波長可調(diào)整成約840nm，應(yīng)用于角膜則可調(diào)整成1060nm或是1310nm，若應(yīng)用于皮膚則可調(diào)整成約1310nm，光源模塊的頻寬約為20nm至40nm。換言之，實際的波長跟頻寬將依據(jù)應(yīng)用的對象不同而有所調(diào)整。
[0067]光耦合模塊24可將光源模塊20的光線分別傳遞、匯聚至參考鏡組22以及待測物01。本實施例的光稱合模塊24可為分光器,但不局限于分光器。例如可將光源模塊20的50%的光線反射進(jìn)入?yún)⒖肩R組22，而其余50%的光線穿透進(jìn)入待測物01，以達(dá)成光耦合的效果。此外，本實施例的待測物01為一個球狀體，且以眼球為例示，但不局限于測眼球。
[0068]本實施例的參考鏡組22可包括致動器221 (micro-actuator)以及反射鏡222,反射鏡222為可撓性材質(zhì)所構(gòu)成，貼附于致動器221。致動器221可依據(jù)處理單元26提供的調(diào)整信號調(diào)整反射鏡221的曲率，例如可調(diào)整成凸面(圖2B)、凹面(圖2C)或平面(圖2A)。具體而言，致動器221可依據(jù)不同的調(diào)整信號調(diào)整其形變的程度，進(jìn)而使得反射鏡222的曲率改變，以得到較好的測量結(jié)果。詳細(xì)的調(diào)整信號產(chǎn)生的方式將在下面描述。
[0069]此外，本實施例的參考鏡組22得以往復(fù)移動(例如可通過傳動平臺移動)，以取得較好的干涉結(jié)果。
[0070]實際應(yīng)用時，首先，光源模塊20可提供一個光線至參考鏡組22，并提供又一光線至待測物(步驟SI)。以本實施例的架構(gòu)而言，光源模塊20的光線可經(jīng)由光耦合模塊24傳遞至參考鏡組22以及待測物01。
[0071]接著，光線被參考鏡組22反射后形成第一光線、光線將會被待測物01反射后形成第二光線。(步驟S2)。簡言之，傳遞至參考鏡組22、待測物01表面的光線都被反射。此時，通過光耦合模塊24，被反射的第一光線與第二光線被傳遞至處理單元26。
[0072]第一光線與第二光線產(chǎn)生干涉(步驟S3)。此時，處理單元26可紀(jì)錄此時第一光線與該第二光線的相對的光學(xué)路徑長(光程差，0PD)，以作為后續(xù)判斷的依據(jù)。詳細(xì)而言，處理單元26可包括一個儲存單元，其中可儲存不同的光學(xué)路徑長對應(yīng)的干涉結(jié)果，亦即可通過查表的方式判斷此步驟圖為判斷光學(xué)路徑長是否符合預(yù)定干涉范圍，若否，則依據(jù)干涉產(chǎn)生一個調(diào)整信號，參考鏡組22依據(jù)調(diào)整信號調(diào)整參考鏡組。(步驟S4)。
[0073]以本實施例的架構(gòu)為例，處理單元26將會依據(jù)第一光線與第二光線的干涉結(jié)果查找對應(yīng)的修正方式(處理單元26內(nèi)將會有一個數(shù)據(jù)庫可對應(yīng)查找干涉結(jié)果對應(yīng)的調(diào)整方式，例如增加或減少曲度)以提供一調(diào)整信號。接著，處理單元26會將調(diào)整信號傳送給參考鏡組22，參考鏡組22將依據(jù)調(diào)整信號調(diào)整參考鏡組22 (亦即致動器221將會使反射鏡222產(chǎn)生形變，改變反射鏡的曲率)。
[0074]例如，可將參考鏡組22預(yù)設(shè)曲率為O (亦即預(yù)設(shè)為一平面)，進(jìn)行第一次測量，接著再將參考鏡組22的曲率調(diào)整成凸面及凹面，再分別針對凹面及凸面進(jìn)行測量。此時處理單元26將會比對這些測量結(jié)果，將參考鏡組22調(diào)整至與待測物較為接近的曲率，以得到較精準(zhǔn)的測量結(jié)果。
[0075]或者，在約略知道待測物表面的曲率范圍的情況下(例如已知測量者的年齡且欲測量角膜的情況)，此時，在測量前處理單元26可依據(jù)數(shù)據(jù)庫的查找該年齡的角膜曲率的平均值，將此平均值設(shè)定為第一次測量時參考鏡組22的曲率，并由此曲率作為后續(xù)調(diào)整的基礎(chǔ)。也可以先將參考鏡面調(diào)整至凸面(角膜為一凸面)，再逐步減少凸面曲率，并測量反射的第二光線與第一光線的干涉情況，若干涉情況較差，則處理單元將會傳送調(diào)整信號停止減少凸面曲率，并增加凸面曲率直至測量到最佳值為止。
[0076]簡言之，通過上述方式調(diào)整后的第一光線與第二光線的干涉結(jié)果將會更加精準(zhǔn)，并可測量出待測物01的表面曲率。補(bǔ)充說明的是，上述的修正方式是以使參考鏡組22的表面曲率調(diào)整至與待測物01的表面相似的曲率或是相似的曲率范圍的方式。而且，可依據(jù)不同的需求，反復(fù)測量并加以調(diào)整至所需的精度。
[0077]另外，本實施例的光學(xué)測量裝置2還可包括影像分析單元(圖未示出)，可用于分析并建構(gòu)待測物的平面或是立體圖像。且具體而言，影像分析單元可為電耦合裝置攝影機(jī)或是互補(bǔ)性氧化金屬半導(dǎo)體攝影機(jī)。
[0078]承前，本實施例的步驟還包括:依據(jù)干涉，形成待測物的待測表面的圖像。通過計算，將待測物上多個點(diǎn)、多個區(qū)域測量到的相對的光學(xué)路徑長繪制、建構(gòu)待測物01的表面的圖像(平面影像)。其繪制的方法可為通過干涉表面輪廓繪制(interferometric surfaceprofiling)的計算方式,但不局限于此。
[0079]此外，若待測物為不規(guī)折曲面，則可將待測物的表面分割成多個區(qū)域(分割成復(fù)數(shù)個環(huán)狀區(qū)域或是棋盤狀區(qū)域)，分別針對各個區(qū)域進(jìn)行上述的調(diào)整、測量作業(yè)后再形成待測物的表面的圖像。
[0080]或者，若待測物為具有多個曲面、多層結(jié)構(gòu)，則可在每個曲面調(diào)整、測量各曲面后，將不同深度的曲面迭加形成立體圖案。
[0081]或者，若應(yīng)用于眼球測量上，本實施例則可一并測量角膜、角膜厚度以及視網(wǎng)膜等等的結(jié)構(gòu)，而不須如已知光學(xué)測量儀器須特別針對角膜、視網(wǎng)膜采用不同的參考鏡(亦即須使用兩個以上的測量儀器)，并可直接形成眼球的立體圖像。換言之，本實施例的光學(xué)測量裝置可至少具有以下優(yōu)點(diǎn):節(jié)省成本(不須針對不同的曲率搭配不同的光學(xué)測量裝置)、省時(節(jié)省更換儀器的時間)、達(dá)到更精確的測量結(jié)果(參考鏡具有可調(diào)整功能，可更貼近實際待測物的表面曲率)。
[0082]簡言之，通過第一光線與第二光線的干涉結(jié)果，可判斷參考鏡組的曲率是否與匹配，并通過調(diào)整信號調(diào)整參考鏡的曲率使其與待測物所欲測量的曲面、局部曲面匹配，進(jìn)而提高整體測量的精度，并克服測量不同曲面、多層體曲面須預(yù)先搭配適合的曲率范圍的參考鏡組的缺點(diǎn)。
[0083]接著，請一并參考圖4A至圖4D，圖4A為本發(fā)明的光學(xué)測量裝置的參考鏡組的第二實施例的立體示意圖。圖4B、4C為圖4A沿AA、BB剖面示意圖。圖4D為圖4A參考鏡組操作示意圖。
[0084]本實施例例示另一種可能的參考鏡組32，參考鏡組可包括光路調(diào)整單元322、多個參考鏡32a、32b、32c、32d，且光路調(diào)整單元322可依據(jù)輸入的調(diào)整信號將第二光線與其中一個參考鏡匹配，亦即依據(jù)調(diào)整信號改變光線的入射角度，進(jìn)入不同的參考鏡。且各個參考鏡32a、32b、32c、32d的曲率不同，而且雖然本實施例例示這些參考鏡32a、32b、32c、32d排列成2X2矩陣的形式，但不以此排列方式、須為設(shè)置為單一構(gòu)件為限制。此外，參考鏡的數(shù)量也僅為示意，可依據(jù)不同的需求有所增減。
[0085]本實施例的光路調(diào)整單元322可包括多個反射鏡，且各個可搭配驅(qū)動裝置(圖未示出)，依據(jù)不同的調(diào)整信號，調(diào)整對應(yīng)的反射鏡面的偏轉(zhuǎn)角度，使光線入射到不同曲率的參考鏡(圖4D)，以提高整體測量精度。舉例而言，若測量到的待測物的表面的曲率與參考鏡32b較為接近，則處理單元將會發(fā)送調(diào)整信號，使對應(yīng)參考鏡32b的反射鏡偏轉(zhuǎn)，使第二光線入射參考鏡32b，換言之，參考鏡32b將會作為測量待測物的參考鏡面。
[0086]其余構(gòu)件、參考鏡組與其它元件的搭配關(guān)系與前述實施例相似，故將不再贅述。
[0087]請參考圖5為本發(fā)明的光學(xué)測量裝置的參考鏡組的第三實施例的立體示意圖。
[0088]與圖4A的前述參考鏡組32不同之處在于，本實施例的參考鏡組52為一個光纖陣列522與參考鏡521所構(gòu)成,各個光纖將會對應(yīng)于一個參考鏡,且這些參考鏡也可具有不同的曲率。實際操作時，其中一個光纖將會開啟并將光線傳送給對應(yīng)的參考鏡521，接著通過反射的第二光線與第一光線的干涉結(jié)果，處理單元將會判斷是否須調(diào)整開啟不同的光纖(改變傳輸路徑)，以對應(yīng)不同的反射鏡，以提高整體測量的精度。
[0089]其余構(gòu)件、參考鏡組與其