貼膜機(jī)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于貼膜設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及一種貼膜機(jī)。
【背景技術(shù)】
[0002]貼膜機(jī)用于蒙版(Pellicle)貼付在掩膜版(Mask)上，現(xiàn)有技術(shù)僅能夠滿足第3.5代至第6代的掩膜版貼付蒙版的制作。根據(jù)國內(nèi)外TFT(薄膜場效應(yīng)晶體管)行業(yè)發(fā)展趨勢，各地均開始建立第8代的TFT液晶面板生產(chǎn)線。TFT液晶面板的代數(shù)越高，掩膜版尺寸越大?，F(xiàn)有貼膜機(jī)無法滿足第8代的大尺寸掩膜版貼付蒙版的需求。現(xiàn)有技術(shù)需要多套掩膜版定位機(jī)構(gòu)來滿足貼膜要求，即每一種尺寸規(guī)格的掩膜版需要有一套與之匹配的掩膜版定位機(jī)構(gòu)，且每次貼膜時都需要人工根據(jù)掩膜版尺寸來更換掩膜版定位機(jī)構(gòu)?，F(xiàn)有技術(shù)需要多套掩膜版夾具來滿足貼膜要求，即每一種尺寸規(guī)格的掩膜版需要有一套與之匹配的掩膜版夾具，且每次貼膜時都需要人工根據(jù)掩膜版尺寸來更換掩膜版夾具。該方案操作麻煩，經(jīng)濟(jì)成本較高。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的在于提供一種貼膜機(jī)，旨在解決現(xiàn)有貼膜機(jī)中掩膜版定位機(jī)構(gòu)與掩膜版夾具難以適應(yīng)不同尺寸規(guī)格的掩膜版的技術(shù)問題。
[0004]本發(fā)明是這樣實現(xiàn)的，一種貼膜機(jī)，用于將蒙版貼付在掩膜版上，所述貼膜機(jī)包括固定支架及安裝于所述固定支架上的夾具組件，所述夾具組件包括平臺、安裝在所述平臺上且用于安裝所述蒙版的蒙版夾具及用于安裝所述掩膜版的掩膜版定位機(jī)構(gòu)，所述掩膜版定位機(jī)構(gòu)包括框架、沿X軸方向滑動安裝在所述框架上的兩個豎直臂及沿Z軸方向滑動安裝在所述框架上的兩個水平臂，兩個所述豎直臂相面對設(shè)置且兩個所述水平臂相面對設(shè)置，兩個所述豎直臂與兩個所述水平臂共同夾緊所述掩膜版，安裝在所述蒙版夾具上的所述蒙版與安裝在所述掩膜版定位機(jī)構(gòu)上的所述掩膜版相面對設(shè)置，所述X軸方向與所述Z軸方向相互垂直；所述貼膜機(jī)還包括安裝在所述固定支架上且用于與所述掩膜版的背離所述蒙版的一側(cè)相抵的壓邊組件及用于推頂所述平臺以使所述夾具組件與所述壓邊組件相抵的第一動力組件，所述壓邊組件包括兩個平行分布且可調(diào)間距的壓桿，兩個所述壓桿分別相抵在所述掩膜版的相對兩邊上。
[0005]進(jìn)一步地，所述蒙版夾具包括基板及安裝在所述基板上且用于夾緊所述蒙版的夾緊組件，所述蒙版夾具的所述基板上開設(shè)有定位孔，所述夾具組件還包括安裝在所述平臺上且能沿Y軸方向輸出直線運(yùn)動的第一驅(qū)動件及由所述第一驅(qū)動件驅(qū)動的定位銷，所述定位銷穿設(shè)在所述定位孔中，所述X軸方向、所述Y軸方向與所述Z軸方向兩兩垂直。
[0006]進(jìn)一步地，所述蒙版夾具包括基板及安裝在所述基板上且用于夾緊所述蒙版的夾緊組件，所述蒙版夾具的所述基板上開設(shè)有盲孔，所述盲孔中設(shè)置有夾緊法蘭且該夾緊法蘭上開設(shè)有型孔，所述夾具組件還包括繞Y軸輸出旋轉(zhuǎn)運(yùn)動且具有一輸出端的第二驅(qū)動件、由所述第二驅(qū)動件驅(qū)動轉(zhuǎn)動的卡接件及用于驅(qū)動所述第二驅(qū)動件沿Y軸方向移動的第三驅(qū)動件，所述卡接件包括卡接頭及垂直設(shè)置在該卡接頭上的轉(zhuǎn)動軸，所述卡接件的橫截面形狀與所述型孔的橫截面形狀相同，所述卡接件的所述轉(zhuǎn)動軸與所述第二驅(qū)動件的所述輸出端相連接，該卡接件的所述卡接頭穿過所述夾緊法蘭的所述型孔并伸入所述基板的所述盲孔后繞Y軸轉(zhuǎn)動以使所述蒙版夾具固緊在所述平臺上。
[0007]進(jìn)一步地，所述掩膜版定位機(jī)構(gòu)包括安裝在所述框架的背離所述蒙版夾具的一側(cè)上且用于驅(qū)動所述豎直臂沿X軸方向移動的第五驅(qū)動組件及安裝在所述框架的背離所述蒙版夾具的一側(cè)上且用于驅(qū)動所述水平臂沿Y軸方向移動的第六驅(qū)動組件，所述X軸方向、所述Y軸方向與所述Z軸方向兩兩垂直。
[0008]進(jìn)一步地，所述壓邊組件包括安裝座、繞Y軸轉(zhuǎn)動安裝在所述安裝座上的旋轉(zhuǎn)板及安裝在所述安裝座上且用于驅(qū)動所述旋轉(zhuǎn)板繞Y軸轉(zhuǎn)動的第七驅(qū)動組件，所述旋轉(zhuǎn)板具有兩個沿該旋轉(zhuǎn)板的長度方向開設(shè)的直通槽，且該二個直通槽的長度方向重合，所述壓邊組件還包括設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)板的靠近所述安裝座的一側(cè)上且能沿所述旋轉(zhuǎn)板的長度方向輸出直線運(yùn)動的兩個第八驅(qū)動組件及兩個由所述第八驅(qū)動組件一一對應(yīng)驅(qū)動移動且一一對應(yīng)穿設(shè)在所述直通槽中的第一連接件，所述壓桿設(shè)置在每一所述第一連接件上。
[0009]進(jìn)一步地，所述壓邊組件沿Z軸方向滑動安裝在所述固定支架上，所述貼膜機(jī)還包括用于驅(qū)動所述壓邊組件沿Z軸方向移動的第九驅(qū)動組件。
[0010]進(jìn)一步地，所述第一動力組件包括安裝在所述固定支架上且能輸出直線運(yùn)動的第一動力件，所述第一動力件具有一輸出直線運(yùn)動的輸出端，所述第一動力組件還包括設(shè)置在所述第一動力件的所述輸出端與所述平臺之間且用于檢測所述蒙版與所述掩膜版之間壓力的壓力傳感器。
[0011]進(jìn)一步地，所述貼膜機(jī)還包括安裝在所述框架上且用于將所述夾具組件推向所述壓邊組件上的第二動力件。
[0012]進(jìn)一步地，所述貼膜機(jī)還包括用于使所述夾具組件向遠(yuǎn)離所述第一動力組件的一側(cè)向下傾斜的外推組件，所述外推組件包括運(yùn)動支架，所述運(yùn)動支架具有第一側(cè)及與所述第一側(cè)相對的第二側(cè)，所述運(yùn)動支架的所述第一側(cè)繞X軸樞接在所述平臺上且所述第二側(cè)沿Y軸方向滑動安裝在所述固定支架上，所述外推組件還包括繞X軸樞接在所述運(yùn)動支架的所述第二側(cè)上且能輸出直線運(yùn)動的第十驅(qū)動件，所述第十驅(qū)動件具有一輸出直線運(yùn)動的輸出端，所述第十驅(qū)動件的所述輸出端繞X軸樞接在所述平臺上。
[0013]進(jìn)一步地，所述第一動力組件包括安裝在所述固定支架上且能輸出直線運(yùn)動的第一動力件，所述第一動力件具有一輸出直線運(yùn)動的輸出端，所述第一動力組件還包括鉸接在所述第一動力件的所述輸出端與所述運(yùn)動支架之間且用于檢測所述蒙版與所述掩膜版之間壓力的壓力傳感器。
[0014]本發(fā)明相對于現(xiàn)有技術(shù)的技術(shù)效果是:將用于安裝蒙版的蒙版夾具安裝在平臺上，框架上沿X軸方向滑動安裝兩個豎直臂同時沿Z軸方向滑動安裝兩個水平臂，豎直臂與水平臂可夾緊掩膜版，蒙版與掩膜版相面對設(shè)置，第一動力組件將安裝有蒙版與掩膜版的夾具組件推向壓邊組件保證相對兩邊上的壓制效果，兩個壓桿間距可調(diào)，適應(yīng)不同尺寸規(guī)格的掩膜版，克服了在對不同尺寸規(guī)格的掩膜版進(jìn)行貼付蒙版時需要更換對應(yīng)的掩膜版定位機(jī)構(gòu)與掩膜版夾具的麻煩，節(jié)省了制作多套掩膜版定位機(jī)構(gòu)與掩膜版夾具的成本。
【附圖說明】
[0015]圖1是本發(fā)明實施例提供的貼膜機(jī)的立體裝配圖。
[0016]圖2是圖1的貼膜機(jī)的另一角度的立體裝配圖。
[0017]圖3是圖1的貼膜機(jī)的立體分解圖。
[0018]圖4是圖1的貼膜機(jī)中應(yīng)用的夾具組件的立體裝配圖。
[0019]圖5是圖4的夾具組件的立體分解圖。
[0020]圖6是圖4的夾具組件的另一角度的立體分解圖。
[0021]圖7是圖1的貼膜機(jī)中應(yīng)用的壓邊組件的立體裝配圖。
[0022]圖8是圖7的壓邊組件的另一角度的立體裝配圖。
[0023]圖9是圖7的壓邊組件的立體分解圖。
[0024]圖10是圖7的壓邊組件的另一角度的立體分解圖。
【具體實施方式】
[0025]為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實施例，對本發(fā)明進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。
[0026]請參閱圖1至圖3，本發(fā)明實施例提供的一種貼膜機(jī)，用于將蒙版(圖未示)貼付在掩膜版(圖未示)上，所述貼膜機(jī)包括固定支架300及安裝于所述固定支架300上的夾具組件100，所述夾具組件100包括平臺110、安裝在所述平臺110上且用于安裝所述蒙版的蒙版夾具120及用于安裝所述掩膜版的掩膜版定位機(jī)構(gòu)130，請同時參閱圖4至圖6，所述掩膜版定位機(jī)構(gòu)130包括框架131、沿X軸方向滑動安裝在所述框架131上的兩個豎直臂132及沿Z軸方向滑動安裝在所述框架131上的兩個水平臂133，兩個所述豎直臂132相面對設(shè)置且兩個所述水平臂133相面對設(shè)置，兩個所述豎直臂132與兩個所述水平臂133共同夾緊所述掩膜版，安裝在所述蒙版夾具120上的所述蒙版與安裝在所述掩膜版定位機(jī)構(gòu)130上的所述掩膜版相面對設(shè)置，所述X軸方向與所述Z軸方向相互垂直；請同時參閱圖2、圖3，所述貼膜機(jī)還包括安裝在所述固定支架300上且用于與所述掩膜版的背離所述蒙版的一側(cè)相抵的壓邊組件200及用于推頂所述平臺110以使所述夾具組件100與所述壓邊組件200相抵的第一動力組件400，所述壓邊組件200包括兩個平行分布且可調(diào)間距的壓桿252，兩個所述壓桿252分別相抵在所述掩膜版的相對兩邊上。
[0027]將用于安裝蒙版的蒙版夾具120安裝在平臺110上，