框架131上沿X軸方向滑動安裝兩個豎直臂132同時沿Z軸方向滑動安裝兩個水平臂133，豎直臂132與水平臂133可夾緊掩膜版，蒙版與掩膜版相面對設(shè)置，第一動力組件400將安裝有蒙版與掩膜版的夾具組件100推向壓邊組件200保證相對兩邊上的壓制效果，兩個壓桿252間距可調(diào)，適應(yīng)不同尺寸規(guī)格的掩膜版，克服了在對不同尺寸規(guī)格的掩膜版進(jìn)行貼付蒙版時需要更換對應(yīng)的掩膜版定位機構(gòu)130與掩膜版夾具的麻煩，節(jié)省了制作多套掩膜版定位機構(gòu)130與掩膜版夾具的成本。
[0028]在本實施例中，平臺110呈方形板狀，作為支撐件，用于安裝其他零部件。所述框架131具有一缺口且所述平臺110沿Y軸方向滑動安裝在該缺口內(nèi)?？蚣?31呈中空方框狀，平臺110可在框架131的內(nèi)側(cè)沿Y軸滑動。該結(jié)構(gòu)緊湊，在厚度方向上占用空間較小。掩膜版與蒙版均大致呈板狀，中部均開設(shè)有孔。掩膜版與蒙版在貼合的過程，通常先對掩膜版與蒙版的其中一對邊進(jìn)行貼合，然后再對掩膜版與蒙版的另外一對邊進(jìn)行貼合。
[0029]進(jìn)一步地，請同時參閱圖4至圖6，所述蒙版夾具120包括基板121及安裝在所述基板121上且用于夾緊所述蒙版的夾緊組件122，所述蒙版夾具120的所述基板121上開設(shè)有定位孔1211，所述夾具組件100還包括安裝在所述平臺110上且能沿Y軸方向輸出直線運動的第一驅(qū)動件141及由所述第一驅(qū)動件141驅(qū)動的定位銷142，所述定位銷142穿設(shè)在所述定位孔1211中，所述X軸方向、所述Y軸方向與所述Z軸方向兩兩垂直。具體地，第一驅(qū)動件141設(shè)置在平臺110背離基板121的一側(cè)上，第一驅(qū)動件141的輸出端411穿過平臺110而定位銷142穿設(shè)在定位孔1211中?；?21上開設(shè)有沿蒙版的其中一條對角線分布的四個定位孔1211，與四個第一驅(qū)動件141、定位銷142配合，實現(xiàn)蒙版夾具120定位在平臺110預(yù)定位置上，該結(jié)構(gòu)定位準(zhǔn)確。第一驅(qū)動件141為直線氣缸。
[0030]進(jìn)一步地，所述蒙版夾具120包括基板121及安裝在所述基板121上且用于夾緊所述蒙版的夾緊組件122，所述蒙版夾具120的所述基板121上開設(shè)有盲孔1212，所述盲孔1212中設(shè)置有夾緊法蘭143且該夾緊法蘭143上開設(shè)有型孔1431，所述夾具組件100還包括繞Y軸輸出旋轉(zhuǎn)運動且具有一輸出端的第二驅(qū)動件145、由所述第二驅(qū)動件145驅(qū)動轉(zhuǎn)動的卡接件146及用于驅(qū)動所述第二驅(qū)動件145沿Y軸方向移動的第三驅(qū)動件147，所述卡接件146包括卡接頭及垂直設(shè)置在該卡接頭上的轉(zhuǎn)動軸1462，所述卡接件146的橫截面形狀與所述型孔1431的橫截面形狀相同，所述卡接件146的所述轉(zhuǎn)動軸1462與所述第二驅(qū)動件145的所述輸出端相連接，該卡接件146的所述卡接頭穿過所述夾緊法蘭143的所述型孔1431并伸入所述基板121的所述盲孔1212后繞Y軸轉(zhuǎn)動以使所述蒙版夾具120固緊在所述平臺110上。具體地，第二驅(qū)動件145與第三驅(qū)動件147均設(shè)置在平臺110背離基板121的一側(cè)上，第三驅(qū)動件147的輸出端穿過平臺110并伸入基板121的盲孔1212?？ń蛹?46呈T字型，卡接件146的卡接頭與夾緊法蘭143的型孔1431呈一字型?？ń蛹?46的卡接頭穿過夾緊法蘭143的型孔1431并伸入基板121的盲孔1212后繞Y軸轉(zhuǎn)動并沿Y軸方向內(nèi)縮，可使蒙版夾具120進(jìn)一步固緊在平臺110上。第二驅(qū)動件145與第三驅(qū)動件147的輸出端之間鉸接有連接件148，讓第三驅(qū)動件147可安裝在平臺110上，第三驅(qū)動件147的輸出端遠(yuǎn)離伸出蒙版夾具120時，第二驅(qū)動件145的輸出端會伸入蒙版夾具120，該結(jié)構(gòu)緊湊?；?21上開設(shè)有沿蒙版的另外一條對角線分布的四個盲孔1212，與四個夾緊法蘭143、第二驅(qū)動件145、第三驅(qū)動件147配合，將蒙版夾具120固緊在平臺110上，該結(jié)構(gòu)連接牢固。第二驅(qū)動件145為旋轉(zhuǎn)氣缸。第三驅(qū)動件147為直線氣缸。
[0031]進(jìn)一步地，所述夾緊組件122包括安裝在所述基板121上的第四驅(qū)動件1221，所述第四驅(qū)動件1221具有沿X軸方向輸出相反或者相對直線運動的兩個輸出端1221a，所述夾緊組件122還包括分別由所述第四驅(qū)動件1221的兩個所述輸出端1221a—一對應(yīng)驅(qū)動沿X軸方向移動的兩個撥桿1222、一一對應(yīng)由所述撥桿1222頂?shù)盅豖軸方向移動且沿X軸方向延伸的兩個導(dǎo)桿1223及設(shè)置在每一所述導(dǎo)桿1223的自由端上的卡爪1224，所述第四驅(qū)動件1221的兩個所述輸出端1221a分別驅(qū)動兩個所述撥桿1222頂?shù)謱?yīng)的所述導(dǎo)桿1223以使兩個所述卡爪1224張開，所述夾緊組件122還包括設(shè)置在每一所述導(dǎo)桿1223上且用于在兩個所述卡爪1224張開后使該卡爪1224復(fù)位以夾緊所述蒙版的彈性件1225。具體地，第四驅(qū)動件1221均設(shè)置在平臺110背離基板121的一側(cè)上，第四驅(qū)動件1221的輸出端1221a穿過平臺110與基板121。第四驅(qū)動件1221為氣動手指，第四驅(qū)動件1221設(shè)置在基板121上側(cè)邊的中間位置。撥桿1222沿Z軸方向延伸，第四驅(qū)動件1221的兩個輸出端1221a帶動兩撥桿1222相互遠(yuǎn)離。導(dǎo)桿1223嵌裝在蒙版夾具120的凹槽1213中，并且由凹槽1213中的支撐座1226支撐，讓導(dǎo)桿1223在凹槽1213中移動。彈性件1225為彈簧，套設(shè)在導(dǎo)桿1223外，其兩端分別頂?shù)衷诠探釉趯?dǎo)桿1223上的彈簧座及固接在凹槽1213的其中一個支撐座1226上，讓導(dǎo)桿1223在撥桿1222相抵以遠(yuǎn)離第四驅(qū)動件1221后復(fù)位，從而讓兩個導(dǎo)桿1223的自由端上的卡爪1224向第四驅(qū)動件1221靠近，以夾緊蒙版。還有，基板121上可以設(shè)置多組導(dǎo)桿1223以適應(yīng)不同型號尺寸的蒙版。在本實施例中，基板121設(shè)置有兩組導(dǎo)桿1223，可使第8代兩種尺寸的掩膜版共用一套蒙版夾具120。
[0032]進(jìn)一步地，所述夾緊組件122包括安裝在所述基板121上的第四驅(qū)動件1221，所述第四驅(qū)動件1221具有沿Y軸方向輸出相反或者相對直線運動的兩個輸出端1221a，所述夾緊組件122還包括分別由所述第四驅(qū)動件1221的兩個所述輸出端1221a—一對應(yīng)驅(qū)動沿Y軸方向移動的兩個撥桿1222、一一對應(yīng)由所述撥桿1222頂?shù)盅豗軸方向移動且沿Y軸方向延伸的兩個導(dǎo)桿1223及設(shè)置在每一所述導(dǎo)桿1223的自由端上的卡爪1224，所述第四驅(qū)動件1221的兩個所述輸出端1221a分別驅(qū)動兩個所述撥桿1222頂?shù)謱?yīng)的所述導(dǎo)桿1223以使兩個所述卡爪1224張開，所述夾緊組件122還包括設(shè)置在每一所述導(dǎo)桿1223上且用于在兩個所述卡爪1224張開后使該卡爪1224復(fù)位以夾緊所述蒙版的彈性件1225。該方案與前一個方案類似，不再贅述。
[0033]根據(jù)曝光機的需要，蒙版夾具120分為左下定位及右下定位的方式。左下定位時，夾具左邊及下邊的卡爪1224固定，右邊及上邊的卡爪1224活動。右下定位時，右邊及下邊的卡爪1224固定，夾具左邊及上邊的卡爪1224活動?；顒涌ㄗ?224由平臺110上安裝的手指氣缸驅(qū)動，實現(xiàn)蒙版夾具120內(nèi)的拔桿合隆及分離，使活動卡爪1224移動并壓緊蒙版。
[0034]進(jìn)一步地，所述掩膜版定位機構(gòu)130包括安裝在所述框架131的背離所述蒙版夾具120的一側(cè)上且用于驅(qū)動所述豎直臂132沿X軸方向移動的第五驅(qū)動組件134及安裝在所述框架131的背離所述蒙版夾具120的一側(cè)上且用于驅(qū)動所述水平臂133沿Y軸方向移動的第六驅(qū)動組件135，所述X軸方向、所述Y軸方向與所述Z軸方向兩兩垂直。具體地，第五驅(qū)動組件134包括安裝在框架131上且能輸出旋轉(zhuǎn)運動的第五驅(qū)動件1341、由所述第五驅(qū)動件1341驅(qū)動轉(zhuǎn)動的絲桿1342及在框架131上沿X軸方向滑動且與絲桿1342螺紋配合的滑塊1343。第五驅(qū)動件1341為伺服馬達(dá)。第六驅(qū)動組件135與第五驅(qū)動組件134類似，不再贅述。根據(jù)需要，第六驅(qū)動組件135與第五驅(qū)動組件134可加裝監(jiān)控攝像頭作為反饋系統(tǒng)。掩膜版安裝到位后可通過氣缸自動或手動完成掩膜版的壓緊保護(hù)，避免掩膜版掉落。
[0035]進(jìn)一步地，二個所述第五驅(qū)動組件134分別分布在所述框架131的上下兩側(cè)且該二個第五驅(qū)動組件134共同驅(qū)動一個所述豎直臂132，二個所述第六驅(qū)動組件135分別分布在所述框架131的左右兩側(cè)且該二個第六驅(qū)動組件135共同驅(qū)動一個所述水平臂133。該結(jié)構(gòu)能讓豎直臂132與水平臂133得到精確位置控制，從而適應(yīng)不同尺寸的掩膜版的安裝。
[0036]進(jìn)一步地，每一所述豎直臂132上均設(shè)置有用于與所述掩膜版的一側(cè)相抵的第一定位件1321，兩個所述豎直臂132上的所述第一定位件1321相向設(shè)置；每一