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一種防靜電曝光機(jī)系統(tǒng)及其制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:10511094

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傳統(tǒng)曝光機(jī)系統(tǒng),曝光框上裝載的麥拉膜、玻璃、使用的菲林工具及其保護(hù)膜均為不導(dǎo)電材料。根據(jù)靜電產(chǎn)生的原理,摩擦兩種不導(dǎo)電物體會生成大量的靜電。而不導(dǎo)電的物體,又是保留電荷的優(yōu)良材料。所以曝光操作過程中,曝光臺面上的玻璃、麥拉與菲林會產(chǎn)生并保留大量的靜電,吸附漂浮在操作環(huán)境中的塵埃粒子,導(dǎo)致產(chǎn)品產(chǎn)生開短路、缺口等報廢。傳統(tǒng)的曝光機(jī),為了確保抽真空緊密(不導(dǎo)電的界面因靜電相互排斥),需要手動趕氣。趕氣的操作也會造成菲林錯位、變形以及麥拉膜的損傷;如果趕氣不凈,則...
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