一種激光封裝運(yùn)動臺的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ]本實(shí)用新型涉及激光封裝設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及一種激光封裝運(yùn)動臺。
【背景技術(shù)】
[0002]有機(jī)發(fā)光二極管又稱為有機(jī)電激光顯示(Organic Light-Emitting D1de，OLED)，0LED是平板顯示和照明領(lǐng)域的一個重大發(fā)展方向，根據(jù)OLED的工藝需求，由于OLED芯片的壽命極易受到氧氣，水氣的影響，因此需要一道工藝將其封裝在密閉空間里，以隔離外部環(huán)境。要提高OLED的壽命，激光封裝是一個有前景的工藝手段，就需要相應(yīng)的激光封裝設(shè)備用于完成激光封裝工藝。
[0003]運(yùn)動臺是激光封裝設(shè)備的核心部分之一，現(xiàn)有設(shè)備中的運(yùn)動臺，由龍門架運(yùn)載激光頭進(jìn)行X、Y、Z向的步進(jìn)運(yùn)動，由基板臺承載待封裝的玻璃基板，所述基板臺設(shè)有X、Y、Rz以及Z向運(yùn)動，具備預(yù)定位、調(diào)焦、對準(zhǔn)功能。其中，玻璃基板的預(yù)定位，是通過每邊各設(shè)兩個可移動的定位銷，同時向幾何中心運(yùn)動實(shí)現(xiàn);調(diào)焦功能，通過基板臺的Z軸機(jī)構(gòu)的運(yùn)動，配合龍門架上的視覺系統(tǒng)實(shí)現(xiàn);對準(zhǔn)功能，通過基板臺的X、Y、Rz機(jī)構(gòu)的耦合運(yùn)動，配合龍門架上的視覺系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)。
[0004]但是現(xiàn)有設(shè)備中的運(yùn)動臺，為實(shí)現(xiàn)激光封裝、調(diào)焦、對準(zhǔn)功能設(shè)定的自由度有重復(fù)(即龍門架需要作X、Y、Z向運(yùn)動，基板臺需要作X、Y、Rz以及Z向運(yùn)動)，相應(yīng)的運(yùn)動控制系統(tǒng)多，成本難以降低;基板預(yù)定位機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)復(fù)雜，玻璃基板以X、Y向中心面為基準(zhǔn)定位，影響定位精度的因素多，預(yù)定位精度難以提高。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]本實(shí)用新型提供一種激光封裝運(yùn)動臺，以解決現(xiàn)有技術(shù)中運(yùn)動自由度有重復(fù)，預(yù)定位機(jī)構(gòu)復(fù)雜，玻璃基板參與定位的因素多，進(jìn)而導(dǎo)致成本難以下降，玻璃基板預(yù)定位精度難以提尚等冋題。
[0006]為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供一種激光封裝運(yùn)動臺，包括大理石、龍門架以及用于承載玻璃基板的基板臺，其中，
[0007]所述基板臺安裝于所述大理石上，并能夠相對于所述大理石沿Rz向旋轉(zhuǎn)；
[0008]所述基板臺上設(shè)有預(yù)定位機(jī)構(gòu)，所述預(yù)定位機(jī)構(gòu)限定所述玻璃基板在所述基板臺上的位置；
[0009]激光頭安裝于所述龍門架上，所述龍門架帶動所述激光頭沿X向、￥向和Z向滑動。
[0010]較佳地，所述龍門架包括兩個立柱、兩個Y向滑軌、第一滑塊、X向滑軌、第二滑塊、Z向滑軌以及第三滑塊，所述兩個立柱沿Y向固定設(shè)置于所述大理石上，所述兩個Y向滑軌分別固定于兩個立柱上，所述第一滑塊架設(shè)于所述兩個Y向滑軌上，并能夠沿Y向滑動;所述X向滑軌固定于所述第一滑塊上，所述第二滑塊安裝于所述X向滑軌上，并能夠沿X向滑動;所述Z向滑軌固定于所述第二滑塊上，所述第三滑塊安裝于所述Z向滑軌上，并能夠沿Z向滑動;所述激光頭固定安裝于所述第三滑塊上。
[0011]較佳地，所述第一滑塊、第二滑塊和第三滑塊的運(yùn)動均采用無刷直線電機(jī)驅(qū)動。
[0012]較佳地，所述基板臺包括基板吸盤和Rz軸旋轉(zhuǎn)電機(jī)，所述Rz軸旋轉(zhuǎn)電機(jī)的定子部分固定于所述大理石上，所述Rz軸旋轉(zhuǎn)電機(jī)的轉(zhuǎn)子部分與所述基板吸盤固定連接。
[0013]較佳地，所述預(yù)定位機(jī)構(gòu)包括三個定位銷以及一個推壓機(jī)構(gòu)，所述定位銷固定于所述基板吸盤上，所述推壓機(jī)構(gòu)固定于所述大理石上。
[0014]較佳地，其中兩個定位銷設(shè)于所述玻璃基板的第一邊處，另一個定位銷設(shè)于與上述第一邊相鄰且垂直的第二邊處，所述推壓機(jī)構(gòu)設(shè)于與上述第一邊和第二邊組成的頂角相對的頂角處。
[0015]較佳地，所述定位銷上還設(shè)有一限位板，所述限位板位于所述玻璃基板上方。
[0016]較佳地，所述定位銷與所述基板吸盤之間還設(shè)有一軸承，所述玻璃基板與所述軸承的外圈接觸。
[0017]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型提供的一種激光封裝運(yùn)動臺具有如下優(yōu)點(diǎn):
[0018]1、本實(shí)用新型中，基板臺只進(jìn)行Rz方向的運(yùn)動，龍門架進(jìn)行X、Y、Z方向的運(yùn)動，將基板臺與龍門架重復(fù)的運(yùn)動自由度去掉，有效地降低了設(shè)備成本；
[0019]2、現(xiàn)有技術(shù)中基板臺采用微動臺+Z軸機(jī)構(gòu)，微動臺的X、Y行程為5mm，采用旋轉(zhuǎn)電機(jī)+連軸器+滾珠絲杠機(jī)構(gòu)傳動，定位精度土 10um，重復(fù)定位精度土 lum; Z軸機(jī)構(gòu)旋轉(zhuǎn)電機(jī)+連軸器+滾珠絲杠+直線導(dǎo)軌機(jī)構(gòu)傳動，行程30mm，定位精度土 1um，重復(fù)定位精度土 5um ；而本實(shí)用新型的龍門架，X、Y、Z軸電機(jī)采用無刷直線電機(jī)驅(qū)動，定位精度為± 5um，重復(fù)定位精度為± Ium，將基板臺的X、Y、Z運(yùn)動自由度改由龍門架實(shí)現(xiàn)，性能比現(xiàn)有技術(shù)有所提高；
[0020]3、現(xiàn)有技術(shù)中，基板預(yù)定位機(jī)構(gòu)由8個壓輪分別向玻璃基板的中心相向運(yùn)動以完成定位，結(jié)構(gòu)上需4個壓輪驅(qū)動機(jī)構(gòu)，影響定位精度的因素有4個壓輪驅(qū)動機(jī)構(gòu)的運(yùn)動精度、玻璃基板4個邊的輪廓精度以及玻璃基板標(biāo)記的印刷精度;而本實(shí)用新型的預(yù)定位機(jī)構(gòu)，由固定在基板吸盤上的定位銷和固定在大理石上的推壓機(jī)構(gòu)組成，玻璃基板的預(yù)定位由玻璃基板相鄰兩垂直邊和定位銷共同完成，影響定位精度的因素有玻璃基板2個邊的輪廓精度和玻璃基板標(biāo)記的印刷精度，結(jié)構(gòu)簡單，提高了定位精度，延長了壽命。
【附圖說明】
[0021]圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例一的激光封裝運(yùn)動臺的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0022]圖2為圖1的俯視圖；
[0023]圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例二的激光封裝運(yùn)動臺中定位銷的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0024]圖中:100-大理石、200-龍門架、210-立柱、220-Y向滑軌、230-第一滑塊、240-X向滑軌、250-第二滑塊、260-Z向滑軌、270-第三滑塊、300-基板臺、310-基板吸盤、320-Rz軸旋轉(zhuǎn)電機(jī)、331-定位銷、332-推壓機(jī)構(gòu)、333-軸承、334-限位板、400-玻璃基板。
【具體實(shí)施方式】
[0025]為了更詳盡的表述上述實(shí)用新型的技術(shù)方案，以下列舉出具體的實(shí)施例來證明技術(shù)效果;需要強(qiáng)調(diào)的是，這些實(shí)施例用于說明本實(shí)用新型而不限于限制本實(shí)用新型的范圍。
[0026]實(shí)施例一
[0027]本實(shí)用新型提供的一種激光封裝運(yùn)動臺，如圖1和2所示，包括大理石100、龍門架200以及用于承載玻璃基板400的基板臺300，其中，
[0028]所述基板臺300安裝于所述大理石100上，并能夠相對于所述大理石100沿Rz向旋轉(zhuǎn)；
[0029]所述基板臺300上設(shè)有預(yù)定位機(jī)構(gòu)，所述預(yù)定位機(jī)構(gòu)限定所述玻璃基板400在所述基板臺300上的位置；
[0030]所述激光頭(未圖示)安裝于所述龍門架200上，所述龍門架200帶動所述激光頭沿X向、Y向和Z向滑動。
[0031]本實(shí)用新型中，整合了運(yùn)動軸，將基板臺300與龍門架200重復(fù)的運(yùn)動自由度去掉