專利名稱：：洗凈及干燥用組合物和洗凈及干燥方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及由玻璃或塑料制成的光學(xué)部件或模具部件、金屬部件、陶瓷部件、電子部件等被洗凈物的脫脂洗凈、精密洗凈或簡(jiǎn)易的擦拭洗凈和/或在被洗凈物上不生成污漬、殘?jiān)惹闆r下使之干燥的干燥用的洗凈及干燥用組合物和洗凈及干燥方法。本發(fā)明特別涉及在氟里氟(フロン)用量削減的情況下。全世界所期望的不使用氟里昂的洗凈及干燥用組合物和洗凈及干燥方法。在一般情況下，光學(xué)部件、模具部件、電子部件等工業(yè)用部件，為脫脂進(jìn)行精密洗凈后，再進(jìn)行精加工干燥。此外光學(xué)部件、模具部件在制造后有必要除去指紋和霧斑，為此使用沾附溶劑的綿紙、布等擦拭進(jìn)行簡(jiǎn)易洗凈，這種通過擦拭的簡(jiǎn)易洗凈也用于對(duì)金屬模具進(jìn)行維護(hù)。在上述這樣的各種洗凈和洗凈后的干燥中，歷來使用1，1，2-三氯-1，2，2-三氟乙烷(氟里昂-113)。該氟里昂-113因其不燃性，對(duì)生物體的毒性小，干燥速度快，而且因?yàn)閷?duì)油脂等的溶解具有選擇的溶解性，所以不浸蝕塑料、橡膠等高分子材料。但是，因氟里昂等的全鹵乙烷化學(xué)穩(wěn)定且在對(duì)流圈內(nèi)的壽命長(zhǎng)，經(jīng)擴(kuò)散達(dá)到同溫層，在該處因陽(yáng)光而分解，引起所生成的鹵素基團(tuán)和臭氧連鎖反應(yīng)，由于破壞臭氧層，所以希望削減其使用量。為了以保護(hù)這樣的臭氧層為目的而削減氟里昂113，開發(fā)了多種混合溶劑和共沸組合物用于洗凈和干燥。例如在日本特開平1-318094號(hào)公報(bào)中記載了將氟里昂113和異丙醇及甲基乙基甲酮混合制得溶劑，同樣在特開平2-289693號(hào)公報(bào)中則記載了二氯四氟丙烷(氟里昂234)和乙醇等脂肪族低級(jí)醇的共沸組合物。此外，在干燥時(shí)使用異丙醇(IPA)蒸氣進(jìn)行精加工干燥。但是，因?yàn)樘亻_平1-318094號(hào)公報(bào)記載的混合物必須含有氟里昂113，而氟里昂113的使用量又不能減少到大于某個(gè)數(shù)值。另一方面，特開平2-289693號(hào)公報(bào)記載的共沸組合物中使用了氟里昂234。該氟里昂234對(duì)臭氧層的破壞性雖然比氟里昂113較小，但不可能完全不破壞臭氧層。另一方面，使用IPA蒸汽進(jìn)行干燥，由于IPA具有高吸濕性，所以在重復(fù)洗凈期間引起逐漸吸濕和水的混入，因水等的影響伴隨有污漬產(chǎn)生，另外IPA具有引火性，將這種引火物以蒸汽狀態(tài)使用有引火的危險(xiǎn)，并且還有使塑料等劣化等問題，所以是不實(shí)用的。本發(fā)明的目的是提供一種洗凈及干燥用組合物和洗凈及干燥方法，解決了上述問題，它不使用破壞臭氧層的氟里昂，不受水的影響，同時(shí)能在引火危險(xiǎn)性少的狀態(tài)下使用，不侵蝕塑料等被洗凈物，并且不留污漬、殘?jiān)?。本發(fā)明用于由玻璃、塑料制成的光學(xué)部件或模具部件、金屬部件、陶瓷部件、電子部件等被洗凈物的洗凈、擦拭或精加工干燥。本發(fā)明的洗凈及干燥用組合物含有作為有效成分的具有低分子硅氧烷基團(tuán)的六甲基二硅氧烷、八甲基三硅氧烷、八甲基環(huán)四硅氧烷。一般情況下，硅氧烷的揮發(fā)性與其粘度或分子量成比例，有效成份的硅氧烷在粘度為5CSt(25℃)程度時(shí)具有揮發(fā)性，而本發(fā)明的六甲基二硅氧烷、八甲基三硅氧烷、八甲基環(huán)四硅氧烷都具有5CSt以下的粘度，所以有特別高的揮發(fā)性。此外，該低粘度(低分子部)的硅氧烷其自身具有溶劑的功能，由其本體進(jìn)行指紋和皮脂等的脫脂。并且對(duì)生物體的毒性小，化學(xué)穩(wěn)定，對(duì)塑料和橡膠、金屬、玻璃等大致上不給予影響，并且因?yàn)椴缓鹊塞u素，所以對(duì)臭氧層也沒有壞的影響。具有這種物性的硅氧烷快速干燥性能良好，可用于玻璃透鏡、塑料等光學(xué)部件和模具部件的精加工洗凈、金屬模的維護(hù)洗凈等簡(jiǎn)單的擦拭洗凈，并可用于精加工干燥。低分子硅氧烷有直鏈狀的和環(huán)狀的，其通式如式1，式2所示。本發(fā)明選擇式1的n＝0的六甲基二硅氧烷、n＝1的八甲基三硅氧烷，以及式2的m＝4的八甲基環(huán)四硅氧烷。本發(fā)明用途的擦拭用精加工液，精密洗凈液，洗凈后的干燥用溶液，將上述低分子硅氧烷兩種以上加以混合為好，添加安定劑、溶劑等亦佳。作為安定劑，可將硝基甲烷、硝基乙烷、硝基丙烷等脂族硝基化合物，3-甲基-1-丁炔-3-醇、3-甲基-1-戊炔-3-醇等炔醇類，糖醇、甲基縮水甘油醚、烯丙基縮水甘油醚、苯基縮水甘油醚、1，2-二甲基環(huán)氧乙烷、環(huán)氧己烯、3-氯-1，2-環(huán)氧丙烷等環(huán)氧化物類，二甲氧基甲烷、1，2-二甲氧基乙烷、1，4-二噁烯、1，3，5-三噁烯等醚類，己烯、庚烷、辛烯、2，4，4-三甲基-1戊烯、戊二烯、辛二烯、環(huán)己烯、環(huán)戊烯等不飽和碳化氫類，烯丙醇、1-丁烯-3-醇、3-甲基-1-丁烯-3-醇等烯系醇類，丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、丙烯酸丁酯等丙烯酸酯類各自單獨(dú)使用或兩種以上并用。此外，將這些化合物和苯酚、三甲基苯酚、環(huán)己基苯酚、百里香酚、2，6-二-叔丁基-4-甲基苯酚、丁基羥基甲氧基苯、對(duì)丙烯基鄰甲氧基苯酚等苯酚類，己胺、戊胺、二丙胺、二異丙胺、二異丁胺、三甲胺、三丁胺、吡啶、N-甲基嗎啉、環(huán)己胺、2，2，6，6-四甲基哌啶、N，N’-二烯丙基-對(duì)苯二胺等胺類，苯并三唑、2-(2’-羥基-5’-甲苯基)苯并三唑、氯苯并三唑等三唑類等并用也佳。通過添加上述安定劑0.1～10wt％，可以在性能不劣化的情況下使品質(zhì)穩(wěn)定。另一方面，作為溶劑，可由戊烷、異戊烷、己烷、異己烷、庚烷等碳化氫類，硝基甲烷、硝基乙烷、硝基丙烷等硝基鏈烷類，二乙胺、三乙胺、異丙胺、丁胺、異丁胺等胺類，甲醇、乙醇、正丙醇、異丙醇、正丁醇、異丁醇等醇類，甲基溶纖素、四氫呋喃、1，4-二噁烷等醚類。丙酮、甲基乙基甲酮、甲基丁基甲酮等酮類，乙酸乙酯、乙酸丙酯、乙酸丁酯等酯類中選擇1種或2種以上使用。通過添加這些溶劑1-80wt％，可使溶解力更加提高。作為本發(fā)明的低分子硅氧烷，在使用六甲基二硅氧烷的場(chǎng)合，可混合乙醇、甲醇、2-丙醇使用。在六甲基二硅氧烷和乙醇、甲醇或2-丙醇的混合物中，該混合物以其沸狀態(tài)組成(共沸組合物)或以與共沸近似的狀態(tài)組成是理想的。六甲基二硅氧烷以化學(xué)式(CH3)3SiOSi(CH3)3構(gòu)成，該硅氧烷的粘度為0.65CSt(25℃)。作為本發(fā)明適宜狀態(tài)的共沸組合物不能僅僅是將單獨(dú)兩個(gè)成份以上加以混合而得到，而應(yīng)當(dāng)成為具有共沸點(diǎn)的狀態(tài)，即共沸狀態(tài)的組成。這樣的共沸狀態(tài)組合物顯示出與其各個(gè)成份的沸點(diǎn)不同的一定的沸點(diǎn)，它具有在沸點(diǎn)變低的場(chǎng)合揮發(fā)速度提高；作為蒸發(fā)的結(jié)果，組合物和餾出物的比例大致不變化等優(yōu)良特性。具有這樣共沸狀態(tài)的組成在用乙醇的場(chǎng)合和常壓下為相對(duì)于六甲基二硅氧烷64.3～63.3wt％，乙醇是35.7～36.7wt％，在該范圍內(nèi)沸點(diǎn)為71.4℃。另一方面，在用甲醇的場(chǎng)合，相對(duì)于六甲基二硅氧烷58.9～59.3wt％，甲醇為40.7～41.1wt％，通過作出這樣的組成，其沸點(diǎn)比各成份的沸點(diǎn)降低成為58.7℃，同時(shí)揮發(fā)性提高，由于蒸發(fā)的組成和液相組成大致不變化，所以經(jīng)蒸發(fā)大體沒有組成變化，從而構(gòu)成安定的液體組成。此外，在由2-丙醇和六甲基二硅氧烷構(gòu)成的體系中，具有共沸狀態(tài)的組成為相對(duì)于六甲基二硅氧烷54.1～54.5wt％，2-丙醇是45.5～45.9wt％，其沸點(diǎn)低于各成份的沸點(diǎn)，為76.4℃，同時(shí)揮發(fā)性提高，由于蒸發(fā)組成和液體組成大致不變，所以經(jīng)蒸發(fā)大致沒有組成的變化，從而構(gòu)成穩(wěn)定的液態(tài)組成。另一方面，即使是在六甲基二硅氧烷30～95wt％、甲醇5～70wt％的范圍內(nèi)，六甲基二硅氧烷35～99wt％、乙醇1～65wt％的范圍內(nèi)，六甲基二硅氧烷25～95wt％、2-丙醇5～75wt％的范圍內(nèi)，與各成份相比其外觀沸點(diǎn)也同時(shí)降低(例如在六甲基二硅氧烷25wt％，2-丙醇75wt％時(shí)沸點(diǎn)為77.7℃)，經(jīng)蒸發(fā)沒有大的組成變化，作為擦拭精加工液、精密洗凈液和干燥液可以實(shí)用。在以上這樣的混合物中，一方面構(gòu)成要素的六甲基二硅氧烷對(duì)生物體的毒性小，且化學(xué)穩(wěn)定，對(duì)塑料和橡膠、金屬、玻璃等大體上沒有影響。并且因不含氯等鹵素，對(duì)臭氧層也沒有影響。另一方面構(gòu)成要素的乙醇、甲醇或2-丙醇有大的脫脂力，對(duì)油脂等污物進(jìn)行迅速排除。特別是乙醇，眾所周知對(duì)生物體的毒性小，還具有安全性高的特性。因此，由這樣的構(gòu)成要素組成的共沸或共沸類似物的組合物作為工業(yè)用部件擦拭用精加工液和精密洗凈液，以及洗凈后的干燥液均可以滿意地適用，在作為溶劑、干燥液的場(chǎng)合使用時(shí)容易進(jìn)行液體管理，且容易回收，可再使用，另外用于蒸汽洗凈也成為可能。在這樣的六甲基二硅氧烷和乙醇、甲醇或2-丙醇的混合物中，按上述配合比添加已述的安定劑是可能的。在此場(chǎng)合下，使共沸組合物和共沸類似物組合物安定化的效果是大的，并且經(jīng)蒸餾操作能同時(shí)餾出，或是說能形成共沸，這樣性質(zhì)的化合物是良好的。本發(fā)明的洗凈及干燥方法中的第1種方法是使用十二甲基五硅氧烷含量小于0.01％(重量)，并且比十二甲基五硅氧烷揮發(fā)性差的化合物，其實(shí)質(zhì)上被去除了低分子的硅氧烷。十二甲基五硅氧烷和比其揮發(fā)性差的化合物揮發(fā)性均極差，若微量含有這些化合物，則干燥后產(chǎn)生污漬、殘?jiān)?，?dǎo)致洗凈、干燥質(zhì)量的降低。在此場(chǎng)合，洗凈包括脫脂洗凈、精密洗凈、擦拭洗凈等各種洗凈。另一方面，干燥被列入洗凈物洗凈的最終工序中，在該最終工序之前，由使用表面活性劑等對(duì)被洗凈物脫脂、使用純水等進(jìn)行水洗凈、水洗凈后的醇置換(水置換工序)等歷來所進(jìn)行的種種洗凈處理組成，在這之后使用本發(fā)明的低分子硅氧烷作為精加工干燥液進(jìn)行干燥。添加到這些當(dāng)中的是，本發(fā)明還包括將上述低分子硅氧烷以蒸汽態(tài)在減壓狀態(tài)下供給被洗凈物，以進(jìn)行被洗凈物的洗凈和干燥。此處所說的“實(shí)質(zhì)上去除的狀態(tài)”意味著即使使用GC(氣相色譜法)、LC(液相色譜法)等一般的分離分析也檢測(cè)不出其含量。此外，作為把握揮發(fā)性的尺度，將蒸汽壓規(guī)定為大致的標(biāo)準(zhǔn)，其它是由考慮蒸發(fā)潛熱等進(jìn)行把握。在第1種方法中希望將六甲基二硅氧烷、八甲基三硅氧烷或八甲基環(huán)四硅氧烷作為希望的低分子硅氧烷，即使是這些低分子硅氧烷的混合體系也不可使用。使用低分子硅氧烷的理由是對(duì)生物體無毒性，化學(xué)穩(wěn)定，對(duì)塑料和橡膠、金屬、玻璃等大致無影響，并且因不含氯等鹵素，所以對(duì)臭氧層也沒有影響，安全性高。第1種方法是在洗凈工序，或水1換工序后，在上述精加工干燥液中進(jìn)行浸漬·提升，其后通過常溫放置、送風(fēng)或減壓蒸汽干燥等進(jìn)行干燥。這些干燥方法可以單獨(dú)或合并使用。在將低分子硅氧烷混合使用的場(chǎng)合，可能添加安定劑、溶劑，但是作為安定劑和溶劑所具備的性質(zhì)，能使所用干燥液安定化的效果好是必要的，更好的是經(jīng)蒸餾操作同時(shí)餾出或形成其沸為佳。第一種方法中所用的低分子硅氧烷是通過蒸餾·精餾和/或活性碳等吸附而除去十二甲基五硅氧烷等物的。該組合物由于十二甲基五硅氧烷小于0.01％(重量)，并且去除了比十二甲基五硅氧烷揮發(fā)性差的化合物，所以在進(jìn)行送風(fēng)、減壓蒸汽干燥等的干燥之后，不生產(chǎn)污漬、殘?jiān)?。?示出了在以下試驗(yàn)中更加確認(rèn)的含有微量揮性差成分對(duì)精加工狀態(tài)影響的結(jié)果。該試驗(yàn)在使用理論段數(shù)30段以上的蒸餾裝置所得到的氣相色譜純度99.999％以上的八甲基三硅氧烷和八甲基環(huán)四硅氧烷中每份加入0.001％(重量)的十二甲基五硅氧烷，在各自的液體中將清凈的滑動(dòng)玻璃浸漬提升進(jìn)行送風(fēng)干燥，然后進(jìn)行呼氣試驗(yàn)，即使用雙筒實(shí)體顯微鏡并由加以呼氣時(shí)變模糊的狀態(tài)來判斷污漬、殘?jiān)臓顟B(tài)。此外同樣每份加入0.001％(重量)的比十二甲基五硅氧烷分子量大，揮發(fā)性差的硅氧烷十四甲基六硅氧烷，進(jìn)行相同的試驗(yàn)。作為其評(píng)價(jià)記于表1，其中用雙筒實(shí)體顯微鏡觀察，經(jīng)呼氣試驗(yàn)后不能辨認(rèn)出污漬、殘?jiān)奈恢糜涀鳌啊稹保^察中辨認(rèn)出污漬、殘?jiān)奈恢糜涀鳌啊痢薄５潜?是由上述試驗(yàn)中選錄的。由該結(jié)果可以理解十二甲基五硅氧烷的含量多于0.01％(重量)時(shí)，或是比十二甲基五硅氧烷揮發(fā)性差的十四甲基六硅氧烷的含量即使是微量時(shí)，均產(chǎn)生污漬、殘?jiān)?。?</tables>(注)A成份…十二甲基五硅氧烷B成份…十四甲基六硅氧烷本發(fā)明的洗凈和干燥方法中的第2種方法是在被洗凈物洗凈的最終工序中，使用低分子硅氧烷作為漂洗液，當(dāng)被洗凈物在該漂洗液中浸漬、提升后，進(jìn)行蒸汽洗凈。該第二種方法使用實(shí)質(zhì)上不含十二甲基五硅氧烷和比十二甲基五硅氧烷高分子的直鏈狀硅氧烷、十二甲基環(huán)六硅氧烷和比十二甲基環(huán)六硅氧烷高分子的環(huán)狀硅氧烷，以及與它們同等以上分子量的有機(jī)化合物的低分子硅氧烷作為漂洗液。所渭“實(shí)質(zhì)上不含它們的狀態(tài)”與第1種方法相同，是指即使用GC、LC等一般的分離分析也檢驗(yàn)不出其含量。特別是第2種方法表明規(guī)定它們的含量低于100PPm(0.01％重量)。作為在第二種方法中的低分子硅氧烷，可使用直鏈狀硅氧烷、環(huán)狀硅氧烷的各種低分子硅氧烷單體或混合物，其中低分子二甲基硅氧烷為佳。在此，作為低分子二甲基硅氧烷要考慮揮發(fā)性、引火危險(xiǎn)性的場(chǎng)合，六甲基二硅氧烷、八甲基三硅氧烷或八甲基環(huán)四硅氧烷則是理想和實(shí)用的。這些低分子二甲基硅氧烷也可以兩種以上的混合體系使用。在這樣漂洗后進(jìn)行的蒸汽洗凈使用全氟化碳化合物作為蒸汽洗凈液。全氟化碳化合物是無色透明，無臭、惰性的液體，具有對(duì)橡膠、塑料的浸蝕性小、不燃燒、安全性高、而且對(duì)臭氧層破壞系數(shù)為○等優(yōu)良特性。該全氟化碳化合物考慮與前槽中所用漂洗液的相溶性、主要因沸點(diǎn)、蒸發(fā)熱等引起的熱特性、消耗量來進(jìn)行選擇。在考慮這些特性的場(chǎng)合，對(duì)于塑料等耐熱性差材質(zhì)的被洗凈物，沸點(diǎn)在100℃以下為佳，對(duì)于金屬、無機(jī)材料等的被洗凈物，由后步工序作業(yè)性的觀點(diǎn)出發(fā)沸點(diǎn)在150℃以下為佳。作為這樣的具有150℃以下沸點(diǎn)的全氟化碳化合物，可使用作本化學(xué)結(jié)構(gòu)式C6F14(沸點(diǎn)56℃)，C7F16(沸點(diǎn)80℃)，C8F18(沸點(diǎn)102℃)等當(dāng)中的1種或兩種以上的混合物。在第2種方法中，也可對(duì)作為漂洗液所用的低分子硅氧烷添加安定劑、溶劑，但是與第一種方法同樣，作為安定劑和溶劑以同時(shí)餾出的或形成共沸的為佳。第2種方法中所用的低分子硅氧烷通過蒸餾·精餾和/或活性碳等吸附的手段除去十二甲基五硅氧烷等。據(jù)此，在蒸汽洗凈工序中，在與附著在被洗凈物表面的漂洗液的界面處進(jìn)行浸透置換作用時(shí)，漂洗液和蒸氣的相溶作用產(chǎn)生置換作用。但是，在漂洗液內(nèi)含有與全氟化碳蒸汽難相溶化合物的場(chǎng)合，與漂洗液相溶的置換變難，產(chǎn)生污漬等殘?jiān)?。一般說來，全氟化碳和硅氧烷的相溶性在基本結(jié)構(gòu)相同的情況下，與其分子量成反比例，越是高分子相溶性越降低。第2種方法的漂洗工序所用的低分子硅氧烷如上述那樣實(shí)質(zhì)上去除了難相溶化合物，作為漂洗液的低分子硅氧烷和作為蒸汽洗凈液的全氟化碳的相溶性用下述試驗(yàn)確認(rèn)。向分別沸騰的基本化學(xué)結(jié)構(gòu)式為C7F16(沸點(diǎn)80℃)，C8F18(沸點(diǎn)102℃)的全氟化碳100ml中，分別按體積比50％添加直鏈狀硅氧烷八甲基三硅氧烷、十甲基環(huán)四硅氧烷、十四甲基六硅氧烷和十二甲基五硅氧烷，另外分別添加環(huán)狀硅氧烷八甲基環(huán)四硅氧烷、十甲基環(huán)五硅氧烷和十二甲基環(huán)六硅氧烷，進(jìn)行攪拌、加熱。而后確認(rèn)再沸騰時(shí)的狀態(tài)。結(jié)果示于表2。表2中，“×”分別表示硅氧烷和全氟化碳呈分離狀態(tài)，“△”分別表示硅氧烷和全氟化碳以白濁狀態(tài)混合，“○”分別表示硅氧烷和全氟化碳以透明狀態(tài)相溶。表2在上述漂洗液所用的低分子硅氧烷中，實(shí)質(zhì)上不含十二甲基五硅氧烷和比十二甲基五硅氧烷高分子的直鏈狀硅氧烷、十二甲基環(huán)六硅氧烷和比十二甲基環(huán)六硅氧烷高分子的環(huán)狀硅氧烷以及與它們同等以上分子量的有機(jī)化合物為佳。此外，在該漂洗液中浸漬·提升后，進(jìn)行使用全氟化碳化合物的蒸汽洗凈，因此可進(jìn)行良好的洗凈和精加工干燥?？墒怯肐PA蒸汽干燥則構(gòu)成的程序如下首先將被洗凈物用溶劑洗凈，然后用水系表面活性劑洗凈，用優(yōu)質(zhì)水洗凈，再用純水洗凈，然后為脫水用IPA液體洗凈，在最終的干燥工序中，通過將IPA蒸汽化并使之揮散而將被洗凈物干燥。但由于IPA蒸氣在具有引火性和爆炸性的同時(shí)，還對(duì)人體有害，所以不僅處理時(shí)要注意，回收設(shè)備的規(guī)模也大。對(duì)此本發(fā)明的發(fā)明人發(fā)現(xiàn)通過在脫水工序中，用低分子硅氧烷置換附著在被洗凈物上IPA等的親水性溶劑，完成其干燥，而不用IPA蒸氣干燥。作為此場(chǎng)合下的低分子硅氧烷，有上述的六甲基二硅氧烷、八甲基環(huán)四硅氧烷、八甲基三硅氧烷等。但是，這種將低分子硅氧烷用于最終工序干燥的洗凈，伴隨著重復(fù)洗凈，在被洗凈物上產(chǎn)生污漬和斑點(diǎn)。由于這樣用低分子硅氧烷將IPA等的親水性溶劑溶解并將該親水性溶劑除去，所以與洗凈次數(shù)增加的同時(shí)，低分子硅氧烷內(nèi)親水性溶劑的濃度增加，因所用親水性溶劑含有的水份，使低分子硅氧烷內(nèi)的含水率增加，等于是產(chǎn)生污漬、斑點(diǎn)。在本發(fā)明中，通過使親水性溶劑在水等分離液中與混入的低分子硅氧烷等非水系溶劑接觸，將親水性溶劑由非水系溶劑分離，附加了使非水系溶劑再生。因此在用于干燥的低分子硅氧烷等非水系溶劑中維持低含量的親水性溶劑，使在保持干燥力狀態(tài)下的循環(huán)使用成為可能。作為使用本方法的非水系溶劑以在常溫下具有揮發(fā)性，與親水性溶劑有相溶性為佳，本發(fā)明的低分子硅氧烷能充分滿足這樣的條件。此外分離液由于不溶于非水系溶劑，而且與親水性溶劑的相溶性也比非水系溶劑優(yōu)良，所以非水系溶劑在使用本發(fā)明的低分子硅氧烷的場(chǎng)合可選擇水或純水。親水性溶劑為進(jìn)行被洗凈物的脫水而使用，常常使用IPA等醇類作為該親水性溶劑，可是醇等的親水性溶劑吸濕性高，由于吸濕狀態(tài)，在進(jìn)行被洗凈物的液體浸漬的干燥時(shí)在被洗凈物表面產(chǎn)生殘?jiān)Ｒ虼?，在脫水后進(jìn)行干燥。干燥通過在非水系溶劑中浸漬完成。在這種干燥中，醇等親水性溶劑由玻璃透鏡、電氣基板等被洗凈物帶入非水系溶劑內(nèi)，也就是說附著在被洗凈物上的醇等親水性溶劑溶進(jìn)入非水系溶劑。在重復(fù)進(jìn)行這樣的洗凈之外，非水系溶劑中的親水性溶劑的濃度上升。在此，若將與醇等親水性溶劑的相溶性比非水系溶劑優(yōu)良的、比重比非水系溶劑大并且與非水系溶劑沒有相溶性的(不溶的)水等分離液混合，則溶于非水系中的醇等親水性溶劑與非水系溶劑相比被拉近具有親和性的分離液。結(jié)果分離成兩層，在下部是比非水系溶劑比重大的分離液和被拉近的親水性溶劑，而上部?jī)H存在非水系溶劑。因此，將親水性溶劑由非水系溶劑分離，可將非水系溶劑再生。再有，作為本發(fā)明的非水系溶劑要求與醇等親水性化合物的相溶性高，并且被洗凈物的干燥性高，而六甲基二硅氧烷、八甲基三硅氧烷、八甲基環(huán)四硅氧烷滿足這些特性。與親水性溶劑有高的相溶性是為將附著在被洗凈物上的親水性溶劑干凈地洗去所必要的。對(duì)非水系溶劑所要求的又一個(gè)特性的高干燥性可通過低分子量化達(dá)到。因此，硅化合物的分子量希望在1000以下。一般情況下硅化合物分子量與粘度有相關(guān)關(guān)系，如果是低分子量則為低粘度，高的干燥性可由低粘度的硅化合物得到。此場(chǎng)合下的粘度，在考慮干燥速度和與醇的相溶性的情況下，為5CSt(20℃)以下為佳，并以六甲基二硅氧烷、八甲基三硅氧烷、八甲基環(huán)四硅氧烷為最佳。大于該值則干燥性顯著變遲緩。圖1是本發(fā)明實(shí)施例14的洗凈、干燥流程圖，圖2是實(shí)施例14所用再生裝置的斷面圖，圖3是其分離槽的斜視圖，圖4是實(shí)施例14所用另一再生裝置的斷面圖，圖5是實(shí)施例15所用裝置的斷面圖。實(shí)施例1將市售的粘度為0.65CSt(25℃)的六甲基二硅氧烷(信越化學(xué)工業(yè)(株)制)加以精制除去雜質(zhì)。市售的六甲基二硅氧烷由氣相色譜法分析純度為97.5％水平，作為雜質(zhì)含有比十二甲基五硅氧烷難以揮發(fā)的硅氧烷和有機(jī)化合物等。這些雜質(zhì)有可能在需精加工洗凈的對(duì)稱物上成為殘?jiān)@就是有必要進(jìn)行處理以除去比十二甲基五硅氧烷難以揮發(fā)成份的原因。該雜質(zhì)的去除通過蒸餾、精餾、吸附劑等適宜手段進(jìn)行。由此使純度變成98.0％。表3是經(jīng)這樣制作的六甲基二硅氧烷、八甲基三硅氧烷、八甲基環(huán)四硅氧烷的試驗(yàn)結(jié)果，同表中的n、m表示上述式1和2中的n、m，另外粘度示出25℃時(shí)的。同表中使用氟里昂-乙醇共沸系液體、醚-乙醇的3∶1混合液作為比較例。表3以下說明在本實(shí)施例中的各個(gè)試驗(yàn)方法和評(píng)價(jià)基準(zhǔn)。(1)對(duì)各種材料的侵蝕性將由鋁、不銹鋼(SUS304)、銅、玻璃、PP(聚丙烯)、PC(碳酸酯)、PMMA(聚甲基丙烯酸甲酯)、ABS(丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物)原材料制成的板材分別浸在表3所示的各液中，48小時(shí)后進(jìn)行重量變化和外觀的檢查。其中，外觀檢查使用倍率為50倍的雙筒實(shí)體顯微鏡觀察有無裂縫產(chǎn)生。表3的“侵蝕性”欄中記載著結(jié)果，因同欄中，“○”表示相應(yīng)全部材料重量變化在0.1％以下并且沒有外觀變化，“×”表示相應(yīng)全部材料重量變化在0.1％以上且任何材料上均有外觀變化。此外在比較例的醚-乙醇混合混中，由PC、PMMA、ABS制成的板材上產(chǎn)生裂縫。(2)干燥速度將表3各液裝入燒杯，將玻璃板在其中浸漬后垂直提升觀察干燥狀態(tài)。作為玻璃板是在顯微鏡的制備樣品中使用的滑動(dòng)玻璃，將其一表面磨成模糊狀使用。結(jié)果示于表3的“干燥速度”欄，“○”表示在60秒內(nèi)干燥終了的，“×”表示需要干燥61秒以上的。(3)脫脂力使在玻璃板上附著1cm2面積的指紋(皮脂)，將表3各3cc的液體浸沾在綿布(5cm×5cm)上，用一定力量擦拭玻璃板以試驗(yàn)脫脂力。此時(shí)，記錄指紋污斑退去時(shí)的擦拭次數(shù)。將結(jié)果示于表3的“脫脂力”欄，“○”為到指紋退去的次數(shù)在5次以下的，“×”為到指紋退去的次數(shù)在6次以上的。(4)安全性在表3各液體的“對(duì)環(huán)境”欄中記載了有無環(huán)境破壞?！啊稹北硎緵]有環(huán)境破壞的，“×”表示有環(huán)境破壞的。在表3的“對(duì)人體”欄中記載了對(duì)人體的有害性。“○”表示沒有生理學(xué)活性的，“△”表示生理學(xué)活性弱的，“×”表示生理學(xué)活性強(qiáng)的。接著，在手工研磨時(shí)引入表3實(shí)施例欄的各液，對(duì)PMMA、加玻璃填料的PC、PP、ABS的塑料板進(jìn)行擦拭精加工，但對(duì)任何塑料板也沒有侵蝕性，結(jié)果良好。再有，當(dāng)用純度為98％的六甲基二硅氧烷對(duì)附著在上述各塑料板上的指紋進(jìn)行擦拭時(shí)，能夠從全部塑料板上除去指紋。其它即使是八甲基三硅氧烷、八甲基環(huán)四硅氧烷也能獲得同樣的洗凈效果。實(shí)施例2將市售的六甲基二硅氧烷通過蒸餾、精餾、吸附劑精制，除去作為雜質(zhì)混入的比六甲基二硅氧烷難以揮發(fā)的碳化氫系化合物、粘度1CSt(25℃)以上的硅氧烷等。這是因?yàn)檫@些雜質(zhì)有可能在被洗凈物上生成殘?jiān)?。?jīng)過精制得到的六甲基二硅氧烷的純度用氣相色譜法分析為99.0％以上。另外，該六甲基二硅氧烷的粘度為0.65CSt(25℃)。將由此精制的六甲基二硅氧烷和純度99.5％以上的乙醇各100g分別加入蒸餾燒瓶中共200g，使用理論段數(shù)為30段的精餾塔在常壓下精餾。通過該精餾得到71.4℃下的共沸餾分。然后將該餾分用氣相色譜法分析得到其組成為六甲基二硅氧烷64.3～63.3％，乙醇35.7～36.7％另外在本實(shí)施例中可添加安定劑。作為安定劑，例如可將硝基甲烷、硝基乙烷、硝基丁烷等脂族硝基化合物，3-甲基-1-丁炔-3-醇、3-甲基-1-戊炔-3-醇等炔醇類，糖醇、甲基縮水甘油醚、丙烯基縮水甘油醚、苯基縮水甘油醚、1，2-二甲基環(huán)氧乙烷、環(huán)氧己烯、3-氯-1，2-環(huán)氧丙烷等環(huán)氧化物類，二甲氧基甲烷、1，2-二甲氧基乙烷、1，4-二噁烯、1，3，5-三噁烯等醚類，己烯、庚烷、辛烯、2，4，4-三甲基-1-戊烯、戊二烯、辛二烯、環(huán)己烯、環(huán)戊烯等不飽和碳化氫類，烯丙醇、1-丁烯-3-醇、3-甲基-1-丁烯-3-醇等烯系醇類，丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、丙烯酸丁酯等丙烯酸酯類單獨(dú)使用或2種以上并用。此外，將這些化合物和苯酚、三甲苯酚、環(huán)己基苯酚、百里香酚、2，6-二-叔丁基-4-甲基苯酚、丁基羥基甲氧基苯、對(duì)丙烯基鄰甲氧基苯酚等苯酚類，己胺、戊胺、二丙胺、二異丙胺、二異丁胺、三甲胺、三丁胺、吡啶、N-甲基嗎啉、環(huán)己基胺、2，2，6，6-四甲基哌啶、N，N’-二烯丙基-對(duì)苯二胺等胺類，苯并三唑、2-(2’-羥基-5’-甲苯基)苯并三唑、氯苯并三唑等三唑類等并用也佳。通過添加上述安定劑，可在性能等不劣化的情況下賦予更加安定的特性。實(shí)施例3實(shí)施例2中精制的六甲基二硅氧烷以99.0～10.0wt％的范圍、并且乙醇以1.0～99.0wt％的范圍，每隔1wt％變化其配合比，制成200g混合物，測(cè)定這些混合物的沸點(diǎn)。將結(jié)果示于表4的“蒸餾前”欄和“觀測(cè)沸點(diǎn)”欄。在表4中，六甲基二硅氧烷的配合比在35.0wt％以上的混合物，相對(duì)于實(shí)施例2的共沸組合物的共沸點(diǎn)(71.4℃)，其沸點(diǎn)的增加不足1.0℃，構(gòu)成了與實(shí)施例2的共沸組合物同樣可實(shí)施的共沸類似物組合物，以下記為實(shí)施例3的制造物。再有，在本實(shí)施例中也可添加實(shí)施例2所示的安定劑。表4實(shí)施例4實(shí)施例2精制的六甲基二硅氧烷以99.0～10.0wt％的范圍，并且乙醇以1.0～90.0wt％的范圍，每隔1wt％變化其配合比制成200g混合物。然后將這些混合物分別倒入蒸餾燒瓶單一蒸餾此外在其蒸餾時(shí)用氣相氣譜法分析蒸餾前、餾出物、殘留殘液。將結(jié)果示于實(shí)施例3中的表4。再有，在表4中每隔wt％改變配合比的當(dāng)中。僅將一部份抽出記載。若將蒸餾前的組成與餾出物的組成相比較，六甲基二硅氧燒在70.0～55.0wt％，而乙醇在30.0～45.0wt％的范圍內(nèi)構(gòu)成5wt％以下的組成變化，在這5wt％組成變化的范圍內(nèi)的餾出物作為共沸類似物組合物，與實(shí)施例2同樣可以實(shí)施，以下記為實(shí)施例4的制造物。再有，在本實(shí)施例4中與實(shí)施例1同樣也添加安定劑。實(shí)施例5本實(shí)施例5對(duì)關(guān)于實(shí)施例3和4的制造物的檢查做說明。首先，將實(shí)施例2的餾份和實(shí)施例3的制造物供入手工研磨作為擦拭用精加工液使用。作為擦拭的對(duì)象，使用分別由PMMA(聚甲基丙烯酸甲酯)、加玻璃填料的PC(聚碳酸酯)、PP(聚丙烯)和ABS(丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物)制成的塑料板，對(duì)這些塑料板的表面擦拭精加工。其結(jié)果對(duì)任何塑料板都沒有侵蝕性等問題。其次，將由上述塑料制成的5×50×2mm尺寸的試驗(yàn)片放入玻璃瓶?jī)?nèi)，將每隔1wt％變化配比的實(shí)施例2的混合液100g充填入內(nèi)，在常溫常濕下放置48小時(shí)取出，研究各試片的重量變化和外觀變化。此外，同樣使用醚與乙醇的混合液(醚∶乙醇＝3∶1)和氟里昂113比作為較例。將結(jié)果示于表5。在此表中，“○”分別表示重量變化不足1％且沒有裂縫和溶解發(fā)生的結(jié)果，“△”分別表示重量變化在1％以上且有裂縫和溶解發(fā)生的結(jié)果。再有，在表5中六甲基二硅氧烷和乙醇每隔1wt％的配合比內(nèi)，僅抽出一部份記載。表5<>再將玻璃透鏡、由PMMC和PC制成的塑料透鏡以及鋁作為洗凈物用下述方法洗凈。即首先在減皂化劑中邊施加超聲波邊將洗凈物脫脂，然后在表面活性劑中邊施加超聲波邊再脫脂。然后在優(yōu)質(zhì)水中邊施加超聲波邊進(jìn)行水洗凈以除去表面活性劑，再在純水中邊施加超聲波邊洗凈，除去優(yōu)質(zhì)水的離子和污物以提高洗凈度。然后作為純粹的脫水，用IPA洗凈。這以后，使用實(shí)施例2所得的餾份和實(shí)施例4的制造物作為精加工用的干燥液，在該干燥液中浸漬洗凈物，再提升干燥。在以上工序后，進(jìn)行洗凈物的精加工檢查。在此場(chǎng)合，將在精加工干燥中使用IPA蒸汽的作為比較例。無論是在實(shí)施例2的餾份和實(shí)施例4的制造物哪一個(gè)當(dāng)中，均沒有洗凈物的劣化和到洗凈物上的殘?jiān)?，得到了良好的結(jié)果。實(shí)施例6將市售的六甲基二硅氧烷通過蒸餾、精餾、吸附劑精制，除去作為雜質(zhì)混入的比十二烷基五硅氧烷難以揮發(fā)的硅氧烷等。經(jīng)過該精制所得到的六甲基二硅氧烷的純度用氣相色譜法分析為99.0％以上。此外，該六甲基二硅氧烷的粘度為0.65CSt(25℃)。將經(jīng)過這樣精制的六甲基二硅氧烷和甲醇的重量比為1∶1的混合物200g加入蒸餾瓶，使用理論段數(shù)為30段的精餾塔于常壓下進(jìn)行蒸餾。由此蒸餾于58.7℃得到共沸餾份。然后將該餾份通過氣相色譜法分析得到的組成為六甲基二硅氧烷58.9～59.3wt％，甲醇40.7～41.1wt％。此外，制成六甲基二硅氧烷30～95wt％，甲醇5～70wt％的組合物作為共沸類似物組合物。再有，在本實(shí)施例中可添加安定劑。作為安定劑，可使用由硝基甲烷、硝基乙烷、硝基丙烷等脂族硝基化合物，3-甲基-1-丁炔-3-醇、3-甲基-1-戊炔-3-醇等炔醇類、糖醇、甲基縮水甘油醚、烯丙基縮水甘油醚、苯基縮水甘油醚、1，2-二甲基環(huán)氧乙烷、環(huán)氧己烯、3-氯-1，2-環(huán)氧丙烷等環(huán)氧化物類，二甲氧基甲烷、1，2-二甲氧基乙烷、1，4-二噁烯、2，4，4-三甲基-1-戊烯、戊二烯、辛二烯、環(huán)己烯、環(huán)戊烯等不飽和碳化氫類，烯丙醇、1-丁烯-3-醇、3-甲基-1-丁烯-3-醇等烯系醇類，丙烯酸甲酯、丙烯酸丁酯等丙烯酸酯類，苯酚、三甲基苯酚、環(huán)己基苯酚、百里香酚、2，6-二-叔丁基-4-甲基苯酚、丁基羥基甲氧基苯、對(duì)丙烯基鄰甲氧基苯酚等苯酚類，和己胺、戊胺、二丙胺、二異丙胺、二異丁胺、三甲胺、三丁胺、吡啶、N-甲基嗎啉、環(huán)己胺、2，2，6，6-四甲基哌啶、N-N’-二烯丙基-對(duì)苯二胺等胺類，苯并三唑、2-(2’-羥基-5’-甲苯基)苯并三唑、氯苯并三唑等三唑類等中選擇的至少1種。通過添加這樣的安定劑，可在看不出性能等劣化的情況下，賦予更加安定化的特性。實(shí)施例7將實(shí)施例6精制的六甲基二硅氧烷和2-丙醇的重量比為1∶1的混合物200g加入蒸餾燒瓶，使用理論段數(shù)為30段的精餾于常壓下進(jìn)行蒸餾。往此蒸餾于76.4℃得到共沸餾份。然后將該餾份通過氣相色譜法分析，其組成為六甲基二硅氧烷54.1～54.5wt％，2-丙醇45.5～45.9wt％。此外，制得由六甲基二硅氧烷25～95wt％，2-丙醇5～75wt％的組合物作為共沸類似物組合物。對(duì)它們也可添加實(shí)施例6所示的安定劑和/或溶劑，經(jīng)過添加它們性能不劣化，可賦予更加安定的特性和使溶解力增大。實(shí)施例8本實(shí)施例對(duì)有關(guān)實(shí)施例6和實(shí)施例7的組合物的檢查做說明。首先，將實(shí)施例6和實(shí)施例7的餾份和同等組成的組合物加入手工研磨容器作為擦拭用精加工液使用。使用分別由PMMA(聚甲基丙烯酸甲酯)、加入玻璃填料的PC(聚碳酸酯)、PP(聚丙烯)和ABS(丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物)制成的塑料板作為手拭的對(duì)象。結(jié)果對(duì)任何塑料板都沒有侵蝕性等問題。其次，將由上述塑料制成的5×50×2mm尺寸的試片裝入玻璃瓶，充填表6所示組成的混合液100g，于常溫常濕下放置48小時(shí)取出，研究各試片的重量變化和外觀變化。此外作為比較例，同樣使用醚和乙醇的混合液(醚∶乙醇＝3∶1)的以及氟里昂113。將結(jié)果示于表6。在同表中，“○”分別表示重量變化不足1％且不發(fā)生裂縫、溶解的結(jié)果，“△”分別表表示重量變化在1％以上且不發(fā)生裂縫、溶解的結(jié)果，“×”分別表示重量變化在1％以上且有裂縫、溶解發(fā)生的結(jié)果。表6<p>將實(shí)施例6和實(shí)施例7的組合物加入手工研磨容器，從手工研磨容器中適量沾入擦凈紙，用該擦凈紙手拭光學(xué)芯取加工后附著有芯取油的光學(xué)透鏡。結(jié)果得到了在可將芯取油完全除去并可將光學(xué)途鏡洗凈的同時(shí)，也不在光學(xué)透鏡上產(chǎn)生斑點(diǎn)的良好結(jié)果。此外，當(dāng)用實(shí)施例6和實(shí)施例7的共沸類似物組合物進(jìn)行同樣試驗(yàn)時(shí)，得到良好的結(jié)果。再將玻璃透鏡、由PMMC和PC制成的透鏡和鋁作為被洗凈物按下述程序洗凈。即首先在減皂化劑中邊施加超聲波邊將洗凈物脫脂，然后在表面活性劑中邊施加超聲波邊再次脫脂。此后在商品水中邊施加超聲波邊進(jìn)行水洗凈以除去表面活性劑，再在純水中邊施加超聲波邊洗凈，除去商品水的離子和污物以提高洗凈度。然后作為純水的脫水，用IPA(2-丙醇)洗凈。此后，使用實(shí)施例6和實(shí)施例7所得的餾分和共沸類似物組合物作為精加工用的干燥液，在該干燥液中浸漬洗凈物、提升并干燥。在以上工序后進(jìn)行洗凈物的精加工檢查。在此場(chǎng)合，將在精加工干燥中使用IPA蒸汽作為比較例。在任何實(shí)施例6和實(shí)施例7的餾分和共沸類似物組合物中都沒有洗凈物的劣化和在洗凈物上的殘?jiān)?，達(dá)到了良好的結(jié)果。實(shí)施例9將玻璃透鏡，由聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)和聚碳酸酯(PC)構(gòu)成的塑料、鋁制金屬部件按照以下程序洗凈。首先，在堿皂化劑中邊施加超聲波邊將洗凈物脫脂，然后在表面活性劑中邊加超聲波邊再次脫脂。此后在優(yōu)質(zhì)水中邊施加超聲波邊進(jìn)行水洗凈以除去表面活性劑，再在純水中邊施加超聲波邊洗凈，除去優(yōu)質(zhì)水的離子和污物以提高洗凈度。然后作為純水的脫水，用IPA洗凈。最后使用將八甲基三硅氧烷用理論段數(shù)為30段以上的蒸餾器得到的餾出液作為精加工干燥液，在此干燥液中浸漬洗凈物，將其提升，然后送風(fēng)干燥。將上述本實(shí)實(shí)例所用的精加工干燥液用氣相色譜分析時(shí)，十二甲基五硅氧烷為0.009％，未分析出比十二甲基五硅氧烷揮發(fā)性差的化合物。氣相色譜分析的條件如下使用商品名為GC14A(株式會(huì)社島津制作所)的氣相色譜儀，注入溫度定為260℃，檢出溫度定為280℃，同時(shí)由50℃至250℃以10℃/分升溫，使用FID檢出器OV-1毛細(xì)管柱進(jìn)行。用雙筒實(shí)體顯微鏡實(shí)施呼氣試驗(yàn)作為精加工干燥狀態(tài)的評(píng)價(jià)。結(jié)果未辨認(rèn)出污漬、殘?jiān)龋砻骺蛇M(jìn)行良好的精加工干燥。再用十二甲基五硅氧烷為0.008wt％以下，實(shí)質(zhì)上不含比十二甲基五硅氧烷揮發(fā)性差的化合物的八甲基環(huán)四硅氧烷進(jìn)行同樣的精加工干燥，也得到良好的結(jié)果。實(shí)施例10將玻璃透鏡、由PMMC和PC制成的塑料透鏡、鋁制金屬部件按照以下程序洗凈。首先，在堿皂化劑中邊施加超聲波邊將洗凈物脫脂，然后在表面活性劑中邊施加超聲波邊再次脫脂。此后在優(yōu)質(zhì)水中邊施加超聲波邊進(jìn)行水洗凈以除去表面活性劑，再在純水中邊施加超聲波邊洗凈，除去優(yōu)質(zhì)水中的離子和污物以提高洗凈度。然后作為純水的脫水，用IPA洗凈。最后使用將八甲基環(huán)四硅氧烷用理論段數(shù)為30段以上的蒸餾器得到的餾出液作為干燥液，在此干燥液中浸漬洗凈物，將其提升，然后送風(fēng)干燥。將本實(shí)施例所用精加工干燥液用氣相色譜法進(jìn)行分析時(shí)，十二甲基五硅氧烷為0.009％，未分析出比十二甲基五硅氧烷揮發(fā)性差的化合物。本實(shí)施例中也與實(shí)施例9同樣，通過雙筒實(shí)體顯微鏡和呼氣試驗(yàn)作為精加工干燥狀態(tài)的評(píng)價(jià)。結(jié)果未辨認(rèn)出污漬、殘?jiān)?，表明可進(jìn)行良好的精加工干燥。實(shí)施例11將玻璃透鏡、由PMMC(聚甲基丙烯酸甲酯)和PC(聚碳酸酯)制成的塑料透鏡、鋁制金屬部件按照以下程序洗凈。首先在堿皂化劑中邊施加超聲波邊將被洗凈物脫脂洗凈，然后在表面活性劑中邊施加超聲波邊再次脫脂。此后在優(yōu)質(zhì)水中邊施加超聲波邊進(jìn)行水洗凈以除去表面活性劑，再在純水中邊施加超聲波邊洗凈，以除去優(yōu)質(zhì)水中的離子和污物以提高洗凈度。然后作為純水的脫水，用IPA洗凈。在此，作為堿皂化劑使用堿性水系洗凈劑的商品名為“EE-1120”(奧林帕斯光學(xué)工業(yè)株式會(huì)社)，作為表面活性劑使用水系活性劑的商品名為“EE-1100”(奧林帕斯光學(xué)工業(yè)株式會(huì)社)，并分別將它們稀釋8倍使用。此外，超聲波發(fā)生裝置使用28KHz，600W輸出功率的。洗凈通道按每個(gè)槽3分鐘進(jìn)行，槽的構(gòu)成為堿皂化劑2槽，表面活性劑2槽，純水3槽，IPA2槽。而且最后將八甲基三硅氧烷使用理論段數(shù)為30段以上的蒸餾器所得到的餾出液用作漂洗液，進(jìn)行浸漬、提升，然后用基本化學(xué)結(jié)構(gòu)式為C7F16的全氟化碳(沸點(diǎn)80℃)進(jìn)行蒸汽洗凈。將本實(shí)施例所用漂洗液用GC進(jìn)行分析時(shí)，十二甲基五硅氧烷含量為0.009％，未分析出比十二甲基五硅氧烷更高分子的直鏈狀硅氧烷、十二甲基環(huán)六硅氧烷和比十二甲基環(huán)六硅氧烷高分子的環(huán)狀硅氧烷，以及與它們同等以上分子量的有機(jī)化合物。再有，使用GC的分析用的是商品名“GC14A”(株式會(huì)社島津制作所)，注入溫度定為260℃，檢出器溫度定為280℃，由50℃至250℃以10℃/分升溫，使用FID檢出器、OV-1毛細(xì)管柱進(jìn)行。作為精加工干燥狀態(tài)的評(píng)價(jià)，使用雙筒實(shí)體顯微鏡實(shí)施呼氣試驗(yàn)。結(jié)果未辨認(rèn)出污漬、殘?jiān)?，可確認(rèn)是良好的精加工干燥狀態(tài)。實(shí)施例12將玻璃透鏡，鋁制金屬部件按照以下程序洗凈。首先在堿皂化劑中邊施加超聲波邊將被洗凈物脫脂，然后在表面活性劑中邊施加超聲波邊再次脫脂。此后在優(yōu)質(zhì)水中邊施加超聲波邊進(jìn)行水洗凈以除去表面活性劑，再在純水中邊施加超聲波邊洗凈，以除去優(yōu)質(zhì)水的離子和污物程高洗凈度。然后作為純水的脫水，用IPA洗凈。這些處理按照與實(shí)施例11同樣的條件進(jìn)行。然后將八甲基環(huán)四硅氧烷使用理論段數(shù)為30段以上的蒸餾器得到的餾出液用作漂洗液，進(jìn)行浸漬、提升，然后用基本結(jié)構(gòu)式為C8F18的全氟化碳(沸點(diǎn)102℃)進(jìn)行蒸汽洗凈。將本實(shí)施例所用的漂洗液用GC進(jìn)行分析時(shí)，十二甲基五硅氧烷的含量為0.009％，比十二甲基硅氧烷高分子的直鏈狀硅氧烷，十二甲基環(huán)六硅氧烷和比十二甲基環(huán)六硅氧烷高分子的環(huán)狀硅氧烷，以及與它們同等以上分子量的化合物未被發(fā)現(xiàn)。再有，用GC的分析條件與實(shí)施例11相同。作為精加工狀態(tài)的評(píng)價(jià)與實(shí)施例11相同，使用雙筒實(shí)體顯微鏡實(shí)施呼氣試驗(yàn)。結(jié)果未辨認(rèn)出污漬、殘?jiān)?，可確認(rèn)是良好的精加工干燥狀態(tài)。實(shí)施例13將玻璃透鏡、由PMMC和PC制成的塑料透鏡、鋁制金屬部件按照以下的程序洗凈。首先在堿皂化劑中邊施加超聲波邊脫脂，然后在表面活性劑中邊施加超聲波邊脫脂。此后在優(yōu)質(zhì)水中邊施加超聲波邊進(jìn)行水洗凈以除去表面活性劑，再在純水中邊施加超聲波邊洗凈，以除去優(yōu)質(zhì)水中的離子和污物以提高洗凈度。然后作為純水的脫水，用IPA洗凈。這些處理在與實(shí)施例11相同的條件下進(jìn)行。然后將十甲基四硅氧烷使用30段以上理論段數(shù)的蒸餾器所得到的餾出液用作漂洗液，進(jìn)行浸漬、提升，然后用基本化學(xué)結(jié)構(gòu)式為C6F14的全氟化碳(沸點(diǎn)56℃)進(jìn)行蒸汽洗凈。將本實(shí)施例所用的漂洗液用GC進(jìn)行分析時(shí)，十二甲基五硅氧烷的含有率為0.008wt％，未分析出比十二甲基五硅氧烷高分子的直鏈狀硅氧烷、十二甲基環(huán)六硅氧烷和比十二甲基環(huán)六硅氧烷高分子的環(huán)狀硅氧烷、以及與它們同等以上分子量的有機(jī)化合物。再有，使用GC的分析條件與實(shí)施例11相同。作為精加工干燥狀態(tài)的評(píng)價(jià)，與實(shí)施例11同樣使用雙筒實(shí)體顯微鏡并實(shí)施呼氣試驗(yàn)。結(jié)果未辨認(rèn)出污漬、殘?jiān)?，可確認(rèn)是良好的干燥狀態(tài)。再有，實(shí)施例11，12，13中所用的蒸汽洗凈前的低分子硅氧烷，由于設(shè)定十二甲基五硅氧烷的含有率為小于0.001wt％，并且實(shí)質(zhì)上除去了比十二甲五硅氧烷還高分子的直鏈狀硅氧烷、十二甲基環(huán)六硅氧烷和比十二甲基六硅氧烷高分子的環(huán)狀硅氧烷，所以在將被洗凈物進(jìn)行蒸汽干燥之際，附著的低分子硅氧烷和蒸汽洗凈劑的全氟化碳的相溶性良好，進(jìn)行良好的置換，使精加工干燥成為良好。此外在以上實(shí)施例11、12、13中可使用六甲基二硅氧烷。由于該六甲基二硅氧烷揮發(fā)性良好，所以可單獨(dú)使用，但可作為洗凈和干燥系統(tǒng)一環(huán)列，入使用全氟化碳的蒸汽洗凈中。(侵蝕性評(píng)價(jià))以下評(píng)價(jià)以上實(shí)施例9-13所用低分子硅氧烷對(duì)被洗凈物材質(zhì)的塑料的影響。此項(xiàng)評(píng)價(jià)通過將分別用丙烯基樹脂(PMMA)、加入玻璃填料的聚碳酸酯(PC)、聚丙烯樹脂(PP)、丙烯腈-丁二烯-苯乙烯(ABS)制成的試片(5×50×2mm)放入玻璃瓶?jī)?nèi)，用實(shí)施例9-13的低分子硅氧烷液充滿，在常溫常濕下放置48小時(shí)，取出后研究重量變化和外觀變化來進(jìn)行。作為比較例，使用氟里昂113(ダィキン工業(yè)株式會(huì)社)和IPA，并進(jìn)行同樣檢查。將結(jié)果示于表7。在同表中，“○”表示重量變化不足1％，“△”表示重量變化在1％以上但沒有外觀變化，“×”表示重量變化在1％以上且有裂縫等外觀變化。表實(shí)施例14圖1示出不用IPA蒸汽干燥但仍進(jìn)行干燥的實(shí)施例的流程圖，在干燥中使用對(duì)低分子硅氧烷等非水系溶劑的浸漬。在同圖的洗凈工序中，用洗劑除去附著在由透鏡等光學(xué)部件上的切削油、指紋等有機(jī)物污物或氧化鈰、塵土等無機(jī)物污物。在漂洗工序中，用優(yōu)質(zhì)水或純水將洗劑洗去。在脫水工序中，用IPA置換附著在洗凈物上的水。在干燥工作中，將被洗凈物浸漬在非水系溶劑中用非水系溶劑置換IPA。提升后用清凈的空氣作溫風(fēng)干燥，或者進(jìn)行使用減壓狀態(tài)下的蒸汽的干燥以完成洗凈。溫風(fēng)干燥在將脫水工序中所用IPA于低分子硅氧烷等非水系溶劑中浸漬之后進(jìn)行。也就是說，對(duì)于以在低分子硅氧烷中浸漬過的透鏡、棱鏡等光學(xué)部件為首的被洗凈物，或是將通過紙濾器的清凈空氣(80℃)進(jìn)行送風(fēng)，或是使被洗凈物在清凈空氣的氣氛內(nèi)通過，以將低分子硅氧烷氣化。減壓狀態(tài)下的蒸汽干燥是在減壓的密閉氣氛內(nèi)將低分子硅氧烷以蒸汽形態(tài)導(dǎo)入進(jìn)行干燥。這種減壓狀態(tài)下的蒸汽干燥如下述實(shí)施例15中所說明的那樣，在封閉系統(tǒng)中進(jìn)行。作為在減壓狀態(tài)下的蒸汽干燥中所用的低分子硅氧烷是八甲基三硅氧烷、六甲基二硅氧烷、八甲基環(huán)四硅氧烷等，通過將這些市售品蒸餾、精制，制成99.9％以上高純度使用。這些低分子硅氧烷因?yàn)槠渥陨砭哂忻撝Γ圆粌H可在與干燥的同時(shí)高品位地洗凈，而且僅進(jìn)行減壓狀態(tài)下的蒸汽干燥就可除去輕微的污物和油的附著。圖2和圖3示出了本實(shí)施例干燥工序所用低分子硅氧烷等非水系溶劑的再生裝置。圖2中，11是洗凈槽，由內(nèi)槽和外槽組成，在外槽13的外側(cè)底部中央設(shè)有超聲波發(fā)生器14。外槽13由于接住了由內(nèi)槽12溢出的低分子硅氧烷等非水性溶劑，所以在內(nèi)槽12的外槽13間隙中的外槽13的底部，接續(xù)著非水系溶劑15的回收導(dǎo)管16?；厥諏?dǎo)管16接到分離槽17的下部，其前端構(gòu)成非水系溶劑排出管18，延伸到分離槽17內(nèi)。在分離槽17內(nèi)，非水系溶劑15和由水構(gòu)成的分離液19因其比重差呈上下分離的狀態(tài)存留。非水系溶劑排出管18配置在分離槽17下方存留分離液19的收容部位，為使回收導(dǎo)管16回收的非水系溶劑15中所含的IPA在分離液19中有效溶解，開有多個(gè)放出孔20(參看圖3)在收納非水系15的分離槽17上側(cè)面處，接有再生循環(huán)管21，另一端由外槽13的底部接在內(nèi)槽12的底部。再生液循環(huán)管21內(nèi)的途中配置泵22和過濾器23，使非水系溶劑15沿洗凈槽11→分離槽17→洗凈槽11的路線循環(huán)。過濾器23是為除去液中的微粒子。分離槽17設(shè)有上蓋24，在上蓋24上，安裝著作為非水系溶劑15液面測(cè)量用傳感器的浮動(dòng)開關(guān)25和與新的非水系統(tǒng)劑15的補(bǔ)給槽26連通的補(bǔ)給管道27。在補(bǔ)給管道27中設(shè)有閥28，通過浮動(dòng)開關(guān)一旦測(cè)得非水系溶劑15的液面降低時(shí)，便開啟閥28，通過浮動(dòng)開關(guān)25一旦測(cè)得非水系溶劑15的液面降低時(shí)，便開啟閥28，使非水系溶劑15的新液由補(bǔ)給槽26供給分離槽17。在分離槽給管29與圖中未示出的純水供給裝置連接，分離液排出管30與圖中未示出的排水貯藏罐連接。在分離液供給管29和分離液排出管30中分別設(shè)有閥31和閥32，分離液19可不受約束地供給和排出。并且在分離槽17內(nèi)，通過分離液供給管道29由純水供給裝置供給的水存留二分之一程度作為分離液。在以上構(gòu)成的再生裝置中，在前步工序的脫水工序中與水置換的附著在洗凈物上的IPA，通過在洗凈槽11的內(nèi)槽12的非水系溶劑15中浸漬而溶解混入非水系溶劑15，從而由被洗凈物上去除。由內(nèi)槽12上部溢出流入外槽13內(nèi)的混入IPA的非水系溶劑15，通過回收管路16由非水系溶劑排出管18的放出孔20放出到分離液19中。該分離液19由于與非水系溶劑15相比與IPA的相溶性高，所以在經(jīng)過分配干衡非水系溶劑15通過分離液19之中到達(dá)上面的期間，非水系溶劑15中的IPA溶解到分離液19中，而再生的非水系溶劑15的液層則上浮到分離液19之上。此外，因?yàn)榉懦隹?0尺寸小，所以由放出孔20放出的非水系溶劑15成為小的粒子在分離液19中上浮。在此上浮過程中非水系溶劑和分離液的接觸面積增大，非水系溶劑中的IPA以良好的效率被吸收到分離液中。分離槽17上層的非水系溶劑15通過再生液循環(huán)管道21由洗凈槽11的底部供入內(nèi)槽12內(nèi)。另一方面，混入IPA的分離液19通過分離液排出管道30定期排出排到貯藏罐內(nèi)，與此同時(shí)將分離液19由純水供給裝置通入供給，從而將分離槽17的分離液19的液面高度維持一定，并將混入的IPA濃度維持在一定值以下。使用這種再生裝置，將再生的非水系溶劑15中的IPA濃度通過氣相色譜法分析的結(jié)果可確認(rèn)將在不使用再生裝置連續(xù)洗凈場(chǎng)合下IPA濃度逐漸增大的非水系溶劑，通過用再生裝置保持IPA濃度不足1％。表8示出作為本實(shí)施例14的非水系溶劑選樣六甲基二硅氧烷，與IPA蒸汽作比較的情況下的安全性。另外使用八甲基三硅氧烷、八甲基環(huán)四硅氧烷的場(chǎng)合，也全都可得到同樣的效果。表8圖4表示將非水系溶劑再生的另一再生裝置。在同圖中，為干燥被洗凈物所使用的非水系溶劑的填充干燥槽51設(shè)置了溢出槽60，分離槽52通過管道連接在該溢出槽60上。分離槽52通過隔離板73、74隔離構(gòu)成由第1槽52a、第2槽52b和第3槽52c組成的三槽構(gòu)造。這些槽按第1槽52a、第2槽52b，第3槽52c的順序階段地變低，成為低槽接納由高槽溢出的非水系溶劑的樣式。第1槽52a將非水系溶劑與混入該溶劑中的親水性溶劑進(jìn)行分離，在其內(nèi)部充填作為分離液的純水77。來自溢出槽60的非系溶劑由設(shè)在該第1槽52a下部部分的液體入口72供入第1槽52a內(nèi)。在過樣的第1槽52a的內(nèi)部設(shè)有多個(gè)分離板71。該多個(gè)分離板相互對(duì)向，同時(shí)以傾斜的狀態(tài)設(shè)于第1槽的內(nèi)部，由液體入口72供入的非水系溶劑78因與純水的比重差沿分離板71一邊上升，存在第1槽52的上部，然后溢出流入第2槽52b。在分離槽52中的第2槽52b和52c中，為使流入各槽的非水系溶劑和餾出的非水系溶劑不相混合而進(jìn)行劃分的劃分板61，62分別以垂直狀設(shè)置。該第2槽52b和第3槽52c是將非水系溶劑78和非水系溶劑內(nèi)的水分按比重差進(jìn)行分離的槽。在此場(chǎng)合下，在第3槽52c中設(shè)有測(cè)量該槽52c上限和下限液面高度的液面?zhèn)鞲衅?6，可以測(cè)出非水系溶劑比規(guī)定量多或少。再有，在各槽52a，52b，52c中設(shè)有將各自槽內(nèi)的液體排除以便進(jìn)行換入的排泄閥53，同時(shí)在第1槽52a的下面設(shè)排水閥59。80是與分離槽52的第3槽52c液體出口75相連接的管道，以進(jìn)行裝置內(nèi)液體的循環(huán)。在該管道80通過過濾器79與干燥槽51相連。57是補(bǔ)給新非水系溶劑的補(bǔ)給槽，它通過閥58連接分離槽52的第3槽52C的液體出口75。此外，56是按照來自液面?zhèn)鞲衅?6的信號(hào)控制是否供給新的非水系溶劑的控制器，以進(jìn)行補(bǔ)給閥58的開閉。83和84是配置在分離槽52的第1槽52a上下部的液量傳感器。作為該液量傳感器83、84，使用測(cè)定第1槽52a內(nèi)液體導(dǎo)電度的靜電容量傳感器等。上部的液量傳感器83檢測(cè)非水系溶劑78和純水77的界面。即在第1槽52a內(nèi)的純水77的量變多、達(dá)到液量傳感器83高度的場(chǎng)合，液量傳感器83將其測(cè)出。據(jù)此排出閥59自動(dòng)開啟，排出純水77。因此第1槽52a中純水77的液量不比液量傳感器83增高，用它不使純水77由第1槽52a內(nèi)溢出流入到第2槽52b內(nèi)。下部的液量傳感器84在由于其排出使純水77的量減少，與非水系溶劑78的界面達(dá)到液量傳感器84的場(chǎng)合下，將其測(cè)出。據(jù)此排出閥59自動(dòng)關(guān)閉，純水的排出停止。因而第2槽52b內(nèi)的純水量不變?yōu)橐欢恳韵拢杀３质褂眉兯姆蛛x作用。再有，在第1槽52上連按供給純水77的閥(圖中省略)，為維持一定量的純水77的而進(jìn)行這種補(bǔ)給。以下說明在使用粘度為1CSt(25℃)的八甲基三硅氧烷作為非水系的低分子硅氧烷、使用IPA(以下記作醇)作為親水性溶劑的場(chǎng)合下的操作。此時(shí)，在補(bǔ)給槽75中貯存著純度為99.9％的新的八甲基三硅氧烷。作為洗凈物，使用通過芯取加工而附著芯取油(ュシロン化學(xué)公司制造)的雙凸透鏡，將此透鏡用洗劑洗凈→用水漂洗→用醇脫水之后，用干燥槽51內(nèi)的八甲基三硅氧烷干燥，作精加工。經(jīng)此洗凈由干燥槽51溢出的八甲基三硅氧烷中的IPA濃度成為1.0wt％，通過管道由液體入口72進(jìn)入分離槽52的第1槽52a?；烊朐摯嫉陌思谆柩跬?1在預(yù)先充填于第1槽52a內(nèi)的純水77中因比重差而分離上浮。該上浮的混入醇的八甲基三硅氧烷在第1槽52a內(nèi)沿斜著安裝的分離板71在純水77中上升。在此上升過程中，混入醇的八甲基三硅氧烷51中的醇組分被純水77吸收。若重復(fù)進(jìn)行此操作時(shí)，則混入醇的八甲基三硅氧烷51中的醇被除去，低醇濃度的八甲基三硅氧烷78浮上來，此時(shí)將八甲基三硅氧烷中的醇濃度和水分量用氣相色譜和卡爾-費(fèi)希爾水分計(jì)測(cè)定時(shí)，所含醇濃度和水分濃度為0.7％。若上浮的八甲基三硅氧烷存量過度時(shí)，則越過第1槽52a溢出，流入第2槽52b。此流入的八甲基三硅氧烷78在進(jìn)行存留的過程中，其水分進(jìn)一步因比重差而被分離，水存留在槽底。一般的生產(chǎn)過程到第1槽52a的醇、水?dāng)y入量變多，僅用第1槽不能充分除去非水系溶劑中的醇。因此將非水系溶劑導(dǎo)入用比重差作分離的第2槽52b，第3槽52c。在此分離上浮的八甲基三硅氧烷78若過度存留時(shí)，則越過第2槽52b流入第3槽52C。將由第2槽流出時(shí)的醇和水相加的濃度為0.5％。這樣一來，第3槽中存留著醇與水相加濃度成為0.2％的八甲基三硅氧烷78。由此進(jìn)行八甲基三硅氧烷78的再生，再生后的八甲基三硅氧烷由液體出口75用泵吸升送入干燥槽51。這樣在洗凈槽51中可常除去貯后的醇的八甲基三硅氧烷78。再有，在因蒸發(fā)八甲基三硅氧烷的量減少的場(chǎng)合，由液面?zhèn)鞲衅?6測(cè)出，通過控制器66開啟補(bǔ)給槽57的補(bǔ)給閥58，以補(bǔ)給純度99.8％的新的八甲基三硅氧烷。此外，若進(jìn)入干燥槽的親水性溶劑攜入增加使全體液量增加時(shí)，由液面?zhèn)鞲衅?6測(cè)知，通過控制器56開啟放泄閥59，水被排出以達(dá)到適當(dāng)?shù)囊毫?。在此處所用的八甲基三硅氧烷之外，?shí)施例9、10所用純度規(guī)定的也可同樣使用。此外，即使六甲基二硅氧烷、八甲基三硅氧烷烷也可得到同樣的效果。實(shí)施例15圖5示出將低分子硅氧烷等非水系溶劑以蒸汽形態(tài)在減壓下供給，進(jìn)行被洗凈物的洗凈和干燥的裝置。該裝置如同用雙點(diǎn)劃線所區(qū)分的那樣，大致由洗凈干燥裝置100、回收裝置200和蒸汽發(fā)生裝置300構(gòu)成。洗凈干燥裝置100進(jìn)行被洗凈物400的脫脂洗凈或精密洗凈和干燥，此外洗凈→干燥也是連續(xù)進(jìn)行。該洗凈干燥裝置100裝備有通過可開閉的蓋111的閉鎖使內(nèi)部成為密閉狀態(tài)的洗凈干燥槽110，在該洗凈干燥槽110內(nèi)，以一段或多段狀態(tài)設(shè)置載置被洗凈物400的承載網(wǎng)、架等承受件112。此外在洗凈干燥槽110的側(cè)面和底面外側(cè)部份配置為保持規(guī)定溫度的保溫加熱器113。通過該保溫加熱器的加熱作用防止洗凈干燥槽110內(nèi)的非水系溶劑的蒸氣結(jié)露。這樣的洗凈干燥槽110在減壓狀態(tài)下用非水系溶劑的蒸汽進(jìn)行被洗凈物的洗凈和/或干燥，設(shè)置有為將洗凈干燥槽110內(nèi)由減壓狀態(tài)退回到常壓狀態(tài)的泄壓閥114。回收裝置200裝備有分離槽120和與分離槽120相連接的罐121。分離槽120用蓋20a密閉，在其內(nèi)部貯存著水w。在分離槽120中設(shè)有為使該水w向分離槽120循環(huán)的循環(huán)管路122。在該循環(huán)管路122中，配設(shè)有由將來自洗凈干燥槽110的非水系溶劑的蒸汽和凝結(jié)液供入分離槽120上部的水封式泵構(gòu)成的真空泵123。以下沿所經(jīng)路線說明這樣的循環(huán)管路122，124為排水用閥，125是為濾除異物的過濾器，126是將水供給真空泵123的泵，127是為將來自真空泵123的非水系溶劑和水的混合液冷卻以促進(jìn)液化的冷凝器。再有，在分離槽120內(nèi)設(shè)有為進(jìn)行冷卻的線圈狀冷卻管128，同時(shí)設(shè)有將通過真空泵123、冷凝器127的混合液導(dǎo)入水槽w內(nèi)部的裝料器129。這樣的分離槽120通過比重差將非水系溶劑和水分離，比重小的非水系溶劑上浮到水槽w的上層。通過這樣的分離，洗凈干燥槽110內(nèi)的非水系溶劑不論是以蒸汽形態(tài)、液體形態(tài)的哪一種都被分離槽120回收。連接在分離槽120上的罐121不僅供給經(jīng)這樣被分離的非水系溶劑，還為再使用的目的進(jìn)行暫時(shí)的貯存，構(gòu)成密封構(gòu)造。蒸汽發(fā)生裝置300具有蒸氣發(fā)生槽130和加熱器131。蒸汽發(fā)生槽內(nèi)部貯存非水系溶劑，同時(shí)設(shè)有供入來自加熱器131的高溫高壓水蒸汽以加熱非水系溶劑的加熱圈132。133是檢測(cè)蒸汽發(fā)生槽130內(nèi)非水系溶劑液面高度的液面計(jì)，按照該液面計(jì)133的測(cè)量值進(jìn)行非水系溶劑的供入。加熱器131裝備有熱源131a，將在其內(nèi)部所設(shè)的熱媒體加熱。作為該加熱器131，可選擇電鍋爐，工廠蒸汽和其它的加熱機(jī)構(gòu)，在圖示的例子中使用電鍋爐。該加熱器131和溫水罐134連接，在該罐134內(nèi)的溫水通過泵135的驅(qū)動(dòng)供入加熱器131內(nèi)加熱。經(jīng)此加熱溫水變成水蒸汽，送出到蒸汽發(fā)生槽130的加熱圈132中，將該槽130內(nèi)的非水系溶劑加熱成為蒸汽。加熱后的水蒸汽用自動(dòng)汽水閥凝結(jié)成為液態(tài)，回收到溫水罐134中再使用。再有，溫水罐34內(nèi)的溫水液面用液面計(jì)137測(cè)量，供其經(jīng)常按規(guī)定量貯存。以上這樣的洗凈干燥裝置100，回收裝置200和蒸汽發(fā)生裝置300按以下說明的安裝管路連接，構(gòu)成非水系溶劑循環(huán)的封閉系統(tǒng)。首先洗凈干燥裝置100和回收裝置200通過主配管和輔助配管兩個(gè)系統(tǒng)連接。主配管由將洗凈干燥槽110的底部與回收裝置200的真空泵123相連并且將經(jīng)洗凈干燥槽110結(jié)露的液態(tài)非水系溶劑進(jìn)行排出的管路151，和將洗凈干燥槽的上部和真空泵123相連，并將非水系溶劑的蒸汽進(jìn)行排出的管路152構(gòu)成。在這些管路151，152中設(shè)有作開閉動(dòng)作的排氣閥153，154，同時(shí)在管路152中設(shè)有將蒸汽冷卻進(jìn)行液化的冷凝器155。另一方面，輔助管路如同雙點(diǎn)劃線所示的那樣，由將洗凈干燥槽110的底部與主配管的管路152的排氣閥154相連的管路156，和將洗凈干燥槽110的底部和回收裝置200的罐121直接連接的管路159構(gòu)成，在管路156中設(shè)有排氣閥157和冷凝器158。這樣的主配管和輔助配管按照洗凈干燥槽110內(nèi)的非水系溶劑的排出情況，擇一的使用或同時(shí)使用。將回收裝置200和蒸汽發(fā)生裝置300相連接的配管路，由回收裝置200的罐121和蒸汽發(fā)生裝置300的蒸汽發(fā)生槽130之間的管路160構(gòu)成。在該管路160中，設(shè)有送液泵161、經(jīng)過濾除去異物的過濾器162、自動(dòng)閥163和逆止閥164。送液泵161根據(jù)蒸汽發(fā)生槽130的液面計(jì)133測(cè)出的信號(hào)上動(dòng)作，將罐121內(nèi)的非水系溶劑供入蒸汽發(fā)生槽130內(nèi)。該送液泵161是這樣進(jìn)行控制的在蒸汽發(fā)生槽130內(nèi)的非水系溶劑達(dá)到規(guī)定的下限值時(shí)則動(dòng)作，另一方面，達(dá)到規(guī)定的上限值時(shí)則停止。將蒸汽發(fā)生裝置300和洗凈干燥裝置100相連接的配管路由連接蒸汽發(fā)生槽130和洗凈干燥槽110的管路170構(gòu)成，在該管路170中設(shè)有送氣閥171。此外，在該路170中，送氣閥172和節(jié)流閥173與送氣閥171成并列的方式配置。180是設(shè)在蒸汽發(fā)生槽130和加熱器131中的溫度控制器，181是測(cè)出蒸汽發(fā)生槽130和加熱器131的壓力以進(jìn)行控制的壓力控制器。作為使用該裝置將被洗凈物4洗凈、干燥的非水系溶劑，可適當(dāng)選擇使用低分子的直鏈狀或環(huán)狀硅氧烷化合物，萜烯等碳化氫系化合物，IPA(異丙醇)或乙醇等醇類，及其它化合物，但特別是以六甲基二硅氧烷、八甲基三硅氧烷、八甲基四硅氧烷為好。雖然這些溶劑是可燃性的，但因?yàn)檠b置整體構(gòu)成為封閉系統(tǒng)，所以不向外部揮散，可安全地進(jìn)行洗凈或干燥。首先，在用保溫加熱器113將洗凈干燥槽110加溫的狀態(tài)下，將被洗凈物400安置在同槽110的承受件112上，關(guān)閉蓋111進(jìn)行密閉。再有，被洗凈物進(jìn)行表面活性劑洗凈、商品水漂洗、純水漂洗之后可采用進(jìn)行IPA的置換這樣的通常洗凈方式，或者采用該洗凈構(gòu)成不最后處理的方式。在洗凈干燥槽110的密閉狀態(tài)下，排氣閥153和154開啟，真空泵123動(dòng)作，由此將洗凈干燥槽110內(nèi)作為減壓狀態(tài)。因該減壓達(dá)到規(guī)定的真空度時(shí)，將排氣閥153，154關(guān)閉。另一方面，蒸汽發(fā)生裝置300通過加熱器131使蒸汽發(fā)生槽130內(nèi)的非水系溶劑加熱，由此產(chǎn)生非水系溶劑的蒸汽。在此狀態(tài)下開啟管路170的送氣閥171，172將蒸汽導(dǎo)入洗凈干燥槽110內(nèi)。供給蒸汽直到洗凈干燥槽內(nèi)達(dá)到規(guī)定的濃度，由此將被洗凈物400用非水系溶劑的蒸汽洗凈。按規(guī)定時(shí)間進(jìn)行這樣的蒸汽洗凈之后，關(guān)閉送氣閥171，172，同時(shí)開啟排氣閥153，154。此時(shí)因真空泵123的起動(dòng)而將洗凈干燥槽內(nèi)的非水系溶劑蒸汽和結(jié)露液由管路152，153，156吸引除去。此時(shí)，蒸汽由管路152的冷凝器液化。被吸引的非水系溶劑用真空泵123與水混合、殘余的蒸汽由冷凝器127液化后，導(dǎo)入分離槽120。通過這樣將洗凈干燥槽110內(nèi)的非水系溶劑用冷凝器155、127液化，可使非水系溶劑的回收率提高。對(duì)洗凈干燥槽110的內(nèi)部進(jìn)行吸引后，一邊關(guān)閉排氣閥153，154一邊開啟泄壓閥114導(dǎo)入大氣，由此結(jié)束了使用蒸汽的洗凈和干燥，將被洗凈物400取出。導(dǎo)入分離槽120的非水系溶劑通過因比重差與水分離后被回收，溢出的非水系溶劑移至罐121內(nèi)。另一方面，蒸汽發(fā)生槽130內(nèi)部的液面高度用液面計(jì)133測(cè)出，該液面高度達(dá)到下限值時(shí)，送液泵161驅(qū)動(dòng)將非水系溶劑由罐134供入蒸汽發(fā)生槽130，對(duì)其不足的量進(jìn)行補(bǔ)充。再有，雖然分離槽120因與水的比重差將非水系溶劑分離，但在使用IPA等醇作為非水系溶劑的場(chǎng)合，則是通過使用水-醇分離裝置代替分離槽120進(jìn)行這種分離。這樣的洗凈或干燥，由于通過封閉系統(tǒng)進(jìn)行處理，所以非水系溶劑不向外部泄出或擴(kuò)散。因此非水系溶劑不污染大氣和環(huán)境，使有效防止公害成為可能。此外因?yàn)樵跍p壓下進(jìn)行洗凈干燥，所以氧被大體上阻斷，即使是可燃性的非水系溶劑也提高了安全性，同時(shí)由于可進(jìn)行低溫洗凈干燥，所以也可以減輕對(duì)被洗凈物的熱損傷。并且因?yàn)橛没厥昭b置200回收非水性溶劑循環(huán)使用，所以使得對(duì)其有效利用成為可能。而且回收的非水系溶劑在蒸汽發(fā)生槽130中進(jìn)行蒸汽化的時(shí)候，因沸點(diǎn)不同而使其與油脂分離，所以可以純度高的狀態(tài)循環(huán)使用，能保持強(qiáng)力洗凈力和干燥力。本發(fā)明是使用98％以上純度的低分子硅氧烷將被洗凈物洗凈和干燥，完成不侵蝕被洗凈物、沒有污漬、殘?jiān)奶幚?。此外，由于不使用氟里昂，所以也不被壞臭氧層。?quán)利要求1.洗凈及干燥用組合物，其特征在于，該組合物含有六甲基二硅氧烷、八甲基三硅氧烷和八甲基環(huán)四硅氧烷的低分子硅氧烷中的至少一種，同時(shí)十二甲基五硅氧烷的含量不足0.01％(重量)、并且實(shí)質(zhì)上不含有比十二甲基五硅氧烷揮發(fā)性差的化合物。2.權(quán)利要求1記載的洗凈及干燥用組合物，其特征在于，六甲基硅氧烷和乙醇、甲醇、乙-丙醇中的一種醇在常壓下具有共沸狀態(tài)或類共沸狀態(tài)的組成。3.權(quán)利要求2記載的洗凈及干燥用組合物，其特征在于，所說的六甲基二硅氧烷的純度為98％以上。4.權(quán)利要求1記載的洗凈及干燥用組合物，其特征在于，該組合物含有以蒸汽形態(tài)在減壓下供給的六甲基二硅氧烷、八甲基三硅氧烷和八甲基環(huán)四硅氧烷中的至少一種。5.洗凈及干燥方法，其特征在于，該方法使用含有六甲基二硅氧烷、八甲基三硅氧烷和八甲基環(huán)四硅氧烷的低分子硅氧烷之中的至少一種，同時(shí)十二甲基五硅氧烷的含有量不足0.01％(重量)，并且實(shí)質(zhì)上不含比十二甲基五硅氧烷揮發(fā)性差的化合物的洗凈和干燥用組合物。6.權(quán)利要求5記載的洗凈及干燥方法，其特征在于，該方法包括使洗凈及干燥中所用的前述低分子硅氧烷與水或純水接觸以使其再生的工序。7.權(quán)利要求5記載的洗凈及干燥方法，其特征在于，將所述低分子硅氧烷以蒸汽形態(tài)在減壓狀態(tài)下供給。8.權(quán)利要求7記載的洗凈及干燥方法，其特征在于，該方法包括通過以蒸汽形態(tài)在減壓狀態(tài)下供給而將用于洗凈及干燥的所述低分子硅氧烷與水或純水接觸以使其再生的工序。9.洗凈及干燥方法，其特征在于，將該洗凈物在含有六甲基二硅氧烷、八甲基三硅氧烷和八甲基環(huán)四硅氧烷的低分子硅氧烷內(nèi)的至少一種，同時(shí)十二甲基五硅氧烷的含有量不足0.01％(重量)，并且實(shí)質(zhì)上不含比十二甲基五硅氧烷高分子量的直鏈狀硅氧烷和環(huán)狀硅氧烷，以及與它們同等分子量以上的有機(jī)化合物的低分子硅氧烷中浸漬以進(jìn)行洗凈的最終工序中的漂洗，然后進(jìn)行使用全氟化碳化合物的蒸汽洗凈。10.權(quán)利要求9記載的洗凈及干燥方法，其特征在于，所述蒸汽洗凈使用沸點(diǎn)為150℃以下的全氟化碳化合物。11.權(quán)利要求9、10任一項(xiàng)記載的洗凈及干燥方法，其特征在于，所述全氟化碳化合物的基本化學(xué)結(jié)構(gòu)式為CnF2n＋2(n＝6-8)。全文摘要將工業(yè)用部件等被洗凈物的洗凈和干燥以沒有殘?jiān)臓顟B(tài)和不侵蝕被洗凈物的方式進(jìn)行。使用高純度的低分子硅氧烷將被洗凈物洗凈，然后進(jìn)行干燥。此外將完成一般的水系洗凈的被洗凈物用IPA漂洗，然后用高純度的低分子硅氧烷進(jìn)行干燥。文檔編號(hào)C11D7/22GK1121953SQ9411869公開日1996年5月8日申請(qǐng)日期1994年10月28日優(yōu)先權(quán)日1994年10月28日發(fā)明者白井道雄,土野雅道,唐木和久,鵜澤邦彥,板倉(cāng)昌宏,柳澤剛,鈴木信夫申請(qǐng)人:奧林帕斯光學(xué)工業(yè)株式會(huì)社