一種用于多晶鑄錠生產(chǎn)的二次摻雜裝置制造方法
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型涉及一種用于多晶鑄錠生產(chǎn)的二次摻雜裝置，包括多晶鑄錠爐、坩堝和進(jìn)氣管，所述坩堝固定安裝在多晶鑄錠爐內(nèi)，所述進(jìn)氣管的一端與坩堝上部相連接，進(jìn)氣管的另一端延伸到多晶鑄錠爐的外部，所述進(jìn)氣管位于多晶鑄錠爐外部的一端還依次連接有進(jìn)氣支管和三通容器，所述三通容器的三個(gè)接口分別為用于連接氬氣供應(yīng)裝置的氬氣進(jìn)氣口、用于與進(jìn)氣支管連接的進(jìn)氣接口和用于將摻雜劑加入三通容器的摻雜接口，所述氬氣進(jìn)氣口處設(shè)有一號(hào)閥，所述進(jìn)氣接口處設(shè)有二號(hào)閥，所述摻雜接口處設(shè)有三號(hào)閥。本實(shí)用新型在使用時(shí)無(wú)需打開(kāi)爐腔，進(jìn)而保證不將空氣混入爐腔內(nèi)，可確保多晶硅的品質(zhì)；且本裝置摻雜過(guò)程無(wú)需停止設(shè)備運(yùn)行，可提高生產(chǎn)效率。
【專(zhuān)利說(shuō)明】
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實(shí)用新型屬于多晶硅生產(chǎn)設(shè)備領(lǐng)域，尤其涉及一種用于多晶鑄錠生產(chǎn)的二次摻 雜裝置。 -種用于多晶鑄錠生產(chǎn)的二次摻雜裝置

【背景技術(shù)】
[0002] 目前光伏行業(yè)的主要原材料是半導(dǎo)體材料硅，完全不含雜質(zhì)且無(wú)晶格缺陷的純凈 半導(dǎo)體稱(chēng)為本征半導(dǎo)體。常溫下，本征半導(dǎo)體的電導(dǎo)率較小，載流子對(duì)溫度變化敏感，所以 很難對(duì)其半導(dǎo)體特性進(jìn)行控制。摻入雜質(zhì)的本征半導(dǎo)體稱(chēng)為雜質(zhì)半導(dǎo)體，半導(dǎo)體中的雜質(zhì) 對(duì)電導(dǎo)率的影響非常大，本征半導(dǎo)體經(jīng)過(guò)摻雜就形成雜質(zhì)半導(dǎo)體，一般可分為N型半導(dǎo)體 和P型半導(dǎo)體。在本征半導(dǎo)體硅或鍺中摻入微量的5價(jià)元素，形成N型半導(dǎo)體；在本征半導(dǎo) 體硅或鍺中，若摻入微量的3價(jià)元素，形成P型半導(dǎo)體。
[0003] 在實(shí)際的多晶娃鑄淀生廣中，目如以P型為主。在對(duì)謝禍內(nèi)的多晶娃料進(jìn)行慘雜 時(shí)，現(xiàn)有的方法需要先停止多晶鑄錠爐的運(yùn)行，然后打開(kāi)爐腔，對(duì)坩堝內(nèi)進(jìn)行摻雜，這種方 法操作較為復(fù)雜，因需要打開(kāi)爐腔，所以要先停止設(shè)備的運(yùn)行，從而影響了生產(chǎn)效率，另外 這種方法的摻雜劑的用量難以控制，因此會(huì)影響多晶硅的電阻率。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0004] 為了解決上述的技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型的目的是提供一種結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，使用方 便，無(wú)需打開(kāi)爐腔進(jìn)行操作的用于多晶鑄錠生產(chǎn)的二次摻雜裝置。
[0005] 為了實(shí)現(xiàn)上述的目的，本實(shí)用新型采用了以下的技術(shù)方案：
[0006] -種用于多晶鑄錠生產(chǎn)的二次摻雜裝置，包括多晶鑄錠爐、坩堝和進(jìn)氣管，所述坩 堝固定安裝在多晶鑄錠爐內(nèi)，所述進(jìn)氣管的一端與坩堝上部相連接，進(jìn)氣管的另一端延伸 到多晶鑄錠爐的外部，所述進(jìn)氣管位于多晶鑄錠爐外部的一端還依次連接有進(jìn)氣支管和三 通容器，所述三通容器的三個(gè)接口分別為用于連接氬氣供應(yīng)裝置的氬氣進(jìn)氣口、用于與進(jìn) 氣支管連接的進(jìn)氣接口和用于將摻雜劑加入三通容器的摻雜接口，所述氬氣進(jìn)氣口處設(shè)有 一號(hào)閥，所述進(jìn)氣接口處設(shè)有二號(hào)閥，所述摻雜接口處設(shè)有三號(hào)閥。
[0007] 作為優(yōu)選方案：所述摻雜接口上還開(kāi)有摻雜孔，所述摻雜孔通過(guò)密封件密封。
[0008] 作為優(yōu)選方案：所述一號(hào)閥、二號(hào)閥和三號(hào)閥均為手動(dòng)旋塞閥。手動(dòng)旋塞閥具有啟 閉迅速、輕便，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，相對(duì)體積小，重量輕，便于維修，密封性能好的優(yōu)點(diǎn)。
[0009] 作為優(yōu)選方案：所述三通容器的進(jìn)氣接口、氬氣進(jìn)氣口和摻雜接口的內(nèi)徑均為 20mm?？杀ＷC三通容器一次摻雜的劑量。
[0010] 本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有以下優(yōu)點(diǎn)和效果：由于空氣中含有氧氣及水蒸 氣，二者會(huì)影響多晶硅品質(zhì)，而本裝置在使用時(shí)無(wú)需打開(kāi)爐腔，通過(guò)三通容器的摻雜接口即 可完成摻雜過(guò)程，進(jìn)而保證不將空氣混入爐腔內(nèi)，可確保多晶硅的品質(zhì)；且本裝置摻雜過(guò)程 無(wú)需停止設(shè)備運(yùn)行，可提高生產(chǎn)效率。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，設(shè)計(jì)合理，操作方便。

【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】 toon] 圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

【具體實(shí)施方式】
[0012] 下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】做一個(gè)詳細(xì)的說(shuō)明。
[0013] 如圖1所示的一種用于多晶鑄錠生產(chǎn)的二次摻雜裝置，包括多晶鑄錠爐1、坩堝2 和進(jìn)氣管3,所述坩堝2固定安裝在多晶鑄錠爐1內(nèi)，所述進(jìn)氣管3的一端與坩堝2上部相 連接，進(jìn)氣管3的另一端延伸到多晶鑄錠爐1的外部，所述進(jìn)氣管3位于多晶鑄錠爐1外部 的一端還依次連接有進(jìn)氣支管4和三通容器5,所述三通容器5的三個(gè)接口分別為用于連接 氬氣供應(yīng)裝置的氬氣進(jìn)氣口 51、用于與進(jìn)氣支管4連接的進(jìn)氣接口 52和用于將摻雜劑加入 三通容器5的摻雜接口 53,所述氬氣進(jìn)氣口 51處設(shè)有一號(hào)閥54,所述進(jìn)氣接口 52處設(shè)有 二號(hào)閥55,所述摻雜接口 53處設(shè)有三號(hào)閥56,所述摻雜接口 53上還開(kāi)有摻雜孔，所述摻雜 孔通過(guò)密封件密封。
[0014] 本實(shí)施例中的一號(hào)閥54、二號(hào)閥55和三號(hào)閥56均為手動(dòng)旋塞閥，手動(dòng)旋塞閥具有 啟閉迅速、輕便，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，相對(duì)體積小，重量輕，便于維修，密封性能好的優(yōu)點(diǎn)。
[0015] 本實(shí)施例中的進(jìn)氣支管4位于多晶鑄錠爐1的外部，而三通容器5、一號(hào)閥54、二 號(hào)閥55和三號(hào)閥56也相應(yīng)的位于多晶鑄錠爐1的外部，因而便于操作和維護(hù)，無(wú)需打開(kāi)多 晶鑄錠爐1。
[0016] 本實(shí)施例中的三通容器5的進(jìn)氣接口、出氣接口和摻雜接口的內(nèi)徑均為20mm，可 保證三通容器5內(nèi)的容量，保證三通容器5 -次摻雜的劑量，減少操作次數(shù)。
[0017] 本實(shí)施例中的三通容器5為不銹鋼材質(zhì)，可增加使用壽命，坩堝2為石英陶瓷坩 堝。
[0018] 摻雜流程如下：1、關(guān)閉一號(hào)閥54和二號(hào)閥55 ;2、打開(kāi)三號(hào)閥56和密封件；3、從摻 雜孔中裝入定量的摻雜劑到三通容器5 ;4、打開(kāi)一號(hào)閥54,氬氣供應(yīng)裝置往氬氣進(jìn)氣口 51 輸送氬氣，氬氣將三通容器5內(nèi)的空氣從三號(hào)閥56處排出，控制氬氣流速，以不將摻雜劑吹 出為宜；5、待氦氣將三通容器5內(nèi)的空氣排凈，關(guān)閉密封件、一號(hào)閥54和三號(hào)閥56 ;6、打開(kāi) 二號(hào)閥55,緩慢打開(kāi)一號(hào)閥54,用氦氣將三通容器5內(nèi)的摻雜劑送入?甘禍2內(nèi)，完成二次摻 雜操作，摻雜過(guò)程不會(huì)有空氣混入，可確保多晶硅的品質(zhì)。
[0019] 此外，需要說(shuō)明的是，本說(shuō)明書(shū)中所描述的具體實(shí)施例，其零、部件的形狀、所取名 稱(chēng)等可以不同，本說(shuō)明書(shū)中所描述的以上內(nèi)容僅僅是對(duì)本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)及附圖所作的舉例 說(shuō)明。凡依據(jù)本實(shí)用新型專(zhuān)利構(gòu)思所述的構(gòu)造、特征及原理所做的等效變化或者簡(jiǎn)單變化， 均包括于本實(shí)用新型專(zhuān)利的保護(hù)范圍內(nèi)。本實(shí)用新型所屬【技術(shù)領(lǐng)域】的技術(shù)人員可以對(duì)所描 述的具體實(shí)施例做各種各樣的修改或補(bǔ)充或采用類(lèi)似的方式替代，只要不偏離本實(shí)用新型 的結(jié)構(gòu)或者超越本權(quán)利要求書(shū)所定義的范圍，均應(yīng)屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【權(quán)利要求】
1. 一種用于多晶鑄錠生產(chǎn)的二次摻雜裝置，包括多晶鑄錠爐（1)、坩堝（2)和進(jìn)氣管 (3)，所述坩堝（2)固定安裝在多晶鑄錠爐（1)內(nèi)，所述進(jìn)氣管（3)的一端與坩堝（2)上部相 連接，進(jìn)氣管（3)的另一端延伸到多晶鑄錠爐（1)的外部，其特征在于：所述進(jìn)氣管（3)位于 多晶鑄錠爐（1)外部的一端還依次連接有進(jìn)氣支管（4)和三通容器（5)，所述三通容器（5) 的三個(gè)接口分別為用于連接氬氣供應(yīng)裝置的氬氣進(jìn)氣口（51)、用于與進(jìn)氣支管（4)連接的 進(jìn)氣接口（ 52 )和用于將摻雜劑加入三通容器（5 )的摻雜接口（ 53 )，所述氬氣進(jìn)氣口（ 51)處 設(shè)有一號(hào)閥（54)，所述進(jìn)氣接口（ 52 )處設(shè)有二號(hào)閥（55 )，所述摻雜接口（ 53 )處設(shè)有三號(hào)閥 (56)。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于多晶鑄錠生產(chǎn)的二次摻雜裝置，其特征在于：所述 摻雜接口（53)上還開(kāi)有摻雜孔，所述摻雜孔通過(guò)密封件密封。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于多晶鑄錠生產(chǎn)的二次摻雜裝置，其特征在于：所述 一號(hào)閥（54)、二號(hào)閥（55)和三號(hào)閥（56)均為手動(dòng)旋塞閥。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于多晶鑄錠生產(chǎn)的二次摻雜裝置，其特征在于：所述 三通容器（5)的氬氣進(jìn)氣口（51)、進(jìn)氣接口（52)和摻雜接口（53)的內(nèi)徑均為20mm。
【文檔編號(hào)】C30B31/06GK203866405SQ201420251182
【公開(kāi)日】2014年10月8日 申請(qǐng)日期:2014年5月15日 優(yōu)先權(quán)日:2014年5月15日
【發(fā)明者】張?zhí)K州 申請(qǐng)人:浙江溢閎光電科技有限公司