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X射線準直器的制作方法

文檔序號:12288540閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一個X射線準直器,包括一個含有多個孔的基板,其中至少一些孔具有一個錐形入口和一個沿其軸向長度的跟隨的管狀部分,其中錐形入口是截頭圓錐形的,由此在使用時,伴隨位于錐形入口的一X射線源,至少一些孔中的每一個以一個狹窄的錐角發(fā)射一束X射線光子。

2.如權利要求1所述的X射線準直器,其特征在于,多個孔設置在一個二維陣列中。

3.如權利要求1或2所述的X射線準直器,其特征在于,所述基板由硅或玻璃制成。

4.如權利要求3所述的X射線準直器,其特征在于,所述玻璃由熔融石英制成。

5.如上述權利要求任意一條所述的X射線準直器,其特征在于,所述截頭圓錐部分被描述為一個近似拋物線的形狀。

6.如權利要求5所述的X射線準直器,其特征在于,所述拋物線形狀近似由一個被稱為“溫斯頓錐”的形狀所定義。

7.如上述權利要求任意一條所述的X射線準直器,其特征在于,所述管狀部分是圓柱形的。

8.如上述權利要求任意一條所述的X射線準直器,其特征在于,所述截頭圓錐部分的孔入口和所述管裝部分輸出孔之間的距離基本上大于所述輸出孔直徑,設置為這種幾何形狀是為了減小相對于非制導輻射開口角度的X射線發(fā)射開口角度。

9.如上述權利要求任意一條所述的X射線準直器,其特征在于,所述截頭圓錐部分的孔入口和所述管裝部分輸出孔之間的距離至少大于所述輸出孔直徑的十倍,設置為這種幾何形狀是為了減小相對于非制導輻射開口角度的X射線發(fā)射開口角度。

10.如上述權利要求任意一條所述的X射線準直器,其特征在于,穿過所述基板的孔排列在帶有薄膜的內表面上。

11.如權利要求10中所述的X射線準直器,其特征在于,所述薄膜可以包括至少一個單層,單層為鎢或銥構成。

12.如權利要求10所述的X射線準直器,其特征在于,所述薄膜可以包括一個雙層,雙層包括鎢和氧化鋁、鎢和硅、以及鎢和碳。

13.如權利要求10所述的X射線準直器,其特征在于,所述薄膜可以包括一個雙層,雙層包括一個高原子序數金屬和一個低原子序數/低濃度間隔材料的組合。

14.如上述權利要求任意一條所述的X射線準直器,進一步包括一個目標材料,所述目標材料包括一個高原子序數材料的一個第一薄板,所述第一薄板作為一個目標材料從一個電子發(fā)射器陣列轉換一個電子源進入X射線光子的局部源,其中所述截頭圓錐部分的輸入緊靠所述目標材料。

15.如權利要求14所述的X射線準直器,其特征在于,所述第一薄板包括鎢、鎢合金、鉬或金中的一個或多個。

16.如權利要求14或15中所述的X射線準直器,其特征在于,所述目標材料的所述第一薄板可以有一個大約1微米到5微米的厚度。

17.如權利要求14到16中任何一條所述的X射線準直器,其特征在于,X射線過濾材料的一個第二薄板位于所述基板上的所述目標材料和所述截頭圓錐孔開口之間。

18.如權利要求17所述的X射線準直器,其特征在于,所述X射線過濾材料由鋁制成。

19.如權利要求17或18所述的X射線準直器,其特征在于,所述X射線過濾材料具有一個大約100微米到500微米的厚度。

20.一個X射線準直器部件,包括兩個或更多的X射線準直器,根據上述權利要求的任意一條所述,其特征在于,一個X射線準直器基板的管狀輸出孔與相鄰X射線準直器基板的截頭圓錐輸入孔對齊,以便延伸準直孔的長度。

21.一種用于獲得物體X射線圖像的方法,包括提供X射線準直器的步驟,如權利要求14到19中任何一條所述,將所述X射線準直器與一個二維X射線傳感器對齊,由此在使用中,X射線光子從所述X射線源穿過準直孔并出現在X射線光子的一個狹窄的錐角,其中一些X射線光子隨后穿過位于所述準直器輸出孔和所述X射線傳感器之間的一個物體。

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