所述水平臂133上均設(shè)置有用于與所述掩膜版的一側(cè)相抵的第二定位件1331，兩個(gè)所述水平臂133上的所述第二定位件1331相向設(shè)置。第一定位件1321或第二定位件1331與掩膜版的其中一邊接觸，保證掩膜版的定位精確，而且在多次使用后，只要更換第一定位件1321或第二定位件1331即可再次定位，避免整體更換的浪費(fèi)。水平臂133上設(shè)置有若干第二定位件1331以有效支撐掩膜版。所有與掩膜版接觸的部位需使用防靜電的塑膠材料。
[0037]進(jìn)一步地，所述框架131上設(shè)置有沿Y軸方向延伸的滑軌151，所述基座上設(shè)置有與所述滑軌151滑動(dòng)配合的滑座152。在蒙版的貼合過程中，讓掩膜版處于活動(dòng)狀態(tài)。具體地，四個(gè)滑軌151分布在框架131的四個(gè)內(nèi)角位置上，對(duì)應(yīng)基座上設(shè)置有四個(gè)滑座152滑動(dòng)配合，該結(jié)構(gòu)便于調(diào)整框架131與基座之間的位置關(guān)系，保證兩者平行度。平臺(tái)110的左右兩邊上安裝有能輸出直線運(yùn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)件153，該驅(qū)動(dòng)件153用于驅(qū)動(dòng)框架131沿Y軸方向滑動(dòng)以調(diào)整框架131與基座之間的位置關(guān)系，該驅(qū)動(dòng)件153為氣缸。
[0038]進(jìn)一步地，請(qǐng)同時(shí)參閱圖7至圖10，所述壓邊組件200包括安裝座210、繞Y軸轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在所述安裝座210上的旋轉(zhuǎn)板220及安裝在所述安裝座210上且用于驅(qū)動(dòng)所述旋轉(zhuǎn)板220繞Y軸轉(zhuǎn)動(dòng)的第七驅(qū)動(dòng)組件230，所述旋轉(zhuǎn)板220具有兩個(gè)沿該旋轉(zhuǎn)板220的長(zhǎng)度方向開設(shè)的直通槽221，且該二個(gè)直通槽221的長(zhǎng)度方向重合，所述壓邊組件200還包括設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)板220的靠近所述安裝座210的一側(cè)上且能沿所述旋轉(zhuǎn)板220的長(zhǎng)度方向輸出直線運(yùn)動(dòng)的兩個(gè)第八驅(qū)動(dòng)組件240及兩個(gè)由所述第八驅(qū)動(dòng)組件240 —一對(duì)應(yīng)驅(qū)動(dòng)移動(dòng)且一一對(duì)應(yīng)穿設(shè)在所述直通槽221中的第一連接件251，所述壓桿252設(shè)置在每一所述第一連接件251上。
[0039]兩個(gè)壓桿252在蒙版與掩膜版貼合過程中與掩膜版背離蒙版的一側(cè)相抵，實(shí)現(xiàn)蒙版與掩膜版的其中一對(duì)邊的貼合，第七驅(qū)動(dòng)組件230驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)板220轉(zhuǎn)動(dòng)，從而帶動(dòng)安裝在旋轉(zhuǎn)板220上第八驅(qū)動(dòng)組件240與壓桿252轉(zhuǎn)動(dòng)，以實(shí)現(xiàn)蒙版與掩膜版的另外一對(duì)邊的貼合。旋轉(zhuǎn)板220呈板狀，作為支撐件，用于安裝兩個(gè)第八驅(qū)動(dòng)組件240。第八驅(qū)動(dòng)組件240設(shè)置在旋轉(zhuǎn)板220上靠近安裝座210的一側(cè)上，而壓桿252滑動(dòng)設(shè)置在旋轉(zhuǎn)板220背離安裝座210的一側(cè)上，第八驅(qū)動(dòng)組件240與壓桿252以第一連接件251相連接。具體地，兩個(gè)壓桿252的長(zhǎng)度方向與直通槽221的長(zhǎng)度方向相垂直，第八驅(qū)動(dòng)組件240分別帶動(dòng)對(duì)應(yīng)的壓桿252相互靠近或遠(yuǎn)離移動(dòng)，以調(diào)整兩個(gè)壓桿252之間的距離，從而適應(yīng)不同尺寸規(guī)格掩膜版。
[0040]進(jìn)一步地，所述壓邊組件200還包括固定在所述旋轉(zhuǎn)板220的靠近所述安裝座210的一側(cè)上且呈環(huán)形分布的若干第一滑座253及安裝在所述安裝座210的一側(cè)上且與所有所述第一滑座253滑動(dòng)配合的環(huán)形導(dǎo)軌254。具體地，安裝座210上均布有六個(gè)第一滑座253，并與環(huán)形導(dǎo)軌254滑動(dòng)配合，引導(dǎo)旋轉(zhuǎn)板220繞Y軸旋轉(zhuǎn)。
[0041]進(jìn)一步地，所述第七驅(qū)動(dòng)組件230包括繞Y軸樞接在所述安裝座210上且能輸出直線運(yùn)動(dòng)的第七驅(qū)動(dòng)件231，所述第七驅(qū)動(dòng)件231具有一輸出直線運(yùn)動(dòng)的輸出端231a，所述第七驅(qū)動(dòng)件231的所述輸出端231a繞Y軸樞接在所述旋轉(zhuǎn)板220上。第七驅(qū)動(dòng)件231為氣缸，帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)板220繞Y軸作擺動(dòng)，該結(jié)構(gòu)緊湊，占用空間小?？梢岳斫獾?，第七驅(qū)動(dòng)組件230為輸出旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的機(jī)構(gòu)。
[0042]進(jìn)一步地，所述壓邊組件200還包括固定在所述安裝座210上的支撐板255、固定在所述旋轉(zhuǎn)板220的靠近所述安裝座210 —側(cè)上且呈環(huán)形分布的若干第一滑座253及安裝在所述支撐板255 —側(cè)的上且與所有所述第一滑座253滑動(dòng)配合的環(huán)形導(dǎo)軌254。支撐板255呈板狀，其中部開設(shè)有通孔2551，便于布置連接在旋轉(zhuǎn)板220與第七驅(qū)動(dòng)件231的輸出端231a之間連接軸232。
[0043]進(jìn)一步地，請(qǐng)同時(shí)參閱圖10，所述支撐板255上設(shè)置有一個(gè)碰塊259，所述旋轉(zhuǎn)板220的靠近所述支撐板255的一側(cè)上設(shè)置有兩個(gè)與所述碰塊259碰撞配合以限制所述旋轉(zhuǎn)板220的轉(zhuǎn)動(dòng)范圍的調(diào)整軸222。該結(jié)構(gòu)便于調(diào)整旋轉(zhuǎn)板220的轉(zhuǎn)動(dòng)范圍。
[0044]進(jìn)一步地，兩個(gè)所述調(diào)整軸222呈相垂直設(shè)置。該結(jié)構(gòu)可以先對(duì)掩膜版與蒙版的其中一對(duì)邊進(jìn)行貼合，然后轉(zhuǎn)動(dòng)90度，再對(duì)掩膜版與蒙版的另外一對(duì)邊進(jìn)行貼合，即分兩次先后對(duì)掩膜版的長(zhǎng)方向與寬方向進(jìn)行壓合作業(yè)。
[0045]進(jìn)一步地，所述旋轉(zhuǎn)板220的靠近所述支撐板255的一側(cè)上設(shè)置有兩個(gè)與所述碰塊259碰撞配合以緩沖所述旋轉(zhuǎn)板220的轉(zhuǎn)動(dòng)的緩沖件223。該結(jié)構(gòu)讓旋轉(zhuǎn)板220運(yùn)動(dòng)穩(wěn)定。
[0046]進(jìn)一步地，所述壓邊組件200還包括設(shè)置在每一所述壓桿252的相對(duì)兩端上的第二連接件256、設(shè)置在每一所述第二連接件256上的第二滑座257及設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)板220的靠近所述安裝座210的一側(cè)上的四個(gè)直線導(dǎo)軌258，所述第二滑座257 —一對(duì)應(yīng)滑動(dòng)設(shè)置在所述直線導(dǎo)軌258上。該結(jié)構(gòu)讓壓桿252運(yùn)動(dòng)更平穩(wěn)。
[0047]進(jìn)一步地，所述第八驅(qū)動(dòng)組件240包括安裝在所述旋轉(zhuǎn)板220上且能輸出旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的第八驅(qū)動(dòng)件241、由所述第八驅(qū)動(dòng)件241驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)的絲桿242及沿所述旋轉(zhuǎn)板220的長(zhǎng)度方向滑動(dòng)且與所述絲桿242螺紋配合的滑塊243。第八驅(qū)動(dòng)件241為伺服馬達(dá)?？梢岳斫獾兀诎蓑?qū)動(dòng)組件240還可以采用其他輸出直線運(yùn)動(dòng)的機(jī)構(gòu)。
[0048]進(jìn)一步地，請(qǐng)同時(shí)參閱圖1，所述壓邊組件200沿Z軸方向滑動(dòng)安裝在所述固定支架300上，所述貼膜機(jī)還包括用于驅(qū)動(dòng)所述壓邊組件200沿Z軸方向移動(dòng)的第九驅(qū)動(dòng)組件260。具體地，兩個(gè)第九驅(qū)動(dòng)組件260共同驅(qū)動(dòng)壓邊組件200沿Z軸方向移動(dòng)。第九驅(qū)動(dòng)組件260包括安裝在固定支架300上且能輸出旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)的第九驅(qū)動(dòng)件261、由所述第九驅(qū)動(dòng)件261驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)的絲桿262及在固定支架300上Z軸方向滑動(dòng)且與絲桿262螺紋配合的滑塊263。第九驅(qū)動(dòng)件261為伺服電機(jī)。由于壓邊組件200沿Z軸方向滑動(dòng)安裝在固定支架300上，當(dāng)壓邊組件200遠(yuǎn)離夾具組件100時(shí)，可在夾具組件100上安裝蒙版與掩膜版。當(dāng)壓邊組件200靠近夾具組件100時(shí)，可與夾具組件100配合進(jìn)行蒙版與掩膜版貼合。該方案克服現(xiàn)有貼膜機(jī)采用旋轉(zhuǎn)門結(jié)構(gòu)在開啟旋轉(zhuǎn)門時(shí)占用較大空間的問題，讓凈化間空間能得到充分利用。
[0049]進(jìn)一步地，請(qǐng)同時(shí)參閱圖2、圖3，所述第一動(dòng)力組件400包括安裝在所述固定支架300上且能輸出直線運(yùn)動(dòng)的第一動(dòng)力件410，所述第一動(dòng)力件410具有一輸出直線運(yùn)動(dòng)的輸出端411，所述第一動(dòng)力組件400還包括設(shè)置在所述第一動(dòng)力件410的所述輸出端411與所述平臺(tái)110之間且用于檢測(cè)所述蒙版與所述掩膜版之間壓力的壓力傳感器420。具體地，固定支架300分為第一固定支架310與安裝在第一固定支架310上的第二固定支架320。第一動(dòng)力件410安裝在第二固定支架320上。第一動(dòng)力件410為油缸，氮?dú)饣驂嚎s空氣經(jīng)電-氣比例閥后，進(jìn)入氣液轉(zhuǎn)換缸，液壓油進(jìn)入油缸驅(qū)動(dòng)平臺(tái)110沿Y軸方向前進(jìn)或后退。油缸需要密封，并進(jìn)行排氣，避免液壓油氣污染環(huán)境。油缸的活塞桿與平臺(tái)110之間加裝有壓力傳感器420，將壓力反饋以便準(zhǔn)確調(diào)整來適應(yīng)不同產(chǎn)品之需求。
[0050]進(jìn)一步地，所述貼膜機(jī)還包括安裝在所述框架131上且用于將所述夾具組件100推向所述壓邊組件200上的第二動(dòng)力件500。第二動(dòng)力件500為氣缸，共四個(gè)分別分布在框架131四邊上。第二動(dòng)力件500用于提高動(dòng)力，制作第8代的大尺寸蒙版夾具120較之前夾具尺寸偏大且重量增加。同時(shí)，設(shè)備對(duì)以往所有蒙版夾具120保持兼容。該貼膜機(jī)可滿足第3.5代至第8代掩膜版貼付蒙版需求。
[0051]進(jìn)一步地，所述貼膜機(jī)還包括用于使所述夾具組件100向遠(yuǎn)離所述第一動(dòng)力組件400的一側(cè)向下傾斜的外推組件600，所述外推組件600包括運(yùn)動(dòng)支架610，所述運(yùn)動(dòng)支架610具有第一側(cè)610a及與所述第一側(cè)610a相對(duì)的第二側(cè)610b，所述運(yùn)動(dòng)支架610的所述第一側(cè)610a繞X軸樞接在所述平臺(tái)110上且所述第二側(cè)610b沿Y軸方向滑動(dòng)安裝在所述固定支架300上，所述外推組件600還包括繞X軸樞接在所述運(yùn)動(dòng)支架610的所述第二側(cè)610b上且能輸出直線運(yùn)動(dòng)的第十驅(qū)動(dòng)件620，所述第十驅(qū)動(dòng)件620具有一輸出直線運(yùn)動(dòng)的輸出端621，所述第十驅(qū)動(dòng)件620的所述輸出端621繞X軸樞接在所述平臺(tái)110上。外推組件600用于驅(qū)動(dòng)平臺(tái)110回轉(zhuǎn)一角度以利于安裝蒙版與掩膜版。運(yùn)動(dòng)支架610采用鋼架結(jié)構(gòu)，