接觸孔108進行電連接。另外，在半導(dǎo)體層101a中，與后述的隧道區(qū)域(圖中左上的斜線區(qū)域)對向地設(shè)置掃描線103a，掃描線103a為與隧道區(qū)域?qū)χ玫牟糠?，作為柵電極發(fā)揮作用。電容線103b具有沿著掃描線103a大致呈直線狀的延伸主線部9(即俯視看沿著掃描線103a形成的第1區(qū)域)、和從與數(shù)據(jù)線106a交叉的地方沿著數(shù)據(jù)線106a向前端側(cè)(圖中向上)突出的突出部(即俯視看沿著數(shù)據(jù)線106a延伸設(shè)置的第2區(qū)域)。
然后邊參照圖16邊對本實施方式的液晶顯示裝置的剖面結(jié)構(gòu)進行說明。圖16如所述，為圖15中A-A’線剖視圖，是表示形成TFT元件130區(qū)域構(gòu)成的剖視圖。在本實施方式的液晶顯示裝置中，在TFT陣列基板110和與其對向配置的對向基板120之間夾持液晶層150。TFT陣列基板110主要由透光性的基板主體110A、在其液晶層150側(cè)表面形成的TFT元件130、象素電極109、定向膜160構(gòu)成，對向基板120主要由透光性的塑料基板(基板主體)120A、在其液晶層150側(cè)表面形成的共用電極121和定向膜160構(gòu)成。另外，各基板110、120通過隔板115保持一定的基板間隔(gap)。在TFT陣列基板110中，在基板主體110A的液晶層150側(cè)表面上設(shè)置象素電極109，在各象素電極109鄰近的位置上設(shè)置控制各象素電極109開關(guān)的象素開關(guān)用TFT元件130。象素開關(guān)用TFT元件130，具有LDD(Lightly DopedDrain)結(jié)構(gòu)，設(shè)有掃描線103a、通過該掃描線103a的電場形成隧道的半導(dǎo)體層101a的隧道區(qū)域101a’、絕緣掃描線103a和半導(dǎo)體層101a的柵極絕緣膜102、數(shù)據(jù)線106a、半導(dǎo)體層101a的低濃度源極區(qū)域101b和低濃度漏極區(qū)域101c、半導(dǎo)體層101a的高濃度源極區(qū)域101d和高濃度的漏極區(qū)域101e。在含有所述掃描線103a上、柵極絕緣膜102上的基板主體110A上形成開孔通向高濃度源極區(qū)域101d的接觸孔105和通向高濃度漏極區(qū)域101e的接觸孔108的第2層間絕緣膜104。即，數(shù)據(jù)線106a，通過貫通第2層間絕緣膜104的接觸孔105電連接在高濃度源極區(qū)域101d上。進而，在數(shù)據(jù)線106a上和第2層間絕緣膜104上，形成開孔的通向高濃度區(qū)域101e的接觸孔108的第3層間絕緣膜107。即，高濃度漏極區(qū)域101e通過貫通第2層間絕緣膜104和第3層間絕緣膜107的接觸孔108電連接在象素電極109上。
在本實施方式中，將柵極絕緣膜102從與掃描線103a對向的位置延伸設(shè)置作為介質(zhì)膜使用，通過延伸設(shè)置半導(dǎo)體膜101a作為第1蓄積電容電極101f，進而將與這些對向的電容線103b的一部分作為第2蓄積電容電極，構(gòu)成蓄積電容170。另外，在TFT陣列基板110A和象素開關(guān)用TFT元件130之間，形成用于使構(gòu)成象素開關(guān)用TFT元件130的半導(dǎo)體層101a由TFT陣列基板110A電絕緣的第1層間絕緣膜112。進而在TFT基板110的液晶層150側(cè)的最表面，即，在象素電極109和第3層間絕緣膜107上，形成控制無外加電壓時液晶層150內(nèi)液晶分子取向的定向膜140。因此，在具有這樣的TFT元件130的區(qū)域，在TFT陣列基板110的液晶層150側(cè)最表面即液晶層150的夾持面上形成多個凸凹乃至段差。另一方面在對向基板120上，為基板主體120A的液晶層150側(cè)表面，數(shù)據(jù)線106a、掃描線103a、象素開關(guān)用TFT元件130的形成區(qū)域(非象素區(qū)域)的對向區(qū)域上，設(shè)置用于防止入射光向象素開關(guān)用TFT元件130的半導(dǎo)體層101a的隧道區(qū)域101a’或低濃度源極區(qū)域101b、低濃度漏極區(qū)域101c侵入的第2折光膜123。進而在形成第2折光膜123的基板主體120A的液晶層150側(cè)上，形成由ITO等組成的大致跨過其整個表面的共用電極121，在其液晶層150側(cè)，形成控制無外加電壓時的液晶層150內(nèi)的液晶分子配向的定向膜160。
在本實施方式中根據(jù)本發(fā)明的制造方法，形成數(shù)據(jù)線106a、構(gòu)成柵電極的掃描線103a、電容線103b以及象素電極109等。
本發(fā)明也可以適用于形成作為濾色器的構(gòu)成要素的膜。圖17是表示形成于基板P上的濾色器的圖，圖18A～圖18F是表示濾色器制造順序的圖。如圖17所示，在本例中，在長方形形狀的基板P上從提高生產(chǎn)率的觀點來看將多個濾色器區(qū)域251形成為矩陣狀。這些濾色器區(qū)域251，在后面通過切斷基板P，可以用作適合于液晶顯示裝置的濾色器。濾色器區(qū)域251，分別將R(紅)的液體組合物、G(綠)的液體組合物、以及B(藍(lán))的液體材料組合物分別以一定的圖形在本例中以以往公知的帶狀型形成。另外，作為該形成圖形，除帶狀型外，還可以是鑲嵌型、三角型或者正方形。另外，在RGB的各個液體組合物中添加所述的表面活性劑。
在形成該類濾色器區(qū)域251中，首先如圖18A所示，對于透明基板P的一面形成堤岸252。該堤岸252的形成方法，為旋涂后曝光、顯影。堤岸252形成為俯視為格子狀，在由格子圍起來的堤岸內(nèi)部配置油墨。此時，堤岸252優(yōu)選具有疏液性。另外，堤岸252優(yōu)選作為黑底(black matrix)發(fā)揮作用。然后，如圖18B所示，由所述液滴噴出頭噴出液體組合物的液滴254，噴在濾波器元件253上。對于噴出液滴254的量，設(shè)為考慮加熱工序中液體組合物的體積減少后的充分量。通過這種方式，若在基板P上的全部濾波器元件253上充填液滴254后，利用熱源進行加熱處理以便使基板加熱至一定溫度(例如70℃左右)。通過該加熱處理，液體組合物的溶劑蒸發(fā)液體組合物的體積減少。在該體積減少過多時，可以反復(fù)進行液滴噴出工序和加熱工序，直至作為濾色器能夠得到充分的膜厚。通過該處理，液體組合物中含有的溶劑蒸發(fā)，最終僅殘留液體組合物中含有的固形成分并膜化，形成如圖18C所示的濾色器255。然后使基板P平坦化，并且為了保護濾色器255，如圖18D所示，覆蓋濾色器255或堤岸252并在基板P上形成保護模256。在該保護膜256的形成中，可以采用旋涂法、輥涂法、撕布法(ripping)等方法，但是，與濾色器255相同，也可以通過液滴噴出法進行。然后，如圖18E所示，在該保護膜256的整個面上通過濺射法或真空蒸鍍法形成透明導(dǎo)電膜257。之后，對該透明導(dǎo)電膜257進行圖形化，如圖18F所示，使象素電極258與濾波器元件253對應(yīng)進行圖形化。另外，在液狀顯示表盤的驅(qū)動中若使用TFT時，可以不用圖形化。
在本實施方式中，在形成濾色器255或象素電極258時也可以適用本發(fā)明的制造方法。
本發(fā)明也可以適用于制造有機EL裝置。邊參照圖19A～圖19E、圖20A～圖20C、圖21A～圖21C邊對有機EL裝置的制造方法進行說明。另外，在圖19A～圖19E、圖20A～圖20C、圖21A～圖21C中，為了簡化說明，僅對單一的象素進行了圖示。
首先，準(zhǔn)備基板P。這里對于有機EL裝置可以是能夠從基板側(cè)將由后述的發(fā)光層發(fā)出的光取出的構(gòu)成，也可以是能夠從與基板相反側(cè)取出的構(gòu)成。若為從基板側(cè)取出發(fā)出的光時，作為基板材料可以使用玻璃、石英、樹脂等透明至半透明的材料，但是優(yōu)選使用廉價的玻璃。在本例中，作為基板如19A所示，使用由玻璃構(gòu)成的透明基板P。并且在基板P上形成由無定形硅膜構(gòu)成的半導(dǎo)體膜700。然后，對于該半導(dǎo)體膜700，進行激光退火或固相成長法等的結(jié)晶化工序，半導(dǎo)體膜700結(jié)晶化形成多晶硅膜。然后，如圖19B所示對半導(dǎo)體膜(多晶硅膜)700進行圖形化并形成島狀的半導(dǎo)體膜710，對于其表面形成柵極絕緣膜720。然后如圖19C所示形成柵電極643A。然后以該狀態(tài)打入高濃度的磷離子，在半導(dǎo)體膜710上，相對于柵電極643A自己整合形成源？漏極區(qū)域643a、643b。另外沒有導(dǎo)入雜質(zhì)的部分作為隧道區(qū)域643。接著如圖19D所示，在形成具有接觸孔732、734的層間絕緣膜730后，在這些接觸孔732、734內(nèi)埋入中繼電極736、738。然后如圖19E所示，在層間絕緣膜730上形成信號線632、共供電線633和掃描線(圖19A～圖19E未示)。這里所述中繼電極738和各布線也可以以同一工序形成。此時，中繼電極736通過后述的ITO膜形成。并且形成層間絕緣膜740以便覆蓋各布線的上面，在對應(yīng)于中繼電極736的位置上形成接觸孔(未圖示)，在該接觸孔內(nèi)也埋入地形成ITO膜，進而該ITO膜圖形化，在由信號電線632、共供電線633和掃描線(未圖示)包圍的一定位置上形成在源？漏極區(qū)域643a中電連接的象素電極641。這里由信號電極632、共供電線633、進而由掃描線(未圖示)夾持的部分作為如后述的形成空穴注入層或發(fā)光層的部分。
以下如圖20A所示，形成堤岸650以便包圍所述的形成場所。該堤岸650作為隔開部件發(fā)揮作用，例如優(yōu)選由聚亞胺等的絕緣性有機材料形成。另外，堤岸650優(yōu)選為對于由液滴噴出頭噴出的液體材料組合物顯示非親合性的材料。在堤岸650中為顯示非親合性，例如可以采用通過氟類化合物對堤岸650的表面進行表面處理的方法。作為氟類化合物例如有CF4、SF5、CHF3等，作為表面處理，例如可以舉出等離子處理、UV照射處理等。并且，在該構(gòu)成下，形成空穴注入層或發(fā)光層的場所，即在這些形成材料的涂敷位置和其周圍的堤岸650之間，形成足夠高度的段差611。然后，如圖20B所示，以使基板P的上面面向上的狀態(tài)，含有空穴注入層形成用材料的液體組合物614A通過液滴噴出頭選擇性地涂敷在由堤岸650包圍的涂敷位置即堤岸650內(nèi)。然后，如圖20C所示，通過加熱處理或光照射使液體組合物614A的溶劑蒸發(fā)，并在象素電極641上形成固形的空穴注入層640A。
然后，如圖21A所示，以基板P的上面面向上的狀態(tài)，由液滴噴出頭，使含有發(fā)光層形成用材料(發(fā)光材料)的液體組合物614B選擇性地涂敷在堤岸650內(nèi)的空穴注入層640A上。一旦使含有發(fā)光層形成用材料的液體組合物614B由噴出頭噴出，液體組合物614B就涂敷在堤岸650內(nèi)的空穴注入層640A上。這里通過液體組合物614B的噴出而使發(fā)光層的形成，是通過使含有發(fā)出紅色的發(fā)色光的發(fā)光層形成用材料的液體組合物、含有發(fā)出綠色的發(fā)色光的發(fā)光層形成用材料的液體組合物、含有發(fā)出藍(lán)色的發(fā)色光的發(fā)光層形成用材料的液體組合物分別噴出在各自對應(yīng)的象素上并涂敷而進行。另外，對應(yīng)于各色的象素，可以預(yù)先決定以便使這些能夠有規(guī)則地配置。通過這種方式，若將含有各色的發(fā)光層形成用材料的液體組合物614B噴出并涂敷后，通過蒸發(fā)液體組合物641B中的溶劑，如圖21B所示，在空穴層注入層640A上形成固形的發(fā)光層640B，由此可以得到由空穴層注入層640A和固形的發(fā)光層640B構(gòu)成的發(fā)光部640。之后，如圖21C所示，在透明基板P的整個表面上或者形成條狀反射電極654(對向電極)。由此制造有機EL元件。
另外，將象素電極作為具有反射特性的電極，作為對向電極可以為形成具有透明性的電極(透明電極)的結(jié)構(gòu)。此時圖面上，上方發(fā)出的光射出。另外，作為象素電極形成具有透明性的電極，也可以形成是比象素電極在下層具有反射性的材料。此時，例如可以通過將鋁(Al)等的材料作為主成分的材料形成，與所述同樣，形成在圖面上的上方光射出的結(jié)構(gòu)。
如上所述，在本實施方式中，空穴注入層640A和發(fā)光層640B根據(jù)液滴噴出法形成，適用本發(fā)明的制造方法。另外，信號線632、共供電線633、掃描線以及象素電極641等也可以根據(jù)本發(fā)明的制造方法形成。
權(quán)利要求
1.一種器件的制造方法，具有使液滴噴出頭和基板相對于一定方向移動、由在所述液滴噴出頭上形成并與所述一定方向交叉的方向上以一定的間隔配置的多個噴嘴向所述基板噴出液體材料從而在所述基板上制膜一定圖形的工序，進而具有對于所述基板設(shè)定噴出所述液體材料的液滴的格子狀的多個單位區(qū)域的工序；以及在所述多個單位區(qū)域中對于一定的單位區(qū)域從所述噴嘴噴出所述液滴并形成所述圖形的工序，將所述液滴噴出頭的所述噴嘴的間隔設(shè)為a、所述單位區(qū)域的與所述一定方向交叉的方向上的大小設(shè)為by時，設(shè)定所述單位區(qū)域以便滿足by＝a/n(n為正整數(shù))的條件。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的器件的制造方法，在將所述單位區(qū)域的所述一定方向上的大小設(shè)為bx1時，設(shè)定所述單位區(qū)域以便滿足bx1＝a/n(n為正整數(shù))的條件。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的器件的制造方法，在將所述單位區(qū)域的所述一定方向上的大小設(shè)為bx1時，設(shè)定所述單位區(qū)域以便滿足bx1＝by＝a/n(n為正整數(shù))的條件。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的器件的制造方法，邊進行所述相對移動邊進行所述噴出時，在所述一定方向上使所述液滴噴出，以便使配置于所述基板上的液滴之間不重疊或使產(chǎn)生在所述基板上配置時的液滴的直徑的10％以下的重疊。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的器件的制造方法，邊進行所述相對移動邊進行所述噴出，使所述液滴排出頭和所述基板在與所述一定方向交叉的方向上僅以大小by的整數(shù)倍相對分步移動后進行所述噴出。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的器件的制造方法，在進行所述分步移動后，進行所述噴出時，在與所述一定方向交叉的方向上使液滴排出，以便使在所述基板上配置的液滴之間不重疊或產(chǎn)生在所述基板上配置時的液滴的直徑的10％以下的重疊。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的器件的制造方法，將所述噴嘴的間隔a或其1/n(n為2以上的整數(shù))設(shè)為基本單位，進行通過所述噴出形成的圖形以外的圖形設(shè)計。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的器件的制造方法，在進行通過所述噴出形成的圖形以外的圖形設(shè)計時，將設(shè)定的所述單位區(qū)域為基礎(chǔ)進行設(shè)計。
9.一種器件，根據(jù)權(quán)利要求1所述的器件的制造方法制造。
10.一種電子機器，設(shè)有權(quán)利要求9所述的器件。
11.一種器件的制造方法，具有在使液滴噴出頭和基板在一定方向上相對移動，由在所述液滴噴出頭上形成并在與所述一定方向交叉的方向上并列設(shè)置的多個噴嘴向所述基板噴出液體材料，在所述基板上制膜一定的圖形的工序，進而具有對于所述基板，設(shè)定噴出所述液體材料液滴的格子狀的多個單位區(qū)域的工序；以及在所述多個單位區(qū)域中，對于一定的單位區(qū)域從所述噴嘴噴出所述液滴并形成所述圖形的工序，將預(yù)先規(guī)定的與所述一定方向交叉的方向上的規(guī)定值設(shè)為bky、所述液滴噴出頭的所述噴嘴的間隔設(shè)為a、與所述單位區(qū)域的所述一定方向交叉的方向上的大小設(shè)為by2、所述單位區(qū)域的所述一定方向上的大小設(shè)為bx2，在使所述液滴噴出頭相對于與所述一定方向交叉的方向傾斜角度θ進行所述相對移動時，設(shè)定所述單位區(qū)域，以便滿足by2＝bky/n(n為正整數(shù))并且bx2＝(a·sinθ)/m(m為正整數(shù))的條件。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的器件的制造方法，將所述噴嘴的間隔a或其1/n(n為2以上的整數(shù))設(shè)為基本單位，進行通過所述噴出形成的圖形以外的圖形設(shè)計。
13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的器件的制造方法，在進行通過所述噴出形成的圖形以外的圖形設(shè)計時，將設(shè)定的所述單位區(qū)域為基礎(chǔ)進行設(shè)計。
14.一種制造器件，根據(jù)權(quán)利要求11所述的器件的制造方法進行制造。
15.一種電子機器，設(shè)有權(quán)利要求14所述的器件。
全文摘要
本發(fā)明提供一種在利用多噴嘴頭在基板上形成一定的圖形時能夠在所需的位置噴出液滴的器件的制造方法。在基板(101)上噴出液滴時，在基板(101)上設(shè)定由噴出液滴的多個單位區(qū)域構(gòu)成的位圖。在設(shè)定單位區(qū)域時，將液滴噴出頭(1)的噴嘴(10)的間隔設(shè)為a、單位區(qū)域Y軸方向上的大小設(shè)為b
文檔編號C03C17/00GK1452001SQ03123149
公開日2003年10月29日 申請日期2003年4月17日 優(yōu)先權(quán)日2002年4月19日
發(fā)明者古沢昌宏, 平井利充 申請人:精工愛普生株式會社