一種感應(yīng)加熱線圈裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種感應(yīng)加熱線圈裝置，該技術(shù)方案感應(yīng)線圈可采用銅方管焊接而成，可中空通水冷卻。銅管兩端采用銅螺母，便于與電極組裝，同時端面采用密封膠圈，實現(xiàn)中空水路與真空腔的密封。感應(yīng)線圈采用銅螺桿支撐定位，線圈每匝上的耳片之間通過套管支撐，同時可以通過套管的規(guī)格調(diào)整線圈匝間距，必要時可通過加裝墊片調(diào)整匝間距。感應(yīng)線圈表面采用絕緣材料涂覆，防止真空腔內(nèi)短路打火，影響加熱效果。本發(fā)明以相對簡單的結(jié)構(gòu)改進實現(xiàn)了可方便的調(diào)整線圈匝間隙、可進行水冷以及便于組裝等技術(shù)優(yōu)點，功能性突出，使用效果良好，同時技術(shù)上易于實現(xiàn)、成本可控，具有突出的規(guī)?；瘧?yīng)用前景。
【專利說明】一種感應(yīng)加熱線圈裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體材料制備裝置領(lǐng)域，具體涉及一種感應(yīng)加熱線圈裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]作為第三代半導(dǎo)體材料中技術(shù)發(fā)展最為成熟的材料，SIC具有寬帶隙、高臨界擊穿場強、高熱導(dǎo)率、高載流子飽和迀移率以及高鍵合能等優(yōu)點。其優(yōu)異性能可以滿足現(xiàn)代電子技術(shù)的特殊領(lǐng)域的新需求，特別適合制造高頻、大功率、抗輻射、抗腐蝕的電子器件，因而被當(dāng)做是半導(dǎo)體材料領(lǐng)域中最有前景的材料之一。許多國家相繼投入了大量的資金對Sic進行了各方面深入的研宄，同時晶體生長設(shè)備也日益被人們所重視。
[0003]碳化硅晶體生長設(shè)備采用中頻感應(yīng)加熱方式，整個加熱電路由感應(yīng)線圈、中頻電源和諧振電容組成，其中感應(yīng)線圈靠近石墨生長室，溫度較高，其結(jié)構(gòu)參數(shù)對設(shè)備感應(yīng)加熱系統(tǒng)性能效果至關(guān)重要。
[0004]傳統(tǒng)行業(yè)所制感應(yīng)線圈一般采用銅管繞制，樹脂膠木柱及銅螺絲固定每一匝，保證間隙。膠木柱兩側(cè)及與線圈接觸部敷貼云母板，防止膠木柱炭化及短路打火。由于晶體加熱溫控系統(tǒng)位于真空腔內(nèi)，且溫度較高。采用過多的揮發(fā)性物質(zhì)對晶體生長有著致命影響。


【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明旨在針對現(xiàn)有技術(shù)的技術(shù)缺陷，提供一種感應(yīng)加熱線圈裝置，以實現(xiàn)該裝置具備可方便的調(diào)整線圈匝間隙、可進行水冷以及便于組裝等技術(shù)優(yōu)點。
[0006]為實現(xiàn)以上技術(shù)目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案:
[0007]一種感應(yīng)加熱線圈裝置，包括線圈，端頭，螺桿，螺母，套管，耳片，絕緣套，其中線圈是由導(dǎo)體按螺旋線盤繞成為的管狀物，所述端頭有兩個、分別位于上述導(dǎo)體的兩端，螺桿與線圈的軸線平行，絕緣套位于所述螺桿外周，所述耳片有若干個、其一端有孔，每個耳片以該孔套接在所述絕緣套外周、另一端與線圈的每匝固定連接，套管有若干個、分別位于每兩個相鄰的耳片之間并套接于所述絕緣套外周，所述螺母至少有兩個、絲接在螺桿上、將上述若干耳片及若干套管夾緊固定。
[0008]優(yōu)選的，所述導(dǎo)體為金屬管，在此基礎(chǔ)上還可以進行一下優(yōu)選:所述導(dǎo)體為金屬方管；或所述端頭與所述金屬管的連接部具有密封膠圈；或所述金屬管內(nèi)壁附著有絕緣涂層O
[0009]優(yōu)選的，所述導(dǎo)體外壁附著有絕緣涂層。
[0010]優(yōu)選的，還包括墊圈，所述墊圈與所述螺母相配合、位于所述夾緊固定處。
[0011]優(yōu)選的，還包括支撐架，所述支撐架連接于所述螺桿下部。
[0012]優(yōu)選的，所述螺桿的數(shù)量為4?8根、均勻分布于線圈周圍。
[0013]優(yōu)選的，所述絕緣套為絕緣涂層或絕緣材質(zhì)套管。
[0014]優(yōu)選的，所述導(dǎo)體的材質(zhì)為銅。
[0015]優(yōu)選的，所述端頭為螺母。
[0016]優(yōu)選的，所述固定連接為焊接。
[0017]在以上技術(shù)方案中，感應(yīng)線圈采用銅方管焊接而成，中空通水冷卻，屬于低電壓高電流型電阻加熱方式。銅管兩端采用銅螺母，便于與電極組裝，同時端面采用密封膠圈，實現(xiàn)中空水路與真空腔的密封。感應(yīng)線圈采用銅螺桿支撐定位，線圈每匝上的耳片之間通過套管支撐，同時可以通過套管的規(guī)格調(diào)整線圈匝間距，必要時可通過加裝墊片調(diào)整匝間距。無論感應(yīng)線圈采用4根、6根或8根乃至更多根銅螺桿支撐整體時，都應(yīng)當(dāng)保證其圍繞線圈圓周均勻分布。螺桿的下端留有空余長度，便于和底部支撐部件連接緊固。兩個螺母部位采用連接板和螺母鎖緊固定，防止運輸途中工件變形。感應(yīng)線圈表面采用絕緣材料涂覆，防止真空腔內(nèi)短路打火，影響加熱效果。螺桿的外側(cè)加裝絕緣套，是為了實現(xiàn)線圈的每匝之間的絕緣。
[0018]本發(fā)明以相對簡單的結(jié)構(gòu)改進實現(xiàn)了可方便的調(diào)整線圈匝間隙、可進行水冷以及便于組裝等技術(shù)優(yōu)點，功能性突出，使用效果良好，同時技術(shù)上易于實現(xiàn)、成本可控，具有突出的規(guī)?；瘧?yīng)用前景。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0019]圖1是本發(fā)明實施例1的立體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖2是本發(fā)明實施例1的局部剖面示意圖；
[0021]圖中:
[0022]1、線圈2、端頭3、螺桿4、螺母
[0023]5、套管6、耳片7、絕緣套8、墊圈

【具體實施方式】
[0024]以下將對本發(fā)明的【具體實施方式】進行詳細描述。為了避免過多不必要的細節(jié)，在以下實施例中對屬于公知的結(jié)構(gòu)或功能將不進行詳細描述。除有定義外，以下實施例中所用的技術(shù)和科學(xué)術(shù)語具有與本發(fā)明所屬領(lǐng)域技術(shù)人員普遍理解的相同含義。
[0025]實施例1
[0026]一種感應(yīng)加熱線圈裝置，包括線圈1，端頭2，螺桿3，螺母4，套管5，耳片6，絕緣套7，其中線圈I是由導(dǎo)體按螺旋線盤繞成為的管狀物，所述端頭2有兩個、分別位于上述導(dǎo)體的兩端，螺桿3與線圈I的軸線平行，絕緣套7位于所述螺桿3外周，所述耳片6有若干個、其一端有孔，每個耳片6以該孔套接在所述絕緣套7外周、另一端與線圈I的每匝固定連接，套管5有若干個、分別位于每兩個相鄰的耳片6之間并套接于所述絕緣套7外周，所述螺母4至少有兩個、絲接在螺桿3上、將上述若干耳片6及若干套管5夾緊固定。
[0027]在以上技術(shù)方案中，所述導(dǎo)體為銅質(zhì)方管，所述端頭2為螺母，所述端頭2與所述金屬管的連接部具有密封膠圈，所述金屬管內(nèi)壁附著有絕緣涂層。
[0028]同時，所述導(dǎo)體外壁附著有絕緣涂層。還包括墊圈8，所述墊圈8與所述螺母4相配合、位于所述夾緊固定處。所述螺桿3的數(shù)量為4根、均勻分布于線圈I周圍。所述絕緣套7為絕緣材質(zhì)套管。所述固定連接為焊接。
[0029]實施例2
[0030]一種感應(yīng)加熱線圈裝置，包括線圈1，端頭2，螺桿3，螺母4，套管5，耳片6，絕緣套7，其中線圈I是由導(dǎo)體按螺旋線盤繞成為的管狀物，所述端頭2有兩個、分別位于上述導(dǎo)體的兩端，螺桿3與線圈I的軸線平行，絕緣套7位于所述螺桿3外周，所述耳片6有若干個、其一端有孔，每個耳片6以該孔套接在所述絕緣套7外周、另一端與線圈I的每匝固定連接，套管5有若干個、分別位于每兩個相鄰的耳片6之間并套接于所述絕緣套7外周，所述螺母4至少有兩個、絲接在螺桿3上、將上述若干耳片6及若干套管5夾緊固定。
[0031]實施例3
[0032]一種感應(yīng)加熱線圈裝置，包括線圈1，端頭2，螺桿3，螺母4，套管5，耳片6，絕緣套7，其中線圈I是由導(dǎo)體按螺旋線盤繞成為的管狀物，所述端頭2有兩個、分別位于上述導(dǎo)體的兩端，螺桿3與線圈I的軸線平行，絕緣套7位于所述螺桿3外周，所述耳片6有若干個、其一端有孔，每個耳片6以該孔套接在所述絕緣套7外周、另一端與線圈I的每匝固定連接，套管5有若干個、分別位于每兩個相鄰的耳片6之間并套接于所述絕緣套7外周，所述螺母4至少有兩個、絲接在螺桿3上、將上述若干耳片6及若干套管5夾緊固定。
[0033]在以上技術(shù)方案中，所述導(dǎo)體為實心鐵條。
[0034]同時，所述導(dǎo)體外壁附著有絕緣涂層。還包括墊圈8，所述墊圈8與所述螺母4相配合、位于所述夾緊固定處。所述螺桿3的數(shù)量為10根、均勻分布于線圈I周圍。所述絕緣套7為絕緣涂層。所述固定連接為焊接。還包括支撐架，所述支撐架連接于所述螺桿3下部。
[0035]以上對本發(fā)明的實施例進行了詳細說明，但所述內(nèi)容僅為本發(fā)明的較佳實施例，并不用以限制本發(fā)明。凡在本發(fā)明的申請范圍內(nèi)所做的任何修改、等同替換和改進等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種感應(yīng)加熱線圈裝置，其特征在于包括線圈(1)，端頭(2)，螺桿(3)，螺母(4)，套管(5)，耳片￠)，絕緣套(7)，其中線圈(I)是由導(dǎo)體按螺旋線盤繞成為的管狀物，所述端頭(2)有兩個、分別位于上述導(dǎo)體的兩端，螺桿(3)與線圈(I)的軸線平行，絕緣套(7)位于所述螺桿(3)外周，所述耳片(6)有若干個、其一端有孔，每個耳片(6)以該孔套接在所述絕緣套(7)外周、另一端與線圈(I)的每匝固定連接，套管(5)有若干個、分別位于每兩個相鄰的耳片(6)之間并套接于所述絕緣套(7)外周，所述螺母(4)至少有兩個、絲接在螺桿(3)上、將上述若干耳片(6)及若干套管(5)夾緊固定。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種感應(yīng)加熱線圈裝置，其特征在于所述導(dǎo)體為金屬管。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種感應(yīng)加熱線圈裝置，其特征在于所述導(dǎo)體為金屬方管。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種感應(yīng)加熱線圈裝置，其特征在于所述端頭(2)與所述金屬管的連接部具有密封膠圈。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種感應(yīng)加熱線圈裝置，其特征在于所述金屬管內(nèi)壁附著有絕緣涂層。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種感應(yīng)加熱線圈裝置，其特征在于所述導(dǎo)體外壁附著有絕緣涂層。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種感應(yīng)加熱線圈裝置，其特征在于還包括墊圈(8)，所述墊圈(8)與所述螺母(4)相配合、位于所述夾緊固定處。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種感應(yīng)加熱線圈裝置，其特征在于還包括支撐架，所述支撐架連接于所述螺桿(3)下部。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種感應(yīng)加熱線圈裝置，其特征在于所述螺桿(3)的數(shù)量為4?8根、均勻分布于線圈(I)周圍。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種感應(yīng)加熱線圈裝置，其特征在于所述絕緣套(7)為絕緣涂層或絕緣材質(zhì)套管。
【文檔編號】H05B6/44GK104470017SQ201410763923
【公開日】2015年3月25日 申請日期:2014年12月11日 優(yōu)先權(quán)日:2014年12月11日
【發(fā)明者】趙梅玉, 段聰, 高宇, 巴音圖 申請人:河北同光晶體有限公司