專(zhuān)利名稱(chēng)：硅片清洗機(jī)的漂洗槽的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種硅片清洗機(jī)的漂洗槽，尤其涉及一種節(jié)水型溢流式的硅片清洗機(jī)漂洗槽。
背景技術(shù)：
目前使用的硅片清洗機(jī)漂洗槽分為兩部分，前半部分包括依次布置的五個(gè)漂洗槽，后半部分包括依次布置的兩個(gè)漂洗槽，前半部分與后半部分之間依次布置兩浸潤(rùn)槽，每?jī)蓚€(gè)漂洗槽為一個(gè)獨(dú)立工作單元，七個(gè)漂洗槽共有四個(gè)進(jìn)水口與出水口，使得硅片清洗機(jī)用水量較大，造成了水資源的浪費(fèi)。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于解決上述問(wèn)題，提供一種硅片清洗機(jī)的漂洗槽，其采用溢流式結(jié)構(gòu)，只需一個(gè)進(jìn)水口與出水口，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、節(jié)約用水量的優(yōu)點(diǎn)。本實(shí)用新型的目的是通過(guò)以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)一種硅片清洗機(jī)的漂洗槽，包括前后兩部分，前半部分依次布置五個(gè)漂洗槽，后半部分依次布置兩個(gè)漂洗槽，所述前半部分最外側(cè)的漂洗槽I與進(jìn)水口相連，且漂洗槽I與前半部分最內(nèi)側(cè)的漂洗槽V之間、后半部分內(nèi)側(cè)漂洗槽VI與外側(cè)漂洗槽VII之間均采用由高到低的階梯式結(jié)構(gòu)，所述漂洗槽V與漂洗槽VI通過(guò)一個(gè)溢流管道相連通，所述漂洗槽VII上開(kāi)設(shè)有排污口，所述溢流管道上安裝有蓄水槽，所述蓄水槽中安裝有水位控制器，水位控制器連接有管道泵。所述水位控制器包括高水位控制器和低水位控制器。所述漂洗槽中均安裝有物料感應(yīng)器。本實(shí)用新型的有益效果為漂洗槽I與前半部分最內(nèi)側(cè)的漂洗槽V之間、后半部分內(nèi)側(cè)漂洗槽VI與外側(cè)漂洗槽VII之間均采用由高到低的階梯式結(jié)構(gòu)，使得漂洗槽之間為溢流模式，無(wú)需增加管道；通過(guò)將漂洗槽V與漂洗槽VI用一個(gè)溢流管道相連通，即實(shí)現(xiàn)前半部分與后半部分的連通，使得只需要一個(gè)進(jìn)水口與出水口 ；通過(guò)設(shè)置水位控制器，當(dāng)蓄水槽中的水位達(dá)到設(shè)定的高水位時(shí)，高水位控制器控制管道泵進(jìn)行排水，反之，低水位控制器控制管道泵停止排水，具有自動(dòng)化程度高的優(yōu)點(diǎn)，對(duì)比現(xiàn)有技術(shù)，該漂洗槽具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、節(jié)約用水量的優(yōu)點(diǎn)。

下面根據(jù)附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。圖1為本實(shí)用新型所述的硅片清洗機(jī)的漂洗槽的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中1、漂洗槽I ；2、漂洗槽V ；3、漂洗槽VI ；4、漂洗槽VII ；5、溢流管道；6、蓄水槽；7、管道泵；8、進(jìn)水口 ；9、排污口。
具體實(shí)施方式
如圖1所示，于本實(shí)施例中，本實(shí)用新型所述的硅片清洗機(jī)的漂洗槽，包括前后兩部分，前半部分依次布置五個(gè)漂洗槽，后半部分依次布置兩個(gè)漂洗槽，前半部分最外側(cè)的漂洗槽Il與進(jìn)水口 8相連，且漂洗槽Il與前半部分最內(nèi)側(cè)的漂洗槽V2之間、后半部分內(nèi)側(cè)漂洗槽VI3與外側(cè)漂洗槽VII4之間均采用由高到低的階梯式結(jié)構(gòu)，漂洗槽V2與漂洗槽VI3通過(guò)一個(gè)溢流管道5相連通，漂洗槽VII4上開(kāi)設(shè)有排污口 9，溢流管道5上安裝有蓄水槽6，蓄水槽6中安裝有水位控制器，水位控制器連接有管道泵7，水位控制器包括高水位控制器和低水位控制器。漂洗槽Il與前半部分最內(nèi)側(cè)的漂洗槽V2之間、后半部分內(nèi)側(cè)漂洗槽VI3與外側(cè)漂洗槽VII4之間均采用由高到低的階梯式結(jié)構(gòu)，使得漂洗槽之間為溢流模式，無(wú)需增加管道；通過(guò)將漂洗槽V2與漂洗槽VI3用一個(gè)溢流管道5相連通，即實(shí)現(xiàn)前半部分與后半部分的連通，使得只需要一個(gè)進(jìn)水口 8與排污口 9 ；通過(guò)設(shè)置水位控制器，當(dāng)蓄水槽6中的水位達(dá)到設(shè)定的高水位時(shí)，高水位控制器控制管道泵7進(jìn)行排水，反之，低水位控制器控制管道泵7停止排水，具有自動(dòng)化程度高、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、節(jié)約用水量的優(yōu)點(diǎn)每個(gè)漂洗槽中均安裝有物料感應(yīng)器，當(dāng)有硅片籃筐進(jìn)入漂洗槽時(shí)，物料感應(yīng)器將信號(hào)傳送至控制系統(tǒng)，控制清洗機(jī)進(jìn)入工作狀態(tài)，當(dāng)硅片籃筐離開(kāi)漂洗槽時(shí)，物料感應(yīng)器將信號(hào)傳送至控制系統(tǒng)，控制清洗機(jī)進(jìn)入待機(jī)狀態(tài)，進(jìn)一步節(jié)約了用水、用電量。
權(quán)利要求1.一種硅片清洗機(jī)的漂洗槽，包括前后兩部分，前半部分依次布置五個(gè)漂洗槽，后半部分依次布置兩個(gè)漂洗槽，其特征在于所述前半部分最外側(cè)的漂洗槽I與進(jìn)水口相連，且漂洗槽I與前半部分最內(nèi)側(cè)的漂洗槽V之間、后半部分內(nèi)側(cè)漂洗槽VI與外側(cè)漂洗槽VII之間均采用由高到低的階梯式結(jié)構(gòu)，所述漂洗槽V與漂洗槽VI通過(guò)一個(gè)溢流管道相連通，所述漂洗槽VII上開(kāi)設(shè)有排污口，所述溢流管道上安裝有蓄水槽，所述蓄水槽中安裝有水位控制器，水位控制器連接有管道泵。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片清洗機(jī)的漂洗槽，其特征在于所述水位控制器包括高水位控制器和低水位控制器。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅片清洗機(jī)的漂洗槽，其特征在于所述漂洗槽中均安裝有物料感應(yīng)器。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)一種硅片清洗機(jī)的漂洗槽，包括前后兩部分，前半部分依次布置五個(gè)漂洗槽，后半部分依次布置兩個(gè)漂洗槽，所述前半部分最外側(cè)的漂洗槽I與進(jìn)水口相連，且漂洗槽I與前半部分最內(nèi)側(cè)的漂洗槽V之間、后半部分內(nèi)側(cè)漂洗槽VI與外側(cè)漂洗槽VII之間均采用由高到低的階梯式結(jié)構(gòu)，所述漂洗槽V與漂洗槽VI通過(guò)一個(gè)溢流管道相連通，所述漂洗槽VII上開(kāi)設(shè)有排污口，所述溢流管道上安裝有蓄水槽，所述蓄水槽中安裝有水位控制器，水位控制器連接有管道泵。該漂洗槽采用階梯溢流式結(jié)構(gòu)，只需一個(gè)進(jìn)水口與出水口，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、節(jié)約用水量的優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)B08B3/04GK202316398SQ20112040429
公開(kāi)日2012年7月11日 申請(qǐng)日期2011年10月20日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月20日
發(fā)明者劉偉, 楊樂(lè), 王欣 申請(qǐng)人:高佳太陽(yáng)能股份有限公司