專利名稱:去磷硅玻璃清洗機(jī)中純水二次利用裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實(shí)用新型涉及去磷硅玻璃(PSG)清洗機(jī),尤其涉及到去磷硅玻璃清洗機(jī)中的純水二次利用裝置。
背景技術(shù):
參見圖I所示,目前常用的去磷硅玻璃清洗機(jī)中的純水利用裝置,包括噴淋槽I、噴淋槽11、以及漂洗槽6,噴淋槽I和噴淋槽11分別通過帶閥的噴淋純水給水管2、和噴淋純水給水管21與純水管道4相連接,噴淋槽I和噴淋槽11的底部分別通過帶閥的噴淋純水排放管3、和噴淋純水排放管31與排放管道5相連接;漂洗槽6通過帶閥的漂洗純水給水管7與純水管道4相連接,漂洗槽6的底部通過帶閥的漂洗純水排放管8與排放管道5相連接。 上述結(jié)構(gòu)的純水利用裝置存在的缺點(diǎn)是噴淋槽I、噴淋槽11和漂洗槽6使用過的純水直接排放,純水用量大,成本高。
實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種純水用量較小、成本低的去磷硅玻璃清洗機(jī)中純水二次利用裝置。為實(shí)現(xiàn)上述目的,本實(shí)用新型采用了以下技術(shù)方案。所述的去磷硅玻璃清洗機(jī)中純水二次利用裝置,包括若干噴淋槽和漂洗槽,各噴淋槽分別通過帶閥的噴淋純水給水管與純水管道相連接,漂洗槽通過帶閥的漂洗純水給水管與純水管道相連接,漂洗槽的底部通過帶閥的漂洗純水排放管與排放管道相連接,其特點(diǎn)是各噴淋槽的底部分別通過帶閥的噴淋純水排放管與一根中間給水管相連接,中間給水管與副噴淋槽相連接,副噴淋槽通過一根帶閥的循環(huán)管道與漂洗槽相連接,循環(huán)管道上設(shè)置有循環(huán)泵,副噴淋槽的底部通過帶閥的副噴淋排放管與排放管道相連接。進(jìn)一步地,前述的去磷硅玻璃清洗機(jī)中純水二次利用裝置,其中,在漂洗純水給水管上還設(shè)置有手動(dòng)閥。進(jìn)一步地,前述的去磷硅玻璃清洗機(jī)中純水二次利用裝置,其中,中間給水管還通過一根帶閥的中間排放管與排放管道相連接。本實(shí)用新型的有益效果是將噴淋槽排放的純水先送至副噴淋槽存儲(chǔ),再由循環(huán)管道通過循環(huán)泵排至漂洗槽,作為漂洗水使用,這樣可大大減少純水的使用量,降低了生產(chǎn)成本。
圖I是背景技術(shù)中所述的去磷硅玻璃清洗機(jī)中純水利用裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2是本實(shí)用新型所述的去磷硅玻璃清洗機(jī)中純水二次利用裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
以下結(jié)合附圖和較佳實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型所述的去磷硅玻璃清洗機(jī)中純水二次利用裝置作進(jìn)一步的說明。參見圖2所示,本實(shí)用新型所述的去磷硅玻璃清洗機(jī)中純水二次利用裝置,包括兩個(gè)噴淋槽I和11、以及漂洗槽6,噴淋槽I和11分別通過帶閥的噴淋純水給水管2和21與純水管道4相連接,漂洗槽6通過帶閥的漂洗純水給水管7與純水管道4相連接,本實(shí)施例中,在漂洗純水給水管7上還設(shè)置有手動(dòng)閥71 ;漂洗槽6的底部通過帶閥的漂洗純水排放管8與排放管道5相連接,噴淋槽I和11的底部分別通過帶閥的噴淋純水排放管3和31與一根中間給水管9相連接,中間給水管9與副噴淋槽10相連接,中間給水管9還通過一根帶閥的中間排放管32與排放管道5相連接,副噴淋槽10通過一根帶閥的循環(huán)管道13與漂洗槽6相連接,循環(huán)管道13上設(shè)置有循環(huán)泵14。副噴淋槽10的底部通過帶閥的副噴淋排放管12與排放管道5相連接。在實(shí)際工作中,在去磷硅玻璃清洗機(jī)中使用本實(shí)用新型所述的純水二次利用裝置,可以將噴淋槽排放的噴淋后的純水作為漂洗水使用,其具體原理是首先關(guān)閉漂洗純水給水管7上的手動(dòng)閥71,使純水管道4中的純水無法流入漂洗槽6,然后關(guān)閉中間排放管32使噴淋槽I和11中正常噴淋后的純水通過中間給水管9排入副噴淋槽10中存儲(chǔ)。當(dāng)漂洗槽6中需要加水進(jìn)行漂洗時(shí),開通循環(huán)管道13、啟動(dòng)循環(huán)泵14,將副噴淋槽10中存儲(chǔ)的水送入漂洗槽6對(duì)硅片進(jìn)行漂洗。由此可以大大減少純水的使用量,降低了成本。據(jù)實(shí)際測算,漂洗槽6純水流量為每小時(shí)2. 5噸,以每天連續(xù)生產(chǎn)20小時(shí)計(jì)算,每天可節(jié)約純水2. 5X20=50噸,一年可節(jié)約純水50X365=18250噸,每噸純水以7元算,可節(jié)約18250 X 7=127750 元;循環(huán)泵 14 功率為 250W,每天用電 O. 25KWX 20=5KWH,以 IKWH 需要 O. 7元計(jì)算,一天需消耗電費(fèi)為O. 7X5=3. 5元,一年消耗電費(fèi)為3. 5 X 365=1277元,每年可節(jié)省費(fèi)用127750-1277=126473元,經(jīng)濟(jì)效益顯著。
權(quán)利要求1.去磷硅玻璃清洗機(jī)中純水二次利用裝置,包括若干噴淋槽和漂洗槽,各噴淋槽分別通過帶閥的噴淋純水給水管與純水管道相連接,漂洗槽通過帶閥的漂洗純水給水管與純水管道相連接,漂洗槽的底部通過帶閥的漂洗純水排放管與排放管道相連接,其特征在于各噴淋槽的底部分別通過帶閥的噴淋純水排放管與一根中間給水管相連接,中間給水管與副噴淋槽相連接,副噴淋槽通過一根帶閥的循環(huán)管道與漂洗槽相連接,循環(huán)管道上設(shè)置有循環(huán)泵,副噴淋槽的底部通過帶閥的副噴淋排放管與排放管道相連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的去磷硅玻璃清洗機(jī)中純水二次利用裝置,其特征在于在漂洗純水給水管上還設(shè)置有手動(dòng)閥。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的去磷硅玻璃清洗機(jī)中純水二次利用裝置,其特征在于中間給水管還通過一根帶閥的中間排放管與排放管道相連接。
專利摘要本實(shí)用新型公開了去磷硅玻璃清洗機(jī)中的純水二次利用裝置,包括若干噴淋槽和漂洗槽,各噴淋槽分別通過帶閥的噴淋純水給水管與純水管道相連接,漂洗槽通過帶閥的漂洗純水給水管與純水管道相連接,漂洗槽的底部通過帶閥的漂洗純水排放管與排放管道相連接,其特點(diǎn)是各噴淋槽的底部分別通過帶閥的噴淋純水排放管與一根中間給水管相連接,中間給水管與副噴淋槽相連接,副噴淋槽通過一根帶閥的循環(huán)管道與漂洗槽相連接,循環(huán)管道上設(shè)置有循環(huán)泵,副噴淋槽的底部通過帶閥的副噴淋排放管與排放管道相連接。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是大大減少了純水的使用量,降低了生產(chǎn)成本。
文檔編號(hào)B08B3/02GK202591152SQ201220159530
公開日2012年12月12日 申請(qǐng)日期2012年4月16日 優(yōu)先權(quán)日2012年4月16日
發(fā)明者余忠海, 龐國鋒, 白輝 申請(qǐng)人:江蘇永能光伏科技有限公司