一種防靜電曝光機系統(tǒng)及其制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種防靜電曝光機系統(tǒng)，其在曝光機上下框使用具備導電能力的麥拉膜，機身設計了導電通道可以將產生的靜電通過通道接地釋放，避免曝光過程中曝光臺面、麥拉膜與菲林之間摩擦產生靜電，杜絕靜電吸附灰塵導致開短路及靜電導致抽真空不良的問題。
【專利說明】
一種防靜電曝光機系統(tǒng)及其制造方法
技術領域
[0001]本發(fā)明涉及曝光機設備，尤其涉及一種防靜電曝光機及制造方法。
【背景技術】
[0002]傳統(tǒng)曝光機系統(tǒng)，曝光框上裝載的麥拉膜、玻璃、使用的菲林工具及其保護膜均為不導電材料。根據靜電產生的原理，摩擦兩種不導電物體會生成大量的靜電。而不導電的物體，又是保留電荷的優(yōu)良材料。所以曝光操作過程中，曝光臺面上的玻璃、麥拉與菲林會產生并保留大量的靜電，吸附漂浮在操作環(huán)境中的塵埃粒子，導致產品產生開短路、缺口等報廢。
[0003]傳統(tǒng)的曝光機，為了確保抽真空緊密(不導電的界面因靜電相互排斥)，需要手動趕氣。趕氣的操作也會造成菲林錯位、變形以及麥拉膜的損傷;如果趕氣不凈，則造成產品良率下降。為了解決以上問題，傳統(tǒng)的方案是不僅在菲林上打抽氣孔、用輔助導氣條、靜電轆除塵等還需要有趕氣的過程，操作的效率低下，還會產生其他耗材的成本。因此對于需要使用到曝光系統(tǒng)的線路板、半導體等高精密行業(yè)，靜電的控制尤為重要。

【發(fā)明內容】

[0004]本發(fā)明要解決的技術問題是提供一種不會在曝光臺面產生靜電荷聚集的曝光機系統(tǒng)。
[0005]本發(fā)明另一個要解決的技術問題是提供一種上述曝光機的制造方法。
[0006]為了解決上述技術問題，本發(fā)明采用的技術方案是，一種防靜電曝光機。針對靜電產生的原理，將曝光臺面所用的麥拉膜、菲林保護膜、曝光玻璃臺面、菲林基材面等接觸界面，成為具備導電能力的材料(比如:通過涂覆抗靜電劑的方式)，將表面電阻率降低到18Ω.m以下。使用的防靜電劑需具備良好的透光性、快干性，且不會受UV光照射而發(fā)生變化。
[0007]通過如上的設計方案，整個曝光臺面相接觸的材質使用有一定導電能力的材料，消除在使用過程中相互摩擦產生的靜電，曝光機身設計有靜電釋放的接地通道，將曝光臺面的靜電，通過此接地通道釋放消除。
[0008]因為靜電接地通道的存在，靜電就無法在曝光臺面上聚集，曝光臺面就不會吸附灰塵，造成被曝光物體的開短路;也不會因為靜電的存在造成抽真空速度慢或者抽真空不良的問題。
[0009][【附圖說明】]
下面結合附圖和【具體實施方式】對本發(fā)明作進一步詳細的說明。
[0010]圖1是本發(fā)明實施的主視圖。
[0011]圖2是本發(fā)明實施的側視圖。
[0012]圖3是本發(fā)明實施的斜視圖。
[0013]圖4是本發(fā)明實施工作臺面的截面圖。
[0014]【具體實施方式】] 1、曝光框所用的麥拉膜選擇導電性材料，或使用防靜電劑對麥拉膜進行涂覆，必須使得麥拉膜表面具備導電能力；
2、菲林基材面可以使用防靜電劑對進行涂覆，使得菲林基材面具備導電能力；
3、菲林藥膜面所貼保護膜，必須使用導電性材料；
4、如果所用的感光性材料為干膜，那么干膜表面的聚酯保護膜可以使用導電性材料；
5、曝光框上設計有導電通道，必須能夠將曝光臺面上產生的靜電，通過導電的麥拉膜、曝光框、曝光機身與接地裝置，釋放接地而不會在曝光臺面上聚集。
[0015]實施要則:
A、麥拉膜表面需要具備導電性，實現(xiàn)該目的可以采取使用導電材質制作的麥拉膜，或使用防靜電劑涂覆在麥拉膜的表面；
B、菲林表面可以使用防靜電劑涂覆來實現(xiàn)導電性，或使用導電性的菲林保護膜，通?？紤]成本與操作性會優(yōu)選導電性的菲林保護膜；
C、曝光框與曝光機殼為金屬材質，通過連接導電線路的方式，將曝光臺面上產生的靜電，通過導電線路傳遞到曝光機殼；
D、曝光機殼通過導電線路接地，將靜電釋放到地面。
[0016]本發(fā)明以上實施案例利用將曝光臺面上相接觸界面的材料成具備導電能力，能夠預防靜電的堆積，并及時將靜電荷通過專用通道接地釋放，可以廣泛應用于線路板、半導體、液晶屏等行業(yè)所用的曝光機設備。
【主權項】
1.一種防靜電曝光機系統(tǒng)，其特征為曝光玻璃面、上下麥拉、曝光菲林、菲林保護膜、涂覆感光材料的PCB板及其感光材料保護膜，其中，在曝光過程中會因摩擦、接觸產生靜電的界面(曝光玻璃、麥拉、菲林、保護膜等)材料，至少有一面使用導電性的材料或涂層，導電材料和涂層均有接地通路。2.根據權利要求1所述的麥拉膜，其具備抗靜電能力。3.根據權利要求1所述的導電性涂層，其可以使用胺的衍生物，季銨鹽，硫酸酯、磷酸酯以及聚乙二醇的衍生物等材料。4.根據權利要求1所述的菲林或菲林面，其可以使用具備導電能力的涂層或材料。5.根據權利要求1所述的菲林保護膜，其可以使用具備導電能力的涂層或材料。6.根據權利要求1所述的感光材料，可以為干膜或濕膜、阻焊油墨等材料。7.根據權利要求1所述的感光材料保護膜，其可以使用具備導電能力的材料(用于干膜產品)或涂層。8.根據權利要求1所述的曝光機，其設計有導電通道，將曝光臺面的靜電通過導電通道，接地釋放。
【文檔編號】G03F7/20GK105867073SQ201610386293
【公開日】2016年8月17日
【申請日】2016年6月4日
【發(fā)明人】何忠亮, 朱爭鳴, 葉文
【申請人】深圳市柯士達光電有限公司