專利名稱：磷擴散爐抽風管密封水箱的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及半導體分立器件和太陽能電池片的制造領域。
背景技術：
磷擴散是半導體分立器件、集成電路芯片和太陽能電池片制作PN結所必須的一道工藝，目前這道工藝所采用的技術是熱擴散技術。半導體分立器件主要用于制造二極管、三極管、功率器件、IGBT及晶閘管等，該系列產品在國內有上百億的銷售額，產能非常龐大。另一方面作為太陽能電池片的用途，硅片運用也非常廣泛，全球70%以上的太陽能電池片是使用硅片作為電池片的。2011年已經實現(xiàn)25GW的產能，多晶用量達到18萬噸是半導體用量的6倍，因此太陽能的產量比半導體產量更大。國內能夠生產太陽能電池硅片廠家約120多家，而能夠生產半導體分立器件擴散片的廠家也達到幾十家。用于磷擴散的擴散爐每個廠家基本有幾十臺到上百臺，市場需求量很大。目前市場上技術成熟的磷擴散技術主要有三種:1、采用液態(tài)三氯氧磷源擴散；2、采用噴涂磷酸水溶液后鏈式擴散；3、采用磷源紙夾層后鏈式擴散。這三種磷擴散的方法以液態(tài)磷源擴散的方法具有生產效率較高，得到PN結均勻、平整和擴散層表面良好等優(yōu)點，因此運用范圍最廣，生產廠家普遍采用該方法進行大批量生產。磷擴散方法的結構圖如

圖1所示，磷擴散的化學反應方程式如下:
權利要求
1.磷擴散爐抽風管密封水箱，其特征在于:包括上方敞口的方形密封箱體，密封箱體上方敞口部位為向外側張開的張口結構，所述張口結構內壁安裝一圈密封圈，上方敞口上邊沿外側安裝有固定扣，密封箱體底部側面設有進水口，密封箱體正對進水口的側面在進水口上方設有溢流排水口。
2.根據(jù)權利要求1所述的磷擴散爐抽風管密封水箱，其特征在于:所述密封水箱為不銹鋼結構，密封水箱內壁設有特氟龍涂層。
3.根據(jù)權利要求2所述的磷擴散爐抽風管密封水箱，其特征在于:所述特氟龍涂層的噴涂厚度為0.2-10mm。
4.根據(jù)權利要求1所述的磷擴散爐抽風管密封水箱，其特征在于:所述密封水箱進水口通過管道與冷卻罐連接，所述冷卻罐內盛裝有碳酸氫鈉冷卻溶液，冷卻罐內設有冷卻盤管，所述冷卻罐底部設有排放閥。
5.根據(jù)權利要求4所述的磷擴散爐抽風管密封水箱， 其特征在于:所述溢流排水口通過管道連接廢水處理系統(tǒng)。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種磷擴散爐抽風管密封水箱，包括上方敞口的方形密封箱體，密封箱體上方敞口部位為向外側張開的張口結構，所述張口結構內壁安裝一圈密封圈，上方敞口上邊沿外側安裝有固定扣，密封箱體底部側面設有進水口，密封箱體正對進水口的側面在進水口上方設有溢流排水口。由于抽風管底部開口并連接一密封水箱，在抽風管內迅速液化的三氯氧磷液體落進了密封水箱，并在密封水箱內進行中和無害化處理，最后從密封水箱的溢流口排水口排出，進入廢水處理系統(tǒng)，從而降低了抽風系統(tǒng)的腐蝕速度，避免了氣化的三氯氧磷的泄露和中毒事故的發(fā)生。
文檔編號C30B31/16GK103103618SQ20131001830
公開日2013年5月15日 申請日期2013年1月17日 優(yōu)先權日2013年1月17日
發(fā)明者陳功 申請人:陳功