本申請是申請日為2012年10月9日的pct/jp2012/076103進(jìn)入中國國家階段的發(fā)明名稱為“金屬過濾器的制造方法”的中國專利申請no.201280049165.7的分案申請。本發(fā)明涉及一種金屬過濾器及其制造方法。更詳細(xì)地說，涉及一種能夠高效地捕獲血中循環(huán)癌細(xì)胞的金屬過濾器及其制造方法。
背景技術(shù)：
：癌癥在世界各國都占據(jù)死亡原因的前列，日本每年有30萬人以上因患癌癥而死亡，一直期待對癌癥進(jìn)行早期發(fā)現(xiàn)和治療。由癌癥導(dǎo)致人的死亡幾乎都是因為癌的轉(zhuǎn)移復(fù)發(fā)。癌的轉(zhuǎn)移復(fù)發(fā)是由于癌細(xì)胞從原發(fā)灶經(jīng)由血管或淋巴管而在其它臟器組織的血管壁上固定、浸潤來形成微小轉(zhuǎn)移灶而引起的。這種流過血管和淋巴管而在人的體內(nèi)循環(huán)的癌細(xì)胞被稱作血中循環(huán)癌細(xì)胞(circulatingtumorcell，下文中有時稱作“ctc”。)。血液中含有大量的紅細(xì)胞、白細(xì)胞以及血小板等血細(xì)胞成分，據(jù)稱其個數(shù)是在1ml血液中達(dá)到3.5～9×109個。其中ctc僅有數(shù)個左右。為了從血細(xì)胞成分中有效地檢測ctc，需要分離血細(xì)胞成分，觀察和測定都非常困難。ctc等癌細(xì)胞與血液中的細(xì)胞例如紅細(xì)胞和白細(xì)胞或血小板等相比，尺寸要大一圈。因此，理論上，能夠使用機(jī)械過濾法來除去上述血細(xì)胞成分，富集(濃縮)癌細(xì)胞。白細(xì)胞中存在具有與ctc同等程度的尺寸的細(xì)胞，有時僅根據(jù)尺寸的差異不能僅將ctc高精度地區(qū)分出來。但是，由于白細(xì)胞的變形能力比癌細(xì)胞大，所以通過由抽吸或加壓等施加的外力，可以使白細(xì)胞通過比自己小的孔，從而能夠與ctc分離。作為用于進(jìn)行機(jī)械過濾法的過濾器，認(rèn)為是使用金屬過濾器。作為金屬過濾器的制造方法，已知使用了光刻法的電氣鑄造(電鑄)鍍覆的方法。例如，專利文獻(xiàn)1中記載了一種金屬掩模的制造方法，其特征在于，在具有導(dǎo)電性的基板上形成第1感光性樹脂層，將形成了網(wǎng)眼圖案的第1光掩模重疊于上述第1感光性樹脂層上來進(jìn)行曝光，進(jìn)行顯影處理以除去不要部分，在該除去部分上，通過以上述基板作為一個電極來進(jìn)行電鑄，以厚度不超過上述第1感光性樹脂層的方式形成第1鍍層，在該第1鍍層和上述第1感光樹脂層的表面上通過濺射法形成導(dǎo)電性的薄膜，在該薄膜的表面上形成第2感光性樹脂層，將形成了印刷圖案的第2光掩模重疊于上述第2感光性樹脂層上來進(jìn)行曝光，進(jìn)行顯影處理以除去不要部分，在該除去部分上，通過以上述薄膜作為一個電極來進(jìn)行電鑄，以厚度不超過上述第2感光性樹脂層的方式形成第2鍍層，然后剝離上述基板，并且除去上述第1感光性樹脂層、上述第2感光性樹脂層以及上述薄膜的露出部分。另外，專利文獻(xiàn)2中記載了一種金屬掩模的制造方法，其包含下述工序：在由平板構(gòu)成的基板的表面上以能夠剝離的方式層壓或涂布光致抗蝕劑的工序；在光致抗蝕劑上重疊圖案膜、用與基板垂直地直射的光將光致抗蝕劑曝光的工序；剝離圖案膜、將光致抗蝕劑轉(zhuǎn)印至電鑄陰模側(cè)的工序；進(jìn)行顯影、干燥處理、在電鑄陰模之上形成圖案抗蝕劑膜的工序；在電鑄陰模的未被圖案抗蝕劑膜覆蓋的表面上形成電沉積金屬的工序；以及將電沉積金屬從電鑄陰模上剝離的工序?，F(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)1：日本專利第3786313號專利文獻(xiàn)2：日本專利第3934723號技術(shù)實現(xiàn)要素：發(fā)明所要解決的問題但是，在專利文獻(xiàn)1和2的制造方法中，成為金屬掩模的電鑄鍍層從基板上的剝離是通過手工作業(yè)(手剝)來進(jìn)行。因此，有時金屬掩模上會發(fā)生皺紋、折斷、劃痕、卷曲等損傷。因此，在用專利文獻(xiàn)1或2的制造方法制造金屬過濾器的情況下，有時金屬過濾器上會發(fā)生皺紋、折斷、劃痕、卷曲等損傷，金屬過濾器的貫通孔會發(fā)生變形，貫通孔的尺寸會產(chǎn)生偏差(擴(kuò)大、縮小)?？梢韵胂?，如果貫通孔的尺寸發(fā)生偏差，則癌細(xì)胞的分離精度會下降。因此，本發(fā)明的目的是提供一種不會發(fā)生皺紋、折斷、劃痕、卷曲等損傷以及微細(xì)貫通孔的變形的金屬過濾器的制造方法。解決問題的手段本發(fā)明提供一種金屬過濾器的制造方法，其包含下述工序：層疊工序，該工序是在銅基板上層疊感光性樹脂組合物而形成感光性樹脂組合物層；曝光工序，該工序是對感光性樹脂組合物層的規(guī)定部分照射活性光線，使被曝光的部分發(fā)生光固化而形成感光性樹脂組合物的固化物；顯影工序，該工序是將感光性樹脂組合物層中的感光性樹脂組合物的固化物以外的部分通過顯影而除去，在銅基板上形成由感光性樹脂組合物的固化物構(gòu)成的抗蝕圖案；鍍覆工序，該工序是對形成了抗蝕圖案的銅基板進(jìn)行金屬鍍覆而形成鍍層；溶解工序，該工序是通過化學(xué)溶解而除去銅基板，從而得到由鍍層和感光性樹脂組合物的固化物構(gòu)成的結(jié)構(gòu)物；以及剝離工序，該工序是從結(jié)構(gòu)物中除去感光性樹脂組合物的固化物，從而得到鍍層，其中，鍍層是金屬過濾器。根據(jù)上述本發(fā)明的制造方法，通過化學(xué)溶解而除去銅基板，不用通過手工作業(yè)(手剝)就能夠回收將成為金屬過濾器的鍍層。因此，能夠在不發(fā)生皺紋、折斷、劃痕、卷曲等損傷以及微細(xì)貫通孔的變形的情況下制造金屬過濾器。由上述本發(fā)明的制造方法制造的金屬過濾器由于貫通孔的尺寸的偏差較少，所以能夠以高的分離精度分離和富集癌細(xì)胞。當(dāng)基板與感光性樹脂組合物(光致抗蝕劑)的粘附力不充分時，需要增大抗蝕圖案的粘附面積，制造具有微細(xì)貫通孔的金屬過濾器有可能變得困難。為了形成微細(xì)貫通孔，需要形成與貫通孔的尺寸相當(dāng)?shù)妮^小粘附面積的抗蝕圖案。上述本發(fā)明的制造方法中，使用銅基板作為基板。銅由于與光致抗蝕劑的粘附力優(yōu)良，所以能夠獲得與感光性樹脂組合物的充分的粘附力。因此，根據(jù)使用銅基板的上述本發(fā)明的制造方法，能夠制造具有微細(xì)貫通孔的金屬過濾器。上述金屬過濾器具有多個貫通孔，貫通孔的開口形狀優(yōu)選為選自圓、橢圓、圓角長方形、長方形以及正方形中的1種以上的形狀。進(jìn)而優(yōu)選的是，貫通孔的開口形狀包含長方形或圓角長方形的形狀，長方形或圓角長方形的短邊的長度為5～15μm。這里，圓角長方形是指由2條相等長度的長邊和2個半圓形構(gòu)成的形狀，其是圖3(b)所示的形狀。圓角長方形的短邊的長度是指圖3(b)的a所表示的長度。另外，金屬過濾器的厚度優(yōu)選為3～50μm。通過設(shè)置成上述的開口形狀和尺寸，癌細(xì)胞就不易堵塞貫通孔，能夠進(jìn)一步提高癌細(xì)胞的富集效率。上述的鍍層的厚度優(yōu)選比上述的感光性樹脂組合物層的厚度(感光性樹脂組合物的固化物的厚度)薄。由此，能夠可靠地形成金屬過濾器的貫通孔。如果鍍層的厚度比感光性樹脂組合物層的厚度厚，則鍍層在比感光性樹脂組合物的固化物的厚度厚的部分發(fā)生連接，有可能無法形成貫通孔。上述銅基板優(yōu)選為可剝離銅箔。通過使用可剝離銅箔，可以減少銅的量，可以減少為除去銅基板而需要的化學(xué)溶解劑的量以及時間，提高生產(chǎn)率。上述金屬過濾器優(yōu)選為癌細(xì)胞富集用金屬過濾器。上述金屬過濾器具有特別適合于癌細(xì)胞富集的結(jié)構(gòu)。即，本發(fā)明還提供一種由上述的制造方法制造的金屬過濾器的用于癌細(xì)胞富集的用途。上述癌細(xì)胞富集用金屬過濾器優(yōu)選為血液中循環(huán)的癌細(xì)胞的富集用金屬過濾器。上述金屬過濾器具有特別適合于將血液中循環(huán)的癌細(xì)胞與血細(xì)胞成分分離并將癌細(xì)胞富集的結(jié)構(gòu)。即，本發(fā)明還提供一種由上述的制造方法制造的金屬過濾器的用于血液中循環(huán)的癌細(xì)胞的富集的用途。發(fā)明效果通過本發(fā)明，可以提供一種不會發(fā)生皺紋、折斷、劃痕、卷曲等損傷以及微細(xì)貫通孔的變形的金屬過濾器的制造方法。附圖說明圖1(a)～(h)是說明本發(fā)明的制造方法的一個實施方式的工序圖。圖2(a)～(g)是說明本發(fā)明的制造方法的一個實施方式的工序圖。圖3(a)是表示過濾器的一個實施方式的概略圖。圖3(b)是一個實施方式的過濾器的貫通孔的俯視圖。具體實施方式以下，根據(jù)情況，參照著附圖來說明優(yōu)選的實施方式，但本發(fā)明不限于這些。此外，在附圖的說明中，同一要素用相同符號表示，并省略重復(fù)的說明。另外，關(guān)于附圖，為了使得容易理解而將局部夸張地描畫，尺寸比率與所說明的尺寸比率未必一致。實施方式的金屬過濾器的制造方法包含下述工序：層疊工序，該工序是在銅基板上層疊感光性樹脂組合物而形成感光性樹脂組合物層；曝光工序，該工序是對感光性樹脂組合物層的規(guī)定部分照射活性光線，使被曝光的部分發(fā)生光固化而形成感光性樹脂組合物的固化物；顯影工序，該工序是將感光性樹脂組合物層中的感光性樹脂組合物的固化物以外的部分通過顯影而除去，在銅基板上形成由感光性樹脂組合物的固化物構(gòu)成的抗蝕圖案；鍍覆工序，該工序是對形成了抗蝕圖案的銅基板進(jìn)行金屬鍍覆而形成鍍層；溶解工序，該工序是通過化學(xué)溶解而除去銅基板，從而得到由鍍層和感光性樹脂組合物的固化物構(gòu)成的結(jié)構(gòu)物；以及剝離工序，該工序是從結(jié)構(gòu)物中除去感光性樹脂組合物的固化物，從而得到鍍層，其中，鍍層是金屬過濾器。圖1(a)～(h)是說明本發(fā)明的制造方法的一個實施方式的工序圖。本實施方式中，使用可剝離銅箔作為銅基板。圖1(a)示出了由載體層1和銅箔層2構(gòu)成的可剝離銅箔。在圖1(b)所示的層疊工序中，在銅箔層2上層疊感光性樹脂組合物，形成感光性樹脂組合物層3。接著，在圖1(c)所示的曝光工序中，通過光掩模4對感光性樹脂組合物層3照射活性光線(uv光)，使被曝光的部分發(fā)生光固化而形成感光性樹脂組合物的固化物3a。接著，在圖1(d)所示的顯影工序中，除去感光性樹脂組合物層3中的感光性樹脂組合物的固化物3a以外的部分，形成由感光性樹脂組合物的固化物3a構(gòu)成的抗蝕圖案。接著，在圖1(e)所示的鍍覆工序中，在形成了由感光性樹脂組合物的固化物3a構(gòu)成的抗蝕圖案的銅箔層2上形成鍍層5。接著，如圖1(f)所示那樣，將可剝離銅箔的銅箔層2與載體層1剝離。接著，在圖1(g)所示的溶解工序中，通過化學(xué)溶解而除去銅箔層2。其結(jié)果是，留下了感光性樹脂組合物的固化物3a和鍍層5。接著，在圖1(h)所示的剝離工序中，除去由感光性樹脂組合物的固化物3a構(gòu)成的抗蝕圖案，回收由鍍層5構(gòu)成的金屬過濾器。金屬過濾器中形成了貫通孔6。圖2(a)～(g)是說明本發(fā)明的制造方法的一個實施方式的工序圖。本實施方式中，使用銅基板2’代替上述實施方式的可剝離銅箔。本實施方式的制造方法除了沒有圖1(f)所示的將可剝離銅箔的銅箔層2與載體層1剝離的工序這一點以外，與上述實施方式相同。不過，由于銅基板2’比上述實施方式的銅箔層2厚，所以在溶解工序中，在通過化學(xué)溶解而除去銅基板2’的工序中，需要比上述實施方式更多的化學(xué)溶解劑和時間。下面，對實施方式的金屬過濾器的制造方法的各工序進(jìn)行更詳細(xì)的說明。(層疊工序)首先，對層疊工序進(jìn)行說明。作為銅基板，只要是銅或表面上具有銅的基板就行，沒有特別限制，例如可以列舉出厚度為1～100μm的銅箔、銅箔帶、可剝離銅箔等。從作業(yè)性的觀點考慮，優(yōu)選可剝離銅箔?？蓜冸x銅箔是指至少由極薄銅箔和載體層這2層構(gòu)成的銅箔。作為感光性樹脂組合物，負(fù)型和正型均可以使用，但優(yōu)選負(fù)型感光性樹脂組合物。負(fù)型感光性樹脂組合物優(yōu)選至少含有粘合劑樹脂、具有不飽和鍵的光聚合性化合物、光聚合引發(fā)劑。此外，當(dāng)使用正型的感光性樹脂組合物時，由于感光性樹脂組合物層中的通過活性光線的照射而被曝光的部分在顯影液中的溶解性增大，所以在顯影工序中，被曝光的部分將被除去。以下，對使用了負(fù)型感光性樹脂組合物的情況進(jìn)行說明。所制造的金屬過濾器的厚度為感光性樹脂組合物層的厚度以下。因此，需要形成膜厚適合于目標(biāo)金屬過濾器的厚度的感光性樹脂組合物層。例如，當(dāng)制造厚度為15μm以下的金屬過濾器時，優(yōu)選使用膜厚為15μm的感光性樹脂組合物。另外，當(dāng)制造厚度超過15μm且為25μm以下的金屬過濾器時，優(yōu)選使用膜厚為25μm的感光性樹脂組合物。另外，貫通孔的孔徑越小，則優(yōu)選使用膜厚越薄的感光性樹脂組合物。感光性樹脂組合物在銅基板上的層疊例如可以通過下述方法進(jìn)行：除去由支撐膜、感光性樹脂組合物以及保護(hù)膜構(gòu)成的片材狀的感光性元件的保護(hù)膜，然后一邊將感光性元件的感光性樹脂組合物層加熱，一邊將其壓貼于銅基板上。由此，得到由銅基板、感光性樹脂組合物層以及支撐膜構(gòu)成并且由它們依次層疊而成的層疊體。從粘附性和追隨性的觀點考慮，該層疊作業(yè)優(yōu)選在減壓下進(jìn)行。壓貼時對感光性樹脂組合物層和/或銅基板施加的加熱溫度、壓力等條件沒有特別限制，但優(yōu)選在70～130℃的溫度下進(jìn)行，優(yōu)選在100～1000kpa左右的壓力下進(jìn)行壓貼。此外，在進(jìn)行感光性樹脂組合物層的壓貼時，為了提高層疊性，也可以將銅基板進(jìn)行預(yù)熱處理。(曝光工序)接下來，對曝光工序進(jìn)行說明。對銅基板上的感光性樹脂組合物層的規(guī)定部分照射活性光線，使被曝光的部分光發(fā)生固化而形成感光性樹脂組合物的固化物。此時，當(dāng)感光性樹脂組合物層上存在的支撐膜對活性光線具有透射性時，可以透過支撐膜照射活性光線，當(dāng)支撐膜對活性光線具有遮光性時，要在除去支撐膜后對感光性樹脂組合物層照射活性光線。作為曝光方法，可以列舉出透過叫作布線圖(artwork)的負(fù)型或正型掩模圖案對圖像上照射活性光線的方法(掩模曝光法)。另外，也可以采用通過ldi(激光直接成像：laserdirectimaging)曝光法或dlp(數(shù)字光處理：digitallightprocessing)曝光法等直接描畫曝光法來以圖像狀照射活性光線的方法。作為活性光線的光源，可以使用公知的光源，例如可以使用碳弧燈、汞蒸氣弧燈、高壓汞燈、氙燈、氬氣激光器等氣體激光器、yag激光器等固體激光器、半導(dǎo)體激光器等能有效發(fā)射紫外線、可見光等的光源。作為活性光線的波長(曝光波長)，優(yōu)選設(shè)定為350～410nm的范圍內(nèi)，更優(yōu)選設(shè)定為390～410nm的范圍內(nèi)。(顯影工序)接下來，對顯影工序進(jìn)行說明。通過將感光性樹脂組合物層中的感光性樹脂組合物的固化物以外的部分從銅基板上除去，在銅基板上形成由感光性樹脂組合物的固化物構(gòu)成的抗蝕圖案。當(dāng)感光性樹脂組合物層上存在有支撐膜時，要在除去支撐膜之后再進(jìn)行上述感光性樹脂組合物的固化物以外的部分的除去(顯影)。顯影方法有濕式顯影和干式顯影，但濕式顯影被廣泛使用。當(dāng)使用濕式顯影來進(jìn)行顯影時，使用與感光性樹脂組合物對應(yīng)的顯影液，通過公知的顯影方法來進(jìn)行顯影。作為顯影方法，可以列舉出使用了浸漬方式、槳式攪拌方式、噴涂方式、涂刷、拍擊、涂擦、搖動浸漬等的方法，從提高分辨力的觀點考慮，高壓噴涂方式是最適合的。上述這些方法中也可以將2種以上的方法組合起來進(jìn)行顯影。作為顯影液，可以列舉出堿性水溶液、水系顯影液、有機(jī)溶劑系顯影液等。使用堿性水溶液作為顯影液時，安全而且穩(wěn)定，操作性良好。作為堿性水溶液的堿，可以使用鋰、鈉或鉀的氫氧化物等堿金屬氫氧化物；鋰、鈉、鉀或銨的碳酸鹽或碳酸氫鹽；磷酸鉀、磷酸鈉等堿金屬磷酸鹽；焦磷酸鈉、焦磷酸鉀等堿金屬焦磷酸鹽等。作為堿性水溶液，優(yōu)選0.1～5質(zhì)量％碳酸鈉的稀溶液、0.1～5質(zhì)量％碳酸鉀的稀溶液、0.1～5質(zhì)量％氫氧化鈉的稀溶液、0.1～5質(zhì)量％四硼酸鈉的稀溶液等。堿性水溶液的ph優(yōu)選設(shè)定為9～11的范圍，其溫度可以根據(jù)感光性樹脂組合物層的堿顯影性來調(diào)節(jié)。堿性水溶液中還可以混入表面活性劑、消泡劑、用于促進(jìn)顯影的少量的有機(jī)溶劑等。將感光性樹脂組合物的固化物以外的部分通過顯影而除去，在銅基板上形成由感光性樹脂組合物的固化物構(gòu)成的抗蝕圖案之后，也可以根據(jù)需要進(jìn)行60～250℃左右的加熱或0.2～10j/cm2左右的曝光，使抗蝕圖案進(jìn)一步固化。(鍍覆工序)接下來，對鍍覆工序進(jìn)行說明。顯影工序之后，在銅基板上進(jìn)行鍍覆，形成鍍層。作為鍍覆的方法，可以列舉出例如鍍焊錫、鍍鎳、鍍金等。該鍍層最終成為金屬過濾器。作為金屬過濾器的材質(zhì)，可以列舉出：金、銀等貴金屬；鋁、鎢、鎳、鉻等賤金屬；以及這些金屬的合金，但并不限于它們。金屬可以以單質(zhì)的形式使用，為了賦予功能性，也可以作為與其它金屬的合金或金屬的氧化物來使用。其中，由于可以防止腐蝕等的發(fā)生、并且加工性和成本方面也優(yōu)良的緣故，優(yōu)選使用鎳以及以鎳為主成分的金屬。這里，主成分是指在材料中占50重量％以上的成分。(溶解工序)接下來，對溶解工序進(jìn)行說明。形成鍍層后，將銅基板通過化學(xué)溶解而除去。由此，不用通過手工作業(yè)(手剝)就能夠回收由將成為金屬過濾器的鍍層和感光性樹脂組合物的固化物構(gòu)成的結(jié)構(gòu)物。因此，能夠在不發(fā)生皺紋、折斷、劃痕、卷曲等損傷以及微細(xì)貫通孔的變形的情況下制造金屬過濾器。作為溶解銅基板的化學(xué)溶解劑，可以使用mecbritesf-5420b(商品名、meccompanyltd.制)、銅選擇腐蝕液-css(日本化學(xué)產(chǎn)業(yè)株式會社)等。(剝離工序)接下來，對剝離工序進(jìn)行說明。溶解工序之后，抗蝕圖案例如使用具有比顯影使用的堿性水溶液更強(qiáng)堿性的水溶液來剝離。作為該強(qiáng)堿性的水溶液，優(yōu)選使用例如1～10質(zhì)量％氫氧化鈉水溶液或氫氧化鉀水溶液，更優(yōu)選使用1～5質(zhì)量％氫氧化鈉水溶液或氫氧化鉀水溶液。通過剝離抗蝕圖案(感光性樹脂組合物的固化物)，可以僅將鍍層進(jìn)行回收。該鍍層是金屬過濾器。作為抗蝕圖案的剝離方式，可以列舉出浸漬方式、噴涂方式、使用了超聲波的方式等，它們可以單獨使用，也可以并用。(金屬過濾器)接下來，對金屬過濾器的形狀進(jìn)行說明。作為金屬過濾器的貫通孔的開口形狀，可以列舉出圓、橢圓、圓角長方形、長方形、正方形、多邊形等。從能夠高效地捕獲癌細(xì)胞的觀點考慮，優(yōu)選圓、長方形或圓角長方形。另外，從防止金屬過濾器的堵塞的觀點考慮，特別優(yōu)選長方形或圓角長方形。貫通孔的孔徑是根據(jù)作為捕獲對象的癌細(xì)胞的尺寸來設(shè)定。在本說明書中，開口形狀為橢圓、長方形、多邊形等圓以外的形狀時的孔徑是指，能夠通過各個貫通孔的球的直徑的最大值。例如當(dāng)開口形狀是長方形時，貫通孔的孔徑為該長方形的短邊的長度，當(dāng)開口形狀是多邊形時，貫通孔的孔徑為該多邊形的內(nèi)切圓的直徑。當(dāng)開口形狀是長方形或圓角長方形時，即便是在作為捕獲對象的成分被捕獲于貫通孔的狀態(tài)下，在開口部的開口形狀的長邊方向上也會有縫隙。由于液體能夠通過該縫隙而流過，所以可以防止過濾器的堵塞。金屬過濾器的貫通孔的平均開口率優(yōu)選為0.1～50％，更優(yōu)選為0.5～40％，進(jìn)一步優(yōu)選為1～30％，最優(yōu)選為1～10％。這里，開口率是指在過濾器上的規(guī)定區(qū)域上，相對于該區(qū)域的面積而言貫通孔所占的面積。平均開口率是指相對于整個過濾器的面積而言貫通孔所占的面積。如果平均開口率為0.1～50％，則能夠充分確保過濾器的強(qiáng)度，加工也容易。另外，還能夠防止過濾器的堵塞的發(fā)生，能夠確保過濾器的富集性能。金屬過濾器的厚度優(yōu)選為3～50μm，更優(yōu)選為5～40μm，特別優(yōu)選為5～30μm。如果過濾器的膜厚為3～50μm，則能夠確保過濾器的強(qiáng)度，操作處理性也良好。另外，過濾器的生產(chǎn)率也良好，也不會因超過必要的材料消耗而帶來成本上的不利，微細(xì)加工也容易。圖3(a)是表示能夠用本發(fā)明的制造方法制造的金屬過濾器的一個實施方式的概略圖。金屬過濾器100由形成了多個貫通孔10的基板(鍍層)20構(gòu)成。貫通孔10的開口形狀是圓角長方形。貫通孔10的配置可以是圖1(a)那樣的對齊配置，也可以是每列配置錯開了的交錯配置，也可以是任意地配置的無規(guī)配置。圖3(b)是上述實施方式的金屬過濾器的貫通孔10的俯視圖。貫通孔10的開口形狀是圓角長方形，是半徑為c的2個半圓形與短邊為a、長邊為b的長方形的短邊鄰接地結(jié)合而成的形狀。在一個實施方式中，a、b、c分別為8、22和4μm。實施例下面，列舉本發(fā)明的實施例來更具體地說明本發(fā)明，但本發(fā)明不限于這些實施例，可以在不超出本發(fā)明的技術(shù)思想的范圍內(nèi)進(jìn)行各種變更。(實施例1)將感光性元件(photecrd-1225：厚度為25μm、日立化成工業(yè)株式會社制)壓貼于在250mm見方的基板(mcl-e679ft0.5×250×250n3db：在(mcl-e679ft0.5×250×25018d)的表面上貼合可剝離銅箔t18μm而成的基板、日立化成工業(yè)株式會社制)的銅箔層上，形成感光性樹脂組合物層。壓貼是在輥溫度為90℃、壓力為0.3mpa、傳送帶速度為2.0m/分鐘的條件下進(jìn)行。接著，將玻璃制的光掩模靜置于上述的感光性樹脂組合物層之上。光掩模的光的透射部的形狀為圓角長方形，并且是該圓角長方形在長軸和短軸方向上均以60μm的間距朝著同一方向整齊排列的形狀。另外，圓角長方形的尺寸是，圖3(b)中的a為8μm、b為22μm、c為4μm。接著，在80kpa以下的真空下，從上述的光掩模的上側(cè)用紫外線照射裝置照射曝光量為30mj/cm2的紫外線。接著，使用1.0％碳酸鈉水溶液進(jìn)行顯影，在銅基板上形成由感光性樹脂組合物的固化物構(gòu)成的抗蝕圖案。將形成了該抗蝕圖案的銅基板浸漬于ph被調(diào)整為4.5的鎳鍍液中，在55℃的溫度下進(jìn)行大約20分鐘鍍覆。鎳鍍液的組成示于表1中。[表1]接著，將形成了鎳鍍層的銅箔層從可剝離銅箔的載體上剝離。然后，將形成了鎳鍍層的銅箔層浸漬于化學(xué)溶解劑(mecbritesf-5420b、meccompanyltd.制)中，并在40℃下攪拌大約120分鐘，將銅箔層溶解除去，從而回收由鍍層和感光性樹脂組合物的固化物構(gòu)成的結(jié)構(gòu)物。最后，將回收的結(jié)構(gòu)物浸漬于抗蝕劑剝離液(p3poleve、henkel制)中，在60℃下進(jìn)行大約40分鐘的超聲波處理，從而除去感光性樹脂組合物的固化物。通過以上的操作，制作了沒有皺紋、折斷、劃痕、卷曲等損傷并具有充分精度的貫通孔的實施例1的金屬過濾器。(實施例2)將光掩模的光的透射部的形狀變更為圖3(b)中的a為5μm、b為15μm、c為2.5μm的圓角長方形，除此以外，與實施例1同樣地制作實施例2的金屬過濾器。(實施例3)將光掩模的光的透射部的形狀變更為φ5μm的圓，除此以外，與實施例1同樣地制作實施例3的金屬過濾器。(實施例4)將鍍鎳的時間變更為大約3分鐘，除此以外，與實施例1同樣地制作實施例4的金屬過濾器。用膜厚測定儀(digimaticindicatorid-c112c、株式會社mitutoyo制)的測頭和底座夾持著金屬過濾器來測定該過濾器的膜厚，結(jié)果是3μm。(比較例1)將銅基板變更為不銹鋼板(sus304、精加工3/4h、厚度為100μm、日新制鋼株式會社制)，過濾器從基板上的剝離不是通過藥液進(jìn)行的化學(xué)溶解除去，而是用手剝離，除此以外，與實施例1同樣地制作比較例1的金屬過濾器。其結(jié)果是，發(fā)生了皺紋、折斷、劃痕、卷曲等損傷，發(fā)生了因貫通孔的変形等而導(dǎo)致的尺寸偏差(擴(kuò)大、縮小)。特別是，彎曲的發(fā)生很嚴(yán)重，到了無法作為過濾器使用的程度。另外，比較例1的金屬過濾器在抗蝕圖案形成后，因感光性樹脂組合物的固化物與不銹鋼板的粘附不足而引起了抗蝕劑歪斜、脫落。由于這個原因，發(fā)生了貫通孔的變形或排列變亂。(實驗例1)在生理鹽水中混合玻璃珠(高精度unibeadsspm-16：粒徑為16±2μm、鈦鋇系玻璃、株式會社union制)，用實施例1的金屬過濾器實施了過濾試驗。玻璃珠是用作癌細(xì)胞的替代者。在過濾器支撐架(swinnex13、millipore制)上設(shè)置實施例1的金屬過濾器，將生理鹽水和玻璃珠的混合液用注射器注入并進(jìn)行過濾。過濾后的金屬過濾器的表面用光學(xué)顯微鏡確認(rèn)，結(jié)果是，粒徑約為16μm的玻璃珠沒有通過短邊為8μm的孔，以堵塞孔的狀態(tài)殘留于過濾器表面。表2中示出了此時對相對于玻璃珠的投入數(shù)而言的捕捉數(shù)進(jìn)行計算而得到的結(jié)果。由此確認(rèn)了，實施例1的金屬過濾器對玻璃珠具有充分的捕捉能力。由該結(jié)果可預(yù)測，在使用了癌細(xì)胞的情況下也能顯示出充分的捕捉能力。[表2]投入數(shù)捕捉數(shù)捕捉率第1次29個29個100％第2次32個32個100％合計61個61個100％符號說明1載體層、2銅箔層、2’銅板、3感光性樹脂組合物層、3a感光性樹脂組合物的固化物、4光掩模、5鍍層、6，10貫通孔、20基板(鍍層)、100過濾器、a短邊、b長邊、c半徑。當(dāng)前第1頁12