單晶爐爐壓檢測報警補償系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本實用新型涉及單晶爐【技術(shù)領(lǐng)域】,具體涉及一種單晶爐爐壓檢測報警補償系統(tǒng),包括設(shè)置在爐體內(nèi)對爐體內(nèi)爐壓進行檢測的檢測器,以及能夠接收檢測器檢測結(jié)果的控制器,控制器連接一報警器,還包括對爐體內(nèi)爐壓進行自動補償?shù)难a償裝置。檢測器實時對爐壓進行檢測并將檢測的結(jié)果即時發(fā)送給控制器,一旦檢測到爐壓高于或低于設(shè)定的范圍內(nèi)時,控制器便會向報警器發(fā)出信號使報警器報警,同時控制器操作控制閥打開以及啟動補償器進行補壓,在爐壓達到設(shè)定的范圍內(nèi)時,控制器便會關(guān)閉控制閥并停止補償器的工作。本實用新型能夠?qū)崟r對爐壓進行檢測,并能夠?qū)t壓進行補償,從而保證爐壓能夠滿足單晶爐工作的需求。
【專利說明】單晶爐爐壓檢測報警補償系統(tǒng)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及單晶爐【技術(shù)領(lǐng)域】,具體涉及一種單晶爐爐壓檢測報警補償系統(tǒng)。【背景技術(shù)】
[0002]單晶爐是一種在惰性氣體環(huán)境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長無錯位單晶的設(shè)備。其爐壓需要保持在一定范圍值內(nèi),高于或低于這個范圍就會影響單晶爐的正常工作,從而恒定單晶爐的爐壓是十分重要的。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0003]針對上述技術(shù)問題,本實用新型提供一種單晶爐爐壓檢測報警補償系統(tǒng),其能夠自動對爐壓進行檢測,能夠自行補償,從而保證爐壓能夠滿足單晶爐工作的需求。
[0004]實現(xiàn)本實用新型的技術(shù)方案如下:
[0005]單晶爐爐壓檢測報警補償系統(tǒng),包括設(shè)置在爐體內(nèi)對爐體內(nèi)爐壓進行檢測的檢測器,以及能夠接收檢測器檢測結(jié)果的控制器,所述控制器連接一報警器,在爐壓出現(xiàn)異常時,控制器便會操作報警器發(fā)出報警信號,還包括對爐體內(nèi)爐壓進行自動補償?shù)难a償裝置。
[0006]所述補償裝置包括連通爐體內(nèi)的補償管道,以及與補償管道連接的爐壓補償器,在管道上設(shè)置有電磁控制閥,所述電磁控制閥與控制器連接。在檢測器檢測到爐壓高于或低于設(shè)置的范圍內(nèi)時,控制器就會接收信號,從而控制器就會打開控制閥并控制補償器進行補壓,在爐壓達到設(shè)定的范圍內(nèi)時,控制器便會關(guān)閉控制閥并停止補償器的工作。
[0007]所述在爐體外設(shè)置有顯示爐壓的顯示計。
[0008]采用了上述方案,檢測器實時對爐壓進行檢測并將檢測的結(jié)果即時發(fā)送給控制器,一旦檢測到爐壓高于或低于設(shè)定的范圍內(nèi)時,控制器便會向報警器發(fā)出信號使報警器報警,同時控制器操作控制閥打開以及啟動補償器進行補壓,在爐壓達到設(shè)定的范圍內(nèi)時,控制器便會關(guān)閉控制閥并停止補償器的工作。本實用新型能夠?qū)崟r對爐壓進行檢測,并能夠?qū)t壓進行補償,從而保證爐壓能夠滿足單晶爐工作的需求。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0009]圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖;
[0010]圖中,I為爐體,2為檢測器,3為控制器,4為報警器,5為補償管道,6為爐壓補償器,7為電磁控制閥。
【具體實施方式】
[0011]下面結(jié)合附圖和具體實施例對本實用新型進一步說明。
[0012]參見圖1所示,單晶爐爐壓檢測報警補償系統(tǒng),包括設(shè)置在爐體I內(nèi)對爐體內(nèi)爐壓進行檢測的檢測器2,檢測器2能夠抵住爐內(nèi)的高溫并不會影響其檢測結(jié)果,以及位于爐體外部、接收檢測器檢測結(jié)果的控制器3,控制器3連接一報警器4,在爐壓出現(xiàn)異常時,控制器就會操作報警器報警,以及對爐體內(nèi)爐壓進行自動補償?shù)难a償裝置,其包括連通爐體內(nèi)的補償管道5,在補償管道5與爐體接觸處設(shè)置有密封件,保證爐體的密封性能,以及與補償管道連接的爐壓補償器6,在管道上設(shè)置有電磁控制閥7,電磁控制閥7與控制器3連接,在爐壓出現(xiàn)異常時,控制器能夠控制電磁控制閥、爐壓補償器進行工作。在爐體外設(shè)置有顯示爐壓的顯示計,操作人員可以實時了解爐壓的情況。
【權(quán)利要求】
1.單晶爐爐壓檢測報警補償系統(tǒng),其特征在于:其包括設(shè)置在爐體內(nèi)對爐體內(nèi)爐壓進行檢測的檢測器,以及能夠接收檢測器檢測結(jié)果的控制器,所述控制器連接一報警器,還包括對爐體內(nèi)爐壓進行自動補償?shù)难a償裝置;所述補償裝置包括連通爐體內(nèi)的補償管道,以及與補償管道連接的爐壓補償器,在管道上設(shè)置有電磁控制閥,所述電磁控制閥與控制器連接。
【文檔編號】C30B15/20GK203474957SQ201320383426
【公開日】2014年3月12日 申請日期:2013年6月30日 優(yōu)先權(quán)日:2013年6月30日
【發(fā)明者】周建國, 夏利榮 申請人:常州市立威刀具有限公司