專利名稱：射頻匹配器的檢測電路的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種射頻匹配器的檢測電路。
背景技術(shù)：
射頻匹配器的應(yīng)用廣泛，主要用于半導(dǎo)體生產(chǎn)領(lǐng)域、等離子刻蝕、真空鍍膜、 PECVD、等離子清洗、物理氣象沉積(PVD)、化學(xué)氣象沉積(CVD)、射頻濺射等等，但是目前一 些自動射頻匹配器的檢測電路到負(fù)載變化到馬達(dá)驅(qū)動電容完成調(diào)諧，存在一定時延，在此 段時間內(nèi)負(fù)載得到的功率不可控，是影響工藝結(jié)果的潛在因素。

實用新型內(nèi)容本實用新型的目的在于提供一種用于射頻匹配器的檢測電路，該檢測電路可以 實時對信號進(jìn)行采樣，判斷負(fù)載與射頻電源電抗是否匹配，為射頻匹配器實現(xiàn)自動門匹配 提供基礎(chǔ)。為實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用如下技術(shù)方案射頻匹配器的檢測電路，包括信號檢測模塊，該信號檢測模塊用于實時檢測負(fù)載 反饋的反射信號，并將該反射信號輸出；以及與該信號檢測模塊連接的信號處理電路，信號 處理電路將來自于信號檢測模塊的反射信號進(jìn)行相位檢測后，轉(zhuǎn)化為直流驅(qū)動信號輸出。所述的信號檢測模塊為定向耦合器。所述信號處理電路包括第一濾波器，以及與該第一濾波器連接的第一功率分配 器，以及與該第一功率分配器連接的第一檢測器；第二濾波器，以及與該第二濾波器連接的第一移電路，以及與第一移相電路連接 的第二功率分配器，以及與第二功率分配器連接的第二移相電路，以及與第二移相電路連 接的第二檢測器；第一功率分配器還與第二檢測器連接，所述第二功率分配器還與第一檢測器連 接。所述第一檢測器的輸出端連接有第一電容，第二檢測器的輸出端連接有第二電容。所述信號處理電路還包括第一檢波二極管和第二檢波二極管，第一檢波二極管與 第一濾波器的輸出端連接，第二檢測二極管與第二濾波器的輸出端連接。上述方案中定向耦合器對反射信號進(jìn)行采樣，得到的正向功率信號和反向功率信 號兩個信號，正向功率信號經(jīng)過第一濾波器，經(jīng)第一功率分配器一分為二，分別到達(dá)第一檢 測器和第二檢測器的輸入端，同時濾波后的反射信號經(jīng)第一移相電路調(diào)整相位后，再由第 二功率分配器一分為二，一支信號直接到達(dá)第一檢測器，另一支信號則經(jīng)過第二移相電路 調(diào)整相位后到達(dá)第二檢測器的輸入端。當(dāng)負(fù)載與射頻信號阻抗失匹配時，第一檢測器和第 二檢測器分別輸出檢測信號，兩個檢測信號可驅(qū)動直流電機(jī)對真空電容進(jìn)行調(diào)節(jié)，當(dāng)真空 電容調(diào)節(jié)到匹配點時，反射信號輸出為零，這時第一檢測器和第二檢測器的輸出也為零。[0013]由于上述方案中定向偶合器可對反射信號進(jìn)行實時動態(tài)采樣，當(dāng)采樣到有反射信 號時，檢測器可以馬上輸出檢測信號，對真空電容進(jìn)行阻抗調(diào)節(jié)，這樣就實現(xiàn)了實時的自動 匹配控制，快速、可靠、節(jié)省時間。

圖1為本實用新型的原理圖1為定向耦合器，2為第一濾波器，21為第一功率分配器，22為第一檢測器，3為第 二濾波器，31為第二功率分配器，32為第二檢測器，33為第一移電路，34為第二移相電路，4 為第一電容，5為第二電容，6為第一檢波二極管，7為第二檢波二極管
具體實施方式
參考附圖1所示，射頻匹配器的檢2測電路，包括信號檢測模塊，該信號檢測模塊 用于實時檢測負(fù)載反饋的反射信號，并將該反射信號輸出；以及與該信號檢測模塊連接的 信號處理電路，信號處理電路將來自于信號檢測模塊的反射信號進(jìn)行相位檢測后，轉(zhuǎn)化為 直流驅(qū)動信號輸出，所述的信號檢測模塊為定向耦合器1。信號處理電路包括第一濾波器 2，以及與該第一濾波器2連接的第一功率分配器21，以及與該第一功率分配器21連接的第 一檢測器22 ；還包括第二濾波器3，以及與該第二濾波器3連接的第一移電路33，以及與第 一移相電路33連接的第二功率分配器31，以及與第二功率分配器31連接的第二移相電路 34，以及與第二移相電路33連接的第二檢測器32 ；第一功率分配器21還與第二檢測器32 連接，所述第二功率分配器31還與第一檢測器22連接。所述第一檢測器22的輸出端連接 有第一電容4，第二檢測器32的輸出端連接有第二電容5。所述信號處理電路還包括第一 檢波二極管6和第二檢波二極管7，第一檢波二極管6與第一濾波器2的輸出端連接，第二 檢測二極管7與第二濾波器3的輸出端連接。定向耦合器1對反射信號進(jìn)行采樣，得到的正向功率信號和反向功率信號兩個信 號，正向功率信號經(jīng)過第一濾波器2，經(jīng)第一功率分配器21—分為二，分別到達(dá)第一檢測器 22和第二檢測器32的輸入端，同時濾波后的反射信號經(jīng)第一移相電路33調(diào)整相位后，再由 第二功率分配器31 —分為二，，一支信號直接到達(dá)第一檢測器22，另一支信號則經(jīng)過第二 移相電路34調(diào)整相位后到達(dá)第二檢測器32的輸入端。當(dāng)負(fù)載與射頻信號阻抗匹配時，第 一檢測器22和第二檢測器32分別輸出檢測信號，兩個檢測信號可對真空電容進(jìn)行匹配，當(dāng) 真空電容調(diào)節(jié)到匹配點時，反射信號輸出為零，這時第一檢測器22和第二檢測器32的輸出 也為零，這時直流電機(jī)沒有了驅(qū)動信號，真空電容也同樣停止了調(diào)節(jié)，匹配器實現(xiàn)了自動匹 配的調(diào)節(jié)。
權(quán)利要求射頻匹配器的檢測電路，其特征在于包括信號檢測模塊，該信號檢測模塊用于實時檢測負(fù)載反饋的反射信號，并將該反射信號輸出；以及與該信號檢測模塊連接的信號處理電路，信號處理電路將來自于信號檢測模塊的反射信號進(jìn)行相位檢測后，轉(zhuǎn)化為直流驅(qū)動信號輸出。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的射頻匹配器的檢測電路，其特征在于所述的信號檢測模塊 為定向耦合器。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的射頻匹配器的檢測電路，其特征在于所述信號處理電路包 括第一濾波器，以及與該第一濾波器連接的第一功率分配器，以及與該第一功率分配器連 接的第一檢測器；第二濾波器，以及與該第二濾波器連接的第一移電路，以及與第一移相電路連接的第 二功率分配器，以及與第二功率分配器連接的第二移相電路，以及與第二移相電路連接的 第二檢測器；所述第一功率分配器還與第二檢測器連接，所述第二功率分配器還與第一檢測器連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的射頻匹配器的檢測電路，其特征在于所述第一檢測器的輸 出端連接有第一電容，第二檢測器的輸出端連接有第二電容。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的射頻匹配器的檢測電路，其特征在于所述信號處理電路還 包括第一檢波二極管和第二檢波二極管，第一檢波二極管與第一濾波器的輸出端連接，第 二檢測二極管與第二濾波器的輸出端連接。
專利摘要本實用新型公開了一種射頻匹配器的檢測電路，其特征在于包括信號檢測模塊，該信號檢測模塊用于實時檢測負(fù)載反饋的反射信號，并將該反射信號輸出；以及與該信號檢測模塊連接的信號處理電路，信號處理電路將來自于信號檢測模塊的反射信號進(jìn)行相位檢測后，轉(zhuǎn)化為直流驅(qū)動信號輸出。由于對反射信號進(jìn)行實時動態(tài)采樣，當(dāng)采樣到有反射信號時，檢測器可以馬上輸出檢測信號，對真空電容進(jìn)行阻抗調(diào)節(jié)，這樣就實現(xiàn)了實時的自動匹配控制，快速、可靠、高效、節(jié)省時間。
文檔編號H04B17/00GK201717835SQ20102021726
公開日2011年1月19日 申請日期2010年6月1日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月1日
發(fā)明者楊友明 申請人:常州瑞思杰爾電子科技有限公司