專(zhuān)利名稱：滑動(dòng)零件的制造方法及滑動(dòng)零件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明，涉及滑動(dòng)零件的制造方法及滑動(dòng)零件，尤其，涉及通過(guò)在滑動(dòng)部形成儲(chǔ)油部而提高非燒結(jié)性的滑動(dòng)零件的制造方法及滑動(dòng)零件。
背景技術(shù)：
以往，例如，在縫紉機(jī)中，多個(gè)滑動(dòng)零件被互相滑動(dòng)自如地組裝著。在這些滑動(dòng)零件中，為了防止其滑動(dòng)部的燒結(jié)及減小磨損，一般，在滑動(dòng)部供給潤(rùn)滑油或在滑動(dòng)部的表面上形成耐磨損性高的被膜。
例如，在日本專(zhuān)利申請(qǐng)公開(kāi)2003-111990號(hào)公報(bào)(參照?qǐng)D5～圖8)，揭示了在與滑動(dòng)零件相當(dāng)?shù)尼槜U的滑動(dòng)部的表面上形成DLC被膜(Diamond LikeCarbon被膜)的縫紉機(jī)。DLC被膜，由于摩擦系數(shù)低(一般在約0.1以下)且為高硬度，耐磨損性及滑動(dòng)性非常優(yōu)異，這是公知的。該DLC被膜，利用例如UBM濺射(Unbalanced Magnetron Sputtering)等的物理蒸鍍法及CVD(Chemical Vapor Deposition)等的化學(xué)蒸鍍法被形成于滑動(dòng)部的表面上。
又，在該縫紉機(jī)中，為了進(jìn)一步提高所述針桿的滑動(dòng)部的耐磨損性，對(duì)于可滑動(dòng)地支承所述針桿的針桿支承構(gòu)件的滑動(dòng)部，使用容易與所述DLC被膜圓滑地滑動(dòng)的鋁合金材料等。該鋁合金材料，通過(guò)防止DLC被膜的纏結(jié)結(jié)合(Dangling Bond)和與其終端的氫的結(jié)合的切斷，由此，能防止所述DLC被膜的石墨(Graphite)化的進(jìn)展，從而能提高DLC被膜的耐磨損性。
可是，若從防止燒結(jié)的方面來(lái)考慮，即使例如作成了這樣的結(jié)構(gòu)，也還需要對(duì)滑動(dòng)部供給潤(rùn)滑油。但是，即使對(duì)針桿和針桿支承構(gòu)件的滑動(dòng)部供給了潤(rùn)滑油，由于所述滑動(dòng)部的表面互相滑動(dòng)，不能將所述潤(rùn)滑油長(zhǎng)時(shí)間地保持在該滑動(dòng)部，在從供給潤(rùn)滑油的短時(shí)間(例如，不到1000小時(shí))中，所述滑動(dòng)部就會(huì)產(chǎn)生燒結(jié)。
為了防止滑動(dòng)部的燒結(jié)，只要作業(yè)者頻繁地對(duì)滑動(dòng)部進(jìn)行潤(rùn)滑油的供給就可以，但一般在縫紉機(jī)上滑動(dòng)部有多個(gè)部位，而且，還有不能簡(jiǎn)單地供給潤(rùn)滑油的部位，故該作業(yè)需要非常多的勞動(dòng)力。因此，考慮有在DLC被膜上形成由凹凸?fàn)畹牟蹣?gòu)成的儲(chǔ)油部、使?jié)櫥筒粫?huì)在短時(shí)間中從滑動(dòng)部流出的方法，但一般由于該DLC被膜是數(shù)μm程度的厚度，故要用切削等的機(jī)械加工形成所述凹凸，在精度上是非常困難的。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于，提供通過(guò)在滑動(dòng)部的DLC被膜上設(shè)置作為儲(chǔ)油部的凹部來(lái)提高潤(rùn)滑油的保持力、賦予高的非燒結(jié)性的滑動(dòng)零件的制造方法及滑動(dòng)零件。
本發(fā)明的滑動(dòng)零件的制造方法，該滑動(dòng)零件具有在基材的表面的至少一部分上形成DLC被膜的滑動(dòng)部，其特征在于，該制造方法具有為了將所述DLC被膜的表面的一部分遮蔽而將遮蔽構(gòu)件密接狀地安裝在所述DLC被膜上的遮蔽工序；利用所述遮蔽構(gòu)件將未被遮蔽的部分的DLC被膜進(jìn)行蝕刻的蝕刻工序，在所述蝕刻工序中，通過(guò)所述蝕刻而形成凹部。
該場(chǎng)合，最好是，所述凹部作為儲(chǔ)油部而形成，并且，使所述凹部相對(duì)所述滑動(dòng)部的總表面積形成為約14％～17％的范圍。
采用這樣的結(jié)構(gòu)，首先，利用等離子蝕刻(Plasma Etching)將未被遮蔽構(gòu)件遮蔽的DLC被膜去除，由于形成了作為儲(chǔ)油部功能的凹部，故與要求精度的機(jī)械作業(yè)相比、能簡(jiǎn)單地形成儲(chǔ)油部，并能防止對(duì)基材等造成損傷。又，由于僅使遮蔽構(gòu)件的形狀進(jìn)行變化，故能使所述凹部的形狀自由地進(jìn)行變化。
如上所述，通過(guò)對(duì)滑動(dòng)部形成作為儲(chǔ)油部功能的凹部，由于該凹部能保持潤(rùn)滑油，能長(zhǎng)時(shí)期地防止所述滑動(dòng)部上的潤(rùn)滑油的流出，故能提高滑動(dòng)部的非燒結(jié)性(使燒結(jié)壽命延長(zhǎng))。又，若在相對(duì)所述滑動(dòng)部的總表面積的約14％～17％的范圍中形成所述凹部，通過(guò)一次的潤(rùn)滑油的供給就能大幅度地延長(zhǎng)滑動(dòng)部的燒結(jié)壽命。
又，在上述結(jié)構(gòu)的場(chǎng)合，最好是，在形成所述DLC被膜的工序之前，可以在所述基材的表面上實(shí)施形成金屬被膜的金屬被膜工序，并在形成所述凹部時(shí)，將所述DLC被膜蝕刻至所述金屬被膜的表面露出為止。由此，即使通過(guò)蝕刻將DLC被膜去除，也由于不去除金屬被膜，故基材不會(huì)露出，能防止由基材的生銹等引起的劣化。
又，在所述DLC被膜中，未被所述遮蔽構(gòu)件遮蔽的部分作成了互相空開(kāi)規(guī)定間隔地存在于多個(gè)部位的結(jié)構(gòu)，又，也可以都構(gòu)成相同的形狀，例如是圓形的結(jié)構(gòu)。由此，首先，由于凹部空開(kāi)規(guī)定間隔地形成，向滑動(dòng)部所提供的潤(rùn)滑油在所述滑動(dòng)部的整個(gè)區(qū)域被均等地儲(chǔ)存，故能防止滑動(dòng)部的局部性的燒結(jié)。又，若將凹部都作成相同形狀、例如作成圓形，能使所述遮蔽構(gòu)件的形成作業(yè)簡(jiǎn)單化。
又，在上述的場(chǎng)合，蝕刻工序中的蝕刻最好是等離子蝕刻或激光蝕刻，在所述等離子蝕刻的場(chǎng)合，所述基材采用鋼材料，其溫度可以在150℃以下的狀態(tài)中進(jìn)行。由此，在等離子蝕刻的場(chǎng)合，由于僅使DLC被膜與氧等離子等進(jìn)行反應(yīng)，故不會(huì)損傷基材及基材與DLC被膜之間所形成的金屬被膜等，能正確地僅去除所述DLC被膜。這時(shí)，由于將在250℃左右進(jìn)行淬火的基材在150℃以下進(jìn)行保持，故能防止因所述等離子蝕刻引起的基材的變形。又，即使在激光蝕刻的場(chǎng)合也能獲得大致同樣的效果。
又，本發(fā)明的滑動(dòng)零件，其特征在于，具有至少在一部分上具有滑動(dòng)部的基材；在基材的滑動(dòng)部的表面上所形成的金屬被膜；在所述金屬被膜的表面上所形成的DLC被膜；通過(guò)利用蝕刻將所述DLC被膜的一部分去除所形成的作為儲(chǔ)油部功能的凹部、或通過(guò)利用蝕刻將所述DLC被膜的一部分去除至所述金屬被膜的表面露出為止所形成的作為儲(chǔ)油部功能的凹部。這時(shí)，最好是，所述凹部是被配置成規(guī)定圖形的多個(gè)相同形狀、例如是圓形，又，所述凹部以相對(duì)所述滑動(dòng)部的總表面積在約14％～70％的范圍內(nèi)形成為好。
又，所述滑動(dòng)零件，也可將其滑動(dòng)部作為往復(fù)滑動(dòng)部，例如作為相當(dāng)于縫紉機(jī)的結(jié)構(gòu)零件的挑線桿的挑線桿軸。在上述那樣結(jié)構(gòu)的場(chǎng)合，即使是高速滑動(dòng)的縫紉機(jī)的挑線桿軸，由于利用所述凹部能將潤(rùn)滑油經(jīng)常保持在該滑動(dòng)部，故能防止在滑動(dòng)部產(chǎn)生燒結(jié)的情況。


圖1是雙針縫紉機(jī)的內(nèi)部立體圖。
圖2是說(shuō)明挑線桿機(jī)構(gòu)用的內(nèi)部左側(cè)視圖。
圖3是滑動(dòng)部的部分立體圖。
圖4是滑動(dòng)部的概略的部分橫剖視圖。
圖5A是說(shuō)明滑動(dòng)零件的制造方法的工序圖。
圖5B是說(shuō)明滑動(dòng)零件的制造方法的工序圖。
圖5C是說(shuō)明滑動(dòng)零件的制造方法的工序圖。
圖6是遮蔽工序的說(shuō)明圖。
圖7是DLC殘留面積(DLC被膜的面積)與燒結(jié)壽命的關(guān)系的說(shuō)明圖。
具體實(shí)施例方式以下，參照附圖對(duì)本發(fā)明應(yīng)用于雙針縫紉機(jī)中的挑線桿的挑線桿軸的一實(shí)施例進(jìn)行說(shuō)明。又，在以下的說(shuō)明中，如圖1所示，將作業(yè)者所處位置的方向作為前方，將從作業(yè)者看的左右作為左右。
首先，如圖1所示，雙針縫紉機(jī)M，具有左右方向長(zhǎng)的底板部1、從該底板部1的右端部向上方延伸的腳柱部2、從該腳柱部2與底板部1相對(duì)地向左方延伸的臂部3。
在臂部3的內(nèi)部，配設(shè)有向左右方向延伸的主軸10，并在該主軸10的下方配設(shè)有向左右方向延伸的針桿擺動(dòng)軸11。主軸10的右端部，從臂部3向外部伸出，其前端上安裝著皮帶輪12。主軸10通過(guò)手動(dòng)操作式的皮帶輪12或利用縫紉電機(jī)(未圖示)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)。
曲柄13，被安裝在主軸10的左端部，能與該主軸10一起轉(zhuǎn)動(dòng)。在該曲柄13上，一體地設(shè)有連接軸13a，在該連接軸13a上，可轉(zhuǎn)動(dòng)地連接著曲柄桿14的上端部的頭部14a。又，曲柄桿14的下端部，可轉(zhuǎn)動(dòng)地與針桿連接架15連接，該針桿連接架15被固定在圓柱狀的針桿16的中央部。該針桿16，其上下被支承在針桿支承構(gòu)件17上，其下端部從所述臂部3向下方伸出，在其前端上安裝著2根針21。
挑線桿機(jī)構(gòu)19，如圖2所示，具有挑線桿18、連接構(gòu)件22、可轉(zhuǎn)動(dòng)地將挑線桿18支承在雙針縫紉機(jī)M上的轉(zhuǎn)動(dòng)軸23。又，挑線桿18，具有下端部的圓柱狀的挑線桿軸25和掛有上線的挑線桿部26。圓柱狀的連接構(gòu)件22可轉(zhuǎn)動(dòng)地與曲柄桿14的頭部14a的后端部連接著。并且，在該連接構(gòu)件22上，插通有挑線桿18的挑線桿軸25。由此，挑線桿軸25形成相對(duì)所述連接構(gòu)件22可滑動(dòng)的狀態(tài)。
這里，在這樣結(jié)構(gòu)的雙針縫紉機(jī)中，當(dāng)縫紉電機(jī)的旋轉(zhuǎn)通過(guò)主軸10向曲柄13傳遞時(shí)，其旋轉(zhuǎn)力通過(guò)曲柄桿14向針桿連接架15傳遞。于是，該針桿連接架15使針桿16向上下進(jìn)行往復(fù)移動(dòng)，由此，2根針21進(jìn)行上下往復(fù)移動(dòng)。又，針桿16，雖然省略詳細(xì)的說(shuō)明，但通過(guò)所述針桿擺動(dòng)軸11的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)，與針桿支承構(gòu)件17一起向前后水平方向進(jìn)行擺動(dòng)驅(qū)動(dòng)。
又，當(dāng)利用縫紉電機(jī)的旋轉(zhuǎn)使曲柄13旋轉(zhuǎn)時(shí)，曲柄13的連接軸13a，使頭部14a與連接構(gòu)件22同時(shí)地以圖2所示的圓軌道A進(jìn)行旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)。由此，所述挑線桿25被所述連接構(gòu)件22引導(dǎo)而大致上下方向地進(jìn)行往復(fù)滑動(dòng)，通過(guò)該往復(fù)滑動(dòng)、挑線桿18在所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸23的周?chē)M(jìn)行擺動(dòng)驅(qū)動(dòng)，隨此，上線(未圖示)被拉緊。
在此，如圖3和圖4所示，所述挑線桿軸25，具有由鋼材料構(gòu)成的圓柱狀的基材27；在與該基材27的滑動(dòng)部28對(duì)應(yīng)的部位的表面上所形成的Cr被膜29；在該Cr被膜29的表面上所形成的DLC被膜30。又，如圖4所示，在DLC被膜30上，形成有作為儲(chǔ)油部32功能的多個(gè)凹部31(以下也有僅稱為儲(chǔ)油部32的情況)，該儲(chǔ)油部32，通過(guò)將所述DLC被膜30進(jìn)行蝕刻來(lái)構(gòu)成，使所述Cr被膜29呈露出的狀態(tài)。又，如圖3所示，該凹部31，在圓周方向的許多處形成以90o間隔(規(guī)定間隔)且在上下方向錯(cuò)開(kāi)一定高度的規(guī)定圖形，其形狀是圓形。
這里，參照?qǐng)D5A～圖5C和圖6，對(duì)在與所述挑線桿軸25(基材27)的滑動(dòng)部28對(duì)應(yīng)的部位上進(jìn)行的Cr被膜29和DLC被膜30的被膜工序、遮蔽工序及蝕刻工序等、制造方法的流程作出詳細(xì)說(shuō)明。
首先，對(duì)于與由圓柱狀的鋼材料構(gòu)成的基材27(換言之，挑線桿18的挑線桿軸25)的滑動(dòng)部28對(duì)應(yīng)的部位的表面，將Cr作為目標(biāo)進(jìn)行濺射，形成規(guī)定的膜厚、例如厚約0.5μm的Cr被膜29。接著，進(jìn)行上述Cr的濺射，并同時(shí)進(jìn)行將石墨作為目標(biāo)的濺射，使該Cr和石墨的濺射率逐漸地移行至使石墨的濺射率增大的狀態(tài)。由此，使DLC被膜30在Cr被膜29的表面上形成至例如約1.5μm的膜厚。該場(chǎng)合，這些Cr被膜29和DLC被膜30就是在真空中利用UBM濺射連續(xù)形成的膜。這里，DLC被膜30的硬度可由氫含有量等來(lái)進(jìn)行調(diào)節(jié)，由此，就能成為HV(Vickers Hardness)從數(shù)百至與接近于金剛石的HV的8000左右的高硬度被膜。
接著，如圖5B和圖6所示，在遮蔽工序中，對(duì)于前述那樣形成的DLC被膜30的表面，大致密接狀地外嵌有圓柱狀的遮蔽構(gòu)件34，由此，將所述DLC被膜30的表面遮蔽。該遮蔽構(gòu)件34例如用A1構(gòu)成，其內(nèi)徑形成為與DLC被膜30的外形大致相同直徑，并且，多個(gè)圓形的孔35(貫通孔)在上下方向空開(kāi)規(guī)定間隔地排列成直線狀，它們?cè)趫A周方向上以90o間隔且上下方向錯(cuò)開(kāi)一定間隔地構(gòu)成。因此，當(dāng)將所述遮蔽構(gòu)件34外嵌于DLC被膜30上時(shí)，DLC被膜30的表面的一部分被遮蔽，與所述遮蔽構(gòu)件34的孔35對(duì)應(yīng)的部位依然保持露出的狀態(tài)。
接著，在蝕刻工序中，首先，將前述的被遮蔽的基材27、即挑線桿18收容在真空槽中(未圖示)。并且，向所述真空槽中供給氧氣，當(dāng)施加高頻率(例如13.8MHz)高電壓時(shí)，使氧氣電離而形成等離子的氣氛。于是，使DLC被膜30與氧等離子氣體反應(yīng)而成為二氧化碳或一氧化碳，如圖5所示，未被遮蔽構(gòu)件34所遮蔽的部分(從遮蔽構(gòu)件34露出的部分)的DLC被膜30，用蝕刻除去直至Cr被膜29露出為止，由此，在滑動(dòng)部28(參照?qǐng)D4)上形成多個(gè)作為儲(chǔ)油部32功能的凹部31。
又，在所述蝕刻工序中，將以250℃程度進(jìn)行淬火并回火后的挑線桿18，保持在150℃以下的狀態(tài)中進(jìn)行蝕刻。然后，將挑線桿18從真空槽中取出，如圖3及圖4所示，將遮蔽構(gòu)件34從挑線桿軸25取下，由此，就能獲得具有形成多個(gè)作為儲(chǔ)油部32功能的凹部31的滑動(dòng)部28的挑線桿軸25。
采用上述的結(jié)構(gòu)，首先，在滑動(dòng)部28上形成了作為儲(chǔ)油部32功能的凹部31。因此，可在該所述凹部31上儲(chǔ)留潤(rùn)滑油，使所述滑動(dòng)部28的潤(rùn)滑油的保持力提高，還能使挑線桿軸25的非燒結(jié)性提高。尤其，若將凹部31相對(duì)滑動(dòng)面28的總表面積控制在約14％～70％的范圍，換言之，若將未利用等離子蝕刻除去而殘留的DLC被膜30的總表面積(DLC被膜的面積)，如圖7所示控制在約30％～86％的范圍，則到達(dá)燒結(jié)的時(shí)間(燒結(jié)壽命)成為3000小時(shí)以上，由于能對(duì)挑線桿18賦予極高的非燒結(jié)性，故作業(yè)者不需要對(duì)滑動(dòng)部頻繁地進(jìn)行潤(rùn)滑油的供給，潤(rùn)滑油的供給周期變得非常長(zhǎng)，能大幅度地減少作業(yè)者的潤(rùn)滑油的供給作業(yè)。
又，在挑線桿18的挑線桿軸25上，由于利用等離子蝕刻形成作為儲(chǔ)油部32功能的凹部31，故與機(jī)械加工等相比，其作業(yè)能變得容易。又，通過(guò)使用等離子蝕刻，由于不去除未與氧氣反應(yīng)的Cr被膜29、而是通過(guò)蝕刻僅去除DLC被膜30，防止基材27的露出，故能進(jìn)行保護(hù)以免因該基材27生銹等引起的劣化。
又，由于使用遮蔽構(gòu)件34，僅使該遮蔽構(gòu)件34的孔35(貫通孔)的形狀進(jìn)行變化，故能將作為儲(chǔ)油部32功能的凹部31的形狀作成所需的形狀。
又，凹部31是圓形，并根據(jù)規(guī)定的圖形被排列著，故能防止在滑動(dòng)部28上潤(rùn)滑油局部性偏移的情況，由此，能防止局部性的燒結(jié)。
又，在上述實(shí)施例中，利用UBM濺射形成DLC被膜30，但不限于此，例如，也可以利用UBM濺射以外的物理的蒸鍍方法或CVD法等的化學(xué)的蒸鍍方法來(lái)形成。
又，DLC被膜蝕刻方式的去除，不限于等離子蝕刻，也可以使用以下手段例如，10-15秒激光(激光的波長(zhǎng)為870nm、脈沖幅度為10-15秒)；紫外線激光(激光的波長(zhǎng)為紫外線區(qū)域，例如，脈沖幅度為20～100nm、波長(zhǎng)為353nm的THG-YAG激光Third Harmonic Generator YAG Laser，或波長(zhǎng)為265nm的FHG-YAG激光Fourth Harmonic Generator YAG Laser等的固體激光)；激元激光(波長(zhǎng)為308nm或248nm、脈沖幅度為20～30nm)，通過(guò)蝕刻將DLC被膜去除。尤其，通過(guò)利用多個(gè)激光從多個(gè)方向?qū)LC被膜照射激光而形成儲(chǔ)油部，能使蝕刻工序的時(shí)間大幅度地縮短?；蛘?，通過(guò)設(shè)有1個(gè)激光并使激光與滑動(dòng)零件的相對(duì)位置進(jìn)行移動(dòng)而形成儲(chǔ)油部，就能減少設(shè)備投資。
又，遮蔽構(gòu)件34不限定于A1，例如，若是陶瓷(Ceramics)及不銹鋼(Stainless)等難以生銹的材質(zhì)，則可適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行變更。
又，在基材27與DLC被膜30之間形成Cr被膜29，但也可以作成不設(shè)有該Cr被膜29的結(jié)構(gòu)。在該場(chǎng)合，最好是，在蝕刻工序中，不露出基材的程度地對(duì)DLC被膜進(jìn)行蝕刻而形成凹部，能利用DLC被膜對(duì)基材進(jìn)行保護(hù)，以防止生銹。
又，將DLC被膜30進(jìn)行等離子蝕刻直至Cr被膜29露出為止，也可以不一定使Cr被膜露出。
又，不限于Cr被膜29，也可以應(yīng)用W被膜、Ti被膜、Si被膜、Ni被膜等。
又，凹部31形成為圓形，但不限于此，也可以形成為矩形、線狀、三角形等，或分別為不同的形狀。又，互相的間隔根據(jù)需要也能適當(dāng)?shù)剡M(jìn)行變更。
又，作為滑動(dòng)零件不限于挑線桿18，也可以是例如針桿16、針桿支承構(gòu)件17、連接構(gòu)件22等，即使縫紉機(jī)以外的滑動(dòng)零件也能應(yīng)用本發(fā)明。
又，從金屬被膜工序至蝕刻工序是連續(xù)地進(jìn)行的，但不限于此，根據(jù)時(shí)間或地區(qū)的情況也可以分別進(jìn)行。
權(quán)利要求
1.一種滑動(dòng)零件的制造方法，該滑動(dòng)零件，在基材的表面的至少一部分上具有形成DLC被膜的滑動(dòng)部，其特征在于，該制造方法具有為了對(duì)所述DLC被膜的表面的一部分進(jìn)行遮蔽而將遮蔽構(gòu)件密接狀地安裝在所述DLC被膜上的遮蔽工序；利用所述遮蔽構(gòu)件將未被遮蔽的部分的DLC被膜進(jìn)行蝕刻的蝕刻工序，在所述蝕刻工序中，通過(guò)所述蝕刻而形成凹部。
2.如權(quán)利要求1所述的滑動(dòng)零件的制造方法，其特征在于，所述凹部形成為儲(chǔ)油部。
3.如權(quán)利要求1或2所述的滑動(dòng)零件的制造方法，其特征在于，所述凹部，相對(duì)所述滑動(dòng)部的總表面積形成約14％～17％的范圍。
4.如權(quán)利要求1或2所述的滑動(dòng)零件的制造方法，其特征在于，在形成所述DLC被膜的工序之前，具有在所述基材的表面上形成金屬被膜的金屬被膜工序。
5.如權(quán)利要求4所述的滑動(dòng)零件的制造方法，其特征在于，通過(guò)將所述DLC被膜蝕刻至所述金屬被膜的表面露出為止，以形成所述凹部。
6.如權(quán)利要求1或5所述的滑動(dòng)零件的制造方法，其特征在于，在所述DLC被膜中，未被所述遮蔽構(gòu)件遮蔽的部分以互相空開(kāi)規(guī)定間隔地存在于多個(gè)部位。
7.如權(quán)利要求6所述的滑動(dòng)零件的制造方法，其特征在于，在所述DLC被膜中，未被所述遮蔽構(gòu)件遮蔽的部分都是相同的形狀。
8.如權(quán)利要求7所述的滑動(dòng)零件的制造方法，其特征在于，在所述DLC被膜中，未被所述遮蔽構(gòu)件遮蔽的部分是圓形。
9.如權(quán)利要求1或8所述的滑動(dòng)零件的制造方法，其特征在于，所述蝕刻工序中的蝕刻是等離子蝕刻。
10.如權(quán)利要求9所述的滑動(dòng)零件的制造方法，其特征在于，所述基材是鋼材料，在所述基材150℃以下的狀態(tài)下進(jìn)行所述等離子蝕刻。
11.如權(quán)利要求1或2所述的滑動(dòng)零件的制造方法，其特征在于，所述蝕刻工序中的蝕刻是激光蝕刻。
12.一種滑動(dòng)零件，其特征在于，具有至少在一部分上具有滑動(dòng)部的基材；在基材的滑動(dòng)部表面上形成的金屬被膜；在所述金屬被膜表面上形成的DLC被膜；以及通過(guò)蝕刻方式將所述DLC被膜的一部分去除而形成的作為儲(chǔ)油部功能的凹部、或者通過(guò)蝕刻方式將所述DLC被膜的一部分去除直至露出所述金屬被膜的表面為止而形成的作為儲(chǔ)油部功能的凹部。
13.如權(quán)利要求12所述的滑動(dòng)零件，其特征在于，所述儲(chǔ)油部，由配置成規(guī)定圖形的多個(gè)相同形狀的凹部構(gòu)成。
14.如權(quán)利要求13所述的滑動(dòng)零件，其特征在于，所述凹部是圓形。
15.如權(quán)利要求12～14中任一項(xiàng)所述的滑動(dòng)零件，其特征在于，所述凹部在相對(duì)所述滑動(dòng)部的總表面積約14％～70％的范圍內(nèi)形成。
16.如權(quán)利要求12～14中任一項(xiàng)所述的滑動(dòng)零件，其特征在于，所述滑動(dòng)部是往復(fù)滑動(dòng)部。
17.如權(quán)利要求16所述的滑動(dòng)零件，其特征在于，用作為縫紉機(jī)的結(jié)構(gòu)零件。
18.如權(quán)利要求17所述的滑動(dòng)零件，其特征在于，所述結(jié)構(gòu)零件是挑線桿的挑線桿軸。
全文摘要
本發(fā)明的滑動(dòng)零件的制造方法及其滑動(dòng)零件，利用UBM濺射(Unbalanced Magnetron Sputtering)而在與基材(27)的表面的滑動(dòng)部(28)對(duì)應(yīng)的部位連續(xù)地形成Cr被膜(29)和DLC被膜(Diamond Like Carbon)(30)，在遮蔽工序中，將具有多個(gè)圓形的孔(35)的遮蔽構(gòu)件(34)大致密接狀地外嵌在所述DLC被膜(30)的表面上，在蝕刻工序中，用等離子蝕刻將從遮蔽構(gòu)件(34)的孔(35)露出的區(qū)域的DLC被膜(30)去除，由此，形成作為儲(chǔ)油部(32)的凹部(31)。從而，能獲得在滑動(dòng)部上形成多個(gè)凹部(31)、可提高該滑動(dòng)部上的潤(rùn)滑油的保持力進(jìn)而使非燒結(jié)性提高的滑動(dòng)零件。
文檔編號(hào)D05B71/00GK1580347SQ20041005670
公開(kāi)日2005年2月16日 申請(qǐng)日期2004年8月9日 優(yōu)先權(quán)日2003年8月7日
發(fā)明者北村哲彌, 青木彥治, 金田英樹(shù) 申請(qǐng)人:兄弟工業(yè)株式會(huì)社