清潔裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提出一種清潔裝置，包括：防塵罩、圓形導(dǎo)軌、刮刀、滾動(dòng)軸、旋轉(zhuǎn)盤和操作桿；其中，圓形導(dǎo)軌設(shè)置在防塵罩的內(nèi)壁上；旋轉(zhuǎn)盤通過滾動(dòng)軸設(shè)置在圓形導(dǎo)軌上；刮刀設(shè)置在旋轉(zhuǎn)盤上；操作桿一端與旋轉(zhuǎn)盤連接，另一端延伸至防塵罩外；將防塵罩罩住電極，搖動(dòng)操作桿帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)盤，旋轉(zhuǎn)盤能夠通過滾動(dòng)軸在圓形導(dǎo)軌上旋轉(zhuǎn)，帶動(dòng)刮刀沿著電極的凹槽進(jìn)行勻力清理，由于刮刀能夠勻速轉(zhuǎn)動(dòng)，從而能夠?qū)⒗鄯e在電極邊緣凹槽內(nèi)的污染物完全清除，同時(shí)由于防塵罩完全照著電極，因此刮刀刮下的污染物不會(huì)遺落在反應(yīng)腔室其他區(qū)域，能夠保證清理后反應(yīng)腔室的潔凈度。
【專利說明】:主.; 士駐罷/目/ 口衣直【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種清潔裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中，晶圓通常放置于反應(yīng)腔室中的電極(或電子吸盤)上，在進(jìn)行沉積薄膜或者刻蝕薄膜時(shí)，不可避免的會(huì)有薄膜沉積或散落在電極(或電子吸盤)上，導(dǎo)致電極被污染。為了保證反應(yīng)腔室的潔凈度，需要定期對(duì)電極進(jìn)行清理，去除累積的污染物。
[0003]請(qǐng)參考圖1，所述電極10為圓盤狀，其邊緣設(shè)有凹槽11，便于將所述電極10安裝在反應(yīng)腔室中；當(dāng)污染物累積在所述電極10表面時(shí)，也會(huì)有污染物累積在所述電極10邊緣的凹槽11中。因此，在對(duì)所述電極10進(jìn)行定期清理時(shí)，就需要對(duì)所述電極10邊緣的凹槽11進(jìn)行清理。現(xiàn)有技術(shù)中采用人工手動(dòng)使用陶瓷筆20對(duì)所述凹槽11進(jìn)行清理，具體的，用所述陶瓷筆20輕刮下所述電極10邊緣的凹槽11，使得上面粘附的污染物脫落，同時(shí)在使用所述陶瓷筆20輕刮所述凹槽11時(shí)還盡可能地使真空吸管30對(duì)準(zhǔn)脫落的污染物，在清理時(shí)吸除污染物，以防污染整個(gè)反應(yīng)腔室；接著，再用沾有無塵布對(duì)所述電極10進(jìn)行擦凈。
[0004]然而，由于人工使用陶瓷筆20對(duì)所述電極10進(jìn)行清理時(shí)需要小心不能刮傷所述電極10，因此十分耗時(shí)；再者，反應(yīng)腔室空間有限，陶瓷筆20在反應(yīng)腔室不能隨意變換位置，容易致使在刮所述電極10時(shí)的力度不均勻，在所述電極10的邊緣凹槽11會(huì)不同程度地殘留一層薄薄的污染物，容易污染晶圓。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0005]本實(shí)用新型的目的在于提供一種清潔裝置，能夠?qū)﹄姌O上的凹槽進(jìn)行完全清理，并且不會(huì)污染反應(yīng)腔室。
[0006]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提出一種清潔裝置，其特征在于，包括:
[0007]防塵罩、圓形導(dǎo)軌、刮刀、滾動(dòng)軸、旋轉(zhuǎn)盤和操作桿；所述圓形導(dǎo)軌設(shè)置在所述防塵罩的內(nèi)壁上；所述旋轉(zhuǎn)盤通過所述滾動(dòng)軸設(shè)置在所述圓形導(dǎo)軌上；所述刮刀設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)盤上；所述操作桿一端與所述旋轉(zhuǎn)盤連接，另一端延伸至所述防塵罩外。
[0008]進(jìn)一步的，所述刮刀包括刀柄和刀頭，所述刀頭設(shè)置在刀柄的一端，刀柄的另一端與所述旋轉(zhuǎn)盤連接。
[0009]進(jìn)一步的，所述刮刀為兩個(gè)，分別設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)盤直徑的兩端。
[0010]進(jìn)一步的，所述刮刀的材質(zhì)為陶瓷。
[0011]進(jìn)一步的，所述清潔裝置還包括真空吸管，所述真空吸管與所述防塵罩連接。
[0012]進(jìn)一步的，所述真空吸管的材質(zhì)為耐高壓透明壓顆粒板。
[0013]進(jìn)一步的，所述清潔裝置還包括刮刀調(diào)節(jié)裝置，所述刮刀調(diào)節(jié)裝置一端與刮刀相連，另一端伸出所述防塵罩外。
[0014]進(jìn)一步的，所述刮刀調(diào)節(jié)裝置的材質(zhì)為不銹鋼。[0015]進(jìn)一步的，所述防塵罩的材質(zhì)為耐高壓透明壓顆粒板。
[0016]進(jìn)一步的，所述圓形導(dǎo)軌和滾動(dòng)軸的材質(zhì)為高硬度耐磨鋼。
[0017]進(jìn)一步的，所述操作桿的材質(zhì)為不銹鋼。
[0018]進(jìn)一步的，所述旋轉(zhuǎn)盤的材質(zhì)為耐高壓透明壓顆粒板。
[0019]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果主要體現(xiàn)在:將防塵罩罩住電極，搖動(dòng)操作桿帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)盤，所述旋轉(zhuǎn)盤能夠通過滾動(dòng)軸在圓形導(dǎo)軌上旋轉(zhuǎn)，帶動(dòng)刮刀沿著電極的凹槽進(jìn)行勻力清理，由于刮刀能夠勻速轉(zhuǎn)動(dòng)，從而能夠?qū)⒗鄯e在電極邊緣凹槽內(nèi)的污染物完全清除，同時(shí)由于防塵罩完全照著電極，因此刮刀刮下的污染物不會(huì)遺落在反應(yīng)腔室其他區(qū)域，能夠保證清理后反應(yīng)腔室的潔凈度。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0020]圖1為現(xiàn)有技術(shù)清理電極的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021]圖2為本實(shí)用新型一實(shí)施例中清潔裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0022]圖3為本實(shí)用新型一實(shí)施例中刮刀的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0023]以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型提出的清潔裝置作進(jìn)一步詳細(xì)說明。根據(jù)下面說明和權(quán)利要求書，本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡(jiǎn)化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。
[0024]請(qǐng)參考圖2，本實(shí)用新型提出一種清潔裝置，其特征在于，所述清潔裝置包括:
[0025]防塵罩220、圓形導(dǎo)軌230、刮刀210、滾動(dòng)軸260、旋轉(zhuǎn)盤250和操作桿240 ;所述圓形導(dǎo)軌230設(shè)置在所述防塵罩220的內(nèi)壁上；所述旋轉(zhuǎn)盤250通過所述滾動(dòng)軸260設(shè)置在所述圓形導(dǎo)軌230上，所述旋轉(zhuǎn)盤250能夠通過所述滾動(dòng)軸260在所述圓形導(dǎo)軌230上轉(zhuǎn)動(dòng)；所述刮刀210設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)盤250上，在本實(shí)施例中，所述刮刀210為兩個(gè)，分別位于所述旋轉(zhuǎn)盤250直徑的兩端；所述操作桿240 —端與所述旋轉(zhuǎn)盤250連接，另一端延伸至所述防塵罩220外，所述操作桿240可以轉(zhuǎn)動(dòng)，從而可以帶動(dòng)所述旋轉(zhuǎn)盤250轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)一步能夠帶動(dòng)所述刮刀210轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0026]請(qǐng)參考圖3，在本實(shí)施例中，所述刮刀210包括刀柄212和刀頭211，所述刀頭211設(shè)置在刀柄212的一端，刀柄212的另一端與所述旋轉(zhuǎn)盤250連接，其中，所述刀頭211的尺寸與電極邊緣的凹槽尺寸匹配或者稍微小于凹槽的尺寸，其中，所述刮刀210的材質(zhì)為陶瓷。
[0027]在本實(shí)施例中，所述清潔裝置還包括刮刀調(diào)節(jié)裝置270，所述刮刀調(diào)節(jié)裝置270 —端與所述刮刀210相連，另一端伸出所述防塵罩220外，所述刮刀調(diào)節(jié)裝置用于微調(diào)所述刮刀210的位置，從而能夠更加精確的對(duì)準(zhǔn)電極的凹槽部分，其中，述刮刀調(diào)節(jié)裝置270的材質(zhì)為不銹鋼。
[0028]在本實(shí)施例中，所述清潔裝置還包括真空吸管280，所述真空吸管280與所述防塵罩220連接，在所述刮刀210對(duì)凹槽進(jìn)行清理時(shí)，清理下的污染物便能夠由所述真空吸管280吸除，進(jìn)一步防止污染物污染反應(yīng)腔室；優(yōu)選的，所述真空吸管280的材質(zhì)為耐高壓透明壓顆粒板。
[0029]在本實(shí)施例中，所述防塵罩220的材質(zhì)為耐高壓透明壓顆粒板；所述圓形導(dǎo)軌230和滾動(dòng)軸260的材質(zhì)為高硬度耐磨鋼；所述操作桿240的材質(zhì)為不銹鋼；所述旋轉(zhuǎn)盤250的材質(zhì)為耐高壓透明壓顆粒板。
[0030]在具體使用中，將所述電極100放置在所述防塵罩220中，使所述刮刀210處于所述電極100的凹槽部分，調(diào)節(jié)所述刮刀調(diào)節(jié)裝置270，使所述刮刀210對(duì)準(zhǔn)所述電極100的凹槽部分，打開所述真空吸管280，接著，緩慢轉(zhuǎn)動(dòng)所述操作桿240，帶動(dòng)所述旋轉(zhuǎn)盤250在所述圓形導(dǎo)軌230上旋轉(zhuǎn)，所述刮刀210沿著所述電極100的凹槽進(jìn)行勻力清理，將聚積的污染物從凹槽中剝離，并最終通過所述真空吸管280吸除，達(dá)到完全清理所述電極凹槽內(nèi)污染物的目的。
[0031]綜上，在本實(shí)用新型實(shí)施例提供的清潔裝置中，將防塵罩罩住電極，搖動(dòng)操作桿帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)盤，所述旋轉(zhuǎn)盤能夠通過滾動(dòng)軸在圓形導(dǎo)軌上旋轉(zhuǎn)，帶動(dòng)刮刀沿著電極的凹槽進(jìn)行勻力清理，由于刮刀能夠勻速轉(zhuǎn)動(dòng)，從而能夠?qū)⒗鄯e在電極邊緣凹槽內(nèi)的污染物完全清除，同時(shí)由于防塵罩完全照著電極，因此刮刀刮下的污染物不會(huì)遺落在反應(yīng)腔室其他區(qū)域，能夠保證清理后反應(yīng)腔室的潔凈度。
[0032]上述僅為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例而已，并不對(duì)本實(shí)用新型起到任何限制作用。任何所屬【技術(shù)領(lǐng)域】的技術(shù)人員，在不脫離本實(shí)用新型的技術(shù)方案的范圍內(nèi)，對(duì)本實(shí)用新型揭露的技術(shù)方案和技術(shù)內(nèi)容做任何形式的等同替換或修改等變動(dòng)，均屬未脫離本實(shí)用新型的技術(shù)方案的內(nèi)容，仍屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種清潔裝置，其特征在于，包括: 防塵罩、圓形導(dǎo)軌、刮刀、滾動(dòng)軸、旋轉(zhuǎn)盤和操作桿；所述圓形導(dǎo)軌設(shè)置在所述防塵罩的內(nèi)壁上；所述旋轉(zhuǎn)盤通過所述滾動(dòng)軸設(shè)置在所述圓形導(dǎo)軌上；所述刮刀設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)盤上；所述操作桿一端與所述旋轉(zhuǎn)盤連接，另一端延伸至所述防塵罩外。
2.如權(quán)利要求1所述的清潔裝置，其特征在于，所述刮刀包括刀柄和刀頭，所述刀頭設(shè)置在刀柄的一端，刀柄的另一端與所述旋轉(zhuǎn)盤連接。
3.如權(quán)利要求2所述的清潔裝置，其特征在于，所述刮刀為兩個(gè)，分別設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)盤直徑的兩端。
4.如權(quán)利要求3所述的清潔裝置，其特征在于，所述刮刀的材質(zhì)為陶瓷。
5.如權(quán)利要求1所述的清潔裝置，其特征在于，所述清潔裝置還包括真空吸管，所述真空吸管與所述防塵罩連接。
6.如權(quán)利要求1所述的清潔裝置，其特征在于，所述清潔裝置還包括刮刀調(diào)節(jié)裝置，所述刮刀調(diào)節(jié)裝置一端與刮刀相連，另一端伸出所述防塵罩外。
7.如權(quán)利要求6所述的清潔裝置，其特征在于，所述刮刀調(diào)節(jié)裝置的材質(zhì)為不銹鋼。
8.如權(quán)利要求1所述的清潔裝置，其特征在于，所述圓形導(dǎo)軌和滾動(dòng)軸的材質(zhì)為高硬度耐磨鋼。
9.如權(quán)利要求1所述的清潔裝置，其特征在于，所述操作桿的材質(zhì)為不銹鋼。
【文檔編號(hào)】B08B1/04GK203426079SQ201320456546
【公開日】2014年2月12日 申請(qǐng)日期:2013年7月29日 優(yōu)先權(quán)日:2013年7月29日
【發(fā)明者】宣榮峰 申請(qǐng)人:中芯國際集成電路制造(北京)有限公司