專利名稱：制程裝置排水回收系統(tǒng)及方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是有關(guān)于一種排水回收系統(tǒng)及方法，且特別是有關(guān)于一種制程排水回收系統(tǒng)及方法。
背景技術(shù)：
在集成電路元件的制程中，最頻繁的制程步驟就是晶圓洗凈。晶圓洗凈的目的乃是為了去除附著于晶圓表面上的有機(jī)化合物、金屬雜質(zhì)或微粒(Particles)。然而，晶圓洗凈需要耗用大量水資源，容易造成生產(chǎn)成本大增，因此如何回收制程裝置排水以供純水、制程冷卻水、冷卻水塔等系統(tǒng)再次使用是很重要的。而且，如果可以有效的管制制程裝置排水，使其有效的回收再利用的話，就可以減少耗用水資源、降低生產(chǎn)成本與提升產(chǎn)業(yè)競爭力。
然而，如果回收水只重視量的增加，而忽略回收水質(zhì)的要求，將限制回收水的用途甚至發(fā)生污染超純水供應(yīng)品質(zhì)，導(dǎo)致產(chǎn)能降低，其所帶來的損失反而更巨大，所以需借由良好的管制設(shè)計，有效地提升優(yōu)良的回收水質(zhì)。
現(xiàn)有半導(dǎo)體廠回收制程排水的方式，系采用匯集后再選別的方式，先將各制程的排水匯集在一起，再根據(jù)水質(zhì)的種類做不同用途的利用。此種回收制程排水的方法，雖然能增加回收水量，但無法有效地提升回收水的品質(zhì)，而會限制回收水的用途。而且當(dāng)某一制程的排水有問題時，就可能會造成全部排水都無法回收的情形。

發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此，本發(fā)明的目的在提供一種制程裝置排水回收系統(tǒng)及回收方法，利用對個別機(jī)臺加裝導(dǎo)電度計以進(jìn)行分類回收，如此才不會因單一機(jī)臺排水水質(zhì)有問題而造成全部排水無法回收的情形。
本發(fā)明的另一目的在提供一種制程裝置排水回收系統(tǒng)及回收方法，利用導(dǎo)電度計與總有機(jī)碳分析儀(Total Organic Carbon，TOC)配合中間槽液位控制分類回收水，可有效提升回收水的水質(zhì)。
為達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供一種制程裝置排水回收系統(tǒng)，包括制程裝置、導(dǎo)電度分析裝置、三向閥、控制器、回收槽、緩沖槽、中間槽、第一原水槽、第二原水槽、第一閥、第二閥、第一泵、第二泵與總有機(jī)碳分析裝置。其中，三向閥系連接至制程裝置的排水口。導(dǎo)電度分析裝置系設(shè)置于制程裝置與三向閥之間的管路中，用以分析排水中的導(dǎo)電度?？刂破麟娦赃B接三向閥與導(dǎo)電度分析裝置，并根據(jù)導(dǎo)電度分析裝置的訊號控制三向閥的動作，使三向閥依據(jù)導(dǎo)電度分析裝置的訊號決定排水的流向。
回收槽連結(jié)至三向閥的排水口，收集初步選別出來的回收水。緩沖槽連接回收槽，使來自回收槽的回收水在緩沖槽內(nèi)接受TOC分析。中間槽連接緩沖槽，在中間槽內(nèi)設(shè)置有液位測量裝置，以量測中間槽的液位。第一原水槽與第二原水槽連接中間槽，分別收集不同等級的回收水。于中間槽與第一原水槽之間設(shè)置有第一閥，且于中間槽與第二原水槽之間設(shè)置第二閥。第一泵與第二泵分別設(shè)置于中間槽與第一閥、第二閥之間。總有機(jī)碳分析裝置連接緩沖槽，用以分析緩沖槽內(nèi)回收水的TOC含量，并電性連接第一閥與第二閥，以控制第一閥與第二閥的開啟與關(guān)閉。制程裝置在緩沖槽與中間槽之間的管路上設(shè)置有第三閥，此外設(shè)置另一組導(dǎo)電度分析裝置連接至緩沖槽，并電性連接至第三閥，以控制第三閥的開啟與關(guān)閉。此制程裝置排水回收系統(tǒng)可依據(jù)本發(fā)明回收水的選別精神設(shè)置更多個回收槽，連接至三向閥的排水口，進(jìn)行后續(xù)的回收水選別流程。
本發(fā)明的制程裝置排水回收系統(tǒng)，是對個別機(jī)臺加裝導(dǎo)電度計以進(jìn)行分類回收，將不同導(dǎo)電度的制程排水排放至不同的管路中，如此才不會因單一機(jī)臺排水水質(zhì)有問題而造成全部排水無法回收的情形。再使用導(dǎo)電度計與總有機(jī)碳分析儀(TOC)配合中間槽液位控制分類回收水，可以嚴(yán)格管制各種品質(zhì)的回收水排至適當(dāng)?shù)脑?，以提升制程排水的再利用效率?br> 為達(dá)到上述目的，本發(fā)明又提供了一種制程裝置排水回收方法，此方法系從制程裝置排出一排水后，以導(dǎo)電度分析裝置分析排水的導(dǎo)電度，并根據(jù)導(dǎo)電度以控制三向閥使排水導(dǎo)入一第一回收槽。接著，使導(dǎo)入第一回收槽的排水導(dǎo)入一緩沖槽，并使導(dǎo)入緩沖槽的排水導(dǎo)入一中間槽。然后，以總有機(jī)碳分析裝置分析緩沖槽內(nèi)排水，以控制中間槽的排水導(dǎo)入一第一原水槽或一第二原水槽。
以總有機(jī)碳分析裝置分析緩沖槽內(nèi)排水，以控制中間槽的排水導(dǎo)入第一原水槽或第二原水槽的步驟系(a)對排水進(jìn)行第一總有機(jī)碳含量檢測，檢測排水的總有機(jī)碳含量是否低于一標(biāo)準(zhǔn)值；(b)當(dāng)排水的總有機(jī)碳含量低于標(biāo)準(zhǔn)值，檢測中間槽的液位是否為一第一高液位；(c)當(dāng)中間槽的液位為第一高液位，開啟一第一泵與一第一閥，關(guān)閉一第二閥，使排水導(dǎo)入第一原水槽；(d)對排水進(jìn)行第二總有機(jī)碳含量檢測，檢測排水的總有機(jī)碳含量是否低于標(biāo)準(zhǔn)值；(e)當(dāng)排水的總有機(jī)碳含量低于標(biāo)準(zhǔn)值，檢測中間槽的液位是否為一第二高液位，第二高液位高于第一高液位；(f)當(dāng)中間槽的液位為第二高液位，開啟第二泵，使排水加速導(dǎo)入第一原水槽；(g)在步驟(a)中，當(dāng)排水的總有機(jī)碳含量高于標(biāo)準(zhǔn)值，檢測中間槽的液位是否為中液位；(h)當(dāng)中間槽的液位為中液位，開啟一第一泵、一第二泵與第二閥，關(guān)閉第一閥，使排水導(dǎo)入第二原水槽；(i)對排水進(jìn)行第二總有機(jī)碳含量檢測，檢測排水的總有機(jī)碳含量是否低于標(biāo)準(zhǔn)值；(j)當(dāng)排水的總有機(jī)碳含量低于該標(biāo)準(zhǔn)值，檢測中間槽的液位是否為一低液位；以及(k)當(dāng)中間槽的液位為低液位，關(guān)閉第二泵與第一泵。
本發(fā)明的制程裝置排水回收方法在回收半導(dǎo)體制程排水時，利用對個別機(jī)臺加裝導(dǎo)電度計做先期選別，使用控制器將不同導(dǎo)電度的制程排水排放至不同的管路中，如此才不會因單一機(jī)臺排水水質(zhì)有問題而造成全部排水無法回收的情形。而且使用導(dǎo)電度計與總有機(jī)碳分析儀(TOC)配合中間槽液位控制分類回收水，可以嚴(yán)格管制各種品質(zhì)的回收水排至適當(dāng)?shù)脑?，以提升制程排水的再利用效率?br>

圖1所繪示為本發(fā)明實(shí)施例回收水選別機(jī)制圖；圖2所繪示為本發(fā)明實(shí)施例中間槽液位控制圖；圖3所繪示為本發(fā)明實(shí)施例回收水TOC管制流程圖；圖4(A)與圖4(B)所繪示為RCA晶圓洗凈制程排水選別機(jī)制流程圖。
具體實(shí)施例方式
圖1為繪示本發(fā)明實(shí)施例的一種制程裝置排水回收系統(tǒng)示意圖。此制程排水回收系統(tǒng)包括制程裝置100、三向閥102、導(dǎo)電度分析裝置104、控制器106、回收槽108、緩沖槽110、中間槽112、原水槽114與原水槽116、閥118與閥120、泵122與泵124，以及總有機(jī)碳分析裝置(Totalorganic carbon，TOC)126。此處水槽的名稱系以水槽放置的位置命名，例如制程排水從機(jī)臺排至工廠內(nèi)部的水槽，再回收至廠務(wù)設(shè)備的水槽。位于工廠內(nèi)的水槽會泛稱為緩沖槽，而位于廠務(wù)設(shè)備端的水槽則稱為原水槽。
三向閥102連接制程裝置100的排水口，并依據(jù)來自導(dǎo)電度分析裝置104的訊號決定排水的流向。此導(dǎo)電度分析裝置104設(shè)置于制程裝置100與三向閥102之間的管路中，用以分析排水中的導(dǎo)電度，并將量測結(jié)果傳送至控制器106。控制器106電性連接三向閥102與導(dǎo)電度分析裝置104，并根據(jù)來自導(dǎo)電度分析裝置104的訊號控制三向閥102的動作。
回收槽108連結(jié)至三向閥102的排水口128，收集初步選別出來的回收水。緩沖槽110連接回收槽108，使來自回收槽108的回收水在緩沖槽110內(nèi)接受TOC分析。中間槽112連接緩沖槽110，且在中間槽112與緩沖槽110之間的管路上設(shè)置有閥130。導(dǎo)電度分析裝置132連接至緩沖槽110，并電性連接至閥130，以控制此閥130的開啟與關(guān)閉。在中間槽112內(nèi)設(shè)置有液位測量裝置134，以量測中間槽112的液位。原水槽114與另一原水槽116連接中間槽112，分別收集不同等級的回收水。于中間槽112與原水槽114之間設(shè)置有閥118，而中間槽112與另一原水槽116之間設(shè)置有閥120。此外，于中間槽112與閥118、閥120之間分別設(shè)置有泵122與泵124，用以從中間槽112抽送回收水至原水槽114或原水槽116。總有機(jī)碳分析裝置126連接緩沖槽110，以分析槽內(nèi)回收水的TOC含量，并電性連接閥118與閥120，以控制閥118與閥120的開啟與關(guān)閉。
在本實(shí)施例中，制程排水回收系統(tǒng)是以設(shè)置一個回收槽為實(shí)例作說明，當(dāng)然可依據(jù)本發(fā)明回收水的選別精神設(shè)置更多個回收槽，連接至三向閥102的排水口，例如設(shè)置另一回收槽136，連接至三向閥102的另一排水口138，進(jìn)行后續(xù)的回收水選別流程。
因此如上述說明，本發(fā)明提供的制程排水回收系統(tǒng)，利用對個別機(jī)臺加裝導(dǎo)電度計做先期選別，使用控制器將不同導(dǎo)電度的制程排水排放至不同的管路中，如此才不會因單一機(jī)臺排水水質(zhì)有問題而造成全部排水無法回收的情形。再使用導(dǎo)電度計與總有機(jī)碳分析儀(TOC)配合中間槽液位控制分類回收水，可以嚴(yán)格管制各種品質(zhì)的回收水排至適當(dāng)?shù)脑郏蕴嵘瞥膛潘脑倮眯省?br> 接著說明本發(fā)明最佳實(shí)施例的一種制程排水的回收方法，請?jiān)俅螀⒄請D1，此制程排水的回收方法首先是從制程裝置100排出欲廢棄的排水，接著以導(dǎo)電度分析裝置104分析排水的導(dǎo)電度，根據(jù)分析排水的導(dǎo)電度以控制三向閥102使排水導(dǎo)入回收槽108或其他的回收槽例如是回收槽136。接著使導(dǎo)入回收槽108的排水導(dǎo)入緩沖槽110后，將排水導(dǎo)入中間槽112，以總有機(jī)碳分析裝置126分析緩沖槽110內(nèi)的排水，以控制中間槽112的排水導(dǎo)入原水槽114或原水槽116。接著，說明中間槽112的控制方法。
圖2所繪示為本發(fā)明實(shí)施例中間槽液位控制圖，亦即圖1的虛線所圍的區(qū)域，在圖2中，構(gòu)件與圖1相同者給予相同的標(biāo)號，并省略其詳細(xì)說明。在中間槽112內(nèi)設(shè)置有液位測量裝置134，以量測中間槽112的液位，在本實(shí)施例中例如是將中間槽112內(nèi)液位分成五種液位，分別為LL液位、L液位、M液位、H液位及HH液位，此五種液位例如是分別離槽底0.40、0.55、1.2、1.7及2.15公尺。
假設(shè)TOC測試管線140的直徑例如是0.9公分，則TOC測試管線140的截面積例如是0.65平方公分，又假設(shè)TOC測試管線140總長度例如是10公尺，回收水從緩沖槽110流至TOC分析儀器126的流速例如是200毫升/分鐘，所以回收水從緩沖槽110流至TOC分析儀器126所需的時間3.5分鐘，而TOC分析儀器126測試一次的時間例如是約需3至5分鐘，因此TOC分析儀器126測試包括取樣及分析總共約需6至8分鐘。在TOC分析儀器126進(jìn)行分析的同時，回收水亦從緩沖槽110流至中間槽112，當(dāng)TOC分析儀器126測出TOC值大于1000ppb時，則TOC值大于1000ppb的回收水可能已排入預(yù)設(shè)標(biāo)準(zhǔn)值為小于1000ppb的原水槽114槽中，因此若無法有效地將此TOC大于1000ppb的回收水排至預(yù)設(shè)標(biāo)準(zhǔn)值為大于等于1000ppb的原水槽116中，則TOC值大于1000ppb的回收水將污染原水槽114的水質(zhì)。
防止上述回收水污染原水槽114的水質(zhì)的做法，是借由定義中間槽112適當(dāng)?shù)牟僮饕何患癟OC控制程式，有效的管制回收水系統(tǒng)。假設(shè)中間槽112的底面積例如是5.0平方公尺，回收水從M液位流至LL液位的距離例如是0.8公尺，而只啟動一組泵122的情況下，抽水速率為52立方公尺/小時，液位下降的速度為(52立方公尺/小時)/(5.0平方公尺)＝10.4公尺/小時，以較嚴(yán)苛的條件計算，回收水從液位M流至液位LL所需的時間(0.8公尺)/(10.4公尺/小時)＝0.077小時約等于4.6分鐘。當(dāng)進(jìn)出水量相近，而液位保持在高于M液位，由回收水從M液位流至LL液位約4.6分鐘置換一次，而TOC測試訊號輸出所需時間約6至8分鐘，如果此時發(fā)生回收水TOC測試不合格的情況，且未設(shè)定開啟泵122、泵124與閥120，關(guān)閉閥118使回收水排入原水槽116，則會使TOC測試不合格的回收水流向原水槽114中約2分鐘，而污染原水槽114的水質(zhì)。所以上述當(dāng)回收水的總有機(jī)碳含量高于預(yù)設(shè)值時，需檢查中間槽112液位是否為M液位，若為M液位則開啟泵122、泵124與閥120，關(guān)閉閥118，使TOC測試不合格的回收水排入原水槽116。而開啟泵122與泵124的狀態(tài)下，抽水速率變成83立方公尺/小時，其他假設(shè)條件與上述條件相同，此時由回收水從M液位流至LL液位約2.9分鐘置換一次，可快速將TOC不合格的回收水排入原水槽116。
接著請參照圖3及對照圖2說明制程裝置排水的回收方法中，以總有機(jī)碳分析值及液位來控制中間槽排水的方法包括以下步驟步驟300，對緩沖槽內(nèi)的排水進(jìn)行第一次總有機(jī)碳含量檢測，判斷排水的總有機(jī)碳含量是否低于預(yù)設(shè)的標(biāo)準(zhǔn)值，若是則進(jìn)行步驟302，若否則進(jìn)行步驟312；步驟302，檢測中間槽112的液位是否為H液位，若是則進(jìn)行步驟304，若否則進(jìn)行步驟300持續(xù)檢測緩沖槽排水的總有機(jī)碳含量；步驟304，開啟泵122與閥118，關(guān)閉閥120，使排水導(dǎo)入原水槽114；步驟306，對排水進(jìn)行第二次總有機(jī)碳含量檢測，判斷排水的總有機(jī)碳含量是否低于預(yù)設(shè)的標(biāo)準(zhǔn)值，若是則進(jìn)行步驟308，若否則進(jìn)行步驟312；步驟308，檢測中間槽112的液位是否為HH液位，若是則進(jìn)行步驟310，若否則進(jìn)行步驟326；步驟310，開啟另一泵124，使排水加速導(dǎo)入原水槽114；步驟312，檢測中間槽112的液位是否為M液位，若是則進(jìn)行步驟314，若否則持續(xù)檢測中間槽112的液位是否為M液位；步驟314，開啟泵122、泵124與閥120，關(guān)閉閥118，使排水導(dǎo)入原水槽116；步驟316，對排水進(jìn)行第二次總有機(jī)碳含量檢測，檢測排水的總有機(jī)碳含量是否低于預(yù)設(shè)的標(biāo)準(zhǔn)值，若是則進(jìn)行步驟318，若否則進(jìn)行步驟322；步驟318，檢測中間槽112的液位是否為L液位，若是則進(jìn)行步驟320，若否則進(jìn)行步驟324；步驟320，關(guān)閉兩組泵；步驟322，檢測中間槽112的液位是否為L液位，若是則進(jìn)行步驟320，若否則進(jìn)行步驟316持續(xù)檢測緩沖槽排水的總有機(jī)碳含量；步驟324，使兩組泵運(yùn)轉(zhuǎn)一段時間例如是15分鐘；步驟326，檢測中間槽112的液位是否為M液位，若是則進(jìn)行步驟328，若否則進(jìn)行步驟304；步驟328，關(guān)閉兩組泵；步驟330，對緩沖槽排水進(jìn)行第三次總有機(jī)碳含量檢測，判斷排水的總有機(jī)碳含量是否低于預(yù)設(shè)的標(biāo)準(zhǔn)值，若是則進(jìn)行步驟332，若否則進(jìn)行步驟312；以及步驟332，檢測中間槽112的液位是否為H液位，若是則進(jìn)行步驟304，若否則進(jìn)行步驟310。
因此如上述說明，使用導(dǎo)電度計與總有機(jī)碳分析儀(TOC)配合中間槽液位控制分類回收水，可以嚴(yán)格管制各種品質(zhì)的回收水排至適當(dāng)?shù)脑?，以提升制程排水的再利用效率?br> 本發(fā)明所提供的一種制程裝置排水的回收系統(tǒng)及方法，適用于半導(dǎo)體業(yè)制程裝置例如是RCA晶圓洗凈制程，以下即以RCA晶圓洗凈制程為例，說明RCA制程應(yīng)用本發(fā)明作排水的回收。依RCA制程所使用的化學(xué)品的不同及清洗流程的不同，使用導(dǎo)電度計檢測制程排水中的導(dǎo)電度值，加以分類控制回收，共大致可分為純水回收/排水回收、排水回收/酸排水回收、排水回收/氟酸排水回收及酸排水回收/氟酸排水回收四大類。
請參照圖4(A)，圖4(A)所繪示為RCA晶圓洗凈制程排水選別機(jī)制流程圖。通常將廢SPM清洗液400、廢SC1清洗液402及廢SC2清洗液404排至酸排水收集槽406；跟隨在SPM清洗液、SC1清洗液及SC2清洗液之后的快速清洗制程，以大量溢流去離子水408清洗晶圓后的廢水，經(jīng)導(dǎo)電度計410量測導(dǎo)電度值，若導(dǎo)電度值介于10至1000mS/cm之間則排入廢水回收槽412，若介于1000至2000mS/cm之間則排入酸排水回收槽414；因后續(xù)廢水處理單元的要求，稀氫氟酸(DHF)416廢水則需分流排入氟酸排水回收槽418輸送至廢水處理廠處理；稀氫氟酸(DHF)清洗制程之后的清洗晶圓的溢流(0ver flow)去離子水420回收，依排水回收/氟酸排水分類，若導(dǎo)電度值介于10至1000mS/cm之間則排入廢水回收槽412，若介于1000至2000mS/cm之間則排入氟酸排水回收槽418；最后水洗(Final Rinse，F(xiàn)R)槽422的水回收依純水回收/廢水回收分類，若導(dǎo)電度值介于0至10mS/cm之間則排入純水回收槽424，若介于10至1000mS/cm之間則排入廢水回收槽412。此外乾燥制程所用的異丙醇的回收及處理，例如是由異丙醇(IPA)槽426冷凝回收異丙醇蒸氣則排至異丙醇回收系統(tǒng)428，而廢異丙醇則排至廢異丙醇收集槽430。
接著請參照圖4(B)，圖4(B)所繪示為銜接圖4(A)初步完成制程排水選別機(jī)制之后所進(jìn)行的回收水TOC選別流程圖。完成晶圓清洗制程機(jī)臺洗凈排水的初步分類后，將機(jī)臺分類后的回收水例如是收集在純水回收槽424、廢水回收槽412或酸排水回收槽414，再經(jīng)由導(dǎo)電度及總有機(jī)碳分析(Total Organic Carbon，TOC)，控制分類至純水回收、排水回收或酸排水回收的回收系統(tǒng)，供純水及制程冷卻水系統(tǒng)再次使用。其中純水回收的導(dǎo)電度值介于0至10mS/cm之間、排水回收的導(dǎo)電度值介于10至1000mS/cm之間及酸排水回收的導(dǎo)電度值介于1000至2000mS/cm之間。
經(jīng)選別回收的回收水由純水回收槽424流至緩沖槽432，先利用導(dǎo)電度計434量測回收水的導(dǎo)電度值，若小于10mS/cm排至中間槽436，若大于等于10mS/cm則排至中間槽438。再以TOC分析儀器440分析回收水的總有機(jī)碳含量，當(dāng)TOC＜500ppb排入純水回收過濾槽442，當(dāng)TOC值介于500至1000ppb之間則排至排水回收原水槽444，而當(dāng)TOC＞1000ppb則排至酸排水回收原水槽446。
經(jīng)選別回收的另一回收水流至緩沖槽448，先利用導(dǎo)電度計450量測回收水的導(dǎo)電度值，若小于1000mS/cm排至中間槽438，若大于等于1000mS/cm則排至中間槽452。再以TOC分析儀器454分析回收水的總有機(jī)碳含量，當(dāng)TOC＜1000ppb排入另一排水回收原水槽456，而當(dāng)TOC＞＝1000ppb則排至另一酸排水回收原水槽458。
至于經(jīng)選別回收的再一回收水，則利用導(dǎo)電度計460量測回收水的導(dǎo)電度值，若小于2000mS/cm排至中間槽452，再排至酸排水回收原水槽462，若大于等于2000mS/cm則排至酸鹼排水原水槽464。
綜合上述的說明，本發(fā)明利用對個別機(jī)臺加裝導(dǎo)電度計以進(jìn)行分類回收，將不同導(dǎo)電度的制程排水排放至不同的管路中，再使用導(dǎo)電度計與總有機(jī)碳分析儀(TOC)配合中間槽液位控制，并分類上述不同管路中的回收水具有提升回收水品質(zhì)的優(yōu)點(diǎn)，不限應(yīng)用于RCA晶圓洗凈制程排水選別回收，亦可應(yīng)用于任何制程裝置排水回收。
雖然本發(fā)明已以一較佳實(shí)施例揭露如上，然其并非用以限定本發(fā)明，任何熟習(xí)此技藝者，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作些許的更動與潤飾，因此本發(fā)明的保護(hù)范圍當(dāng)視后附的申請專利范圍所界定的為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
1.一種制程裝置排水回收系統(tǒng)，其特征在于，包括一制程裝置裝置，包含至少一排水口；一第一三向閥，連接該制程裝置的排水口；一第一導(dǎo)電度分析裝置，設(shè)置于制程裝置與第一三向閥之間的一管路中；一第一控制器，電性連接第一三向閥與第一導(dǎo)電度分析裝置，并根據(jù)第一導(dǎo)電度分析裝置的訊號控制第一三向閥；一第一回收槽，連接第一三向閥的一第一排水口；一緩沖槽，連接第一回收槽；一第一中間槽，連接緩沖槽；一第一原水槽與一第二原水槽，連接中間槽；一第一閥，設(shè)置于中間槽與第一原水槽之間；一第二閥，設(shè)置于中間槽與第二原水槽之間；一第一泵與一第二泵，設(shè)置于中間槽與第一閥、第二閥之間；以及一總有機(jī)碳分析裝置，連接緩沖槽，并電性連接第一閥與第二閥，以控制第一閥與第二閥的開啟與關(guān)閉。
2.如權(quán)利要求1所述的制程裝置排水回收系統(tǒng)，其特征在于，其中更包括一第二回收槽，連接第一三向閥的一第二排水口。
3.如權(quán)利要求1所述的制程裝置排水回收系統(tǒng)，其特征在于，其中更包括一第三閥，設(shè)置于緩沖槽與中間槽之間的管路上。
4.如權(quán)利要求3所述的制程裝置排水回收系統(tǒng)，其特征在于，其中更包括一第二導(dǎo)電度分析裝置連接緩沖槽，并電性連接第三閥，以控制第三閥的開啟與關(guān)閉。
5.如權(quán)利要求1所述的制程裝置排水回收系統(tǒng)，其特征在于，其中更包括一液位測量裝置，設(shè)置于中間槽內(nèi)，以量測中間槽的液位。
6.一種制程裝置排水的回收方法，其特征在于，該方法包括從一制程裝置排出一排水；以一導(dǎo)電度分析裝置分析該排水的一導(dǎo)電度；根據(jù)該導(dǎo)電度以控制一三向閥使排水導(dǎo)入一回收槽；使導(dǎo)入回收槽的排水導(dǎo)入一緩沖槽；使導(dǎo)入緩沖槽的排水導(dǎo)入一中間槽；以及以一總有機(jī)碳分析裝置分析緩沖槽內(nèi)排水，以控制中間槽的排水導(dǎo)入一第一原水槽或一第二原水槽。
7.如權(quán)利要求6所述的制程裝置排水的回收方法，其特征在于，其中以總有機(jī)碳分析裝置分析緩沖槽內(nèi)排水，以控制中間槽的排水導(dǎo)入第一原水槽或第二原水槽的步驟包括(a)對排水進(jìn)行一第一總有機(jī)碳含量檢測，檢測排水的總有機(jī)碳含量是否低于一標(biāo)準(zhǔn)值；(b)當(dāng)排水的總有機(jī)碳含量低于該標(biāo)準(zhǔn)值，檢測中間槽的液位是否為一第一高液位；(c)當(dāng)該中間槽的液位為該第一高液位，開啟一第一泵與一第一閥，關(guān)閉一第二閥，使排水導(dǎo)入第一原水槽；(d)對排水進(jìn)行一第二總有機(jī)碳含量檢測，檢測排水的總有機(jī)碳含量是否低于標(biāo)準(zhǔn)值；(e)當(dāng)排水的總有機(jī)碳含量低于該標(biāo)準(zhǔn)值，檢測中間槽的液位是否為一第二高液位，第二高液位高于第一高液位；(f)當(dāng)中間槽的液位為第二高液位，開啟第二泵，使排水加速導(dǎo)入第一原水槽；(g)在步驟(a)中，當(dāng)排水的總有機(jī)碳含量高于標(biāo)準(zhǔn)值，檢測中間槽的液位是否為中液位；(h)當(dāng)中間槽的液位為中液位，開啟第一泵、一第二泵與第二閥，關(guān)閉第一閥，使排水導(dǎo)入第二原水槽；(i)對排水進(jìn)行第二總有機(jī)碳含量檢測，檢測排水的總有機(jī)碳含量是否低于標(biāo)準(zhǔn)值；(j)當(dāng)排水的總有機(jī)碳含量低于標(biāo)準(zhǔn)值，檢測中間槽的液位是否為一低液位；以及(k)當(dāng)該中間槽的液位為低液位，關(guān)閉第二泵與第一泵。
8.如權(quán)利要求7所述的制程裝置排水的回收方法，其特征在于，其中在步驟(d)中，當(dāng)排水的總有機(jī)碳含量高于標(biāo)準(zhǔn)值時，則進(jìn)行下列步驟(l)檢測中間槽的液位是否為一中液位；(m)當(dāng)中間槽的液位為中液位，開啟第一泵、第二泵與第二閥，關(guān)閉第一閥，使排水導(dǎo)入第二原水槽；(n)對排水進(jìn)行一第三總有機(jī)碳含量檢測，檢測排水的總有機(jī)碳含量是否低于標(biāo)準(zhǔn)值；(o)當(dāng)排水的總有機(jī)碳含量低于標(biāo)準(zhǔn)值，檢測中間槽的液位是否為一低液位；以及(p)當(dāng)中間槽的液位為低液位，關(guān)閉第二泵與第一泵。
9.如權(quán)利要求8所述的制程裝置排水的回收方法，其特征在于，其中在步驟(n)中，當(dāng)該排水的總有機(jī)碳含量高于標(biāo)準(zhǔn)值，則進(jìn)行下列步驟；檢測中間槽的液位是否為一低液位；以及當(dāng)中間槽的液位約略等于低液位時，關(guān)閉第一泵與第二泵。
10.如權(quán)利要求8所述的制程裝置排水的回收方法，其特征在于，其中在步驟(o)中，當(dāng)中間槽的液位高于低液位時，則進(jìn)行下列步驟；使第一泵與第二泵運(yùn)轉(zhuǎn)一段時間；以及關(guān)閉第一泵與第二泵。
11.如權(quán)利要求7所述的制程裝置排水的回收方法，其特征在于，其中在步驟(f)中，當(dāng)中間槽的液位低于第二高液位時，則進(jìn)行下列步驟檢測中間槽的液位是否為一中液位；以及當(dāng)中間槽的液位為中液位，關(guān)閉第一泵。
12.如權(quán)利要求7所述的制程裝置排水的回收方法，其特征在于，其中在步驟(i)中，當(dāng)排水的總有機(jī)碳含量高于標(biāo)準(zhǔn)值，則進(jìn)行下列步驟；檢測中間槽的液位是否為一低液位；以及當(dāng)中間槽的液位約略等于低液位時，關(guān)閉第一泵與第二泵。
13.如權(quán)利要求7所述的制程裝置排水的回收方法，其特征在于，其中在步驟(j)中，當(dāng)中間槽的液位高于低液位時，則進(jìn)行下列步驟；使第一泵與第二泵運(yùn)轉(zhuǎn)一段時間；以及關(guān)閉第一泵與第二泵。
14.如權(quán)利要求7所述的制程裝置排水的回收方法，其特征在于，其中于步驟(f)之后更包括下列步驟；對緩沖槽的排水進(jìn)行一第三次總有機(jī)碳含量檢測，判斷排水的總有機(jī)碳含量是否低于預(yù)設(shè)的標(biāo)準(zhǔn)值，若是則進(jìn)行檢測中間槽的液位是否為第一高液位，若否則進(jìn)行檢測中間槽的液位是否為中液位；以及檢測中間槽的液位是否為第一高液位，若是則進(jìn)行步驟(c)，若否則進(jìn)行步驟(f)。
15.一種制程裝置排水的回收方法，其特征在于，該方法包括(a)從一制程裝置排出一排水；(b)根據(jù)排水的一導(dǎo)電度，判斷排水應(yīng)導(dǎo)入哪一個回收槽并導(dǎo)入該回收槽；(c)使導(dǎo)入回收槽的排水導(dǎo)入一緩沖槽；(d)使導(dǎo)入緩沖槽的排水導(dǎo)入一中間槽；(e)對排水進(jìn)行一第一總有機(jī)碳含量檢測，檢測排水的總有機(jī)碳含量是否低于一標(biāo)準(zhǔn)值；(f)當(dāng)排水的總有機(jī)碳含量高于標(biāo)準(zhǔn)值，檢測中間槽的液位是否為該中液位；(g)當(dāng)中間槽的液位為中液位，開啟一第一泵、一第二泵與一第二閥，關(guān)閉一第一閥，使排水導(dǎo)入一第二原水槽；(h)對排水進(jìn)行一第二總有機(jī)碳含量檢測，檢測排水的總有機(jī)碳含量是否低于標(biāo)準(zhǔn)值；(i)當(dāng)排水的總有機(jī)碳含量低于標(biāo)準(zhǔn)值，檢測中間槽的液位是否為一低液位；以及(j)當(dāng)中間槽的液位為低液位，關(guān)閉第二泵與第一泵。
16.如權(quán)利要求15所述的制程裝置排水的回收方法，其特征在于，其中在步驟(e)中，當(dāng)排水的總有機(jī)碳含量低于標(biāo)準(zhǔn)值時，則進(jìn)行下列步驟(k)檢測中間槽的液位是否為一第一高液位；(l)當(dāng)中間槽的液位為第一高液位，開啟一第一泵與一第一閥，關(guān)閉一第二閥，使排水導(dǎo)入第一原水槽；(m)對排水進(jìn)行第二總有機(jī)碳含量檢測，檢測排水的總有機(jī)碳含量是否低于標(biāo)準(zhǔn)值；(n)當(dāng)排水的總有機(jī)碳含量低于標(biāo)準(zhǔn)值，檢測中間槽的液位是否為一第二高液位，第二高液位高于第一高液位；以及(o)當(dāng)中間槽的液位為第二高液位，開啟第二泵，使排水加速導(dǎo)入一第一原水槽。
17.如權(quán)利要求16所述的制程裝置排水的回收方法，其特征在于，其中在步驟(n)中，當(dāng)中間槽的液位低于第二高液位時，則進(jìn)行下列步驟檢測中間槽的液位是否為一中液位；以及當(dāng)中間槽的液位為中液位，關(guān)閉第一泵。
18.如權(quán)利要求15所述的制程裝置排水的回收方法，其特征在于，其中在步驟(h)中，當(dāng)排水的總有機(jī)碳含量高于標(biāo)準(zhǔn)值，則進(jìn)行下列步驟；檢測中間槽的液位是否為一低液位；以及當(dāng)中間槽的液位約略等于低液位時，關(guān)閉第一泵與第二泵。
19.如權(quán)利要求15所述的制程裝置排水的回收方法，其特征在于，其中在步驟(i)中，當(dāng)中間槽的液位高于低液位時，則進(jìn)行下列步驟；使第一泵與第二泵運(yùn)轉(zhuǎn)一段時間；以及關(guān)閉第一泵與第二泵。
全文摘要
一種制程裝置排水回收系統(tǒng)及方法，是利用導(dǎo)電度計檢測制程排水的導(dǎo)電度，將不同導(dǎo)電度的制程排水排放至不同的管路中。再使用導(dǎo)電度計與總有機(jī)碳分析儀(TOC)配合中間槽液位控制分類回收水。然后依據(jù)回收水的特性應(yīng)用于不同的用途上，以提升制程排水的再利用效率。
文檔編號B08B11/00GK1532006SQ0310737
公開日2004年9月29日 申請日期2003年3月24日 優(yōu)先權(quán)日2003年3月24日
發(fā)明者黃政忠, 宋坤森 申請人:力晶半導(dǎo)體股份有限公司