專利名稱：光照射裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及光照射裝置，尤其涉及具備了用于紫外線照射處理的準分子燈的光照
射裝置。
背景技術：
以往，通過將例如波長在200nm以下的真空紫外線照射到各種被處理物，從而進行諸如除去附著于被照射面的有機污染物質的洗凈處理，或者在被處理物的照射面形成極薄氧化膜的氧化膜形成處理等。并且作為將應用于上述處理的真空紫外線出射的照射源， 廣泛應用了例如在放電容器內封入氙氣等，并使該氙的準分子產生，從而放出準分子光的準分子燈。在該紫外線照射的處理中，為了實現(xiàn)對被處理物(工件(work))處理的高均一性， 而謀求穩(wěn)定地照射一定光量的真空紫外線。在謀求這樣的照射光均一度的光照射裝置中， 通常通過照度傳感器監(jiān)測來自于燈的照度以實行照度管理。此時，理所當然若照度傳感器位于準分子燈的被處理物側的有效照射區(qū)域內，就會造成工件表面的照度不均一，所以照度傳感器不能配置在該區(qū)域內，而進行了相應對策。例如，在日本特開2004-041843號公報(專利文獻1)中公開了如下技術，即在反射鏡的一部分設置貫通孔，而從該貫通孔測定照度。但是對于這種以往技術來講存在如下問題，即由于在反射鏡設有貫通孔而使該部分沒有反射且工件表面的照度均一度降低。另一方面，在日本特開2009-093945號公報(專利文獻2)中公開了在放電容器內面設有紫外線反射膜的準分子燈，但是若為了測定這種燈的照度而欲采用上述專利文獻 1的手法的話，就必須將上述紫外線反射膜的一部分去除，而通過照度傳感器測定從去除的部分出射的光的照度。這種情況下也存在著由于去除了紫外線反射膜的一部分而使工件表面的照度均一度降低的問題。作為消除這種以往技術缺陷的手段，考慮與準分子燈有效照射區(qū)域外的、縱長方向的端部對應地配置照度傳感器，以使對工件表面的照射不產生影響。其構造如圖4所示。但是，即使采用這樣的構造也存在不能監(jiān)測正確的照度的問題，下面對此進行說明。在準分子燈20中，若配置在放電容器21的外面的一側的電極22作為高電壓側發(fā)揮效能，配置在放電容器21的外面的另一側的電極23作為低電壓側發(fā)揮效能，在其間產生電場，則在放電容器21內面積蓄電荷，利用這種電荷而產生準分子放電X。另外，M是放電容器21內形成的紫外線反射膜。在這種準分子燈20中，在電極22、23的中央區(qū)域產生的電場沿著該縱長方向變得均一，進行電荷放出而產生準分子放電X，但是在電極的端部產生了與電極中央區(qū)域不同的電場，存在電荷放出失敗而使電荷的積聚量與平常相比增多，結果，存在產生被稱為流光放電Y的異常放電。如此，在準分子燈20中，在放電容器21的縱長方向上，中央位置和端部產生不同的放電，如果在準分子燈的端部側配置有照度傳感器25，則檢測出異常放電的流光放電Y， 而無法得知產生的正常準分子放電X的燈中央位置的正確照度。專利文獻專利文獻1 日本特開2004-041843號公報專利文獻2 日本特開2009-093945號公報

發(fā)明內容
本發(fā)明的目的在于，在并列地配置了多個準分子燈的光照射裝置中，提供一種即使在該準分子燈的有效照射區(qū)域外配置照度傳感器，也不檢測出燈端部的異常放電，而能夠正確檢測中央部的正常準分子放電的光照射裝置的結構。為了解決上述的技術問題，本發(fā)明的光照射裝置并列地配置了多個準分子燈，其特征在于，接受上述準分子燈的放射光的照度傳感器被配置為與該準分子燈縱長方向的一側的端部相對應，受光面朝向準分子燈的中央部地傾斜。另外，上述光照射裝置的特征還在于，在收容上述準分子燈的箱體內具有劃分出處理區(qū)域的間隔壁，上述準分子燈穿過該處理區(qū)域地延伸，并且上述照度傳感器設置在該間隔壁的外部。另外，上述光照射裝置的特征還在于，準分子燈在與被處理物相反側的內面具有紫外線反射膜，上述照度傳感器被配置在與設有該反射膜側相反的一側。另外，上述光照射裝置的特征還在于，設有貫通上述間隔壁體的筒狀透光性部件， 上述準分子燈被配置在該透光性部件內，在該透光性部件內使冷卻風流通，并且在該冷卻風的上游側配置有上述照度傳感器。另外，上述光照射裝置的特征還在于，上述準分子燈的供電線配置于上述冷卻風的上游側。另外，上述光照射裝置的特征還在于，在含有光敏材料的液晶面板的制造工序中應用，上述準分子燈是放射出在波長300nm 400nm具有發(fā)光峰值的光的燈。發(fā)明效果根據本發(fā)明的光照射裝置，由于照度傳感器被配置為與準分子燈的端部相對應， 并朝向燈的中央部，因此可達到如下效果，即準分子燈的有效照射區(qū)域內的照射不受照度傳感器的遮擋，并且不檢測燈端部的異常放電，而能夠正確檢測中央部的正常準分子放電。另外，由于配置在劃分出處理區(qū)域的間隔壁的外部，因此其設置容易且對有效處理區(qū)域的照射不產生影響，不會妨礙工件表面的照度均一性。特別是，在放電空間內面的一部分形成了紫外線反射膜的燈中，由于與該反射膜的相反側對置地配置照度傳感器，因此不需要部分地刪除反射膜，而不會成為阻礙工件表面的照度均一性的要因。另外，由于在貫通上述間隔壁的透光性部件內配置準分子燈，并且在該透光性部件內流通的冷卻風的上游側配置照度傳感器，因此使畏高溫的照度傳感器經常得到冷卻， 而避免產生誤動作或者故障。另外，通過在冷卻風的上游側配置準分子燈的供電線，從而使與電極的焊接等的連接部能夠通過上游側的冷卻風得到冷卻，而使該連接部不會剝離。
除此之外，燈的供電部和照度傳感器配置在同一側，使燈的維護(供電線的插拔等)區(qū)域和照度傳感器的維護區(qū)域得到統(tǒng)一，從而操作變得容易，并且裝置整體不會大型化。


圖1是本發(fā)明的光照射裝置的剖視圖。圖2是圖1的A-A側剖視圖。圖3是圖1的部分放大圖。圖4是比較例的剖視圖。
具體實施例方式圖1表示的是本發(fā)明的光照射裝置1的剖視圖，圖2表示的是其A-A側剖視圖。在圖1中在箱體2內配置有由縱長的斷面為矩形的放電容器構成的準分子燈3，該箱體2的下方被開放，并形成有光出射開口 4。如圖2所明示的那樣，準分子燈3并列地配置有多個。在上述箱體2中設置了間隔壁5，在其內部劃分形成有照射區(qū)域6。并且，支撐有貫通該間隔壁5的、由多個筒狀的諸如石英玻璃形成的透光性部件7，上述準分子燈3配置為被插入到該透光性部件7內，超出有效照射區(qū)域6地延伸，其兩端一直延伸直到間隔壁5 的外部。并且在箱體2設有風扇8，由此冷卻風從形成在另一端的空氣進入口 9進入箱體2 內，在上述筒狀的透光性部件7內流通以冷卻上述準分子燈3。如圖3所明示的那樣，在上述準分子燈3的上述冷卻風的上游側的一端部3a的下方、在上述間隔壁5的外部設有照度傳感器10，其受光面IOa朝向準分子燈3的縱長方向的中央部側。在上述準分子燈3的內面的一部分形成有紫外線反射膜11，設置在外面的外部電極12、13通過焊接等與來自電源14的供電線15相連接。另外，圖中16是在箱體2的光放射開口 4的下部設置的、由反射材料構成的光導出管。另外，照度傳感器10的位置并不局限于準分子燈3的下方，在未設置紫外線反射膜11的情況下，可以為與其端部對應的全周，并且在設置了紫外線反射膜11的情況下，朝向未形成該反射膜的部分(孔徑(aperture)部)設置即可。在上述構成中，通過風扇8的運轉從空氣進入口 9吸進的冷卻風被導入到筒狀的透光性部件7內。在其間通過該冷卻風對照度傳感器10或供電線15與外部電極12、13的連接部進行冷卻。并且上述冷卻風在透光性部件7內流通而冷卻準分子燈3，并被排出到箱體2夕卜。另外，照度傳感器10不檢測在準分子燈3端部產生的異常放電(流光放電)Y，而檢測在燈的中央部產生的正常準分子放電X。并且，由于照度傳感器10配置在透光性部件7的外側，所以不直接接受來自燈3 的放射熱，因此能夠抑制由燈3的放射熱所產生的加熱作用。
本發(fā)明的光照射裝置特別適合在含有光敏材料的液晶面板的制造工序中使用，在這種場合下，上述準分子燈3使用放射出在波長300nm 400nm具有發(fā)光峰值的光的燈。綜上所述，本發(fā)明的光照射裝置可達到如下效果準分子燈的有效照射區(qū)域內的照射不受照度傳感器的遮擋，并且不檢測燈端部的異常放電，而能正確檢測中央部的正常
準分子放電。
附圖標記說明
1光照射裝置
2箱體
3準分子燈
3a冷卻風上游側端部
4光出射開口
5間隔壁
6(有效)照射區(qū)域
7筒狀的透光性部件
8風扇
9空氣進入口
10照度傳感器
IOa受光面
11紫外線反射膜
12、13外部電極
15供電線
X準分子放電
Y異常放電(流光放電)
權利要求
1.一種光照射裝置，并列地配置了多個準分子燈，其特征在于接受上述準分子燈的放射光的照度傳感器被配置為與該準分子燈的縱長方向的一側的頂端相對應，受光面朝向準分子燈的中央部地傾斜。
2.根據權利要求1所記載的光照射裝置，其特征在于在收容準分子燈的箱體內具有劃分出處理區(qū)域的間隔壁，上述準分子燈穿過該處理區(qū)域地延伸，并且，上述照度傳感器設置在該間隔壁外部。
3.根據權利要求2所記載的光照射裝置，其特征在于上述準分子燈在與被處理物相反側的內面具有紫外線反射膜，上述照度傳感器被配置在與設有該反射膜側相反的一側。
4.根據權利要求2或3所記載的光照射裝置，其特征在于上述光照射裝置設有貫通上述間隔壁的筒狀的透光性部件，上述準分子燈配置于該透光性部件內，在該透光性部件內使冷卻風流通，并且上述照度傳感器配置于該冷卻風的上游側。
5.根據權利要求4所記載的光照射裝置，其特征在于上述準分子燈的供電線配置于上述冷卻風的上游側。
6.根據權利要求1所記載的光照射裝置，其特征在于上述光照射裝置在含有光敏材料的液晶面板的制造工序中應用，上述準分子燈是放射出在波長300nm 400nm具有發(fā)光峰值的光的燈。
全文摘要
本發(fā)明涉及光照射裝置，提供一種在并列地配置了多個準分子燈的光照射裝置中，適當?shù)嘏渲糜糜跍y量準分子燈的照度的照度傳感器，從而不遮擋來自準分子燈的照射光，而能夠正確檢測有效照射區(qū)域內的燈中央部的正常準分子放電的結構。其特征在于，對上述準分子燈的放射光進行受光的照度傳感器被配置為與該準分子燈縱長方向的一側的端部相對應，受光面朝向準分子燈的中央部地傾斜。
文檔編號G02F1/1333GK102375261SQ20111014353
公開日2012年3月14日 申請日期2011年5月31日 優(yōu)先權日2010年7月2日
發(fā)明者佐藤伸吾 申請人:優(yōu)志旺電機株式會社