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鎳酸鑭導(dǎo)電金屬氧化物薄膜材料的制備方法與流程

文檔序號(hào):11840748閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種鎳酸鑭導(dǎo)電金屬氧化物薄膜材料的制備方法,其特征在于該制備方法的具體步驟如下:

(1)前驅(qū)體溶液的配制:

溶劑為醋酸(CH3COOH)去離子水,添加劑為甲酰胺(HCONH2),其體積比為25-30∶5-6∶0.5-2;溶質(zhì)為硝酸鑭(La(NO3)3·xH2O),醋酸鎳(Ni(CH3COO)2·H2O),它們的摩爾比為1∶1,以0.3M/L濃度溶于溶液中,

配制的程序是:

A.按上述的配制比先稱(chēng)取一定量的醋酸鎳于一燒瓶中,加入一定量醋酸,然后在60-80℃溫度下加熱使之溶解;

B.再加入等摩爾量的硝酸鑭,在50-70℃溫度下,一邊不斷攪拌,一邊慢慢加入去離子水,直至不溶物消失,得到綠色透明的溶液;

C.為了防止制成后的鎳酸鑭薄膜龜裂,還要向溶液中加入適量的甲酰胺;

D.最后將得到的前驅(qū)體溶液通過(guò)0.2μm微孔的過(guò)濾器過(guò)濾,并通過(guò)加入或蒸發(fā)溶劑調(diào)節(jié)其濃度為0.3M/L;

(2)薄膜材料的制備:

A.成膜采用旋轉(zhuǎn)-鍍膜方式,將配制好的前驅(qū)體溶液滴到高速旋轉(zhuǎn)的基片上,基片轉(zhuǎn)速在3000-6000轉(zhuǎn)/分之間,并保持20到30秒,溶劑迅速揮發(fā)得到凝膠膜;

B.然后將凝膠膜置于退火爐中分段進(jìn)行熱處理,即在150-200℃下加熱2到3分鐘,再在300-400℃下熱解3到5分鐘,最后在500-650℃下高溫退火3到5分鐘;

C.根據(jù)所需的鎳酸鑭薄膜材料厚度,決定重復(fù)上述過(guò)程次數(shù)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1一種鎳酸鑭導(dǎo)電金屬氧化物薄膜材料的制備方法,其特征在于所說(shuō)的基片為Si材料(100)取向。

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