射頻自動匹配的調(diào)整裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種射頻自動匹配的調(diào)整裝置，屬于射頻匹配領(lǐng)域。該裝置包括：驅(qū)動裝置、主同步輪、從同步輪和齒形傳動帶；其中，主同步輪設(shè)置在所述驅(qū)動裝置的動力軸上；主同步輪經(jīng)所述齒形傳動帶驅(qū)動所述從同步輪，從同步輪的轉(zhuǎn)軸用于連接被調(diào)節(jié)的可變電容。該調(diào)整裝置通過驅(qū)動裝置經(jīng)絕緣齒形傳動帶驅(qū)動主、從同步輪，可以實現(xiàn)對射頻同步匹配中的可變電容進行自動以及更精確的調(diào)整。
【專利說明】射頻自動匹配的調(diào)整裝置【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及射頻匹配領(lǐng)域，特別是涉及一種射頻自動匹配的調(diào)整裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]阻抗匹配是微波電子學(xué)里的一部分，主要用于傳輸線上，來達至所有高頻的微波信號皆能傳至負載點的目的，不會有信號反射回來源點，從而提升能源效益。射頻匹配器的作用是將負載的阻抗匹配成與射頻電源及傳輸線一樣的阻抗，從而達到電源的最大有效功率傳輸。阻抗匹配器廣泛應(yīng)用于真空鍍膜、等離子刻蝕、等離子清洗、物理氣象沉積，化學(xué)氣象沉積，磁控濺射，以及太陽能制造設(shè)備PECVD等設(shè)備當(dāng)中。
[0003]阻抗匹配器按工作方式分為有手動匹配器和自動匹配器兩種。手動匹配器手動調(diào)節(jié)匹配參數(shù)達到最佳匹配，當(dāng)負載阻抗發(fā)生變化時，需實時進行手動調(diào)節(jié)；自動匹配器則會根據(jù)負載的阻抗變化自動調(diào)節(jié)匹配參數(shù)，實現(xiàn)最佳匹配。
[0004]為了實現(xiàn)自動匹配，需要對匹配器的參數(shù)(主要指兩個可變電容)進行實時調(diào)節(jié)。這種調(diào)節(jié)調(diào)節(jié)必須精確、平穩(wěn)，同時還要保證驅(qū)動部件與可變電容的電氣隔離(調(diào)節(jié)電容帶電)。
[0005]現(xiàn)有匹配器多為手動匹配器，通過人工轉(zhuǎn)動調(diào)整兩個可變電容，從而改變匹配參數(shù)，以達到最佳匹配。電容的參數(shù)信息多由刻度盤讀出，入射功率、反射功率、自偏壓等信息從面板的儀表讀出。但目前這種手動調(diào)整可變電容的方式存在如下缺點:為了找到最佳匹配點，手動匹配對操作員素質(zhì)要求較高。當(dāng)負載發(fā)生變化時，人員需隨時調(diào)節(jié)匹配參數(shù)，否則會出現(xiàn)反射損失，嚴重則損壞設(shè)備?！嵱眯滦蛢?nèi)容
[0006]本實用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種射頻自動匹配的調(diào)整裝置，能自動準(zhǔn)確調(diào)節(jié)可變電容實現(xiàn)射頻匹配，從而解決目前射頻匹配時通過手動調(diào)節(jié)可變電容不準(zhǔn)確的問題。
[0007]解決上述技術(shù)問題的技術(shù)方案如下:
[0008]本實用新型實施例提供一種射頻自動匹配的調(diào)整裝置，包括:
[0009]驅(qū)動裝置、主同步輪、從同步輪和齒形傳動帶；其中，
[0010]所述主同步輪設(shè)置在所述驅(qū)動裝置的動力軸上；
[0011]所述主同步輪經(jīng)所述絕緣齒形傳動帶驅(qū)動所述從同步輪，從同步輪的轉(zhuǎn)軸用于連接被調(diào)節(jié)的可變電容。
[0012]上述裝置中，驅(qū)動裝置采用步進電機。
[0013]上述裝置中，主同步輪與從同步輪的傳動比1:3。
[0014]上述裝置還包括:控制器，與所述驅(qū)動裝置電連接，用于按設(shè)定的轉(zhuǎn)速、轉(zhuǎn)動方向和步進角控制所述驅(qū)動裝置旋轉(zhuǎn)。
[0015]本實用新型的有益效果為:通過驅(qū)動裝置經(jīng)齒形傳動帶驅(qū)動主、從同步輪，可以實現(xiàn)對射頻同步匹配中的可變電容進行自動以及更精確的調(diào)整。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0016]為了更清楚地說明本實用新型實施例的技術(shù)方案，下面將對實施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的一些實施例，對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他附圖。
[0017]圖1為本實用新型實施例提供的射頻自動匹配的調(diào)整裝置示意圖；
[0018]圖2為本實用新型實施例提供的射頻自動匹配的調(diào)整裝置的另一角度示意圖。
【具體實施方式】
[0019]下面對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型的保護范圍。
[0020]下面對本實用新型實施例作進一步地詳細描述。
[0021]本實施例提供一種射頻自動匹配的調(diào)整裝置，如圖1、2所示，該調(diào)整裝置包括:驅(qū)動裝置4、主同步輪1、從同步輪2和絕緣齒形傳動帶3 ;其中，齒形傳動帶3可采用絕緣齒形帶;
[0022]其中，主同步輪I設(shè)置在驅(qū)動裝置4的動力軸上；
[0023]主同步輪I經(jīng)齒形傳動帶3驅(qū)動從同步輪2，從同步輪2的轉(zhuǎn)軸用于連接被調(diào)節(jié)的可變電容5。
[0024]上述調(diào)整裝置中，驅(qū)動裝置4可采用步進電機。
[0025]上述調(diào)整裝置中，主同步輪I與從同步輪2的傳動比1:3。這樣可以保證作為驅(qū)動裝置4的步進電機與所調(diào)整的可變電容5之間的傳動比也為1:3。
[0026]上述調(diào)整裝置還可以包括:控制器6，與驅(qū)動裝置4電連接，用于按設(shè)定的轉(zhuǎn)速、轉(zhuǎn)動方向和步進角控制驅(qū)動裝置4旋轉(zhuǎn)。
[0027]下面結(jié)合具體實施例對上述調(diào)整裝置作進一步說明。
[0028]該調(diào)整裝置如圖1、2所示，采用步進電機作為驅(qū)動裝置4，步進電機可在控制器6的控制下進行旋轉(zhuǎn)，步進電機的正轉(zhuǎn)、反轉(zhuǎn)、步進腳都可根據(jù)需求進行設(shè)置。為了實現(xiàn)精確傳動和電氣隔離，步進電機與可變電容5間采用了主、從同步輪1、2與絕緣齒形傳動帶3的傳動方式(采用絕緣齒形傳動帶，即可實現(xiàn)精確傳動，有保證主同步輪和從同步輪電氣隔離)；為實現(xiàn)更精確的調(diào)整，步進電機和可變電容傳動比為1:3。通過該調(diào)整裝置可實現(xiàn)匹配參數(shù)的自動精確調(diào)節(jié)。
[0029]以上所述，僅為本實用新型較佳的【具體實施方式】，但本實用新型的保護范圍并不局限于此，任何熟悉本【技術(shù)領(lǐng)域】的技術(shù)人員在本實用新型披露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到的變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本實用新型的保護范圍之內(nèi)。因此，本實用新型的保護范圍應(yīng)該以權(quán)利要求書的保護范圍為準(zhǔn)。
【權(quán)利要求】
1.一種射頻自動匹配的調(diào)整裝置，其特征在于，包括: 驅(qū)動裝置、主同步輪、從同步輪和絕緣齒形傳動帶；其中， 所述主同步輪設(shè)置在所述驅(qū)動裝置的動力軸上； 所述主同步輪經(jīng)所述齒形傳動帶驅(qū)動所述從同步輪，從同步輪的轉(zhuǎn)軸用于連接被調(diào)節(jié)的可變電容。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述驅(qū)動裝置采用步進電機。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的裝置，其特征在于，所述主同步輪與從同步輪的傳動比1:3。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的裝置，其特征在于，還包括:控制器，與所述驅(qū)動裝置電連接，用于按設(shè)定的轉(zhuǎn)速、轉(zhuǎn)動方向和步進角控制所述驅(qū)動裝置旋轉(zhuǎn)。
【文檔編號】H05H1/46GK203416493SQ201320287499
【公開日】2014年1月29日 申請日期:2013年5月23日 優(yōu)先權(quán)日:2013年5月23日
【發(fā)明者】蔡輝旭, 馬志兵, 劉敏強 申請人:北京北儀創(chuàng)新真空技術(shù)有限責(zé)任公司